JPH01118434U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01118434U JPH01118434U JP1303388U JP1303388U JPH01118434U JP H01118434 U JPH01118434 U JP H01118434U JP 1303388 U JP1303388 U JP 1303388U JP 1303388 U JP1303388 U JP 1303388U JP H01118434 U JPH01118434 U JP H01118434U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reduced pressure
- pressure cvd
- boat
- quartz tube
- cvd apparatus
- Prior art date
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- Pending
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- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
Description
第１図は、本考案の縦型減圧ＣＶＤ装置の実施
例の縦断面図を示す。第２図は、本考案の縦型減
圧ＣＶＤ装置の実施例の―線における横断面
図を示す。第３図は、従来の縦型減圧ＣＶＤ装置
の縦断面図を示す。第４図は、従来の縦型減圧Ｃ
ＶＤ装置の―線における横断面図を示す。 主要符号の説明、１…石英管、２…ガス供給口
、３…ガス排出口、４…炉体、５，６，７…ヒー
ター、８…半導体装置、９…ボート、１０…ボー
ト支持台、１１…ボート支指台回転用モーター、
１２…ガス排出管、１６…真空ポンプ、１７…Ｒ
Ｆ電極。
例の縦断面図を示す。第２図は、本考案の縦型減
圧ＣＶＤ装置の実施例の―線における横断面
図を示す。第３図は、従来の縦型減圧ＣＶＤ装置
の縦断面図を示す。第４図は、従来の縦型減圧Ｃ
ＶＤ装置の―線における横断面図を示す。 主要符号の説明、１…石英管、２…ガス供給口
、３…ガス排出口、４…炉体、５，６，７…ヒー
ター、８…半導体装置、９…ボート、１０…ボー
ト支持台、１１…ボート支指台回転用モーター、
１２…ガス排出管、１６…真空ポンプ、１７…Ｒ
Ｆ電極。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 上端が閉じ、下端が開いており、下方にガス
供給口およびガス排出口を備えた石英管と、内面
にヒーターを設けられており、前記石英管を囲ん
で設けられた縦型の炉体と、 熱処理すべき半導体装置を載置した、前記石英
管の内部に前記下端から挿入されるボートと、 前記ボートを指示するボート支持台と、 前記石英管と前記ボートとの間に設けられ、下
端が前記ガス排出口の入口に接続され、上端が前
記熱処理すべき半導体装置より上方にのびた複数
のガス排出管と、 前記ガス排出口の出口に接続された真空ポンプ
と、 から成る縦型減圧ＣＶＤ装置。 ２ さらに、前記ヒーターと前記石英管との間に
配設されたプラズマ発生用の複数のＲＦ電極を有
する請求項１に記載の縦型減圧ＣＶＤ装置。 ３ さらに、前記ボート支持台の下端に接続され
た該ボート支持台回転用モーターを有する請求項
１または２に記載の縦型減圧ＣＶＤ装置。 ４ 前記熱処理すべき半導体装置が直径４００mm
の円形ガラス基板または一辺３００mmの角形基板
である請求項１，２、または３に記載の縦型減圧
ＣＶＤ装置。 ５ 前記炉体の内側上面に前記ヒーターが設けら
れている請求項１，２，３または４に記載の縦型
減圧ＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1303388U JPH01118434U (ja) | 1988-02-04 | 1988-02-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1303388U JPH01118434U (ja) | 1988-02-04 | 1988-02-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01118434U true JPH01118434U (ja) | 1989-08-10 |
Family
ID=31222999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1303388U Pending JPH01118434U (ja) | 1988-02-04 | 1988-02-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01118434U (ja) |
-
1988
- 1988-02-04 JP JP1303388U patent/JPH01118434U/ja active Pending