JPH01134270U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01134270U JPH01134270U JP3175288U JP3175288U JPH01134270U JP H01134270 U JPH01134270 U JP H01134270U JP 3175288 U JP3175288 U JP 3175288U JP 3175288 U JP3175288 U JP 3175288U JP H01134270 U JPH01134270 U JP H01134270U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hybrid circuit
- probe card
- substrate
- active parts
- measuring
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案に係るハイブリツド回路測定用
プローブカードの一実施例を示す平面図、第２図
はこのハイブリツド回路測定用プローブカードで
測定されるハイブリツド回路の平面図、第３図は
このハイブリツド回路測定用プローブカードを使
用してハイブリツド回路を測定する状態を示す平
面図、第４図は第３図のａ部の拡大断面図である
。 １０……ハイブリツド回路測定用プローブカー
ド、１１……基板、１１１ａ，１１１ｂ……開口
、１２……探針、２０……ハイブリツド回路、２
１……基板、２２……測定用電極。
プローブカードの一実施例を示す平面図、第２図
はこのハイブリツド回路測定用プローブカードで
測定されるハイブリツド回路の平面図、第３図は
このハイブリツド回路測定用プローブカードを使
用してハイブリツド回路を測定する状態を示す平
面図、第４図は第３図のａ部の拡大断面図である
。 １０……ハイブリツド回路測定用プローブカー
ド、１１……基板、１１１ａ，１１１ｂ……開口
、１２……探針、２０……ハイブリツド回路、２
１……基板、２２……測定用電極。
Claims (1)
- セラミツク等の基板上に半導体素子等の能動部
品と、抵抗、コンデンサ等の能動部品とを組み込
んで構成されるハイブリツド回路の電気的特性を
測定するハイブリツド回路測定用プローブカード
であつて、測定すべきハイブリツド回路に対応し
た複数個の開口が開設された基板と、前記開口の
周囲に前記ハイブリツド回路の測定用電極に接触
する探針とを具備したことを特徴とするハイブリ
ツド回路測定用プローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3175288U JPH01134270U (ja) | 1988-03-09 | 1988-03-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3175288U JPH01134270U (ja) | 1988-03-09 | 1988-03-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01134270U true JPH01134270U (ja) | 1989-09-13 |
Family
ID=31257844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3175288U Pending JPH01134270U (ja) | 1988-03-09 | 1988-03-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01134270U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51121267A (en) * | 1975-04-17 | 1976-10-23 | Seiko Epson Corp | Semiconductor wafer measuring device |
-
1988
- 1988-03-09 JP JP3175288U patent/JPH01134270U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51121267A (en) * | 1975-04-17 | 1976-10-23 | Seiko Epson Corp | Semiconductor wafer measuring device |