JPH01128230A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
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- JPH01128230A JPH01128230A JP28779887A JP28779887A JPH01128230A JP H01128230 A JPH01128230 A JP H01128230A JP 28779887 A JP28779887 A JP 28779887A JP 28779887 A JP28779887 A JP 28779887A JP H01128230 A JPH01128230 A JP H01128230A
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- Pending
Links
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Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔分野の概要〕
本発明は磁気記録媒体の製造装置に関するものである。
従来この種の製造装置の概略図を第４図に示す。
真空ポンプ（図示せず）を用いて１Ｏ−７Ｔｏｒｒ程度
の高真空まで排気された真空槽２内において、巻き出し
ロール３に巻かれた高分子フィルム４は、ガイドロール
５を通ってキャン６の表面に密着して搬送され、キャン
６に対向して設けられかつ蒸着法を用いた磁気記録膜形
成機構７によって、高分子フィルム上に磁性薄膜８が形
成され、後ガイドロール５１を通って巻き取りロール９
に巻取られることにより磁気記録媒体１０を製造するも
のである。
の高真空まで排気された真空槽２内において、巻き出し
ロール３に巻かれた高分子フィルム４は、ガイドロール
５を通ってキャン６の表面に密着して搬送され、キャン
６に対向して設けられかつ蒸着法を用いた磁気記録膜形
成機構７によって、高分子フィルム上に磁性薄膜８が形
成され、後ガイドロール５１を通って巻き取りロール９
に巻取られることにより磁気記録媒体１０を製造するも
のである。
ところが真空槽２内の排気時及びリーク時に大量の気体
（主に空気）の移動が起こるため、真空槽２内に沈滞し
ていた塵が気体の乱気流にのって舞い上がり、これが帯
電した高分子フィルム４に付着するという欠点があった
。
（主に空気）の移動が起こるため、真空槽２内に沈滞し
ていた塵が気体の乱気流にのって舞い上がり、これが帯
電した高分子フィルム４に付着するという欠点があった
。
第５図にリーク後の真空槽内における塵の浮遊量を時間
的変化で表わす。
的変化で表わす。
真空槽２内部の慶は、大気中のほこり、高分子フィルム
４の搬送機構から発生する摩耗粉、又は高分子フィルム
４以外に形成された磁性薄膜が考えられるが、特に真空
槽２の内壁、高分子フィルム４の搬送機構の治具に形成
された磁性薄膜は、密着性が弱いためすぐに剥離しやす
いものであり、剥離した磁性薄膜が（以下これを磁性ダ
ストと記す）塵として多く発生することが解かっている
。
４の搬送機構から発生する摩耗粉、又は高分子フィルム
４以外に形成された磁性薄膜が考えられるが、特に真空
槽２の内壁、高分子フィルム４の搬送機構の治具に形成
された磁性薄膜は、密着性が弱いためすぐに剥離しやす
いものであり、剥離した磁性薄膜が（以下これを磁性ダ
ストと記す）塵として多く発生することが解かっている
。
これらの慶が高分子フィルム４に付着するとその上に磁
性薄膜８が形成され、これ等の塵が磁・ＶＪ′：薄膜８
内に混入したり、傷や突起を何けて磁性薄膜８の表面を
損なうことが生ずるために、磁気記録媒体の記録再生時
にドロップアウトを引き起こす原因となっていた。
性薄膜８が形成され、これ等の塵が磁・ＶＪ′：薄膜８
内に混入したり、傷や突起を何けて磁性薄膜８の表面を
損なうことが生ずるために、磁気記録媒体の記録再生時
にドロップアウトを引き起こす原因となっていた。
第６図は座１１が磁性薄膜内に混入した第４図に示す磁
気記録媒、体ｌＯの断面図である。第７図は第４図の磁
気記録媒体１０を加工して、磁気ディスクに成形した時
の出力特性のモジュレーションである。
気記録媒、体ｌＯの断面図である。第７図は第４図の磁
気記録媒体１０を加工して、磁気ディスクに成形した時
の出力特性のモジュレーションである。
本発明はこれらの欠点を除去するために真空槽内に浮遊
する塵が、高分子フィルム、磁性薄膜上へ付着するのを
防止するもので、品質の良い磁気記録媒体を製造するダ
スト集塵機構を備えた製造装置を提供することを目的と
する。
する塵が、高分子フィルム、磁性薄膜上へ付着するのを
防止するもので、品質の良い磁気記録媒体を製造するダ
スト集塵機構を備えた製造装置を提供することを目的と
する。
本発明は、真空槽内にダスト集塵機構を備えたもので、
真空槽の排気時、リーク時に浮遊する塵を静電気吸着に
よって集塵することにより高分子フィルムへの付着を防
いだことを特徴とする。
真空槽の排気時、リーク時に浮遊する塵を静電気吸着に
よって集塵することにより高分子フィルムへの付着を防
いだことを特徴とする。
第１図に本発明による磁気記録媒体製造装置の構成図を
示す。
示す。
］はダスト集塵機構であり、高分子フィルム４の周辺に
７台設置した。ダスト集塵機構Ｊは静電気発生機を内装
しており、稼動時にはダスト集塵機構１の外部に静電気
が帯びるようになっている。
７台設置した。ダスト集塵機構Ｊは静電気発生機を内装
しており、稼動時にはダスト集塵機構１の外部に静電気
が帯びるようになっている。
真空槽２の排気時、リーク時、及び磁性薄膜８の形成中
にダスト集塵機構１が稼動し、真空槽２内に浮遊する大
気から侵入したほこり、高分子フィルム４の搬送機構（
巻出しロール３、巻き取りロール９、ガイドロール５，
５１、キャン６の各軸受け、及び駆動歯車等）から発生
する摩耗粉、磁性ダスト等の塵を静電吸着により集塵す
る。
にダスト集塵機構１が稼動し、真空槽２内に浮遊する大
気から侵入したほこり、高分子フィルム４の搬送機構（
巻出しロール３、巻き取りロール９、ガイドロール５，
５１、キャン６の各軸受け、及び駆動歯車等）から発生
する摩耗粉、磁性ダスト等の塵を静電吸着により集塵す
る。
第２図に示すように真空槽２内を浮遊する塵を静電吸着
によりダスト集塵機構１に収集吸着することにより、高
分子フィルム４及び磁性Ｍ膜８上への何着を防ぐことが
出来る。 第２図は塵１１がダスト集塵機構１に吸着し
た図である。第５図に本発明を設置した真空槽２のリー
ク後に浮遊する塵の時間的変化を表わす。本発明による
ダスト集塵機構を磁気記録媒体を製造する真空槽内に取
り（ｑけることにより塵が磁性薄膜８内に混入すること
がなく、また磁性薄膜８に傷を付けることがないので記
録再生時にドロップアウトを生じることのない磁気記録
媒体１０を製造出来る。第３図に本発明による磁気記録
媒体の製造装置により作られた、磁気記録媒体１０を加
工して磁気ディスクに成形し、製品とした記録特性のモ
ジュレーションを示す。
によりダスト集塵機構１に収集吸着することにより、高
分子フィルム４及び磁性Ｍ膜８上への何着を防ぐことが
出来る。 第２図は塵１１がダスト集塵機構１に吸着し
た図である。第５図に本発明を設置した真空槽２のリー
ク後に浮遊する塵の時間的変化を表わす。本発明による
ダスト集塵機構を磁気記録媒体を製造する真空槽内に取
り（ｑけることにより塵が磁性薄膜８内に混入すること
がなく、また磁性薄膜８に傷を付けることがないので記
録再生時にドロップアウトを生じることのない磁気記録
媒体１０を製造出来る。第３図に本発明による磁気記録
媒体の製造装置により作られた、磁気記録媒体１０を加
工して磁気ディスクに成形し、製品とした記録特性のモ
ジュレーションを示す。
本発明は磁気記録媒体の製造装置に応用出来る。
以上述べたごとく本発明によれば、品質の優れた磁気記
録媒体の製造が可能となった。
録媒体の製造が可能となった。
以下余白
第１図は、本発明によるダスト集塵機構を備えた磁気記
録媒体の製造装置を示す図。 第２図は、本発明の効果を表わし集塵機構に集まった塵
を示す図。 第３図は、本発明によって製造した磁気ディスクのモジ
ュレーション。 第４図は、従来の磁気記録媒体の製造装置の概略図。 第５図は、第４図の真空槽のリーク後の洗浄度を表わす
図。 第６図は、ダストが混入した磁気記録媒体の断面図。 第７図は、第６図の状態の磁気記録媒体を磁気ディスク
にした時のモジュレーション。 以下余白 １・・・ダスト集塵機構。２・・・真空槽。 ３・・・巻き出しロール。４・・・高分子フィルム。 ５．５１・・・ガイドロール。６・・・キャン。 ７・・・磁気記録膜形成機構。８・・・磁性薄膜。 ９・・・巻き取りロール。１０・・・磁気記録媒体。 １１・・・塵。 特許出願人 東北金属工業株式会社 −７＝ 第１図 第２区 第３図 第４図 第６図 →オーーーー 第７図
録媒体の製造装置を示す図。 第２図は、本発明の効果を表わし集塵機構に集まった塵
を示す図。 第３図は、本発明によって製造した磁気ディスクのモジ
ュレーション。 第４図は、従来の磁気記録媒体の製造装置の概略図。 第５図は、第４図の真空槽のリーク後の洗浄度を表わす
図。 第６図は、ダストが混入した磁気記録媒体の断面図。 第７図は、第６図の状態の磁気記録媒体を磁気ディスク
にした時のモジュレーション。 以下余白 １・・・ダスト集塵機構。２・・・真空槽。 ３・・・巻き出しロール。４・・・高分子フィルム。 ５．５１・・・ガイドロール。６・・・キャン。 ７・・・磁気記録膜形成機構。８・・・磁性薄膜。 ９・・・巻き取りロール。１０・・・磁気記録媒体。 １１・・・塵。 特許出願人 東北金属工業株式会社 −７＝ 第１図 第２区 第３図 第４図 第６図 →オーーーー 第７図
Claims (1)
- 真空槽内で長尺の高分子フィルムを搬送し、蒸着法を用
いて前記高分子フィルム上に磁性薄膜を形成し製造する
磁気記録媒体の製造装置において、前記真空槽内に静電
吸着を用いたダスト集塵機構を備えたことを特徴とする
磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28779887A JPH01128230A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28779887A JPH01128230A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01128230A true JPH01128230A (ja) | 1989-05-19 |
Family
ID=17721887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28779887A Pending JPH01128230A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01128230A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100307414A1 (en) * | 2008-04-14 | 2010-12-09 | Ulvac, Inc. | Take-Up Type Vacuum Deposition Apparatus |
-
1987
- 1987-11-13 JP JP28779887A patent/JPH01128230A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100307414A1 (en) * | 2008-04-14 | 2010-12-09 | Ulvac, Inc. | Take-Up Type Vacuum Deposition Apparatus |
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