JPH01132943A - Ｘ線分析装置 - Google Patents
Ｘ線分析装置Info
- Publication number
- JPH01132943A JPH01132943A JP63256043A JP25604388A JPH01132943A JP H01132943 A JPH01132943 A JP H01132943A JP 63256043 A JP63256043 A JP 63256043A JP 25604388 A JP25604388 A JP 25604388A JP H01132943 A JPH01132943 A JP H01132943A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wheel
- arm
- crystal holder
- belt
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 29
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
- G21K1/06—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diffraction, refraction or reflection, e.g. monochromators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、Ｘ線源と、クリスタルホルダと、検出装置を
具え、検出装置を第１アームに配置し、クリスタルホル
ダを第２アームに配直し、検出装置およびクリスタルホ
ルダからのそれぞれの距離が等しい位置の枢着軸の周り
に第１および第２アームを互いに回動自在に連結し、前
記枢着軸に第３アームを回動自在に連結し、前記第３ア
ームも前記枢着軸から或る距離離れた固定の枢着軸の周
りに回動自在にし、クリスタルホルダを支持する第２ア
ームの端部を直線経路に沿って移動自在にし、各アーム
を回動することによって検出装置、クリスタルホルダお
よび第３アームの枢着軸を互いに異なる位置に調整自在
にし、検出装置、クリスタルホルダおよび第３アームの
枢着軸がローランドの円上の種々の位置をとるようにし
たＸ線分析装置に関するものである。
具え、検出装置を第１アームに配置し、クリスタルホル
ダを第２アームに配直し、検出装置およびクリスタルホ
ルダからのそれぞれの距離が等しい位置の枢着軸の周り
に第１および第２アームを互いに回動自在に連結し、前
記枢着軸に第３アームを回動自在に連結し、前記第３ア
ームも前記枢着軸から或る距離離れた固定の枢着軸の周
りに回動自在にし、クリスタルホルダを支持する第２ア
ームの端部を直線経路に沿って移動自在にし、各アーム
を回動することによって検出装置、クリスタルホルダお
よび第３アームの枢着軸を互いに異なる位置に調整自在
にし、検出装置、クリスタルホルダおよび第３アームの
枢着軸がローランドの円上の種々の位置をとるようにし
たＸ線分析装置に関するものである。
この種のＸ線分析装置は、ヨーロッパ特許出願第１１８
９６５号に記載されている。このヨーロッパ特許出願第
１１８９６５号には、このような装置の構造の基本とな
っている理論および操作についての詳細な分析がなされ
ており、従って、この理論および操作については、この
特許出願の公報を参照し、参考として本明細書にも記載
する。
９６５号に記載されている。このヨーロッパ特許出願第
１１８９６５号には、このような装置の構造の基本とな
っている理論および操作についての詳細な分析がなされ
ており、従って、この理論および操作については、この
特許出願の公報を参照し、参考として本明細書にも記載
する。
既知の装置においては、クリスタルホルダを支持する第
２アームの枢着軸から遠い方の端部を多数のローラを使
用して案内に沿って駆動モータにより移動自在に案内す
る。更に、検出装置を支持する第１アームの端部を第２
アームの枢着軸から遠い方の端部と枢着軸との間の案内
に沿って多数のローラと駆動モータにより移動自在にす
る。
２アームの枢着軸から遠い方の端部を多数のローラを使
用して案内に沿って駆動モータにより移動自在に案内す
る。更に、検出装置を支持する第１アームの端部を第２
アームの枢着軸から遠い方の端部と枢着軸との間の案内
に沿って多数のローラと駆動モータにより移動自在にす
る。
第２アームのクリスタルホルダを支持する端部の移動量
を測定し、第１アームに連結したモータを作動させる信
号に変換する。既知の装置の動作は、種々の部分がロー
ランドの円周に沿って極めて正確に移動するため満足の
いくものである。しかし、装置の構造は複雑であり、従
って、装置は高価になる。
を測定し、第１アームに連結したモータを作動させる信
号に変換する。既知の装置の動作は、種々の部分がロー
ランドの円周に沿って極めて正確に移動するため満足の
いくものである。しかし、装置の構造は複雑であり、従
って、装置は高価になる。
本発明の目的は、構成簡単な上述の装置を得るにある。
この目的を達成するため、本発明Ｘ線分析装置は、ホイ
ールを検出装置に堅固に連結し、前記枢着軸およびクリ
スタルホルダの近傍にもそれぞれ自由に回転するホイー
ルを設け、これらホイールの直径を同一にし、ホイール
の周りにベルトをＸ内し、ベルトの一端をクリスタルホ
ルダの領域で第２アームに取付け、この取付点から検出
装置に取付けたホイール、枢着軸の周りに回転自在のホ
イール、およびクリスタルホルダの近傍のホイールに前
記ベルトを順次に巻き掛け案内し、ベルトの他端を固定
点に取付けたことを特徴とする。
ールを検出装置に堅固に連結し、前記枢着軸およびクリ
スタルホルダの近傍にもそれぞれ自由に回転するホイー
ルを設け、これらホイールの直径を同一にし、ホイール
の周りにベルトをＸ内し、ベルトの一端をクリスタルホ
ルダの領域で第２アームに取付け、この取付点から検出
装置に取付けたホイール、枢着軸の周りに回転自在のホ
イール、およびクリスタルホルダの近傍のホイールに前
記ベルトを順次に巻き掛け案内し、ベルトの他端を固定
点に取付けたことを特徴とする。
本発明によれば、種々の可動部分間の連結を簡単な機械
的手段で完全に実現できる。実際上、この簡単な構成に
も係わらず、互いに調整自在の部分の移動が、多くの用
途に対して充分に正確に得られる。
的手段で完全に実現できる。実際上、この簡単な構成に
も係わらず、互いに調整自在の部分の移動が、多くの用
途に対して充分に正確に得られる。
互いに角度をなすラインに沿って２点間に摺動自在に案
内されるキャリヤに配置したクリスタルホルダを配置し
た装置が米国特許第３４４５６５３号に記載されている
。このキャリヤに第２キヤリヤを連結し、この第２キヤ
リヤを案内に沿う点で摺動自在にする。第２キヤリヤは
、クリスタルホルダの方向にＸ線を透過する部材を有す
る。双方のキャリヤは、ホイールを有し、これらホイー
ルの周りにベルトを案内する。このように上記米国特許
に記載の装置は、種りの摺動案内を有するため、構成が
複雑になり、本発明の構成よりもずれを生じやすい。
内されるキャリヤに配置したクリスタルホルダを配置し
た装置が米国特許第３４４５６５３号に記載されている
。このキャリヤに第２キヤリヤを連結し、この第２キヤ
リヤを案内に沿う点で摺動自在にする。第２キヤリヤは
、クリスタルホルダの方向にＸ線を透過する部材を有す
る。双方のキャリヤは、ホイールを有し、これらホイー
ルの周りにベルトを案内する。このように上記米国特許
に記載の装置は、種りの摺動案内を有するため、構成が
複雑になり、本発明の構成よりもずれを生じやすい。
西ドイツ特許明細書第２４１８３７２号には、異なるホ
イールに案内したベルトを使用して種々の部分が互いに
正確な移動を行うようにしている上述の形式のＸ線分析
装置について記載している。しかし、この構成は、互い
に異なりかつ正確に適合させねばならない直径のホイー
ルを使用しなければならず、このことは装置の製造を一
層複雑にする。
イールに案内したベルトを使用して種々の部分が互いに
正確な移動を行うようにしている上述の形式のＸ線分析
装置について記載している。しかし、この構成は、互い
に異なりかつ正確に適合させねばならない直径のホイー
ルを使用しなければならず、このことは装置の製造を一
層複雑にする。
次に、図面につき本発明の好適な実施例を説明する。
第１図から明らかなように、本発明装置は、３個のアー
ム２．３．４を有し、これらアームの対開端部を枢着軸
５により共通の軸線の周りに回動自在に連結する。
ム２．３．４を有し、これらアームの対開端部を枢着軸
５により共通の軸線の周りに回動自在に連結する。
枢着軸５から遠い方のアーム４の端部は、軸５に平行な
固定の枢着軸６を介して、本発明による装置のフレーム
（図示せず）に回動自在に連結する。この軸６の領域に
おいてシールド７を配置し、このシールド７には通常の
スリット形状の開口を設け、試料８から発生するＸ線を
透過するようにし、このＸ線を軸１０に取付けたクリス
タルホルダ（図示せず）に入射させ、この軸１０の周り
にアーム３の軸５から遠い方の端部を回転自在にする。
固定の枢着軸６を介して、本発明による装置のフレーム
（図示せず）に回動自在に連結する。この軸６の領域に
おいてシールド７を配置し、このシールド７には通常の
スリット形状の開口を設け、試料８から発生するＸ線を
透過するようにし、このＸ線を軸１０に取付けたクリス
タルホルダ（図示せず）に入射させ、この軸１０の周り
にアーム３の軸５から遠い方の端部を回転自在にする。
第２図に詳細に示すように、軸１０にはホイール１１を
担持し、このホイール１１は、ホイール１１と同一外径
の２個のホイール１２．１３間に配置する。軸１０はホ
イール１２．１３内で自由に回転できるようにするが、
図示しない手段によりこれらホイール１２゜１３に対し
て軸線方向の移動を生じないようロックする。
担持し、このホイール１１は、ホイール１１と同一外径
の２個のホイール１２．１３間に配置する。軸１０はホ
イール１２．１３内で自由に回転できるようにするが、
図示しない手段によりこれらホイール１２゜１３に対し
て軸線方向の移動を生じないようロックする。
ホイール１２の上側およびホイール１３の下側には案内
ブロック１４を取付け、これらこのブロックを溝孔状案
内１５内で摺動自在にし、これら溝孔の縦方向軸線をシ
ールド７を透過するＸ線の方向の延長線上に配置する。
ブロック１４を取付け、これらこのブロックを溝孔状案
内１５内で摺動自在にし、これら溝孔の縦方向軸線をシ
ールド７を透過するＸ線の方向の延長線上に配置する。
アーム２の軸５から遠い方の端部に、軸５に平行な軸１
６を使用して他のホイール１７を回転自在に連結する。
６を使用して他のホイール１７を回転自在に連結する。
このホイール１７に検出装置（図示せず）を連結する。
第１図から明らかなように、軸５と軸６との間の距離を
、軸５と軸１０との間の距離および軸５と軸１６との間
の距離に等しくする。
、軸５と軸１０との間の距離および軸５と軸１６との間
の距離に等しくする。
２個の縦方向案内１５に対して装置のフレームを摺動自
在にし、ホイール１２．１３はこのフレームに対して回
転不能にし、ベルトの端部に連結した延長部工９を第２
図に示すようにホイール１２．１３に取付ける。クリス
タルホルダを支持するアーム３の端部領域におけるこの
取付点から、ベルト１８を、ホイール１７の方向に延在
させ、ホイール１７の周囲に沿って、また軸５０周りに
自由に回転自在のホイール２０の方向に、更に、このホ
イール２０からホイール１１まで連続させる。ベルトの
最後の部分は案内１５に平行にし、できれば張力装置２
１を介して本発明による装置のフレームの固定点に取付
ける。
在にし、ホイール１２．１３はこのフレームに対して回
転不能にし、ベルトの端部に連結した延長部工９を第２
図に示すようにホイール１２．１３に取付ける。クリス
タルホルダを支持するアーム３の端部領域におけるこの
取付点から、ベルト１８を、ホイール１７の方向に延在
させ、ホイール１７の周囲に沿って、また軸５０周りに
自由に回転自在のホイール２０の方向に、更に、このホ
イール２０からホイール１１まで連続させる。ベルトの
最後の部分は案内１５に平行にし、できれば張力装置２
１を介して本発明による装置のフレームの固定点に取付
ける。
第１図に線図的に示すように、張力ばね２２を、ホイー
ル１７を支持するアーム２の端部と装置のフレームの固
定点との間に配置し、このばねは、ベルト１８を緊張さ
せるのに使用することができる。
ル１７を支持するアーム２の端部と装置のフレームの固
定点との間に配置し、このばねは、ベルト１８を緊張さ
せるのに使用することができる。
各ホイール１１．１７．２０の直径は互いに等しくする
。ベルトとしてはスチール製のベルトにすると好適であ
る。
。ベルトとしてはスチール製のベルトにすると好適であ
る。
装置を初めに調整するとき、できれば張力装置２工によ
りベルトを縦方向に移動することによって、軸６のレベ
ルに配置したシールド７の入射スリットと軸１０との間
の距離を、２個の軸１０．１６との間の距離に等しくし
、軸６．１０．１６がいわゆるローランド（Ｒｏｗｌａ
ｎｄ）の円に位置するようにする。この円の半径は軸５
と軸１０との間の距離に等しい。
りベルトを縦方向に移動することによって、軸６のレベ
ルに配置したシールド７の入射スリットと軸１０との間
の距離を、２個の軸１０．１６との間の距離に等しくし
、軸６．１０．１６がいわゆるローランド（Ｒｏｗｌａ
ｎｄ）の円に位置するようにする。この円の半径は軸５
と軸１０との間の距離に等しい。
装置の再調整のため、例えば、軸１０を案内１５に沿っ
て前後に移動するのに使用することができる駆動部材（
図示せず）を設けることができる。軸１０の往復移動中
ベルト１８は各ホイールに沿って転動じ、従って、検出
装置を支持する軸１６を移動し、シールド７の入射スリ
ット、クリスタルホルダおよび検出装置は常にローラン
ドの円の上に位置する。
て前後に移動するのに使用することができる駆動部材（
図示せず）を設けることができる。軸１０の往復移動中
ベルト１８は各ホイールに沿って転動じ、従って、検出
装置を支持する軸１６を移動し、シールド７の入射スリ
ット、クリスタルホルダおよび検出装置は常にローラン
ドの円の上に位置する。
第１図は、本発明装置の種々の部分の配置を示す線図的
説明図、 第２図は、クリスタルホルダのレベルでのベルトの案内
の線図的斜視図である。 ２．３．４・・・アーム ５・・・枢着軸６・・・（
固定）枢着軸 ７・・・シールド８・・・試料
１０．１６・・・軸ＩＬ １２．１３．１７．
２０・・・ホイール１４・・・案内ブロック １５
・・・案内１８・・・ベルト１９・・・延長部
説明図、 第２図は、クリスタルホルダのレベルでのベルトの案内
の線図的斜視図である。 ２．３．４・・・アーム ５・・・枢着軸６・・・（
固定）枢着軸 ７・・・シールド８・・・試料
１０．１６・・・軸ＩＬ １２．１３．１７．
２０・・・ホイール１４・・・案内ブロック １５
・・・案内１８・・・ベルト１９・・・延長部
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、Ｘ線源と、クリスタルホルダと、検出装置を具え、
検出装置を第１アームに配置し、クリスタルホルダを第
２アームに配置し、検出装置およびクリスタルホルダか
らのそれぞれの距離が等しい位置の枢着軸の周りに第１
および第２アームを互いに回動自在に連結し、前記枢着
軸に第３アームを回動自在に連結し、前記第３アームも
前記枢着軸から或る距離離れた固定の枢着軸の周りに回
動自在にし、クリスタルホルダを支持する第２アームの
端部を直線経路に沿って移動自在にし、各アームを回動
することによって検出装置、クリスタルホルダおよび第
３アームの枢着軸を互いに異なる位置に調整自在にし、
検出装置、クリスタルホルダおよび第３アームの枢着軸
がローランドの円上の種々の位置をとるようにしたＸ線
分析装置において、ホィールを検出装置に堅固に連結し
、前記枢着軸およびクリスタルホルダの近傍にもそれぞ
れ自由に回転するホィールを設け、これらホィールの直
径を同一にし、ホィールの周りにベルトを案内し、ベル
トの一端をクリスタルホルダの領域で第２アームに取付
け、この取付点から検出装置に取付けたホィール、枢着
軸の周りに回転自在のホィール、およびクリスタルホル
ダの近傍のホィールに前記ベルトを順次に巻き掛け案内
し、ベルトの他端を固定点に取付けたことを特徴とする
Ｘ線分析装置。 ２、第１アームおよび第２アームを互いに相対的に回動
させてベルトを緊張させる弾性手段を設けた請求項１記
載のＸ線分析装置。 ３、クリスタルホルダの領域でベルトは２個の端部を有
するものとして構成し、これら２個の端部を２個のアン
カーホィールに取付け、これらアンカーホィール間に前
記クリスタルホルダの近傍に配置したホィールを配置し
、アンカーホィールを回転不能にロックした請求項１ま
たは２記載のＸ線分析装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL8702475A NL8702475A (nl) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | Roentgen analyse apparaat. |
| NL8702475 | 1987-10-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01132943A true JPH01132943A (ja) | 1989-05-25 |
Family
ID=19850782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63256043A Pending JPH01132943A (ja) | 1987-10-16 | 1988-10-13 | Ｘ線分析装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4885760A (ja) |
| EP (1) | EP0312155B1 (ja) |
| JP (1) | JPH01132943A (ja) |
| DE (1) | DE3869311D1 (ja) |
| NL (1) | NL8702475A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105632578A (zh) * | 2015-03-10 | 2016-06-01 | 深圳市禾苗分析仪器有限公司 | 直线驱动式x射线单色器及其应用 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4102850A1 (de) * | 1991-01-31 | 1992-08-06 | Philips Patentverwaltung | Roentgenographisches spannungsmessgeraet |
| US5268954A (en) * | 1992-10-14 | 1993-12-07 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Mounting apparatus for double crystal monochromators and the like |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3445653A (en) * | 1964-10-10 | 1969-05-20 | Hitachi Ltd | X-ray monochromator of linear type |
| GB1183702A (en) * | 1966-03-30 | 1970-03-11 | Ass Elect Ind | Improvements relating to X-Ray Analysing Apparatus. |
| US3566111A (en) * | 1967-06-19 | 1971-02-23 | Siemens Ag | Apparatus for varying the detector slit width in fully focusing x-ray spectrometers |
| NL7803026A (nl) * | 1978-03-21 | 1979-09-25 | Philips Nv | Instelmechanisme. |
| US4446568A (en) * | 1981-06-05 | 1984-05-01 | California Institute Of Technology | Versatile focusing radiation analyzer |
| NL184386C (nl) * | 1983-03-15 | 1989-07-03 | Eindhoven Tech Hogeschool | Kinematisch roentgenanalyse-apparaat. |
| US4807268A (en) * | 1983-11-04 | 1989-02-21 | University Of Southern California | Scanning monochrometer crystal and method of formation |
-
1987
- 1987-10-16 NL NL8702475A patent/NL8702475A/nl not_active Application Discontinuation
-
1988
- 1988-09-27 US US07/250,023 patent/US4885760A/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-10-03 EP EP88202185A patent/EP0312155B1/en not_active Expired
- 1988-10-03 DE DE8888202185T patent/DE3869311D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-10-13 JP JP63256043A patent/JPH01132943A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105632578A (zh) * | 2015-03-10 | 2016-06-01 | 深圳市禾苗分析仪器有限公司 | 直线驱动式x射线单色器及其应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0312155B1 (en) | 1992-03-18 |
| NL8702475A (nl) | 1989-05-16 |
| EP0312155A1 (en) | 1989-04-19 |
| US4885760A (en) | 1989-12-05 |
| DE3869311D1 (de) | 1992-04-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4150297A (en) | X-ray examination apparatus | |
| US4628523A (en) | Direction control for radiographic therapy apparatus | |
| US4645933A (en) | Emissive computed tomography | |
| US5097132A (en) | Nuclear medicine camera system with improved gantry and patient table | |
| EP0118965B1 (en) | Kinematic x-ray analysis apparatus | |
| US4802197A (en) | Mobile X-ray examination unit | |
| US4811372A (en) | Dental X-ray diagnostic installation for producing panoramic tomograms of the jaw of a patient | |
| EP0066917A1 (en) | Gamma tomography apparatus comprising a parallelogram suspension system | |
| JPH01214342A (ja) | アイソセンタ式ｘ線撮影用スタンド | |
| JPS5953055B2 (ja) | 医療用放射線写真装置 | |
| US4417353A (en) | Fan beam CT scanner with compensating detector motion | |
| JPH01132943A (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| US3999073A (en) | Apparatus for examining a body by means of penetrating radiation | |
| US4236072A (en) | Adjusting mechanism | |
| US3937963A (en) | Radiographic apparatus | |
| JP2558398Y2 (ja) | 移動型ｘ線診断装置 | |
| EP0511353A1 (en) | ARRANGEMENT OF TWO ROTATING GAMMA CAMERAS. | |
| US5438613A (en) | X-ray analysis apparatus and scanning unit suitable for use in such an apparatus | |
| JPS59153153A (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| EP0137078B1 (en) | X-ray examination apparatus | |
| US6263041B1 (en) | Tomography device and method of forming a tomographic image by means of such a device | |
| JP3098806B2 (ja) | Ｘ線分光装置およびｅｘａｆｓ測定装置 | |
| JPS63115040A (ja) | Ｘ線分析装置用ゴニオメ−タ | |
| RU1804614C (ru) | Рентгеновский спектрометр | |
| JP3419133B2 (ja) | Ｘ線分光器 |