JPH01108731A - リードフレーム - Google Patents
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- JPH01108731A JPH01108731A JP62267185A JP26718587A JPH01108731A JP H01108731 A JPH01108731 A JP H01108731A JP 62267185 A JP62267185 A JP 62267185A JP 26718587 A JP26718587 A JP 26718587A JP H01108731 A JPH01108731 A JP H01108731A
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- H01L2224/92242—Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector
- H01L2224/92247—Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector the second connecting process involving a wire connector
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- Die Bonding (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置に使用されるリードフレームに関し
、4!にリードよシ下方に位置付けられるダイパッド部
の形状に関するものである。
、4!にリードよシ下方に位置付けられるダイパッド部
の形状に関するものである。
従来、リードフレームのダイパッド部に半導体チツ、プ
をダイボンドし、半導体チップの表面電極とリードフレ
ームのリードとを金線等の金属ワイヤーでワイヤボンデ
ィングする際に1半導体チップの側縁部と金属細線とが
短絡しないようダイパッド部がリードよル下方に位置付
けられたリードフレームを使用している。第7図はこの
種リードフレームのダイパッド部を拡大して示す斜視図
で、同図Kかいて、1はリードフレーム(図示せず)K
吊〕リード2を介して連結されたダイパッド部で、この
ダイパッド部1は吊シリード2を折曲げるように上方か
ら押圧され、吊シリード2に対して下方に位置付けられ
ている。3は半導体チップで、裏面電位を取るためやワ
イヤーボンディング時に金属細線がボンディングされや
すいように1前記ダイパッド部1上に半田等の接合材4
を介して固着されている。
をダイボンドし、半導体チップの表面電極とリードフレ
ームのリードとを金線等の金属ワイヤーでワイヤボンデ
ィングする際に1半導体チップの側縁部と金属細線とが
短絡しないようダイパッド部がリードよル下方に位置付
けられたリードフレームを使用している。第7図はこの
種リードフレームのダイパッド部を拡大して示す斜視図
で、同図Kかいて、1はリードフレーム(図示せず)K
吊〕リード2を介して連結されたダイパッド部で、この
ダイパッド部1は吊シリード2を折曲げるように上方か
ら押圧され、吊シリード2に対して下方に位置付けられ
ている。3は半導体チップで、裏面電位を取るためやワ
イヤーボンディング時に金属細線がボンディングされや
すいように1前記ダイパッド部1上に半田等の接合材4
を介して固着されている。
このように構成されたダイパッド部1は、半導体チップ
3がダイボンディングされる直前に加圧部材(図示せず
)によって上方から押圧され、吊シリード2がダイパッ
ド部1との接続部分から折曲げられるととKよって吊シ
リード2よ)下方に位置付けられる。
3がダイボンディングされる直前に加圧部材(図示せず
)によって上方から押圧され、吊シリード2がダイパッ
ド部1との接続部分から折曲げられるととKよって吊シ
リード2よ)下方に位置付けられる。
しかるに、ダイパッド部を押圧し吊〕リードを折曲げ加
工すると、ダイパッド部の剛性が低いため吊シリードの
みが折曲されるととKはならず、ダイパッド部にも反シ
が生じていた。そして、近年とのダイパッド部は大型の
半導体チップをグイボンドするためにその面積が大きく
形成されたシ、パッケージの薄型化のためにリードフレ
ームの板厚が薄く形成されたシして、さらに反シやすく
なってきておシ、グイボンド後も半導体チップが反シや
すく、割れたシ、その電気的特性が低下するという問題
があった。
工すると、ダイパッド部の剛性が低いため吊シリードの
みが折曲されるととKはならず、ダイパッド部にも反シ
が生じていた。そして、近年とのダイパッド部は大型の
半導体チップをグイボンドするためにその面積が大きく
形成されたシ、パッケージの薄型化のためにリードフレ
ームの板厚が薄く形成されたシして、さらに反シやすく
なってきておシ、グイボンド後も半導体チップが反シや
すく、割れたシ、その電気的特性が低下するという問題
があった。
本発明に係るリードフレームは、ダイパッドの側縁部を
上方へ曲げ、リブを形成したものである。
上方へ曲げ、リブを形成したものである。
ダイパッド部はリブによって曲げ剛性が高められ、リー
ドを折曲げ加工する際に反らずに9−ドのみが折曲げら
れる。
ドを折曲げ加工する際に反らずに9−ドのみが折曲げら
れる。
〔実施例〕
以下、その構成等を図に示す実施例によシ詳細に説明す
る。
る。
第1図(a) 、 (b)は本発明に係るリードフレー
ムのダイパッド部を拡大して示す図で、(a)は側面図
、(b)は(a)図中I−1線断面図である。これらの
図に訃いて前記従来例で説明したものと同一もしくは同
等部材については同一符号を付し、詳細な説明は省略す
る。これらの図において、符号11はダイパッド部1を
補強するためのリブで、とのリブ11はダイパッド部I
Kおける吊シリード2の軸線方向と平行な側縁部を上方
へ折曲げることによって形成されている。なお、12は
リードフレーム(図示せず)のインナーリード、13は
半導体チップ3の表面電極3轟とインナーリード12と
を接続するための金属ワイヤーである。すなわち、ダイ
パッド部1の側縁部にリブ11を形成することで、ダイ
パッド部1の断面二次モーメントが増大し、曲げに対す
る強度が増すととKなる。断面二次モーメン)Iは第2
図(b)および第3図(b) K示すような断面形状を
有する部材においては、それぞれ で与えられる。ここkおいて、第2図−)は従来のダイ
パッド部の平面図、同図(b)は(畠)図中1−1線断
面図を示し、第3図(&)唸本発1!I11に係るダイ
パッド部の平面図、同図(b)は(a)図中1−1線断
面図を示す。
ムのダイパッド部を拡大して示す図で、(a)は側面図
、(b)は(a)図中I−1線断面図である。これらの
図に訃いて前記従来例で説明したものと同一もしくは同
等部材については同一符号を付し、詳細な説明は省略す
る。これらの図において、符号11はダイパッド部1を
補強するためのリブで、とのリブ11はダイパッド部I
Kおける吊シリード2の軸線方向と平行な側縁部を上方
へ折曲げることによって形成されている。なお、12は
リードフレーム(図示せず)のインナーリード、13は
半導体チップ3の表面電極3轟とインナーリード12と
を接続するための金属ワイヤーである。すなわち、ダイ
パッド部1の側縁部にリブ11を形成することで、ダイ
パッド部1の断面二次モーメントが増大し、曲げに対す
る強度が増すととKなる。断面二次モーメン)Iは第2
図(b)および第3図(b) K示すような断面形状を
有する部材においては、それぞれ で与えられる。ここkおいて、第2図−)は従来のダイ
パッド部の平面図、同図(b)は(畠)図中1−1線断
面図を示し、第3図(&)唸本発1!I11に係るダイ
パッド部の平面図、同図(b)は(a)図中1−1線断
面図を示す。
ζこで、例えばB=5mm、t=0.1−とし、第3図
(b)のH,hを変化させた時の断面二次モーメントI
は下記に示す表1の様にリブ12の高さHを増す毎に増
大される。
(b)のH,hを変化させた時の断面二次モーメントI
は下記に示す表1の様にリブ12の高さHを増す毎に増
大される。
表1
また、第4図に示すような一様分布荷重を受ける両端支
持のは)においては、−様分布荷重をW(神/m+)、
はシのヤング率をE(神/mm”)、はシの断面二次モ
ーメントをI(mm’)とすると、はシの中央部分のた
わみ量yは、 で示され、同じ材料を使用した場合断面二次モーメント
IK反比例するととくなる。したがって、ダイパッド部
1のリブ11の高さRをよシ大きく形成するととくよっ
て、たわみ量を減少させることができる。
持のは)においては、−様分布荷重をW(神/m+)、
はシのヤング率をE(神/mm”)、はシの断面二次モ
ーメントをI(mm’)とすると、はシの中央部分のた
わみ量yは、 で示され、同じ材料を使用した場合断面二次モーメント
IK反比例するととくなる。したがって、ダイパッド部
1のリブ11の高さRをよシ大きく形成するととくよっ
て、たわみ量を減少させることができる。
また、ダイパッド部1にリブ11を形成するととくよっ
て、半導体チップ3をグイボンドする際、線膨張係数の
差によって生じる反シ等も小さくすることができる。
て、半導体チップ3をグイボンドする際、線膨張係数の
差によって生じる反シ等も小さくすることができる。
なお、上記実施例ではリブ110角度を直角に形成した
ものを示したが、第5図に示すような角度く形成しても
よい。同図はダイパッド部の縦断面図を示し、このよう
にリブIIKおけるグイボンド面14側を広げるように
形成することKよって、リードフレームを複数枚重ね合
わせることができると共に1従来のリードフレーム搬送
装置等を改造するととなく使用することができる。
ものを示したが、第5図に示すような角度く形成しても
よい。同図はダイパッド部の縦断面図を示し、このよう
にリブIIKおけるグイボンド面14側を広げるように
形成することKよって、リードフレームを複数枚重ね合
わせることができると共に1従来のリードフレーム搬送
装置等を改造するととなく使用することができる。
さらKまた、リブ11は第6図に示すようにダイパッド
部1の全周にわたシ形成してもよい。このようにすると
吊シリード2の軸線方向のみならず、その直交する方向
に対しても補強されることになる。
部1の全周にわたシ形成してもよい。このようにすると
吊シリード2の軸線方向のみならず、その直交する方向
に対しても補強されることになる。
以上説明したように本発明によれば、ダイパッドの側縁
部を上方へ曲げ、リブを形成したため、ダイパッド部は
リブによって補強され、同じ材質、板厚でも曲げに対す
る強度を大きくとることができるから、リードを折曲げ
加工する際に反らすにリードのみが折曲げられる。した
がって、半導体チップがダイパッド部と共に反るような
ことがなくなシ、割れや、電気的特性の不良を起こすこ
ともなく、信頼性の高い半導体装置を得ることができる
。
部を上方へ曲げ、リブを形成したため、ダイパッド部は
リブによって補強され、同じ材質、板厚でも曲げに対す
る強度を大きくとることができるから、リードを折曲げ
加工する際に反らすにリードのみが折曲げられる。した
がって、半導体チップがダイパッド部と共に反るような
ことがなくなシ、割れや、電気的特性の不良を起こすこ
ともなく、信頼性の高い半導体装置を得ることができる
。
第1図(a) 、 (b)は本発明に係るリードフレー
ムのダイパッド部を拡大して示す図、第2図(a) t
(b)および第3図(a) 、 01)は従来のダイ
パッド部と本発明に係るダイパッド部のそれぞれの平面
図と縦断面図、第4図はは°シのたわみ量の算式を説明
するための図、第5図および第6図は他の実施例を示す
図、第7図は従来のリードフレームにおけるダイパッド
部を示す斜視図である。 1・・・・ダイパッド部、2・・・・吊シリード、3・
・・・半導体チップ、11・・・・リブ。
ムのダイパッド部を拡大して示す図、第2図(a) t
(b)および第3図(a) 、 01)は従来のダイ
パッド部と本発明に係るダイパッド部のそれぞれの平面
図と縦断面図、第4図はは°シのたわみ量の算式を説明
するための図、第5図および第6図は他の実施例を示す
図、第7図は従来のリードフレームにおけるダイパッド
部を示す斜視図である。 1・・・・ダイパッド部、2・・・・吊シリード、3・
・・・半導体チップ、11・・・・リブ。
Claims (1)
- 半導体チップが固着されるダイパッド部がリードより
下方に位置付けられたリードフレームにおいて、前記ダ
イパッドの側縁部を上方へ曲げ、リブを形成したことを
特徴とするリードフレーム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62267185A JPH01108731A (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | リードフレーム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62267185A JPH01108731A (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | リードフレーム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01108731A true JPH01108731A (ja) | 1989-04-26 |
Family
ID=17441292
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62267185A Pending JPH01108731A (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | リードフレーム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01108731A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0546435A2 (en) * | 1991-12-12 | 1993-06-16 | STMicroelectronics S.r.l. | Protection device for integrated circuit associated with relative supports |
US7821116B2 (en) | 2007-02-05 | 2010-10-26 | Fairchild Semiconductor Corporation | Semiconductor die package including leadframe with die attach pad with folded edge |
JP2014053461A (ja) * | 2012-09-07 | 2014-03-20 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP2015041684A (ja) * | 2013-08-21 | 2015-03-02 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置の製造方法、半導体装置及びリードフレーム |
-
1987
- 1987-10-21 JP JP62267185A patent/JPH01108731A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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