JPH01122202A - 超小型圧電振動子の容器 - Google Patents
超小型圧電振動子の容器Info
- Publication number
- JPH01122202A JPH01122202A JP28051787A JP28051787A JPH01122202A JP H01122202 A JPH01122202 A JP H01122202A JP 28051787 A JP28051787 A JP 28051787A JP 28051787 A JP28051787 A JP 28051787A JP H01122202 A JPH01122202 A JP H01122202A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- low
- green sheet
- piezoelectric vibrator
- base body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000012611 container material Substances 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 12
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 6
- 238000002844 melting Methods 0.000 abstract description 4
- 230000008018 melting Effects 0.000 abstract description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 abstract description 2
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 abstract description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 5
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は水晶等の圧電振動子を大気、真空、あるいは不
活性ガスにて封入する面実装用超小型圧電振動子の容器
に関するものである。
活性ガスにて封入する面実装用超小型圧電振動子の容器
に関するものである。
圧電振動子、特に水晶振動子はその固有振動数が、非常
に安定でその用途は、昨今エレクトロニクス、メカトロ
ニクス分野における技術革新はめざましく、特に高密度
実装技術の進歩と相まって、面実装用としての水晶振動
子の需要が高まっている。
に安定でその用途は、昨今エレクトロニクス、メカトロ
ニクス分野における技術革新はめざましく、特に高密度
実装技術の進歩と相まって、面実装用としての水晶振動
子の需要が高まっている。
例えば、水晶腕時計においては、その薄型化、小型化、
低価格化の波は著しく、水晶振動子についても例外では
ない0時計以外の機器についても同様である。
低価格化の波は著しく、水晶振動子についても例外では
ない0時計以外の機器についても同様である。
本発明は面実装用超小型圧電振動子の薄型化、小型化、
低価格化に有用な方法を提供するものである。
低価格化に有用な方法を提供するものである。
従来小型圧電振動子を収納する気密容器は、特公昭57
−18371号公報に開示されているように、セラミッ
ク容器にガラス蓋をハンダあるいは低融点ガラスで封入
して用いられているのが普通である。
−18371号公報に開示されているように、セラミッ
ク容器にガラス蓋をハンダあるいは低融点ガラスで封入
して用いられているのが普通である。
セラミック材質として一般にアルミナが用いられ、アル
ミナセラミック容器の製造方法はICパッケージと同様
な製造方法によって作製される。
ミナセラミック容器の製造方法はICパッケージと同様
な製造方法によって作製される。
すなわち第7図にその手順を説明すると、アルミナグリ
ーンシート上に内部導体としてW、M、−W金属ペース
トを用いてスクリーン印刷し、その上にアルミナグリー
ンシートを打ち抜いた枠を載せて加熱圧着する。加熱圧
着後、1500〜1600℃で水素あるいは還元ガス雰
囲気中で焼成して得られ、その後ボンディング及びハン
ダ封着容易なようにNiメツキ、ハンダメツキあるいは
Auメツキ等が施されたものが考えられている。
ーンシート上に内部導体としてW、M、−W金属ペース
トを用いてスクリーン印刷し、その上にアルミナグリー
ンシートを打ち抜いた枠を載せて加熱圧着する。加熱圧
着後、1500〜1600℃で水素あるいは還元ガス雰
囲気中で焼成して得られ、その後ボンディング及びハン
ダ封着容易なようにNiメツキ、ハンダメツキあるいは
Auメツキ等が施されたものが考えられている。
表面電極(リード部)は底面に設けられているのが一般
的である。
的である。
ところで上記の製造方法においては製造工程が複雑であ
り、水素あるいは還元ガス雰囲気中で高温で焼成するた
め安全面等も含めてコストアンプにつながる多くの欠点
を有している。
り、水素あるいは還元ガス雰囲気中で高温で焼成するた
め安全面等も含めてコストアンプにつながる多くの欠点
を有している。
この発明は超小型圧電振動子の容器本体に低温焼成用ア
ルミナセラミックスを用いる。
ルミナセラミックスを用いる。
低温焼成用アルミナセラミックスは多層配線基板等に用
いられ、セラミックス基板の低価格化という点でも重要
性を増しつつある。800〜1000℃という低温で焼
成できること、抵抗やコンデンサーが同時に形成できる
ことなどのため、産業用としてだけでなく、小型化のた
めの民生機器の実装基板としても着目されている。
いられ、セラミックス基板の低価格化という点でも重要
性を増しつつある。800〜1000℃という低温で焼
成できること、抵抗やコンデンサーが同時に形成できる
ことなどのため、産業用としてだけでなく、小型化のた
めの民生機器の実装基板としても着目されている。
容器の製造方法はこの低温焼成アルミナグリーンシート
上に、内部導体としてAg、 Ag/Pd、 Ag/’
L Auペーストをスクリーン印刷して、これらの金属
ペーストの融点より低い温度850〜950℃で大気中
で焼成することを特徴とするものである。
上に、内部導体としてAg、 Ag/Pd、 Ag/’
L Auペーストをスクリーン印刷して、これらの金属
ペーストの融点より低い温度850〜950℃で大気中
で焼成することを特徴とするものである。
又リード部は底面を更にスクリーン印刷し、電極を形成
する工程を省くため、側面に段差を付けて、内部導体よ
り直接外部リードを取り出し電極(リード)部とするこ
とを特徴とする。
する工程を省くため、側面に段差を付けて、内部導体よ
り直接外部リードを取り出し電極(リード)部とするこ
とを特徴とする。
上記の手段によれば、超小型圧電振動子容器は大気中で
安全に、安価に、低温で焼成でき、電気エネルギーの節
約と工程の簡略化により、小型、薄型、低価格化を達成
することができる。
安全に、安価に、低温で焼成でき、電気エネルギーの節
約と工程の簡略化により、小型、薄型、低価格化を達成
することができる。
以下この発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第1図はこの発明の製造方法手順のブロック図を示す、
まず第2図および第3図のように、基体lと枠体2を低
温焼成アルミナグリーンシートから打ち抜く、第2図は
基体1となる部分、第3図は枠体2となる部分である。
まず第2図および第3図のように、基体lと枠体2を低
温焼成アルミナグリーンシートから打ち抜く、第2図は
基体1となる部分、第3図は枠体2となる部分である。
この第2図の基体lの表面上にAg/Pdペーストを第
4図の導電パターン3のようにスクリーン印刷する。こ
のとき、基体1の側面上導電パターン3の一致する部分
では、スクリーン印I11の開ロバターンをわずかに大
きくする。それにより側面にも導電ペーストが流れ、側
面電極3”が形成される0次に第4図の基体1上に第3
図の枠体2を載せて、第5図のように比較的低い加熱で
圧接してラミネートする。第5図+alは正面図、第5
図中)は側面図である。その状態を維持して昇温速度5
℃/分で加熱した大気中の炉で900℃30分間焼成す
る。
4図の導電パターン3のようにスクリーン印刷する。こ
のとき、基体1の側面上導電パターン3の一致する部分
では、スクリーン印I11の開ロバターンをわずかに大
きくする。それにより側面にも導電ペーストが流れ、側
面電極3”が形成される0次に第4図の基体1上に第3
図の枠体2を載せて、第5図のように比較的低い加熱で
圧接してラミネートする。第5図+alは正面図、第5
図中)は側面図である。その状態を維持して昇温速度5
℃/分で加熱した大気中の炉で900℃30分間焼成す
る。
焼成上がりの容器も第5図の状態であり、これを組み立
てるに際しては、まず、水晶振動子4の基部の電極を盛
り上がった導電台部3°上にマウントし、真空中あるい
は不活性雰囲気中でガラス蓋5を、ハンダ付けあるいは
低融点ガラスの封着材6で融着封止する。
てるに際しては、まず、水晶振動子4の基部の電極を盛
り上がった導電台部3°上にマウントし、真空中あるい
は不活性雰囲気中でガラス蓋5を、ハンダ付けあるいは
低融点ガラスの封着材6で融着封止する。
この発明によれば大気中で850〜1000℃の低温で
焼成できる方式を用いることにより、製造工程が簡略化
されて量産性に優れた、薄型、小型、低価格のセラミッ
ク容器が得られる。
焼成できる方式を用いることにより、製造工程が簡略化
されて量産性に優れた、薄型、小型、低価格のセラミッ
ク容器が得られる。
第1図ないし第6図は本発明に関する図面で、第1図は
この発明の面実装用超小型圧電振動子の容器の製造方法
の手順を示す説明図、第2図および第3図は低温焼成ア
ルミナグリーンシートを打ち抜いた平面図、第4図は基
体にAg/Pdペーストをスクリーン印刷により印刷し
たパターンを示す平面図、第5図(al、 (blは基
体に枠を載せてラミネートした正面図と側面図、第6図
tag、 (b)は水晶振動子をマウントして、ガラス
蓋を封着した正面図と側面図、第7図は従来の製造方法
について説明するための工程の手順を示す説明図である
。 1・・・基体 2・・・枠体 3・・・導電パターン 3° ・・導電台部 3“ ・・側面電極 4・・・水晶振動子 5・・・ガラス蓋 6・・・ハンダ付部 7・・・リード電極部 以上 出願人 セイコー電子部品株式会社 代理人 弁理士 最 上 務(他1名)へ 第 7 図
この発明の面実装用超小型圧電振動子の容器の製造方法
の手順を示す説明図、第2図および第3図は低温焼成ア
ルミナグリーンシートを打ち抜いた平面図、第4図は基
体にAg/Pdペーストをスクリーン印刷により印刷し
たパターンを示す平面図、第5図(al、 (blは基
体に枠を載せてラミネートした正面図と側面図、第6図
tag、 (b)は水晶振動子をマウントして、ガラス
蓋を封着した正面図と側面図、第7図は従来の製造方法
について説明するための工程の手順を示す説明図である
。 1・・・基体 2・・・枠体 3・・・導電パターン 3° ・・導電台部 3“ ・・側面電極 4・・・水晶振動子 5・・・ガラス蓋 6・・・ハンダ付部 7・・・リード電極部 以上 出願人 セイコー電子部品株式会社 代理人 弁理士 最 上 務(他1名)へ 第 7 図
Claims (1)
- 面実装用超小型圧電振動子であって、容器材質に10
00℃以下で焼成できるアルミナセラミックスを用いる
ものにおいて、リード端子を容器側面に段差を付けて段
の一部と側面に設けることを特徴とする超小型圧電振動
子の容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28051787A JPH01122202A (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | 超小型圧電振動子の容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28051787A JPH01122202A (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | 超小型圧電振動子の容器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01122202A true JPH01122202A (ja) | 1989-05-15 |
Family
ID=17626204
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28051787A Pending JPH01122202A (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | 超小型圧電振動子の容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01122202A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0378307A (ja) * | 1989-08-22 | 1991-04-03 | Seiko Electronic Components Ltd | 面実装型圧電振動子の容器 |
JPH0546115U (ja) * | 1991-11-12 | 1993-06-18 | 株式会社大真空 | 表面実装型水晶振動子 |
-
1987
- 1987-11-06 JP JP28051787A patent/JPH01122202A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0378307A (ja) * | 1989-08-22 | 1991-04-03 | Seiko Electronic Components Ltd | 面実装型圧電振動子の容器 |
JPH0546115U (ja) * | 1991-11-12 | 1993-06-18 | 株式会社大真空 | 表面実装型水晶振動子 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2012175499A5 (ja) | ||
JP2012175499A (ja) | 圧電振動子、圧電発振器、及び電子機器 | |
JP2007060593A (ja) | 圧電デバイス及びその製造方法 | |
JPH01122202A (ja) | 超小型圧電振動子の容器 | |
JP2002299982A (ja) | 水晶発振器の製造方法 | |
JP4380419B2 (ja) | 電子装置の製造方法 | |
JP3046148B2 (ja) | 電子部品収納用パッケージ | |
JP2003046251A (ja) | 電子部品 | |
JP2010011267A (ja) | 圧電発振器 | |
JP2015154371A (ja) | 水晶デバイス | |
JP4549158B2 (ja) | 水晶発振器の製造方法 | |
JP2015050520A (ja) | 水晶デバイス | |
JP4384567B2 (ja) | 温度補償型水晶発振器の製造方法 | |
JP2013070357A (ja) | 表面実装水晶振動子及びその製造方法 | |
JPH0378307A (ja) | 面実装型圧電振動子の容器 | |
JP2013207549A (ja) | 圧電デバイス | |
JP4089964B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP2002016161A (ja) | パッケ−ジ部品とその製造方法、及び該パッケ−ジ部品を用いたパッケ−ジの封止方法。 | |
JP3140439B1 (ja) | 電子部品収納用パッケージ | |
JP2006129188A (ja) | 水晶発振器 | |
JP2703482B2 (ja) | 配線基板 | |
JP2002057528A (ja) | 圧電デバイス及びその製造方法 | |
JPH0613829A (ja) | 圧電素子収納用パッケージ | |
JP2006186826A (ja) | 圧電デバイス用パッケージ、および圧電デバイスの製造方法 | |
JPH11177373A (ja) | 圧電振動子収納用容器 |