JPH01107216A - 高密度光導波路及びその製造方法 - Google Patents
高密度光導波路及びその製造方法Info
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- JPH01107216A JPH01107216A JP26589587A JP26589587A JPH01107216A JP H01107216 A JPH01107216 A JP H01107216A JP 26589587 A JP26589587 A JP 26589587A JP 26589587 A JP26589587 A JP 26589587A JP H01107216 A JPH01107216 A JP H01107216A
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- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＬＥＤ光、レーザ光等による光情報を伝送す
る光導波路に関し、特に高分子からなる高密度の光導波
路及びその製造法を開示するものである。
る光導波路に関し、特に高分子からなる高密度の光導波
路及びその製造法を開示するものである。
現在、光波術を利用した装置の中には、ＬＥＤ光やレー
ザ光を光導波路列を通して伝送する形式のものがあり、
例えば、プリンタ、文字又はバーコードの読み取り装置
、位置センサ等が挙げられ ゛る。
ザ光を光導波路列を通して伝送する形式のものがあり、
例えば、プリンタ、文字又はバーコードの読み取り装置
、位置センサ等が挙げられ ゛る。
ここに用いられる光導波路列としては、光ファイバーを
整然と並べた光フアイバーアレイがあるが、必ずしも生
産性の高いものではなく、直線状の平行光導波路列以外
の製造は極めて困難である。
整然と並べた光フアイバーアレイがあるが、必ずしも生
産性の高いものではなく、直線状の平行光導波路列以外
の製造は極めて困難である。
自由な形状の光導波路列を与えるものとして、光導波路
シートが考えられている。これには、例えば、金型にコ
ア材料を注入してクラッドシートに転写する方法や、プ
ラスチックシートを加工変形した後、表面の屈折率を低
くする処理を施すような成形法がある。更に、光重合性
材料を用い、フォトマスクを通して露光する光重合法が
開発されており、モノマー含浸フィルムをパターン露光
し、光重合部分をクラッドとした光導波路シート、クラ
ッドフィルム上に光重合性材料を塗布した後、露光、現
像して得た光導波路等が提案されている。
シートが考えられている。これには、例えば、金型にコ
ア材料を注入してクラッドシートに転写する方法や、プ
ラスチックシートを加工変形した後、表面の屈折率を低
くする処理を施すような成形法がある。更に、光重合性
材料を用い、フォトマスクを通して露光する光重合法が
開発されており、モノマー含浸フィルムをパターン露光
し、光重合部分をクラッドとした光導波路シート、クラ
ッドフィルム上に光重合性材料を塗布した後、露光、現
像して得た光導波路等が提案されている。
光導波路を用いて光情報を伝送する場合、より多くの情
報量を伝送する必要性から、高密度の光導波、路が要求
される。しかし、上記の成形法では１＋ｎ＋ｎあたり数
本の光導波路密度が限界である。
報量を伝送する必要性から、高密度の光導波、路が要求
される。しかし、上記の成形法では１＋ｎ＋ｎあたり数
本の光導波路密度が限界である。
一方光重合法では、更に高密度の光導波路を形成せしめ
ることが可能である。一般に光重合法では、光導波路の
巾及び間隔の最小値は、感光層の厚みとほぼ同じと言わ
れている。例えば、厚み５０μ−の感光層の場合は５０
μ蹟巾の光導波路を５０μ−間隔で形成することが出来
、ＩＩＩＩＩｌｌあたり１０本の光導波路密度となる。
ることが可能である。一般に光重合法では、光導波路の
巾及び間隔の最小値は、感光層の厚みとほぼ同じと言わ
れている。例えば、厚み５０μ−の感光層の場合は５０
μ蹟巾の光導波路を５０μ−間隔で形成することが出来
、ＩＩＩＩＩｌｌあたり１０本の光導波路密度となる。
本発明者らは、上記の背景を踏まえて検討を進めた結果
、下記に示す高密度光導波路を見いだすに至った。
、下記に示す高密度光導波路を見いだすに至った。
即ち、本発明は、
（１１プラスチックフィルム表面に、該フィルムの表面
より屈折率の高い感光性樹脂硬化物からなる複数の線状
光導波路が、間隔を置いて並んで形成されてなる光導波
路シートの２枚からなり、■該両シートは、そのシート
の全面又は一部の端部面（線状光導波路の長手方向と直
角の帯状面）において、互いに光導波路を内側にして結
合されており、［２］その結合の態様は、両シートの線
状光導波路のコア列が、互いに相手シートの光導波路欠
落空間を小間隙を置いて埋め合って並ぶ関係にあり、か
つ、埋め合う両シートのコア列の全部が、その小隙間を
埋める、光導波路の屈折率より低い屈折率を有する樹脂
からなるクラッド層により隔離されていることを特徴と
する高密度光導波路、（２） プラスチックフィルム
上に、該フィルムの表面より高い屈折率の感光性樹脂組
成物よりなる層を形成せしめた後、パターン状に露光硬
化し、次に未露光部を除去して、間隔を置いて並んだ線
状光導波路からなるコア列を有する第１の光導波路シー
トを得、次いで、該第１シートの光導波路側の全面又は
その一部端部面（線状光導波路の長手方向と直角の帯状
面）上に、該感光性樹脂組成物より低い屈折率のクラッ
ド層形成用液状樹脂を塗布した後、該樹脂塗布領域に、
第１の光導波路シートと同様の方法で作成した第２の光
導波路シートの該当部を、両シートの線状光導波路であ
るコア列が、互いに相手シートの光導波路欠落領域を小
間隙を置いて埋め合って並ぶ関係に重ね合わせ、上記液
状樹脂を固化させてクラッド層を形成することを特徴と
する高密度光導波路の製造方法、に関するものである。
より屈折率の高い感光性樹脂硬化物からなる複数の線状
光導波路が、間隔を置いて並んで形成されてなる光導波
路シートの２枚からなり、■該両シートは、そのシート
の全面又は一部の端部面（線状光導波路の長手方向と直
角の帯状面）において、互いに光導波路を内側にして結
合されており、［２］その結合の態様は、両シートの線
状光導波路のコア列が、互いに相手シートの光導波路欠
落空間を小間隙を置いて埋め合って並ぶ関係にあり、か
つ、埋め合う両シートのコア列の全部が、その小隙間を
埋める、光導波路の屈折率より低い屈折率を有する樹脂
からなるクラッド層により隔離されていることを特徴と
する高密度光導波路、（２） プラスチックフィルム
上に、該フィルムの表面より高い屈折率の感光性樹脂組
成物よりなる層を形成せしめた後、パターン状に露光硬
化し、次に未露光部を除去して、間隔を置いて並んだ線
状光導波路からなるコア列を有する第１の光導波路シー
トを得、次いで、該第１シートの光導波路側の全面又は
その一部端部面（線状光導波路の長手方向と直角の帯状
面）上に、該感光性樹脂組成物より低い屈折率のクラッ
ド層形成用液状樹脂を塗布した後、該樹脂塗布領域に、
第１の光導波路シートと同様の方法で作成した第２の光
導波路シートの該当部を、両シートの線状光導波路であ
るコア列が、互いに相手シートの光導波路欠落領域を小
間隙を置いて埋め合って並ぶ関係に重ね合わせ、上記液
状樹脂を固化させてクラッド層を形成することを特徴と
する高密度光導波路の製造方法、に関するものである。
以下、図面を示して本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の光導波路シートの重ね合わせ結合部
の一方のシートのみの断面の一例を示すものである０図
において、１はプラスチックフィルム、２は線状光導波
路であるコア列、３は現像除去部の光導波路欠落空間で
ある。第１、第２の両シートは同様のもので本質的差異
はない。第２図は、クラッド層形成用の液状樹脂４をコ
ア列表面に塗布した状態を示す断面図である。第３図は
２枚の光導波路シートの重ね合わせ結合部を示す断面図
である。コア列２の各列はクラッド層４で確実に隔離さ
れ、かつ、コア例の密度が２倍に上昇しているのが見ら
れる。
の一方のシートのみの断面の一例を示すものである０図
において、１はプラスチックフィルム、２は線状光導波
路であるコア列、３は現像除去部の光導波路欠落空間で
ある。第１、第２の両シートは同様のもので本質的差異
はない。第２図は、クラッド層形成用の液状樹脂４をコ
ア列表面に塗布した状態を示す断面図である。第３図は
２枚の光導波路シートの重ね合わせ結合部を示す断面図
である。コア列２の各列はクラッド層４で確実に隔離さ
れ、かつ、コア例の密度が２倍に上昇しているのが見ら
れる。
第４図は、第１、第２の光導波路シートが、夫々その一
端部面において結合されている状態を示す図である。
端部面において結合されている状態を示す図である。
第１、第２の光導波路シートが、全面において重ね合わ
せ結合される場合は、現像除去部の光導波路欠落空間３
の巾は、線状光導波路であるコア２の巾より大きくなけ
ればならないが、一部の端部面でのみ笛ね合わせ結合さ
れる場合は、その結合部のみで、現像除去部の光導波路
欠落空間３の巾は、線状光導波路であるコア２の巾より
大きければ良く、結合しない面では、その必要はない。
せ結合される場合は、現像除去部の光導波路欠落空間３
の巾は、線状光導波路であるコア２の巾より大きくなけ
ればならないが、一部の端部面でのみ笛ね合わせ結合さ
れる場合は、その結合部のみで、現像除去部の光導波路
欠落空間３の巾は、線状光導波路であるコア２の巾より
大きければ良く、結合しない面では、その必要はない。
即ち、コアの巾は、広巾から次第に狭くなるように変化
しても構わない。又、第５図に示す様に、コア列は平行
直線でなく、一方に収斂する形の扇形列でも良く、単位
列全部が確実にクラッド層で隔離されるように結合され
ていさえすれば、曲線状コア列であっても構わない。高
密度光導波路としての機能が発揮される端末においては
、第４図に示すように、コア列が必要かつ充分な最小の
クラッド層を残して密に配置されていることが望ましい
。
しても構わない。又、第５図に示す様に、コア列は平行
直線でなく、一方に収斂する形の扇形列でも良く、単位
列全部が確実にクラッド層で隔離されるように結合され
ていさえすれば、曲線状コア列であっても構わない。高
密度光導波路としての機能が発揮される端末においては
、第４図に示すように、コア列が必要かつ充分な最小の
クラッド層を残して密に配置されていることが望ましい
。
次に、本発明の製造法について説明する。
・ ブーラスチックフィルムは、その表面の屈折率が
コアとなる感光性樹脂層のそれより低い必要があり、比
較的屈折率の低い材料のものが選ばれるが、例えば、ポ
リフッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニル、ポリ四フッ化
エチレン等のフッ素樹脂からなるフィルム、もしくは、
シリコーン樹脂や、含フッ素上ツマ−の共重合体を表面
に塗布したポリエチレンテレフタレートフィルム等が用
いられる。
コアとなる感光性樹脂層のそれより低い必要があり、比
較的屈折率の低い材料のものが選ばれるが、例えば、ポ
リフッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニル、ポリ四フッ化
エチレン等のフッ素樹脂からなるフィルム、もしくは、
シリコーン樹脂や、含フッ素上ツマ−の共重合体を表面
に塗布したポリエチレンテレフタレートフィルム等が用
いられる。
この中でもポリフッ化ビニリデンフィルムや特願昭６２
−２０２９６０号明細書に開示されたフィルムが好まし
い。
−２０２９６０号明細書に開示されたフィルムが好まし
い。
感光性樹脂組成物としては、多官能メタクリレート、多
官能アクリレート等の多官能モノマー及び光重合開始剤
の混合物が用いられ、好ましくは、更に、線状重合体も
しくは共重合体を加えたものが用いられる。
官能アクリレート等の多官能モノマー及び光重合開始剤
の混合物が用いられ、好ましくは、更に、線状重合体も
しくは共重合体を加えたものが用いられる。
多官能モノマーとしては、例えば、エチレングリコール
ジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレー
ト、テトラエチレングリコールジアクリレート、ヘキサ
メチレングリコールジアクリレート、トリメチロールプ
ロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールジアク
リレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、１
．４−ブタンジオールジアクリレート、プロピレングリ
コールジアクリレート、更に特願昭６２−１４９７９７
号明細書に示された化合物（１）ないしく４）等がある
。光重合開始剤としては、ラジカル重合開始剤が好まし
く、２−エチルアントラキノン、ベンゾインメチルエー
テル、ジイソプロピルチオキサンドル、ベンゾフェノン
、ミヒラーケトン、ベンジルジメチルケタール、１−フ
ェニル−１，２−プロパンジオン−２−ｏ−（エトキシ
カルボニル）オキシム等がある。
ジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレー
ト、テトラエチレングリコールジアクリレート、ヘキサ
メチレングリコールジアクリレート、トリメチロールプ
ロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールジアク
リレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、１
．４−ブタンジオールジアクリレート、プロピレングリ
コールジアクリレート、更に特願昭６２−１４９７９７
号明細書に示された化合物（１）ないしく４）等がある
。光重合開始剤としては、ラジカル重合開始剤が好まし
く、２−エチルアントラキノン、ベンゾインメチルエー
テル、ジイソプロピルチオキサンドル、ベンゾフェノン
、ミヒラーケトン、ベンジルジメチルケタール、１−フ
ェニル−１，２−プロパンジオン−２−ｏ−（エトキシ
カルボニル）オキシム等がある。
線状重合体の例としては、ポリメチルメタクリレート、
ポリスチレン等が用いられる。光透過性と云う観点から
好ましい組合せは、特願昭６２−１４９７９７号明細書
に開示されている。
ポリスチレン等が用いられる。光透過性と云う観点から
好ましい組合せは、特願昭６２−１４９７９７号明細書
に開示されている。
感光性樹脂組成物層の厚みに制限はないが、１０μｍな
いし２００ ｐ ＋ｎが好ましく、更に好ましくは２０
μ園ないし１００μ匍である。
いし２００ ｐ ＋ｎが好ましく、更に好ましくは２０
μ園ないし１００μ匍である。
感光性樹脂組成物層は、一般には、その溶液をプラスチ
ックフィルム上に塗工し、乾燥することにより得られる
。露光方法には、フォトマスクを介して超高圧水銀灯な
どを用いる紫外線照射法、電子線や強力な可視光線を用
いる走査法等がある。
ックフィルム上に塗工し、乾燥することにより得られる
。露光方法には、フォトマスクを介して超高圧水銀灯な
どを用いる紫外線照射法、電子線や強力な可視光線を用
いる走査法等がある。
未露光部の除去、即ち、所謂現像は、一般には感光性樹
脂組成物を溶解する溶剤（現像液）で溶解、除去する方
法をとり、デインプ法、スプレィ法等があり、特に後者
が好ましい。
脂組成物を溶解する溶剤（現像液）で溶解、除去する方
法をとり、デインプ法、スプレィ法等があり、特に後者
が好ましい。
現像液については、好ましくは不燃性の１．１．１−ト
リクロロエタン、テトラクロロエタン等がある。
リクロロエタン、テトラクロロエタン等がある。
又、液状の感光性樹脂組成物を用いる時Ｇこしよ、圧気
で吹き飛ばしたり、界面活性剤水溶液で洗浄除去するこ
ともできる。
で吹き飛ばしたり、界面活性剤水溶液で洗浄除去するこ
ともできる。
光導波路パターンとしては、例えば、直線状の場合は、
光導波路中が感光層の厚みと同しか、もしくは、それ以
上、更に光導波路間隔が光導波路中以上である必要があ
る。
光導波路中が感光層の厚みと同しか、もしくは、それ以
上、更に光導波路間隔が光導波路中以上である必要があ
る。
クラッド層を形成させる液状樹脂は、接着性を満足する
限り、熱可塑性樹脂でも良いが、−船釣には、熱又は光
硬化性樹脂が望ましい。
限り、熱可塑性樹脂でも良いが、−船釣には、熱又は光
硬化性樹脂が望ましい。
本発明で開示された光導波路は、フォトリソグラフィー
技術を利用しているため、非常に高密度の光導波路を提
供することが出来る０例えば、既に述べた成形法で得ら
れた光導波路の場合、１■あたり数本程度の光導波路密
度であるのに対し、本発明で開示された方法によれば、
１關あたり１０本以上の光導波路密度が達成される。
技術を利用しているため、非常に高密度の光導波路を提
供することが出来る０例えば、既に述べた成形法で得ら
れた光導波路の場合、１■あたり数本程度の光導波路密
度であるのに対し、本発明で開示された方法によれば、
１關あたり１０本以上の光導波路密度が達成される。
なお、本発明には、光導波路シートが全面で結合してい
るものの他、光導波路コア列の一方の端部面のみで２枚
の光導波路シートが結合されている構造のものも含まれ
る。第５図はその構成の１例を示すもので、この構造の
光導波路は、一方の光導波路端面からＬＥＤアレイ等で
光を送り、その反射光を他方の端面から検知することも
可能となる。
るものの他、光導波路コア列の一方の端部面のみで２枚
の光導波路シートが結合されている構造のものも含まれ
る。第５図はその構成の１例を示すもので、この構造の
光導波路は、一方の光導波路端面からＬＥＤアレイ等で
光を送り、その反射光を他方の端面から検知することも
可能となる。
本発明で開示された高密度光導波路は、バーコードリー
グ、ファクシミリ等の読み取り用光導波路、位置センサ
、光プリンタ用光導波路等に用いられる。
グ、ファクシミリ等の読み取り用光導波路、位置センサ
、光プリンタ用光導波路等に用いられる。
次に、実施例を示す。部は重量部を示す。
実施例１
ポリメチルメタクリレート（旭化成工業■製ＢＯＰ−１
２３） ５８部、２官能アクリレートＨＸ−２２０（日
本化薬■製、構造式（１）の化合物３４２部、及びベン
ジルジメチルケタール１部をメチルエチルケトン１３５
部に熔解して均一溶液とした。これを濾過してゴミを除
いた後、１００μ腸の厚みのポリフッ化ビニリデンのフ
ィルム上にドクターブレードで塗布し、乾燥して５０μ
簡の厚みの透明な塗膜を得た。フォトマスクを通して、
２００１１Ｊ／Ｃ１！の紫外線を照射し、１．１．１−
）リクロロエタンを用いて現像し、水洗によるリンス
を行って、巾５０μｍ、長さ３００ｆｆｌＩ１１の直線
状光導波路を７０μ（至）間隔で平行に３０本形成した
。
２３） ５８部、２官能アクリレートＨＸ−２２０（日
本化薬■製、構造式（１）の化合物３４２部、及びベン
ジルジメチルケタール１部をメチルエチルケトン１３５
部に熔解して均一溶液とした。これを濾過してゴミを除
いた後、１００μ腸の厚みのポリフッ化ビニリデンのフ
ィルム上にドクターブレードで塗布し、乾燥して５０μ
簡の厚みの透明な塗膜を得た。フォトマスクを通して、
２００１１Ｊ／Ｃ１！の紫外線を照射し、１．１．１−
）リクロロエタンを用いて現像し、水洗によるリンス
を行って、巾５０μｍ、長さ３００ｆｆｌＩ１１の直線
状光導波路を７０μ（至）間隔で平行に３０本形成した
。
ここで得られた光導波路フィルムの光導波路列上ニＵＶ
１ｌ！化型シリ：２− ／ＴＵＶ−６０００（東芝シリ
コーン■製〕を塗布した後、同じパターンを描いた光導
波路フィルムを、その光導波路コアが先の光導波路コア
列の間に入る様に重ね、圧着した後、紫外線を３００＋
ｍＪ／ａｄ照射した。
１ｌ！化型シリ：２− ／ＴＵＶ−６０００（東芝シリ
コーン■製〕を塗布した後、同じパターンを描いた光導
波路フィルムを、その光導波路コアが先の光導波路コア
列の間に入る様に重ね、圧着した後、紫外線を３００＋
ｍＪ／ａｄ照射した。
この直線状光導波路の損失係数を、波長６３２．８ｉｎ
＋のＨｅ−Ｎｅレーザー（出力２ ｍＷ）を用いて測定
したところ４ｄＢ／＋＊の良好な値を得た。
＋のＨｅ−Ｎｅレーザー（出力２ ｍＷ）を用いて測定
したところ４ｄＢ／＋＊の良好な値を得た。
構造式（１）及び（２）
α。
構造式（１） Ｒ＝Ｈｍ十ｎ＝２
構造式（２） Ｒ＝ＣＨ３
実施例２
ポリメチルメタクリレート（旭化成工業■製デ゛ ル
ペット８ＯＮ ） ５８部、２官能メタクリレートＨＸ
−２２０Ｍ （日本化薬■製、構造式（２）の化合物３
４２部、及びベンジルジメチルケタール１部をメチルエ
チルケトン１３５部に溶解して均一溶液とした。これを
濾過してゴミを除いた後、ポリ （メタクリル酸２．２
．２− ）リフルオロエチル／メタクリル酸グリシジル
）を１０．ｌ７Ｉｌｌの厚みに塗布した２５μｍ厚みの
ポリエチレンテレフタレートフィルムに塗布し、乾燥し
て４０μｍの厚みの透明な塗膜を得た。フォトマスクを
通して、２００ａ＋Ｊ／ｃＩｉの紫外線を照射し、１．
１．１− ）リクロロエタンを用いて現像し、水洗によ
るリンスを行って、第５図に示すパターンの光導波路を
２枚得た。２枚のフィルム間をシリコーン樹脂ＸＥ−５
６５０を介して実施例１と同様に貼り合わ゛せた後、１
００℃で３０分加熱した。得られた光導波路は、５ｄＢ
／＋ｗの光導波損失であった。
ペット８ＯＮ ） ５８部、２官能メタクリレートＨＸ
−２２０Ｍ （日本化薬■製、構造式（２）の化合物３
４２部、及びベンジルジメチルケタール１部をメチルエ
チルケトン１３５部に溶解して均一溶液とした。これを
濾過してゴミを除いた後、ポリ （メタクリル酸２．２
．２− ）リフルオロエチル／メタクリル酸グリシジル
）を１０．ｌ７Ｉｌｌの厚みに塗布した２５μｍ厚みの
ポリエチレンテレフタレートフィルムに塗布し、乾燥し
て４０μｍの厚みの透明な塗膜を得た。フォトマスクを
通して、２００ａ＋Ｊ／ｃＩｉの紫外線を照射し、１．
１．１− ）リクロロエタンを用いて現像し、水洗によ
るリンスを行って、第５図に示すパターンの光導波路を
２枚得た。２枚のフィルム間をシリコーン樹脂ＸＥ−５
６５０を介して実施例１と同様に貼り合わ゛せた後、１
００℃で３０分加熱した。得られた光導波路は、５ｄＢ
／＋ｗの光導波損失であった。
第１図は、本発明の光導波路シートの重ね合わせ結合部
の一方のシートのみの断面の一例を示す断面図、第２図
は、クラッド層形成用の液状樹脂をコア列表面に塗布し
た状態を示す光導波路シートの断面図、第３図は、２枚
の光導波路シートの重ね合わせ結合部を示す断面図、第
４図は、第１、第２の光導波路シートが、夫々その一端
部面において結合されている状態を示す断面図、第５図
は、実施例２で作成された光導波路シートのコア列パタ
ーンを示す表面図である。 １・・・クラッドフィルム ２・・・コア ３・・・未露光部 ４・・・クラッド樹脂層
の一方のシートのみの断面の一例を示す断面図、第２図
は、クラッド層形成用の液状樹脂をコア列表面に塗布し
た状態を示す光導波路シートの断面図、第３図は、２枚
の光導波路シートの重ね合わせ結合部を示す断面図、第
４図は、第１、第２の光導波路シートが、夫々その一端
部面において結合されている状態を示す断面図、第５図
は、実施例２で作成された光導波路シートのコア列パタ
ーンを示す表面図である。 １・・・クラッドフィルム ２・・・コア ３・・・未露光部 ４・・・クラッド樹脂層
Claims (2)
- （１）プラスチックフィルム表面に、該フィルムの表面
より屈折率の高い感光性樹脂硬化物からなる複数の線状
光導波路が、間隔を置いて並んで形成されてなる光導波
路シートの２枚からなり、［１］該両シートは、そのシ
ートの全面又は一部の端部面（線状光導波路の長手方向
と直角の帯状面）において、互いに光導波路を内側にし
て結合されており、［２］その結合の態様は、両シート
の線状光導波路のコア列が、互いに相手シートの光導波
路欠落空間を小間隙を置いて埋め合って並ぶ関係にあり
、かつ、埋め合う両シートのコア列の全部が、その小隙
間を埋める、光導波路の屈折率より低い屈折率を有する
樹脂からなるクラッド層により隔離されていることを特
徴とする高密度光導波路。 - （２）プラスチックフィルム上に、該フィルムの表面よ
り高い屈折率の感光性樹脂組成物よりなる層を形成せし
めた後、パターン状に露光硬化し、次に未露光部を除去
して、間隔を置いて並んだ線状光導波路からなるコア列
を有する第１の光導波路シートを得、次いで、該第１シ
ートの光導波路側の全面又はその一部端部面（線状光導
波路の長手方向と直角の帯状面）上に、該感光性樹脂組
成物より低い屈折率のクラッド層形成用液状樹脂を塗布
した後、該樹脂塗布領域に、第１の光導波路シートと同
様の方法で作成した第２の光導波路シートの該当部を、
両シートの線状光導波路であるコア列が、互いに相手シ
ートの光導波路欠落領域を小間隙を置いて埋め合って並
ぶ関係に重ね合わせ、上記液状樹脂を固化させてクラッ
ド層を形成することを特徴とする高密度光導波路の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26589587A JPH01107216A (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | 高密度光導波路及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26589587A JPH01107216A (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | 高密度光導波路及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01107216A true JPH01107216A (ja) | 1989-04-25 |
Family
ID=17423593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26589587A Pending JPH01107216A (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | 高密度光導波路及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01107216A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002258077A (ja) * | 2001-03-05 | 2002-09-11 | Hitachi Cable Ltd | ポリマ光導波路およびその製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4898845A (ja) * | 1972-03-30 | 1973-12-14 | ||
| JPS57155507A (en) * | 1981-03-20 | 1982-09-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | Manufacture of high density photoconductive sheet |
| JPS58158612A (ja) * | 1982-03-16 | 1983-09-20 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | プラスチツク光伝送体の製造方法 |
-
1987
- 1987-10-21 JP JP26589587A patent/JPH01107216A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4898845A (ja) * | 1972-03-30 | 1973-12-14 | ||
| JPS57155507A (en) * | 1981-03-20 | 1982-09-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | Manufacture of high density photoconductive sheet |
| JPS58158612A (ja) * | 1982-03-16 | 1983-09-20 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | プラスチツク光伝送体の製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002258077A (ja) * | 2001-03-05 | 2002-09-11 | Hitachi Cable Ltd | ポリマ光導波路およびその製造方法 |
| JP4506006B2 (ja) * | 2001-03-05 | 2010-07-21 | 日立電線株式会社 | ポリマ光導波路の製造方法 |
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