JPH01128399A - 粒子加速管の製造装置 - Google Patents
粒子加速管の製造装置Info
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- JPH01128399A JPH01128399A JP28465887A JP28465887A JPH01128399A JP H01128399 A JPH01128399 A JP H01128399A JP 28465887 A JP28465887 A JP 28465887A JP 28465887 A JP28465887 A JP 28465887A JP H01128399 A JPH01128399 A JP H01128399A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、電子等の粒子を加速する際に用いられる粒子
加速管の製造装置に関するものである。
加速管の製造装置に関するものである。
［従来の技術］
原子力等の分野では電子等の粒子を加速して高エネルギ
粒子とし、粒子の高エネルギを医療等種々分野に利用し
ているが、この粒子の加速は第３図に示す粒子加速管１
により行っている。
粒子とし、粒子の高エネルギを医療等種々分野に利用し
ているが、この粒子の加速は第３図に示す粒子加速管１
により行っている。
粒子加速管１は所要の軸心方向に所要間隔で中心側に張
出す鍔部２を有しており、加速される電子ｅ′″は鍔部
２の中央の孔３を通過し、この孔３を通過する際に、高
周波電流により生じる電場により加速される。
出す鍔部２を有しており、加速される電子ｅ′″は鍔部
２の中央の孔３を通過し、この孔３を通過する際に、高
周波電流により生じる電場により加速される。
前記した様に粒子加速管１には高周波の電流を流すので
できるだけ電気的抵抗の小さい無酸素銅の様な材料で作
られなければならない。
できるだけ電気的抵抗の小さい無酸素銅の様な材料で作
られなければならない。
従って、従来では粒子加速管を無酸素銅材料を切削して
作るか、或は高周波電流は表面を流れるのでステンレス
材等を地金として表面に無酸素鋼のメツキ又は銅と銀の
混合メツキを行う等していた。
作るか、或は高周波電流は表面を流れるのでステンレス
材等を地金として表面に無酸素鋼のメツキ又は銅と銀の
混合メツキを行う等していた。
［発明が解決しようとする問題点］
然し、粒子加速管全部を無酸素鋼材料とすると無酸素鋼
は高価なものであるので不経済である。又、表面に銅の
メツキ層を形成する方法であると、メツキ層は凸エツジ
部に厚く形成され、又凹エツジ部或は特に電極に対して
影になる様な場所には極めて形成されないという特徴が
あり、粒子加速管の様に形状の複雑なものでは不向であ
る。又、メツキ層は微視的に観ると多孔質であり、この
点からも好ましくない。
は高価なものであるので不経済である。又、表面に銅の
メツキ層を形成する方法であると、メツキ層は凸エツジ
部に厚く形成され、又凹エツジ部或は特に電極に対して
影になる様な場所には極めて形成されないという特徴が
あり、粒子加速管の様に形状の複雑なものでは不向であ
る。又、メツキ層は微視的に観ると多孔質であり、この
点からも好ましくない。
本発明は上記実情に鑑み、安価で製品品質のよい粒子加
速管を提供しようとするものである。
速管を提供しようとするものである。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、真空容器に電子銃を設け、被蒸発金属棒材を
電子ビーム通過路に合致させて保持すると共に移動させ
得る様にした棒材移動装置を前記電子銃と対峙する位置
に設け、粒子加速管を真空容器内に電子ビーム通過路と
軸心が合致する様設置可能としたことを特徴とするもの
である。
電子ビーム通過路に合致させて保持すると共に移動させ
得る様にした棒材移動装置を前記電子銃と対峙する位置
に設け、粒子加速管を真空容器内に電子ビーム通過路と
軸心が合致する様設置可能としたことを特徴とするもの
である。
［作 用］
電子銃より棒材端面に電子ビームを照射し、被蒸発金属
を蒸発させ、粒子加速管の内面に金属を蒸着させる。
を蒸発させ、粒子加速管の内面に金属を蒸着させる。
又、蒸着の進行に伴い棒材を移動させ、その端面位置を
未蒸着部のある方へ移動させ、粒子加速管内面全域に亘
って金属の蒸着を行う。
未蒸着部のある方へ移動させ、粒子加速管内面全域に亘
って金属の蒸着を行う。
［実 施 例］
以下図面を参照しつつ本発明の１実施例を説明する。
製造すべき粒子加速管１を収納する筒状の真空容器４の
上端面に電子銃５を設け、他端面に該電子銃５と対峙さ
せ被蒸発金属移動装置６を設ける。該移動装置６は、被
蒸発金属の棒材７を前記電子銃５から発せられる電子ｅ
′″の通過路と合致させて保持し、互譲棒材７を所定の
速度で移動装置６側へ引込み得る様になっている。
上端面に電子銃５を設け、他端面に該電子銃５と対峙さ
せ被蒸発金属移動装置６を設ける。該移動装置６は、被
蒸発金属の棒材７を前記電子銃５から発せられる電子ｅ
′″の通過路と合致させて保持し、互譲棒材７を所定の
速度で移動装置６側へ引込み得る様になっている。
又、前記真空容器４は粒子加速管１を電子ビーム通過路
に軸心が一致し得る様保持（或は粒子加速管１を設置）
可能となっている。尚、真空容器４は図では特に示して
いないが、粒子加速管ｌ装入取出用の扉が設けられ、内
部は気密となっている。
に軸心が一致し得る様保持（或は粒子加速管１を設置）
可能となっている。尚、真空容器４は図では特に示して
いないが、粒子加速管ｌ装入取出用の扉が設けられ、内
部は気密となっている。
図中８真空ポンプ、９は移動装置６の制御装置である。
以下作動を説明する。
真空容器４内に粒子加速管ｌを設置し、移動装置９によ
り棒材７をその上端が粒子加速管１の上端近傍位置とな
る様送出す。
り棒材７をその上端が粒子加速管１の上端近傍位置とな
る様送出す。
この状態で電子銃５を動作させ、電子ビームを棒材７上
端面に向けて発射させ、電子ビームのもつエネルギによ
り棒材７を溶融蒸発させる。
端面に向けて発射させ、電子ビームのもつエネルギによ
り棒材７を溶融蒸発させる。
蒸発した金属蒸気は粒子加速管Ｉの内面に蒸着する。
この時の金属蒸気の到達方向の距離γは第２図に示す如
くであり、 γヴｃｏｓ０θ の関係がある。ここで被蒸発金属が銅の場合はｎ−２〜
３である。
くであり、 γヴｃｏｓ０θ の関係がある。ここで被蒸発金属が銅の場合はｎ−２〜
３である。
従って、電子ビームの強さは粒子加速管ｌの管径、蒸着
層の厚みにより決定し、又棒材７の下降速度は蒸着層の
厚みにより決定する。 ４上記の如くして粒子加
速管ｌの上端から下端に亘る内面に銅金属の蒸着が終る
と、粒子加速管ｌを取出し、上下転倒させ、再び真空容
器４内に設置し、上記したと同様の作業を行う。
層の厚みにより決定し、又棒材７の下降速度は蒸着層の
厚みにより決定する。 ４上記の如くして粒子加
速管ｌの上端から下端に亘る内面に銅金属の蒸着が終る
と、粒子加速管ｌを取出し、上下転倒させ、再び真空容
器４内に設置し、上記したと同様の作業を行う。
尚、この往復作業により、１方向作業では第２図で示さ
れる影部分１０に充分な蒸着層が形成し得ない不都合が
解消される。
れる影部分１０に充分な蒸着層が形成し得ない不都合が
解消される。
又、内面の形状は均一でないので、より均一厚さの蒸着
層を形成しようとする場合は、棒材７先端が鍔部２を通
過する速度と、他の部分を移動する速度とを変化させて
もよい。
層を形成しようとする場合は、棒材７先端が鍔部２を通
過する速度と、他の部分を移動する速度とを変化させて
もよい。
尚、棒材７からの蒸発量が多い場合には棒材７を逆に上
昇させることもあり得る。
昇させることもあり得る。
［発明の効果コ
以上述べた如く本発明によれば、粒子加速管の内面に緻
密で不純物のない純度の高い良導電層を形成することが
でき、而も良電層の厚みは均一で必要最小限のものとす
ることができるので、材料費は大幅に安くなる。
密で不純物のない純度の高い良導電層を形成することが
でき、而も良電層の厚みは均一で必要最小限のものとす
ることができるので、材料費は大幅に安くなる。
第１図は本発明の１実施例の概略説明図、第２図は作動
説明図、第３図は粒子加速管の概要を示す説明図である
。 １は粒子加速管、４は真空容器、５は電子銃、６は移動
装置、７は棒材を示す。
説明図、第３図は粒子加速管の概要を示す説明図である
。 １は粒子加速管、４は真空容器、５は電子銃、６は移動
装置、７は棒材を示す。
Claims (1)
- １）真空容器に電子銃を設け、被蒸発金属棒材を電子ビ
ーム通過路に合致させて保持すると共に移動させ得る様
にした棒材移動装置を前記電子銃と対峙する位置に設け
、粒子加速管を真空容器内に電子ビーム通過路と軸心が
合致する様設置可能としたことを特徴とする粒子加速管
の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28465887A JPH01128399A (ja) | 1987-11-11 | 1987-11-11 | 粒子加速管の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28465887A JPH01128399A (ja) | 1987-11-11 | 1987-11-11 | 粒子加速管の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01128399A true JPH01128399A (ja) | 1989-05-22 |
Family
ID=17681308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28465887A Pending JPH01128399A (ja) | 1987-11-11 | 1987-11-11 | 粒子加速管の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01128399A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013501328A (ja) * | 2009-08-06 | 2013-01-10 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 導波管、特に誘電体壁加速器における導波管 |
| CN103068140A (zh) * | 2012-12-24 | 2013-04-24 | 江苏达胜加速器制造有限公司 | 一种电子负载抑制型高压加速管 |
| CN106676480A (zh) * | 2017-03-10 | 2017-05-17 | 南京大学 | 一种蒸发速率可控的电子束蒸发源 |
-
1987
- 1987-11-11 JP JP28465887A patent/JPH01128399A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013501328A (ja) * | 2009-08-06 | 2013-01-10 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 導波管、特に誘電体壁加速器における導波管 |
| CN103068140A (zh) * | 2012-12-24 | 2013-04-24 | 江苏达胜加速器制造有限公司 | 一种电子负载抑制型高压加速管 |
| CN106676480A (zh) * | 2017-03-10 | 2017-05-17 | 南京大学 | 一种蒸发速率可控的电子束蒸发源 |
| CN106676480B (zh) * | 2017-03-10 | 2019-11-08 | 南京大学 | 一种蒸发速率可控的电子束蒸发源 |
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