JPH01108071A - 光プリンタヘッド - Google Patents
光プリンタヘッドInfo
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- JPH01108071A JPH01108071A JP62265896A JP26589687A JPH01108071A JP H01108071 A JPH01108071 A JP H01108071A JP 62265896 A JP62265896 A JP 62265896A JP 26589687 A JP26589687 A JP 26589687A JP H01108071 A JPH01108071 A JP H01108071A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 51
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 6
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 abstract description 6
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 abstract description 6
- 238000003491 array Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 3
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 1,1-Dichloroethane Chemical compound CC(Cl)Cl SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000012456 homogeneous solution Substances 0.000 description 1
- 210000000936 intestine Anatomy 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、LEDアレイを発光アレイとする新規な光プ
リンタヘッドに関する。
リンタヘッドに関する。
従来、光プリンタヘッドは、例えば第7図に示す如く、
LEDアレイ1の発光部の像を屈折率分布型レンズアレ
イ8により感光ドラム7上に結像せしめる構造になって
いる。
LEDアレイ1の発光部の像を屈折率分布型レンズアレ
イ8により感光ドラム7上に結像せしめる構造になって
いる。
光プリンタに要求される性能のうち最も重要なものの一
つに解像度がある。解像度は単位長さあたりの印刷ドツ
ト数で表現されるが、このドツト数が多くなる程、印刷
された文字は鮮明となるため、より高い解像度が望まれ
る訳である。
つに解像度がある。解像度は単位長さあたりの印刷ドツ
ト数で表現されるが、このドツト数が多くなる程、印刷
された文字は鮮明となるため、より高い解像度が望まれ
る訳である。
第7図で示したような従来のLEDプリンタの場合、解
像度はLEDアレイのLEDの密度によって決り、単位
長さあたりの印刷ドツト数は、単位長さあたりのLED
の数と同じになる。後者のLED数は、技術の進歩によ
って次第に増加可能であるにしても、常に一定の限界値
が存在し、自由にその数を増加する訳には行かず、その
結果として、現在市販されている光プリンタでは、大凡
400dpi (dpi : 1インチあたりのドツ
ト数)が限界である。
像度はLEDアレイのLEDの密度によって決り、単位
長さあたりの印刷ドツト数は、単位長さあたりのLED
の数と同じになる。後者のLED数は、技術の進歩によ
って次第に増加可能であるにしても、常に一定の限界値
が存在し、自由にその数を増加する訳には行かず、その
結果として、現在市販されている光プリンタでは、大凡
400dpi (dpi : 1インチあたりのドツ
ト数)が限界である。
本発明者らは、以上の背景を踏まえ、光プリンタヘッド
の解像度を更に向上させる手段の開発を進めた結果、単
位長さあたりのLEDの数に基づ〈従来の限界解像度の
2又は3以上の整数倍の解像度を一挙に達成する手段を
見いだし、本発明をなすに至った。
の解像度を更に向上させる手段の開発を進めた結果、単
位長さあたりのLEDの数に基づ〈従来の限界解像度の
2又は3以上の整数倍の解像度を一挙に達成する手段を
見いだし、本発明をなすに至った。
即ち、本発明は、発光ダイオード(L E D)アレイ
及び該アレイの各LEDが発する発光を感光ドラム上に
導くための光導波路からなる光プリンタヘッドにおいて
、 ■該先導波路が、プラスチックフィルム表面に、該フィ
ルムの表面より屈折率の高い感光性樹脂硬化物からなる
複数の線状光導波路が間隔を置いて並んで形成されてな
る先導波路シートのn枚の結合からなり、 ■該線状光導波路のコア列の各コアの線巾が、LEDア
レイに接する側の各LEDに対応する太さから、連続的
に次第に細くなり、感光ドラムに接する側の端面におい
て、LEDアレイのピンチのn分の1以下となっている
、 ことを特徴とする新規な光プリンタヘッドに関するもの
である。
及び該アレイの各LEDが発する発光を感光ドラム上に
導くための光導波路からなる光プリンタヘッドにおいて
、 ■該先導波路が、プラスチックフィルム表面に、該フィ
ルムの表面より屈折率の高い感光性樹脂硬化物からなる
複数の線状光導波路が間隔を置いて並んで形成されてな
る先導波路シートのn枚の結合からなり、 ■該線状光導波路のコア列の各コアの線巾が、LEDア
レイに接する側の各LEDに対応する太さから、連続的
に次第に細くなり、感光ドラムに接する側の端面におい
て、LEDアレイのピンチのn分の1以下となっている
、 ことを特徴とする新規な光プリンタヘッドに関するもの
である。
以下、nが2の場合について、本発明を説明する。
本発明の光導波路シートは、プラスチックフィルム上に
、その表面部分の屈折率より高い屈折率を有する感光性
樹脂組成物層を形成した後、フォトマスクを通して、紫
外線や可視光線を露光したり、電子線、レーザービーム
等を掃引したりして架橋反応等の化学反応を起こした後
、未露光部との物性の差を利用して現像し、光導波路を
形成せしめたものであり、代表的には、プラスチックフ
ィルム上に線状ポリマーと多官能モノマーの混合物の被
膜を形成し、フォトマスクを通して紫外線を照射し、架
橋反応を行わせた後、有機溶媒を用いて未露光部を溶解
除去することにより製造することが出来る。
、その表面部分の屈折率より高い屈折率を有する感光性
樹脂組成物層を形成した後、フォトマスクを通して、紫
外線や可視光線を露光したり、電子線、レーザービーム
等を掃引したりして架橋反応等の化学反応を起こした後
、未露光部との物性の差を利用して現像し、光導波路を
形成せしめたものであり、代表的には、プラスチックフ
ィルム上に線状ポリマーと多官能モノマーの混合物の被
膜を形成し、フォトマスクを通して紫外線を照射し、架
橋反応を行わせた後、有機溶媒を用いて未露光部を溶解
除去することにより製造することが出来る。
このような光導波路シートは、例えば、特開昭58−1
58612号公報、特願昭61−217236号明細書
等に開示されているが、そのフォトリソグラフィー法に
よる作成法の概略は、第8図の断面図で示される。第8
図(alは、プラスチックフィルム5上に感光性樹脂組
成物層41を積層した積層体であり、第8図(b)は、
フォトマスク9を用いて、紫外線等の活性光で露光して
いる状態を示し、第8図(C)は、露光、現像後に得ら
れるコア列4を有する先導波路シートを示す。
58612号公報、特願昭61−217236号明細書
等に開示されているが、そのフォトリソグラフィー法に
よる作成法の概略は、第8図の断面図で示される。第8
図(alは、プラスチックフィルム5上に感光性樹脂組
成物層41を積層した積層体であり、第8図(b)は、
フォトマスク9を用いて、紫外線等の活性光で露光して
いる状態を示し、第8図(C)は、露光、現像後に得ら
れるコア列4を有する先導波路シートを示す。
次に、図面を用いて、本発明の光プリンタヘッドについ
て説明する。第1図は、本発明の光プリンタヘッドの一
例を示す概念図であり、LEDアレイ1に光導波路シー
ト2が接続している。第2図は、本発明における光導波
路シートの1枚を示したものであり、LEDアレイ1に
長さβのピッチで直線状に並列されている各LED3に
対応して、コア4がプラスチックフィルム5上に形成さ
れている。コア4の巾は、LEDアレイ側末端でW、と
太いが、次第に細くなり、感光ドラム側末端で最小とな
り、その最小巾W、は、LEDの並列ピンチlの半分以
下となっている。
て説明する。第1図は、本発明の光プリンタヘッドの一
例を示す概念図であり、LEDアレイ1に光導波路シー
ト2が接続している。第2図は、本発明における光導波
路シートの1枚を示したものであり、LEDアレイ1に
長さβのピッチで直線状に並列されている各LED3に
対応して、コア4がプラスチックフィルム5上に形成さ
れている。コア4の巾は、LEDアレイ側末端でW、と
太いが、次第に細くなり、感光ドラム側末端で最小とな
り、その最小巾W、は、LEDの並列ピンチlの半分以
下となっている。
第3図は、2枚の光導波路シートが結合されてする態様
の一例を示す上から見た平面図である。
の一例を示す上から見た平面図である。
図において、5.5′はフィルム、4.4゛ はコアで
ある。6はフィルム結合部で結合に用いた樹脂の層で、
コアの屈折率より低い屈折率を持つ樹脂、好ましくは光
硬化性又は熱硬化性樹脂を用いたクラフト層である。第
4図は、第3図と同じ物の側面図である。第5図は、第
3図と同じ物の結合部の横断面図である。
ある。6はフィルム結合部で結合に用いた樹脂の層で、
コアの屈折率より低い屈折率を持つ樹脂、好ましくは光
硬化性又は熱硬化性樹脂を用いたクラフト層である。第
4図は、第3図と同じ物の側面図である。第5図は、第
3図と同じ物の結合部の横断面図である。
第6図は、本発明の光プリンタヘッドを用いたプリンタ
の一例を示す概念図である。1はLEDアレイで光導波
路シートと同じ数の2個用いている。2は光導波路シー
トであり、シート2はLEDアレイ側では2枚に別れて
いるが、感光ドラム側では、結合されて一体になってい
る。そして、各シート上のコア列は、結合部分では、第
3図及び第5図に示すように、LEDアレイのピッチl
の半分のピッチでコアが並列されている。そして、この
並列コア数だけのドツトが感光ドラムの上に描かれる訳
である。即ち、ドツト数はLEDO数の2倍になり、解
像度は2倍に上昇する。8は光の収斂手段、例えば、屈
折率分布型レンズアレイを示す、このものは必須ではな
いが、光導波路シート2の末端と感光ドラム70表面が
ある距離を保っている場合に、各光導波路から出る光が
拡散しないで、感光ドラム上に明瞭なドツトとして感光
されるようにするための手段である。
の一例を示す概念図である。1はLEDアレイで光導波
路シートと同じ数の2個用いている。2は光導波路シー
トであり、シート2はLEDアレイ側では2枚に別れて
いるが、感光ドラム側では、結合されて一体になってい
る。そして、各シート上のコア列は、結合部分では、第
3図及び第5図に示すように、LEDアレイのピッチl
の半分のピッチでコアが並列されている。そして、この
並列コア数だけのドツトが感光ドラムの上に描かれる訳
である。即ち、ドツト数はLEDO数の2倍になり、解
像度は2倍に上昇する。8は光の収斂手段、例えば、屈
折率分布型レンズアレイを示す、このものは必須ではな
いが、光導波路シート2の末端と感光ドラム70表面が
ある距離を保っている場合に、各光導波路から出る光が
拡散しないで、感光ドラム上に明瞭なドツトとして感光
されるようにするための手段である。
LEDアレイ側のコアの巾は限定的ではないが、LED
の発する光を効率良く利用するため゛には、LEDの大
きさに対応した太さにするのが好ましい。
の発する光を効率良く利用するため゛には、LEDの大
きさに対応した太さにするのが好ましい。
光導波路シートを3枚以上のn枚使用し、感光ドラム側
端部のコア中をEの1/Hの中にして、各シートのコア
を結合することも可能である。この場合、実用的には、
n枚の各シートのコアを、できるだけ同一直線上に並列
させるための工夫が必要になる。又、実現可能のnの上
限は、第8図で説明したフォトリソグラフィー法の精度
の限界に左右される。
端部のコア中をEの1/Hの中にして、各シートのコア
を結合することも可能である。この場合、実用的には、
n枚の各シートのコアを、できるだけ同一直線上に並列
させるための工夫が必要になる。又、実現可能のnの上
限は、第8図で説明したフォトリソグラフィー法の精度
の限界に左右される。
本発明では、光導波路の形成にフォトリソグラフィー法
を利用しているので、高い精度で光導波路を形成するこ
とが可能で、その巾を絞ることによりLEDの発光面よ
り細密な光像を感光ドラムの上に結像させることができ
る。この光導波路シートを組合せることにより解像度を
飛躍的に向上し得るものである。
を利用しているので、高い精度で光導波路を形成するこ
とが可能で、その巾を絞ることによりLEDの発光面よ
り細密な光像を感光ドラムの上に結像させることができ
る。この光導波路シートを組合せることにより解像度を
飛躍的に向上し得るものである。
本発明で開示されたプリンタヘッドを用いることにより
、用いるLEDアレイのそれより2又は3以上の整数倍
の高解像度でプリントを行うことが可能となる0例えば
、300dpiのLEDアレイを2本用いて600dp
iの解像度のプリントが可能となる。
、用いるLEDアレイのそれより2又は3以上の整数倍
の高解像度でプリントを行うことが可能となる0例えば
、300dpiのLEDアレイを2本用いて600dp
iの解像度のプリントが可能となる。
次に、実施例を示す。
実施例
ポリメチルメタクリレート(旭化成工業■製BOP−1
23、屈折率1.490 > 58部、2官能アクリレ
ートHX−220(日本化薬■製、構造式(1)重合硬
化物のP折率1.499 ) 42部、及びペンジルメ
チルケタール1部をメチルエチルケトン135部に熔解
して均一溶液とした。これを濾過してゴミを除いた後、
100μmの厚みのポリフッ化ビニリデンのフィルム上
にドクターブレードで塗布し、乾燥して50μmの厚み
の透明な塗膜を得た。フォトマスクを通し400mJ/
cIllの紫外線を照射した後、1.1.1− )リク
ロロエタンを用いて現像し、第8図に示すような光導波
路列を得た。なお、lは84μm s WL、は50μ
ta 、W、は37μ腸とした。得られた光導波路シー
トを2枚、第3.4.5図に示すように結合し、光導波
路を合わせた端面に屈折率分布型レンズアレイを、他の
端面側に300 dpiのLEDアレイを2個置き、光
プリンタヘッドに供した。
23、屈折率1.490 > 58部、2官能アクリレ
ートHX−220(日本化薬■製、構造式(1)重合硬
化物のP折率1.499 ) 42部、及びペンジルメ
チルケタール1部をメチルエチルケトン135部に熔解
して均一溶液とした。これを濾過してゴミを除いた後、
100μmの厚みのポリフッ化ビニリデンのフィルム上
にドクターブレードで塗布し、乾燥して50μmの厚み
の透明な塗膜を得た。フォトマスクを通し400mJ/
cIllの紫外線を照射した後、1.1.1− )リク
ロロエタンを用いて現像し、第8図に示すような光導波
路列を得た。なお、lは84μm s WL、は50μ
ta 、W、は37μ腸とした。得られた光導波路シー
トを2枚、第3.4.5図に示すように結合し、光導波
路を合わせた端面に屈折率分布型レンズアレイを、他の
端面側に300 dpiのLEDアレイを2個置き、光
プリンタヘッドに供した。
その結果、600 dpiのプリンタが得られた。
構造式(1)
第1図は、本発明の光プリンタヘッドの一例を示す概念
図、第2図は、本発明における光導波路シートの1枚を
示した表面図、第3図は、2枚の先導波路シートが結合
されて゛いる態様の一例を示す上から見た平面図、第4
図は、第3図と同じ物の側面図、第5図は、第3図と同
じ物の結合部の横断面図、第6図は、本発明の光プリン
タヘッドを用いたプリンタの一例を示す概念図である。 第7図は、従来の光プリンタの一例を示す概念図、第8
図(a)、(b)、(C)は、光導波路シートのコア列
の作成のためのフォトリソグラフィー法を示す断面図で
ある。 1・・・LEDアレイ 2・・・光導波路シート 3・・・LED 4.4゛ ・・・光導波路コア 5.5′ ・・・プラスチックフィルム6・・・樹脂ク
ラッド層 7・・・感光ドラム 8・・・屈折率分布型レンズアレイ 9・・・フォトマスク 41・・・感光性樹脂組成物層
図、第2図は、本発明における光導波路シートの1枚を
示した表面図、第3図は、2枚の先導波路シートが結合
されて゛いる態様の一例を示す上から見た平面図、第4
図は、第3図と同じ物の側面図、第5図は、第3図と同
じ物の結合部の横断面図、第6図は、本発明の光プリン
タヘッドを用いたプリンタの一例を示す概念図である。 第7図は、従来の光プリンタの一例を示す概念図、第8
図(a)、(b)、(C)は、光導波路シートのコア列
の作成のためのフォトリソグラフィー法を示す断面図で
ある。 1・・・LEDアレイ 2・・・光導波路シート 3・・・LED 4.4゛ ・・・光導波路コア 5.5′ ・・・プラスチックフィルム6・・・樹脂ク
ラッド層 7・・・感光ドラム 8・・・屈折率分布型レンズアレイ 9・・・フォトマスク 41・・・感光性樹脂組成物層
Claims (2)
- (1)発光ダイオード(LED)アレイ及び該アレイの
各LEDが発する各光束を感光ドラム上に導くための光
導波路からなる光プリンタヘッドにおいて、 〔1〕該光導波路が、プラスチックフィルム表面に、該
フィルムの表面より屈折率の高い感光性樹脂硬化物から
なる複数の線状光導波路が間隔を置いて並んで形成され
てなる光導波路シートのn枚の結合からなり、 〔2〕該線状光導波路コア列の各コアの線巾が、LED
アレイに接する側の各LEDに対応する太さから、連続
的に次第に細くなり、感光ドラムに接する側の端面にお
いて、LEDアレイのピッチのn分の1以下となってい
る、 ことを特徴とする光プリンタヘッド。 - (2)nが2である特許請求の範囲第1項記載の光プリ
ンタヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26589687A JP2628318B2 (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | 光プリンタヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26589687A JP2628318B2 (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | 光プリンタヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01108071A true JPH01108071A (ja) | 1989-04-25 |
JP2628318B2 JP2628318B2 (ja) | 1997-07-09 |
Family
ID=17423607
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26589687A Expired - Fee Related JP2628318B2 (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | 光プリンタヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2628318B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996011110A1 (fr) * | 1994-10-05 | 1996-04-18 | Rohm Co., Ltd. | Tete d'impression a del |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5419744A (en) * | 1977-07-14 | 1979-02-14 | Ricoh Co Ltd | Recording method using electronic scanning tube |
JPS6382767A (ja) * | 1986-09-26 | 1988-04-13 | Hitachi Ltd | 光スイツチアレイ式印写ヘツド |
-
1987
- 1987-10-21 JP JP26589687A patent/JP2628318B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5419744A (en) * | 1977-07-14 | 1979-02-14 | Ricoh Co Ltd | Recording method using electronic scanning tube |
JPS6382767A (ja) * | 1986-09-26 | 1988-04-13 | Hitachi Ltd | 光スイツチアレイ式印写ヘツド |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996011110A1 (fr) * | 1994-10-05 | 1996-04-18 | Rohm Co., Ltd. | Tete d'impression a del |
US5896162A (en) * | 1994-10-05 | 1999-04-20 | Rohm Co., Ltd. | Led printing head |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2628318B2 (ja) | 1997-07-09 |
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