JPS63115040A - Ｘ線分析装置用ゴニオメ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は電子プローブＸ線分析装置等に使用されるゴニ
オメータの改良に関する。

［従来技術１ 第５図は従来使用されているゴニオメータを示す図であ
り、１は対物レンズ、２は試料で、電子線３は該対物レ
ンズにより集束されて試料２上に照射される。４は基板
であり、この基板４はその延長面が光軸を含むように固
定され、この一方の面にゴニオメータが取り付けられて
いる。５は第１の直線ガイドで、ネジ棒により構成され
、モータ６より回転が与えられる。７は第２の直線ガイ
ドで、レールやシャフトにより構成されている。

前記第１の直線ガイド及び第２の直線ガイドは、試料２
上で角θで交叉する直線Ａ及びＢに沿って置かれている
。８は移動板で、該移動板８上には第１のガイドとして
ローランド円Ｒと同−半径又は半径は異なるが同心の円
弧の案内レール９を有している。該移動板８の一端は第
１の直線ガイド５に螺合されたスライダー１０に回転可
能に取り付けられ、又、他端は第２の直線ガイド７上を
摺動するスライダー１１に回転可能に取り付けられてい
る。前記スライダー１０と移動板８との取付点には、プ
ーリ１２及び分光結晶１３が取り付けられている。１４
は前記案内レール９上を移動する検出器台で、この台上
にはＸ線検出器１５が支えられている。該検出器台１４
にはスプリング１６により張られたワイヤー１７の一端
が固定され、該検出器台１４を分光結晶１３から離れる
向きに常に引張っている。１８は検出器１５に取り付け
られたブーりで、プーリ１２との間に定長ベルト１９が
張架され、該定長ベルト１９の両端はベルト固定点２０
ａ、２０ｂで基板４に固定されている。

このような装置でモータ６を駆動すると、第１の直線ガ
イド５のネジ棒が回転し、スライダー１０が直線Ａに沿
って移動する。これにより移動板８の一端が直線Ａ上を
移動するので、移動板８の他端はスライダー１１と共に
直線ガイド７に案内されて直線Ｂ上を移動し、これに伴
い案内レール９も移動する。この移動に伴い、該分光結
晶１３は直線Ａに沿って移動すると共に、ｘＩＱ検出器
１５は前記定長ベルト１９に引っ張られて案内レール９
に案内されて移動する。この際、直線Ａと分光結晶とが
成す角が変化する。更に、ベルト固定点２０ａ、２０ｂ
とプーリ１２との間隔が変化し、その間のベルト長さが
長く（又は短く）なるが、それにつれてプーリ１２と１
８との間が短く（又は長く）なる。その結果、試料及び
分光絶間の距離と分光結晶及び検出器間の距離は常に等
しくされる。

このようにして、分光結晶１３が結晶面を回転させなが
ら直線Ａに沿って移動すると、Ｘ線検出器１５は分光結
晶１３によってブラック反射されＸ線集光点の移動に追
随するように移動する。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、このように構成された装置では、Ｘ線検
出器１５の位置を移動させるワイヤー１９の張りに弛み
が僅かにあることがあるが、このような場合Ｘ線検出器
の位置が理想的なものからズしてしまう場合があった。

本発明は以上の欠点を解消して、Ｘ線検出器の移動に伴
うＸＩ！検出器の位置ズレを防止した装置を堤供するこ
とを目的としている。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するため本発明は、直線ガイドに沿って
湾曲分光結晶の直線移動と回動を可能となし、前記分光
結晶からブラック反射されたＸ線の集光点が前記直線移
動と回転に伴って移動するのに追随してＸ線検出器が配
置されるようにＸｍ検出器の移動をガイドするための検
出器ガイド手段を備えたＸ線分析装置用ゴニオメータに
おいて、前記検出器ガイド手段は前記検出器を常にロー
ランド円上に位置付けるための第１のガイドと、前記直
線移動と回転に伴う前記Ｘ線の集光点の軌跡の形状を有
する第２のガイドから成り、該第１゜第２の該ガイドと
の双方に案内されて前記ｘｔＱ検出器を移動させるよう
に構成したことを特徴としている。

［実施例］ 以下本発明を図面に基づぎ詳述する。

第１図は本発明の一実施例を示す構成図で、第２図はそ
の要部を示す図である。尚、第１図及び第２図において
、従来装置と同一構成要素には同一番号を付してその説
明を省略する。第１図及び第２図において、Ｇ　Ｇ；Ｉ
Ｌ基板４に形成されたＸ線検出器１５の位置決めを行な
う第２のガイドとしてＩＩ能する案内溝で、該案内溝Ｇ
は分光結晶１３を第１の直線ガイド５に沿って移動させ
た場合のＸ線集光点の移動軌跡であるレムニスケート曲
線形状に形成されている。２１は検出器１５の支持棒１
５ａに圧入されたベアリングで、該ベアリング２１は前
記案内溝ＧにΔＧの微小間隙をもって嵌っている。この
微小間隙ＧはＸ線検出器１５を移動させた場合に、ベア
リング２１を案内溝Ｇの溝端部に沿って滑かに回転させ
るためのものである。

２２ａ、２２ｂはスプリングである。

このように構成された装置では、モータ６を駆動すると
前述の如く分光結晶１３は結晶面を回転させながら、直
線Ａに沿って移動する。一方、検出器台１４は案内レー
ル９に沿って動くようにされていると共に、支持棒１５
ａによって案内溝Ｇに沿って動くようにされているため
、移動板８の移動に伴いＸ線検出器１５の位置は常に上
記条件を満たすものとして該ベルト１９の張力によらず
に定められる。又、この際分光結晶１３の結晶面の回転
とＸ線検出器１５の方向の回転は従来と同じようにベル
ト１９によって伝達される力をプーリ１２，１８を介し
て前記両者に伝えることによって行なわれる。この様に
して、分光結晶１３が結晶面を回転させながら直線Ａに
沿って移動すると、Ｘ線検出器１５は分光結晶１３によ
ってブラック反射されたｘｉの集光点の移動に追従する
ように移動する。

第３図は本発明の他の実施例を説明するための図である
。第１図の実施例においては、分光結晶１３をローラン
ド円上に位置付けるための第１のガイドを移動板８に設
けられた円弧状の案内レール９により構成したが、第３
図に示すように、移動板８′にアーム２３の一端を固定
して、＠端に検出器１５′を配置することにより、円弧
状レールと代えることもでき、この場合にも案内溝Ｇの
双方に案内されて航記Ｘ線検出器を移動させることによ
り、最初の実施例と同様の効果を達成できる。

第４図は本発明の更に他の実施例を示すためのもので、
図中第３図と同一の構成要素に対しては同一番号を付し
ている。

この実施例においては、直線ガイド７及び移動板８に代
えて、スライダー１０を中心として回転自在に取り付け
られたアーム２４を設けると共に、アーム２４とアーム
２３との連結点をガイドするための円弧状ガイド溝２５
を設けたもので、このようにしても前述した実施例と同
様の効果を達成することができる。

尚、上記実施例においては、前記第２のガイドとして案
内溝Ｇを形成したが、航記Ｘ線の集光点の軌跡の形状を
有する案内レールを前記基板に設けても良い。。

［発明の効果コ 以上詳述した様に本発明によれば、ＸＩｉ！検出器は前
記検出器をローランド円上に位置付けるための第１のガ
イドと、Ｘ線集光点の軌跡の形状を有する第２のガイド
の双方に案内されて移動するため、Ｘｍ検出器の位置決
めにはベルト等の弛みの影響が介入することない。従っ
て、Ｘｎ検出器を常にＸ線集光位置に正確に位置付ける
ことができるため、Ｘ線分光における波長分解能を向上
させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図はその要部
を説明するための図、第３図は他の実施例を説明するた
めの図、第４図は更に他の実施例を説明するための図、
第５図は従来装置を説明するための図である。 １：対物レンズ、２：試料、３：電子線、４：基板、５
：第１の直線ガイド、６：モータ、７：第２の直線ガイ
ド、８：移動板、９：案内レール、１０．１１ニスライ
ダー、１２：プーリ、１３：分光結晶、１４：検出器台
、１５：Ｘ線検出器、１６：スプリング、１７：ワイヤ
ー、１８：プーリ、１９：定長ベルト、２０ａ、２０ｂ
：ベルト固定率、２１：べ７　＋）　＞　’ｊ、２２ａ
、２２ｂニスプリング、２３，２４：アーム、Ｒ：ロー
ランド円、Ｇ：案内溝２５：円弧状ガイド溝 特許出願人　　日本電子株式会社 第２図 バ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 直線ガイドに沿つて湾曲分光結晶の直線移動と回動を可
   能となし、前記分光結晶からブラック反射されたＸ線の
   集光点が前記直線移動と回転に伴って移動するのに追随
   してＸ線検出器が配置されるようにＸ線検出器の移動を
   ガイドするための検出器ガイド手段を備えたＸ線分析装
   置用ゴニオメータにおいて、前記検出器ガイド手段は前
   記検出器を常にローランド円上に位置付けるための第１
   のガイドと、前記直線移動と回転に伴う前記Ｘ線の集光
   点の軌跡の形状を有する第２のガイドとから成り、該第
   １、第２の該ガイドとの双方に案内されて前記Ｘ線検出
   器を移動させるように構成したことを特徴とするＸ線分
   析装置用ゴニオメータ。