JPS6342740B2 - - Google Patents
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- JPS6342740B2 JPS6342740B2 JP55148059A JP14805980A JPS6342740B2 JP S6342740 B2 JPS6342740 B2 JP S6342740B2 JP 55148059 A JP55148059 A JP 55148059A JP 14805980 A JP14805980 A JP 14805980A JP S6342740 B2 JPS6342740 B2 JP S6342740B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulley
- slider
- arm
- shaft
- fixed
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- Expired
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 14
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はＸ線マイクロアナライザー等に用いら
れるＸ線分光器に関する。
れるＸ線分光器に関する。
Ｘ線マイクロアナライザー等に設置されるゴニ
オメーターにおいては、従来試料面上で角θをな
して交わる２本の定直線のうちの一方に沿つてネ
ジを刻設した回転軸を設け、該回転軸に移動片を
螺合し、ローランド円と同一半径を有する弧状ア
ームの一端を該移動片に対して回転自在に取り付
けると共に前記定直線の他方に沿つて該弧状アー
ムの他端を移動できるように係合し、該弧状アー
ムと前記回転軸との交点に分光結晶を弧状アーム
に一体化して取り付け、一方弧状アームに沿つて
検出器が移動できるように構成し、更に前記回転
軸の回転に伴う分光結晶の直線移動に連動してＸ
線検出器を常に回折Ｘ線の集中位置に移動させる
ため複数のプーリーと、これらに装架されるワイ
ヤー等からなる連係手段とを有している。
オメーターにおいては、従来試料面上で角θをな
して交わる２本の定直線のうちの一方に沿つてネ
ジを刻設した回転軸を設け、該回転軸に移動片を
螺合し、ローランド円と同一半径を有する弧状ア
ームの一端を該移動片に対して回転自在に取り付
けると共に前記定直線の他方に沿つて該弧状アー
ムの他端を移動できるように係合し、該弧状アー
ムと前記回転軸との交点に分光結晶を弧状アーム
に一体化して取り付け、一方弧状アームに沿つて
検出器が移動できるように構成し、更に前記回転
軸の回転に伴う分光結晶の直線移動に連動してＸ
線検出器を常に回折Ｘ線の集中位置に移動させる
ため複数のプーリーと、これらに装架されるワイ
ヤー等からなる連係手段とを有している。
このような従来のゴニオメーターにおいては、
前述したように分光結晶を移動させるためにネジ
を刻設した長い回転軸を用いているが、この回転
軸のネジの精度がゴニオメーターの精度に大きく
関与するため、このような回転軸は高精度なもの
が望まれるが、長ネジの高精度加工は難かしいた
め高価となる。又このような長い回転軸はそれ自
体重いため、高速に回転させるのに適しておら
ず、そのためゴニオメーターを高速で駆動させる
ことはできない。更に又、従来においては分光結
晶が取り付けられた軸に設けられたプーリーに装
架されるワイヤーは該プーリーに１回巻き付けら
れて他のプーリーに装架されるため、ワイヤーを
同一平面内に装架することができず従つて高精度
にゴニオメーターを駆動することができない。
前述したように分光結晶を移動させるためにネジ
を刻設した長い回転軸を用いているが、この回転
軸のネジの精度がゴニオメーターの精度に大きく
関与するため、このような回転軸は高精度なもの
が望まれるが、長ネジの高精度加工は難かしいた
め高価となる。又このような長い回転軸はそれ自
体重いため、高速に回転させるのに適しておら
ず、そのためゴニオメーターを高速で駆動させる
ことはできない。更に又、従来においては分光結
晶が取り付けられた軸に設けられたプーリーに装
架されるワイヤーは該プーリーに１回巻き付けら
れて他のプーリーに装架されるため、ワイヤーを
同一平面内に装架することができず従つて高精度
にゴニオメーターを駆動することができない。
更に又、ワイヤーのたるみを無くするために引
張りバネ等を使用しているが、この引張りバネが
Ｘ線検出器の移動に伴い伸縮し、検出器を引張る
力が変動し、ゴニオメーターの動きに円滑さを欠
く原因となつている。
張りバネ等を使用しているが、この引張りバネが
Ｘ線検出器の移動に伴い伸縮し、検出器を引張る
力が変動し、ゴニオメーターの動きに円滑さを欠
く原因となつている。
本発明はこのような従来のＸ線マイクロアナラ
イザー等におけるゴニオメーターの欠点を解決す
べくなされたもので、試料面上で角θをなして交
わる２本の定直線Ａ，Ｂのうち定直線Ａに沿つて
第１の案内手段６を設け、定直線Ｂに沿つて第２
の案内手段７を設け、該第１の案内手段に案内さ
れて移動可能な第１の摺動子８と、該第２の案内
手段に案内されて移動可能なスライド軸受け１１
を設け、第１の軸１０により一端が第１の摺動子
８に対して回転可能に取り付けられていると共に
他端が第２の軸により前記スライド軸受けに対し
て回転可能に取り付けられた移動板９，３０を設
け、検出器３をローランド円に沿つて移動させる
ための円弧移動案内手段を該移動板に設け、前記
第１の軸１０の回りで回転可能に分光結晶２を取
り付けるようにしたＸ線分光器において、前記第
１の軸１０の回りで回転可能なように前記移動板
上にアーム１２を設け、該アームに該アームに沿
う直線状の案内１３を設け、前記検出器を載置す
る第２の摺動子１４を該直線案内１３に沿つて移
動可能に設けると共に該第２の摺動子に設けられ
た第３の軸１５が前記円弧移動案内手段によつて
案内されるようにし、前記第１の案内手段の一端
の近傍に駆動源１８によつて回転させられる第１
のプーリー１７を設け、前記第１の軸１０の回り
に回転可能に第２、第３のプーリー２０ａ，２０
ｂを取り付け、前記直線案内１３の第１の軸１
０′とは反対側の端部近傍に位置するように前記
アームに第４のプーリー２１を取り付け、前記第
１の案内手段の他方の端部近傍に第５のプーリー
２３を設け、該取り付けにあたつて第１、第２の
プーリーの取り付け高さを共通な第１の高さにす
ると共に、前記第３、第４、第５のプーリーの取
り付け高さを前記第１の高さと異なる第２の高さ
になし、前記第１の摺動子の一端に固定され、前
記第１のプーリーに掛けられ、前記第２のプーリ
ーに接触し、前記第２の摺動子の一端に固定され
た第１の定長ケーブル２４を設け、前記第１の摺
動子８の他端に固定され、前記第５のプーリーに
掛けられ、第３のプーリーに接触し、第４のプー
リーに掛けられ、第２の摺動子の他端に固定され
た第２の定長ケーブル２７を設け、前記第１、第
２のケーブルを緊張状態に維持するため前記第４
のプーリーに前記第１の軸１０から離れる向きの
弾性力を与えるためのスプリング２２を前記アー
ムに取り付けたことを特徴としている。
イザー等におけるゴニオメーターの欠点を解決す
べくなされたもので、試料面上で角θをなして交
わる２本の定直線Ａ，Ｂのうち定直線Ａに沿つて
第１の案内手段６を設け、定直線Ｂに沿つて第２
の案内手段７を設け、該第１の案内手段に案内さ
れて移動可能な第１の摺動子８と、該第２の案内
手段に案内されて移動可能なスライド軸受け１１
を設け、第１の軸１０により一端が第１の摺動子
８に対して回転可能に取り付けられていると共に
他端が第２の軸により前記スライド軸受けに対し
て回転可能に取り付けられた移動板９，３０を設
け、検出器３をローランド円に沿つて移動させる
ための円弧移動案内手段を該移動板に設け、前記
第１の軸１０の回りで回転可能に分光結晶２を取
り付けるようにしたＸ線分光器において、前記第
１の軸１０の回りで回転可能なように前記移動板
上にアーム１２を設け、該アームに該アームに沿
う直線状の案内１３を設け、前記検出器を載置す
る第２の摺動子１４を該直線案内１３に沿つて移
動可能に設けると共に該第２の摺動子に設けられ
た第３の軸１５が前記円弧移動案内手段によつて
案内されるようにし、前記第１の案内手段の一端
の近傍に駆動源１８によつて回転させられる第１
のプーリー１７を設け、前記第１の軸１０の回り
に回転可能に第２、第３のプーリー２０ａ，２０
ｂを取り付け、前記直線案内１３の第１の軸１
０′とは反対側の端部近傍に位置するように前記
アームに第４のプーリー２１を取り付け、前記第
１の案内手段の他方の端部近傍に第５のプーリー
２３を設け、該取り付けにあたつて第１、第２の
プーリーの取り付け高さを共通な第１の高さにす
ると共に、前記第３、第４、第５のプーリーの取
り付け高さを前記第１の高さと異なる第２の高さ
になし、前記第１の摺動子の一端に固定され、前
記第１のプーリーに掛けられ、前記第２のプーリ
ーに接触し、前記第２の摺動子の一端に固定され
た第１の定長ケーブル２４を設け、前記第１の摺
動子８の他端に固定され、前記第５のプーリーに
掛けられ、第３のプーリーに接触し、第４のプー
リーに掛けられ、第２の摺動子の他端に固定され
た第２の定長ケーブル２７を設け、前記第１、第
２のケーブルを緊張状態に維持するため前記第４
のプーリーに前記第１の軸１０から離れる向きの
弾性力を与えるためのスプリング２２を前記アー
ムに取り付けたことを特徴としている。
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例を示すためのもの
で、第１図において試料１、結晶２、検出器３は
ローランドサークル４上に試料１と結晶２、結晶
２と検出器３とを結ぶ弦の距離が常に等しくなる
様に配置されており、結晶２及び検出器３は基板
５上でＸ線の回折条件を満足して移動可能に構成
されている。即ち第１図において、試料１には電
子線EBが投射され、投射点よりＸ線が発生する。
該投射点において一定角θで交じわる２本の定直
線Ａ−A′，Ｂ−B′に沿つて各々案内６及び７が
基板５上に設置されている。案内６には第１の摺
動子８が嵌合されている。９はローランド円４と
同一曲率の弧状レールを有する弧状アームであ
り、該弧状アーム９の一端は軸１０により前記摺
動子８に対して回転自在に取り付けられていると
共に、その他端はスライド軸受１１を介して前記
他方の案内７に沿つて移動できるようになつてい
る。前記軸１０にはアーム１２が該軸に対して回
転自在に取り付けられている。該アーム１２には
案内１３が取り付けられており、該案内１３には
第２の摺動子１４が嵌合されている。該第２の摺
動子１４の下面には軸１５があり、該軸１５を介
して第２の摺動子１４は弧状アーム９に沿つて移
動する台車１６に対して回転のみ可能に取り付け
られている。該第２の摺動子１４には前記検出器
３が固定されている。前記案内６の一端の近傍に
は第１のプーリー１７が取り付けられており、該
プーリー１７はモータ１８の回転をウオームギア
１９を介して伝達されて回転する。前記軸１０に
は第２、第３のプーリー２０ａ，２０ｂが上下に
取り付けられており、そのうち下側の第２のプー
リー２０ａは第１のプーリー１７と同じ高さに設
置されている。前記アーム１２には更に第４のプ
ーリー２１が引張バネ２２に張架されて設置され
ている。該第４のプーリー２１の基板５からの取
付け高さは上側の第３のプーリー２０ｂと共通に
なつている。更に前記案内６の他方の端部近傍に
は第５のプーリー２３が取り付けられている。該
第５のプーリー２３は軸１０を中心に回転するよ
うに取り付けられた２個のプーリーのうち上側の
第３のプーリー２０ｂと同じ高さに取り付けられ
ている。２４は第１のケーブルであり、該ケーブ
ル２６は第１の摺動子８に取り付けられた固定ピ
ン２５より発し、第１のプーリー１７に掛けら
れ、第２のプーリー２０ａに接触した後、第２の
据動子１４に取り付けられた固定ピン２６で終わ
る。固定ピン２５，２６の取り付け位置は第１の
ケーブル２４が同一平面上にあるようにその高さ
が選ばれている。２７は第２のケーブルであり、
該第２のケーブルは第１の摺動子８に取り付けら
れた固定ピン２８から発し、第５のプーリー２３
に掛けられ、第３のプーリー２０ｂに接触した
後、第４のプーリー２１に掛けられ第２の摺動子
１４に取り付けられた固定ピン２９で終わる。こ
れら固定ピン２８，２９も第２のケーブル２７が
同一平面上にあるようにその取り付け高さが選ば
れている。尚、結晶２は第２、第３のプーリー２
０ａ，２０ｂよりも上方において軸１０に固定さ
れており、第１のプーリー１７は該プーリーの回
転に伴つてケーブル２４をすべることなく移動さ
せるため、ケーブルに接触する表面が特殊加工さ
れている。又、第１のケーブルと第２のケーブル
の取り付けは、取り付け高ささえ異ならせれば、
１本のケーブルだけで（それを分割することな
く）行うこともできる。
で、第１図において試料１、結晶２、検出器３は
ローランドサークル４上に試料１と結晶２、結晶
２と検出器３とを結ぶ弦の距離が常に等しくなる
様に配置されており、結晶２及び検出器３は基板
５上でＸ線の回折条件を満足して移動可能に構成
されている。即ち第１図において、試料１には電
子線EBが投射され、投射点よりＸ線が発生する。
該投射点において一定角θで交じわる２本の定直
線Ａ−A′，Ｂ−B′に沿つて各々案内６及び７が
基板５上に設置されている。案内６には第１の摺
動子８が嵌合されている。９はローランド円４と
同一曲率の弧状レールを有する弧状アームであ
り、該弧状アーム９の一端は軸１０により前記摺
動子８に対して回転自在に取り付けられていると
共に、その他端はスライド軸受１１を介して前記
他方の案内７に沿つて移動できるようになつてい
る。前記軸１０にはアーム１２が該軸に対して回
転自在に取り付けられている。該アーム１２には
案内１３が取り付けられており、該案内１３には
第２の摺動子１４が嵌合されている。該第２の摺
動子１４の下面には軸１５があり、該軸１５を介
して第２の摺動子１４は弧状アーム９に沿つて移
動する台車１６に対して回転のみ可能に取り付け
られている。該第２の摺動子１４には前記検出器
３が固定されている。前記案内６の一端の近傍に
は第１のプーリー１７が取り付けられており、該
プーリー１７はモータ１８の回転をウオームギア
１９を介して伝達されて回転する。前記軸１０に
は第２、第３のプーリー２０ａ，２０ｂが上下に
取り付けられており、そのうち下側の第２のプー
リー２０ａは第１のプーリー１７と同じ高さに設
置されている。前記アーム１２には更に第４のプ
ーリー２１が引張バネ２２に張架されて設置され
ている。該第４のプーリー２１の基板５からの取
付け高さは上側の第３のプーリー２０ｂと共通に
なつている。更に前記案内６の他方の端部近傍に
は第５のプーリー２３が取り付けられている。該
第５のプーリー２３は軸１０を中心に回転するよ
うに取り付けられた２個のプーリーのうち上側の
第３のプーリー２０ｂと同じ高さに取り付けられ
ている。２４は第１のケーブルであり、該ケーブ
ル２６は第１の摺動子８に取り付けられた固定ピ
ン２５より発し、第１のプーリー１７に掛けら
れ、第２のプーリー２０ａに接触した後、第２の
据動子１４に取り付けられた固定ピン２６で終わ
る。固定ピン２５，２６の取り付け位置は第１の
ケーブル２４が同一平面上にあるようにその高さ
が選ばれている。２７は第２のケーブルであり、
該第２のケーブルは第１の摺動子８に取り付けら
れた固定ピン２８から発し、第５のプーリー２３
に掛けられ、第３のプーリー２０ｂに接触した
後、第４のプーリー２１に掛けられ第２の摺動子
１４に取り付けられた固定ピン２９で終わる。こ
れら固定ピン２８，２９も第２のケーブル２７が
同一平面上にあるようにその取り付け高さが選ば
れている。尚、結晶２は第２、第３のプーリー２
０ａ，２０ｂよりも上方において軸１０に固定さ
れており、第１のプーリー１７は該プーリーの回
転に伴つてケーブル２４をすべることなく移動さ
せるため、ケーブルに接触する表面が特殊加工さ
れている。又、第１のケーブルと第２のケーブル
の取り付けは、取り付け高ささえ異ならせれば、
１本のケーブルだけで（それを分割することな
く）行うこともできる。
このような構成において、いまモータ１８によ
り第１のプーリー１７を例えば矢印Ｒの向きに回
転させれば、第１、第２のケーブル２４，２７は
矢印Ｋの向きに移動し、そのため結晶２は第１の
摺動子８と共に矢印Ｍの向きに案内６に沿つて直
線移動する。このとき同時に弧状アーム９も案内
６，７に沿つて反時計回りに回転するため、結晶
２の表面も該弧状アーム９と同様に回転する。一
方この時同時に検出器３は第２の摺動子１４と共
に案内１３に沿つて矢印Ｎの向きに移動すると共
に、台車１６と共に弧状アーム９に沿つて反時計
回りに回転する。このようにして、結晶２の移動
に追随して検出器３の位置も回折Ｘ線の集中位置
に一致するように移動し、ゴニオメーターは検出
Ｘ線の波長走査を行う。
り第１のプーリー１７を例えば矢印Ｒの向きに回
転させれば、第１、第２のケーブル２４，２７は
矢印Ｋの向きに移動し、そのため結晶２は第１の
摺動子８と共に矢印Ｍの向きに案内６に沿つて直
線移動する。このとき同時に弧状アーム９も案内
６，７に沿つて反時計回りに回転するため、結晶
２の表面も該弧状アーム９と同様に回転する。一
方この時同時に検出器３は第２の摺動子１４と共
に案内１３に沿つて矢印Ｎの向きに移動すると共
に、台車１６と共に弧状アーム９に沿つて反時計
回りに回転する。このようにして、結晶２の移動
に追随して検出器３の位置も回折Ｘ線の集中位置
に一致するように移動し、ゴニオメーターは検出
Ｘ線の波長走査を行う。
第２図は、更に他の実施例を示すためのもので
第２図においては第１図と同一の構成要素に対し
ては同一番号が付されている。
第２図においては第１図と同一の構成要素に対し
ては同一番号が付されている。
第２図に示す実施例において、第１図に示した
実施例と異なり、弧状アーム９に代えて部材３０
を設けている。該部材３０はその一端が第１の摺
動子８と共に案内６に沿つて移動し、その他端が
案内７に沿つて移動するところは弧状アーム９と
変わらないが、該部材３０にはローランド円と同
一曲率の弧状のレールはなく、その代わりに軸３
１によつて回転するアーム３２が備えられてい
る。軸３１からローランド円の半径だけ離れた該
アーム３２の先端には軸穴があり、該軸穴には前
記軸１５が挿入されている。
実施例と異なり、弧状アーム９に代えて部材３０
を設けている。該部材３０はその一端が第１の摺
動子８と共に案内６に沿つて移動し、その他端が
案内７に沿つて移動するところは弧状アーム９と
変わらないが、該部材３０にはローランド円と同
一曲率の弧状のレールはなく、その代わりに軸３
１によつて回転するアーム３２が備えられてい
る。軸３１からローランド円の半径だけ離れた該
アーム３２の先端には軸穴があり、該軸穴には前
記軸１５が挿入されている。
このような構成においては、アーム３２が弧状
アームのレールと同じような働きをして検出器３
を正しく回折Ｘ線の集中位置に導くため、前述し
た実施例と同様に実施することができる。
アームのレールと同じような働きをして検出器３
を正しく回折Ｘ線の集中位置に導くため、前述し
た実施例と同様に実施することができる。
上述したように、本発明に基づくＸ線分光器に
おいては、プーリーの回転によつて移動するケー
ブルによつて力を伝達し、分光結晶及び検出器を
各々の案内に沿つて移動させるようにしており、
ネジの刻設された長くて重い回転軸を使用してい
ないので、装置を低コストで製作することがで
き、又高速で駆動させることができる。又、使用
するケーブルはプーリーに１回以上巻きつけて張
架することがないため、第１のケーブルを同一平
面内に張架することができると共に、第２のケー
ブルも該平面に平行な同一平面内に張架すること
ができ、ケーブル或はワイヤーが互いに傾斜して
張架されることによつて生ずる精度の低下を除き
高精度のゴニオメーターを提供できる。
おいては、プーリーの回転によつて移動するケー
ブルによつて力を伝達し、分光結晶及び検出器を
各々の案内に沿つて移動させるようにしており、
ネジの刻設された長くて重い回転軸を使用してい
ないので、装置を低コストで製作することがで
き、又高速で駆動させることができる。又、使用
するケーブルはプーリーに１回以上巻きつけて張
架することがないため、第１のケーブルを同一平
面内に張架することができると共に、第２のケー
ブルも該平面に平行な同一平面内に張架すること
ができ、ケーブル或はワイヤーが互いに傾斜して
張架されることによつて生ずる精度の低下を除き
高精度のゴニオメーターを提供できる。
更にケーブルのたるみを無くすための引張バネ
２２はアーム１２が移動しても全く伸縮すること
はなく、円滑な駆動を行うことができる。
２２はアーム１２が移動しても全く伸縮すること
はなく、円滑な駆動を行うことができる。
第１図は本発明の一実施例を示すための図であ
り、第２図は本発明の他の実施例を示すための図
である。 １：試料、２：結晶、３：検出器、４：ローラ
ンド円、５：基板、６，７，１３：案内、８，１
４：摺動子、９：弧状アーム、１０，１５，３
１：軸、１１：スライド軸受、１２，３２：アー
ム、１６：台車、１７，２０ａ，２０ｂ，２１，
２３：プーリー、１８：モータ、１９：ウオーム
ギア、２２：引張バネ、２４，２７：ケーブル、
２５，２６，２８，２９：固定ピン、３０：部
材。
り、第２図は本発明の他の実施例を示すための図
である。 １：試料、２：結晶、３：検出器、４：ローラ
ンド円、５：基板、６，７，１３：案内、８，１
４：摺動子、９：弧状アーム、１０，１５，３
１：軸、１１：スライド軸受、１２，３２：アー
ム、１６：台車、１７，２０ａ，２０ｂ，２１，
２３：プーリー、１８：モータ、１９：ウオーム
ギア、２２：引張バネ、２４，２７：ケーブル、
２５，２６，２８，２９：固定ピン、３０：部
材。
Claims (1)
- １ 試料面上で角θをなして交わる２本の定直線
Ａ，Ｂのうち定直線Ａに沿つて第１の案内手段６
を設け、定直線Ｂに沿つて第２の案内手段７を設
け、該第１の案内手段に案内されて移動可能な第
１の摺動子８と、該第２の案内手段に案内されて
移動可能なスライド軸受け１１を設け、第１の軸
１０により一端が第１の摺動子８に対して回転可
能に取り付けられていると共に他端が第２の軸に
より前記スライド軸受けに対して回転可能に取り
付けられた移動板９，３０を設け、検出器３をロ
ーランド円に沿つて移動させるための円弧移動案
内手段を該移動板に設け、前記第１の軸１０の回
りで回転可能に分光結晶２を取り付けるようにし
たＸ線分光器において、前記第１の軸１０の回り
で回転可能なように前記移動板上にアーム１２を
設け、該アームに該アームに沿う直線状の案内１
３を設け、前記検出器を載置する第２の摺動子１
４を該直線案内１３に沿つて移動可能に設けると
共に該第２の摺動子に設けられた第３の軸１５が
前記円弧移動案内手段によつて案内されるように
し、前記第１の案内手段の一端の近傍に駆動源１
８によつて回転させられる第１のプーリー１７を
設け、前記第１の軸１０の回りに回転可能に第
２、第３のプーリー２０ａ，２０ｂを取り付け、
前記直線案内１３の第１の軸１０とは反対側の端
部近傍に位置するように前記アームに第４のプー
リー２１を取り付け、前記第１の案内手段の他方
の端部近傍に第５のプーリー２３を設け、該取り
付けにあたつて第１、第２のプーリーの取り付け
高さを共通な第１の高さにすると共に、前記第
３、第４、第５のプーリーの取り付け高さを前記
第１の高さと異なる第２の高さになし、前記第１
の摺動子の一端に固定され、前記第１のプーリー
に掛けられ、前記第２のプーリーに接触し、前記
第２の摺動子の一端に固定された第１の定長ケー
ブル２４を設け、前記第１の摺動子８の他端に固
定され、前記第５のプーリーに掛けられ、第３の
プーリーに接触し、第４のプーリーに掛けられ、
第２の摺動子の他端に固定された第２の定長ケー
ブル２７を設け、前記第１、第２のケーブルを緊
張状態に維持するため前記第４のプーリーに前記
第１の軸１０から離れる向きの弾性力を与えるた
めのスプリング２２を前記アームに取り付けたこ
とを特徴とするＸ線分光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55148059A JPS5772051A (en) | 1980-10-22 | 1980-10-22 | X-ray microanalyzer and other goniometers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55148059A JPS5772051A (en) | 1980-10-22 | 1980-10-22 | X-ray microanalyzer and other goniometers |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5772051A JPS5772051A (en) | 1982-05-06 |
| JPS6342740B2 true JPS6342740B2 (ja) | 1988-08-25 |
Family
ID=15444252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55148059A Granted JPS5772051A (en) | 1980-10-22 | 1980-10-22 | X-ray microanalyzer and other goniometers |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5772051A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4632167B2 (ja) * | 2001-02-01 | 2011-02-16 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線分光器 |
-
1980
- 1980-10-22 JP JP55148059A patent/JPS5772051A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5772051A (en) | 1982-05-06 |
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