JP7856074B2 - インダクタ部品 - Google Patents

Description

本発明は、インダクタ部品に関する。

特許文献１には、素体と、上記素体内に設けられ、軸に沿って螺旋状に巻き回されたコイルと、上記素体に設けられ、上記コイルに電気的に接続された第１外部電極及び第２外部電極とを備え、上記素体は、上記軸に沿って積層された複数の絶縁層を有し、上記コイルは、上記軸に沿って積層された複数のコイル配線と、上記軸に沿って延在して上記軸方向に隣り合う上記コイル配線を接続するビア配線とを有し、上記複数のコイル配線は、それぞれが平面に沿って巻回され、電気的に直列に接続されながら螺旋を構成し、上記複数のコイル配線は、上記軸に平行な方向の最も一方側に位置して上記第１外部電極に接続される第１のコイル配線と、上記軸に平行な方向の最も他方側に位置して上記第２外部電極に接続される第２のコイル配線とを有し、上記ビア配線における上記軸に平行な方向の上記一方側の端面の面積は、上記ビア配線における上記軸に平行な方向の上記他方側の端面の面積よりも小さく、上記第２のコイル配線の上記軸に平行な方向の厚みは、上記第１のコイル配線の上記軸に平行な方向の厚みよりも厚い、インダクタ部品が開示されている。

特許文献２には、積層された複数層を含む積層型チップ部品であって、三層以上の導体層が積層されてなる導体路を有し、上記導体路の少なくとも一部において、中間導体層の上側及び下側に該中間導体層より幅の狭い外側導体層が形成される、積層型チップ部品が開示されている。

特開２０２２－１２８９７５号公報 特開２００３－２５７７４０号公報

特許文献１に記載のインダクタ部品では、Ｑ値向上のためコイル内径を大きくすると、素体の稜線部で素体内部のコイル配線が露出してしまう可能性がある。なお、特許文献１の図１では、素体の稜線部は直角に示されているが、実際のインダクタ部品では素体の稜線部は湾曲している（Ｒが付いている）。

特許文献２に記載のインダクタ部品では、特許文献２の図３に示されるように、導体路の断面の４隅が全て階段形状になっているため、導体路の断面積が小さくなってしまう。これによりＲｄｃ（直流抵抗）が大きくなる。ここで、Ｑ＝Ｘ／Ｒ＝Ｘ／（Ｒｄｃ＋Ｒａｃ）（ただし、Ｒａｃは交流抵抗）より、低周波ではＲｄｃが損失の主要因となり、低周波におけるＱ値が低下してしまう。

本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、素体の稜線部における内部配線の露出を抑えながらＱ値を向上することが可能なインダクタ部品を提供することを目的とするものである。

本発明のインダクタ部品は、長さ方向に相対する一対の端面と、高さ方向に相対する天面及び底面と、幅方向に相対する一対の側面と、を含む直方体状の素体と、上記素体内部に設けられ、コイル軸方向に沿って螺旋状に巻回されたコイルを含む内部配線と、上記内部配線の一方端部に電気的に接続され、かつ、上記一対の端面の一方に設けられた第１外部電極と、上記内部配線の他方端部に電気的に接続され、かつ、上記一対の端面の他方に設けられた第２外部電極と、を備え、上記コイル軸方向に平行な断面であって上記内部配線の延在する方向に直交する断面において、上記内部配線は４つの隅部を有し、上記内部配線のうち、上記コイル軸方向に平行な方向におけるいずれか一方の最も端に位置する上記内部配線は、上記素体の角部に隣接する上記隅部の形状が、残り３つの上記隅部の形状と異なるものを含む、ことを特徴とする。

本発明によれば、素体の稜線部における内部配線の露出を抑えながらＱ値を向上することが可能なインダクタ部品を提供できる。

図１は、本発明の実施形態１のインダクタ部品の一例を示す斜視模式図である。 図２は、図１に示すインダクタ部品の線分ａ１－ａ２に沿う断面の一例を示す断面模式図である。 図３は、図１に示すインダクタ部品の線分ｂ１－ｂ２に沿う断面の一例を示す断面模式図である。 図４は、図２又は図３に示すインダクタ部品において素体の角部とその近傍の一例を示す断面模式図である。 図５は、本発明の実施形態２のインダクタ部品の一例を示す斜視模式図である。 図６は、図５に示すインダクタ部品の線分ａ１－ａ２に沿う断面の一例を示す断面模式図である。 図７は、図５に示すインダクタ部品の線分ｂ１－ｂ２に沿う断面の一例を示す断面模式図である。 図８は、本発明の実施形態３のインダクタ部品の一例を示す斜視模式図である。 図９は、図８に示すインダクタ部品の線分ａ１－ａ２に沿う断面の一例を示す断面模式図である。 図１０は、図９に示すインダクタ部品の線分ｂ１－ｂ２に沿う断面の一例を示す断面模式図である。 図１１は、本発明の実施形態４のインダクタ部品の一例を示す断面模式図である。 図１２は、図１１に示すインダクタ部品において素体の角部とその近傍の一例を示す断面模式図である。

以下、本発明のインダクタ部品について説明する。なお、本発明は、以下の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更されてもよい。また、以下において記載する個々の好ましい構成を複数組み合わせたものもまた本発明である。

以下に示す各実施形態は例示であり、異なる実施形態で示す構成の部分的な置換又は組み合わせが可能であることは言うまでもない。実施形態２以降では、実施形態１と共通の事項についての記載は省略し、異なる点を主に説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については、実施形態毎に逐次言及しない。

以下の説明において、各実施形態を特に区別しない場合、単に「本発明のインダクタ部品」と言う。

以下に示す図面は模式図であり、その寸法、縦横比の縮尺等は実際の製品と異なる場合がある。

本明細書中、要素間の関係性を示す用語（例えば、「平行」、「垂直」、「直交」等）及び要素の形状を示す用語は、文字通りの厳密な態様のみを意味するだけではなく、実質的に同等な範囲、例えば、数％程度の差異を含む範囲も意味する。

本発明のインダクタ部品は、長さ方向に相対する一対の端面と、高さ方向に相対する天面及び底面と、幅方向に相対する一対の側面と、を含む直方体状の素体と、上記素体内部に設けられ、コイル軸方向に沿って螺旋状に巻回されたコイルを含む内部配線と、上記内部配線の一方端部に電気的に接続され、かつ、上記一対の端面の一方に設けられた第１外部電極と、上記内部配線の他方端部に電気的に接続され、かつ、上記一対の端面の他方に設けられた第２外部電極と、を備え、上記コイル軸方向に平行な断面であって上記内部配線の延在する方向に直交する断面において、上記内部配線は４つの隅部を有し、上記内部配線のうち、上記コイル軸方向に平行な方向におけるいずれか一方の最も端に位置する上記内部配線は、上記素体の角部に隣接する上記隅部の形状が、残り３つの上記隅部の形状と異なるものを含む、ことを特徴とする。

［実施形態１］
本発明のインダクタ部品の一例を、本発明の実施形態１のインダクタ部品として以下に説明する。

図１は、本発明の実施形態１のインダクタ部品の一例を示す斜視模式図である。

図１に示すインダクタ部品１Ａは、素体１０と、コイル２０を含む内部配線２５と、第１外部電極３０ａと、第２外部電極３０ｂと、を有している。

本明細書中、長さ方向、高さ方向、及び、幅方向を、図１等に示すように、各々、Ｌ、Ｔ、及び、Ｗで定められる方向とする。ここで、長さ方向Ｌと高さ方向Ｔと幅方向Ｗとは、互いに直交している。

図１に示すように、インダクタ部品１Ａにおいて、素体１０の表面は、長さ方向Ｌに相対する一対の端面１１ａ及び端面１１ｂと、高さ方向Ｔに相対する天面１２ａ及び底面１２ｂと、幅方向Ｗに相対する一対の側面１３ａ及び側面１３ｂと、を含んでいる。インダクタ部品１Ａにおいて、幅方向Ｗは、コイル２０のコイル軸方向に平行である。つまり、インダクタ部品１Ａにおいて、素体１０の表面は、コイル軸方向に平行な底面１２ｂと、コイル軸方向に直交する高さ方向Ｔにおいて底面１２ｂに相対する天面１２ａと、を含んでいる。

インダクタ部品１Ａにおいて、素体１０の底面１２ｂは、実装面である。より具体的には、素体１０の底面１２ｂは、インダクタ部品１Ａの実装時に実装対象物（例えば、基板）に対向する実装面である。よって、インダクタ部品１Ａでは、素体１０の実装面、すなわち、素体１０の底面１２ｂがコイル軸方向に平行である。

素体１０の表面のうちの少なくとも１つの面、すなわち、端面１１ａ、端面１１ｂ、天面１２ａ、底面１２ｂ、側面１３ａ、及び、側面１３ｂの少なくとも１つの面には、各面を識別しやすくするためのマーキングが施されていてもよい。

素体１０の端面１１ａ及び端面１１ｂは、長さ方向Ｌに厳密に直交している必要はない。また、素体１０の天面１２ａ及び底面１２ｂは、高さ方向Ｔに厳密に直交している必要はない。更に、素体１０の側面１３ａ及び側面１３ｂは、幅方向Ｗに厳密に直交している必要はない。

図１に示すように、素体１０は、直方体状である。

本明細書中、直方体状は、実質的に直方体状と言える形状であればよく、例えば、後述するように角部及び稜線部に丸みが付けられている略直方体状を含む。

素体１０は、角部及び稜線部に丸みが付けられていることが好ましい。素体１０の角部は、素体１０を立体的にとらえた場合は、素体１０の３面が交わる部分であり、後述するように素体１０を断面で見た場合は、素体１０の２辺が交わる部分である。素体１０の稜線部は、素体１０の２面が交わる部分である。

素体１０は、絶縁層を含んでおり、素体１０は、複数の絶縁層がコイル軸方向に積層されてなるが、実際にはこれらの境界が明瞭に現れないため、図１では絶縁層を図示していない。

絶縁層を構成する絶縁材料としては、例えば、硼珪酸ガラスを主成分とするガラス材料、セラミックス材料、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、ポリマー樹脂等の有機材料、ガラスエポキシ樹脂等の複合材料等が挙げられる。絶縁材料としては、特に、誘電率及び誘電損失が小さい材料が好ましい。

複数の絶縁層を構成する絶縁材料は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

複数の絶縁層のコイル軸方向における寸法は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

図１に示すように、コイル２０は、素体１０の内部に設けられ、かつ、コイル軸方向に沿って螺旋状に巻回されている。

コイル２０のコイル軸方向は、コイル２０のコイル軸Ｃが延びる方向であり、上述したように素体１０の実装面である底面１２ｂに平行である。

コイル２０は、素体１０の内部に設けられた内部配線２５の少なくとも一部がコイル軸方向に積層されつつ電気的に接続されることにより、螺旋状に巻回された状態で構成されている。

内部配線２５は、複数の内部配線、具体的には、第１内部配線２５ａ及び第２内部配線２５ｂを含んでいる。すなわち、本実施形態において、内部配線２５の積層数は２である。

第１内部配線２５ａは、複数の内部配線２５のうち、コイル軸方向に平行な方向における一方の最も端に位置する内部配線であり、内部配線２５において、コイル軸方向における素体１０の側面１３ａ側の最外位置に存在している。

第１内部配線２５ａは、第１外部電極３０ａに接続されている。

第２内部配線２５ｂは、複数の内部配線２５のうち、コイル軸方向に平行な方向における他方の最も端に位置する内部配線であり、内部配線２５において、コイル軸方向における素体１０の側面１３ｂ側の最外位置に存在している。

第２内部配線２５ｂは、第２外部電極３０ｂに接続されている。

なお、後述する実施形態２のように、コイル軸方向における第１内部配線２５ａと第２内部配線２５ｂとの間には、少なくとも１つの内部配線が存在していてもよい。

第１内部配線２５ａは、第１コイル配線２１ａと、第１引出配線２２ａと、を含んでいる。

第２内部配線２５ｂは、第２コイル配線２１ｂと、第２引出配線２２ｂと、を含んでいる。

コイル２０は、内部配線２５の少なくとも一部、より具体的には、第１コイル配線２１ａ及び第２コイル配線２１ｂを含む複数のコイル配線がコイル軸方向に積層されつつ電気的に接続されてなる。つまり、第１コイル配線２１ａ及び第２コイル配線２１ｂは、各々、コイル２０を構成している。

第１コイル配線２１ａは、単層構造を有していてもよいが、製造の容易性の観点からは複層構造を有していることが好ましい。

第２コイル配線２１ｂは、単層構造を有していてもよいが、製造の容易性の観点からは複層構造を有していることが好ましい。

なお、コイル軸方向における第１コイル配線２１ａと第２コイル配線２１ｂとの間には、少なくとも１つのコイル配線が存在していてもよい。

コイル配線を構成する導電材料としては、例えば、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ａｌ、これらの金属の少なくとも１種を含有する合金等が挙げられる。

複数のコイル配線を構成する導電材料は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

複数のコイル配線のコイル軸方向における寸法は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

複数のコイル配線について、コイル軸方向から見たときのコイル配線が延びる方向に直交する方向における寸法、つまり、コイル軸方向から見たときの幅は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

複数のコイル配線のうち、コイル軸方向に隣り合うコイル配線は、その隣り合うコイル配線間の絶縁層をコイル軸方向に貫通する接続導体（ビア）を介して電気的に接続されていてもよい。図１に示す例では、コイル２０は、コイル軸方向に積層された第１コイル配線２１ａと第２コイル配線２１ｂが接続導体６０を介して電気的に接続されてなっている。

接続導体は、単層構造を有していてもよいし、複層構造を有していてもよい。

接続導体を構成する導電材料としては、例えば、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ａｌ、これらの金属の少なくとも１種を含有する合金等が挙げられる。

コイル軸方向から見たとき、コイル２０は、直線部のみで構成される形状であってもよいし、曲線部のみで構成される形状であってもよいし、直線部及び曲線部で構成される形状であってもよい。例えば、コイル軸方向から見たとき、コイル２０は、例えば、円形状であってもよいし、楕円形状であってもよいし、多角形状であってもよい。

図１に示すように、第１外部電極３０ａは、内部配線２５（ここでは第１内部配線２５ａ）の一方端部に電気的に接続されている。より具体的には、図１に示すように、コイル２０を構成する第１コイル配線２１ａは、第１引出配線２２ａを介して、第１外部電極３０ａに電気的に接続されている。つまり、第１引出配線２２ａは、第１コイル配線２１ａ及び第１外部電極３０ａを接続している。

第１引出配線２２ａは、単層構造を有していてもよいし、複層構造を有していてもよい。

図１に示すように、第２外部電極３０ｂは、内部配線２５（ここでは第２内部配線２５ｂ）の他方端部に電気的に接続されている。より具体的には、図１に示すように、コイル２０を構成する第２コイル配線２１ｂは、第２引出配線２２ｂを介して、第２外部電極３０ｂに電気的に接続されている。つまり、第２引出配線２２ｂは、第２コイル配線２１ｂ及び第２外部電極３０ｂを接続している。

第２引出配線２２ｂは、単層構造を有していてもよいし、複層構造を有していてもよい。

引出配線を構成する導電材料としては、例えば、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ａｌ、これらの金属の少なくとも１種を含有する合金等が挙げられる。

第１引出配線２２ａ及び第２引出配線２２ｂを構成する導電材料は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。

本明細書中、コイル軸方向から見たときにコイルの周回部に重なっていない（コイルの周回部からはみ出している）配線を引出配線とする（例えば、図１に示す例）。

図１に示すように、第１外部電極３０ａは、素体１０の端面１１ａに設けられている。つまり、図１に示す例において、第１外部電極３０ａは、少なくとも素体１０の端面１１ａに露出している。

図１に示すように、第１外部電極３０ａは、素体１０の底面１２ｂに露出していることが好ましい。

図１に示す例において、第１外部電極３０ａは、素体１０の端面１１ａの一部から底面１２ｂの一部にわたって延びている。つまり、図１に示す例において、第１外部電極３０ａは、素体１０の端面１１ａの一部に加えて、素体１０の底面１２ｂの一部にも露出している。

なお、第１外部電極３０ａは、素体１０の端面１１ａのみに露出していてもよい。

図１に示すように、第２外部電極３０ｂは、素体１０の端面１１ｂに設けられている。つまり、図１に示す例において、第２外部電極３０ｂは、少なくとも素体１０の端面１１ｂに露出している。

図１に示すように、第２外部電極３０ｂは、素体１０の底面１２ｂに露出していることが好ましい。

図１に示す例において、第２外部電極３０ｂは、素体１０の端面１１ｂの一部から底面１２ｂの一部にわたって延びている。つまり、図１に示す例において、第２外部電極３０ｂは、素体１０の端面１１ｂの一部に加えて、素体１０の底面１２ｂの一部にも露出している。

なお、第２外部電極３０ｂは、素体１０の端面１１ｂのみに露出していてもよい。

以上のように、第１外部電極３０ａ及び第２外部電極３０ｂは、コイル軸方向に直交する方向（ここでは、長さ方向Ｌ）に互いに離れるように設けられている。

また、第１外部電極３０ａ及び第２外部電極３０ｂが、各々、実装面である素体１０の底面１２ｂに露出していると、インダクタ部品１Ａの実装性が向上しやすくなる。

図１に示す例において、第１外部電極３０ａのコイル軸方向における寸法は、素体１０のコイル軸方向における寸法よりも小さい。

なお、第１外部電極３０ａのコイル軸方向における寸法は、素体１０のコイル軸方向における寸法と同じであってもよい。

図１に示す例において、第２外部電極３０ｂのコイル軸方向における寸法は、素体１０のコイル軸方向における寸法よりも小さい。

なお、第２外部電極３０ｂのコイル軸方向における寸法は、素体１０のコイル軸方向における寸法と同じであってもよい。

外部電極を構成する導電材料としては、例えば、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ａｌ、これらの金属の少なくとも１種を含有する合金等が挙げられる。

第１外部電極３０ａ及び第２外部電極３０ｂを構成する導電材料は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。

第１外部電極３０ａは、単層構造を有していてもよいし、複層構造を有していてもよい。

第１外部電極３０ａは、コイル２０側から順に、上述した導電材料（例えば、Ａｇ）を含む下地電極と、Ｎｉめっき電極と、Ｓｎめっき電極と、を有していてもよい。この場合、第１外部電極３０ａでは、下地電極が素体１０の表面（図１では、素体１０の端面１１ａ及び底面１２ｂ）と一体の面をなし、Ｎｉめっき電極及びＳｎめっき電極が下地電極を覆うように素体１０の表面（図１では、素体１０の端面１１ａ及び底面１２ｂ）から盛り上がっていてもよい。

第２外部電極３０ｂは、単層構造を有していてもよいし、複層構造を有していてもよい。

第２外部電極３０ｂは、コイル２０側から順に、上述した導電材料（例えば、Ａｇ）を含む下地電極と、Ｎｉめっき電極と、Ｓｎめっき電極と、を有していてもよい。この場合、第２外部電極３０ｂでは、下地電極が素体１０の表面（図１では、素体１０の端面１１ｂ及び底面１２ｂ）と一体の面をなし、Ｎｉめっき電極及びＳｎめっき電極が下地電極を覆うように素体１０の表面（図１では、素体１０の端面１１ｂ及び底面１２ｂ）から盛り上がっていてもよい。

図２は、図１に示すインダクタ部品の線分ａ１－ａ２に沿う断面の一例を示す断面模式図である。図３は、図１に示すインダクタ部品の線分ｂ１－ｂ２に沿う断面の一例を示す断面模式図である。図２及び図３はいずれも、コイル軸方向に平行な断面であって内部配線２５の延在する方向に直交する断面を示している。このような断面を、以下、単に「垂直断面」と言う。より具体的には、図２は、図１に示すインダクタ部品１Ａの長さ方向Ｌ及び幅方向Ｗに沿う垂直断面、すなわちＬＷ面のうち、第１コイル配線２１ａ及び第２コイル配線２１ｂを含む垂直断面を示している。図３は、図１に示すインダクタ部品１Ａの幅方向Ｗ及び高さ方向Ｔに沿う垂直断面、すなわちＷＴ面のうち、第１コイル配線２１ａ及び第２コイル配線２１ｂを含む垂直断面を示している。

図２に示すように、垂直断面（ＬＷ面）において、各内部配線２５は、４つの隅部４０ａ～４０ｄを有しており、コイル軸方向に平行な方向におけるいずれか一方の最も端に位置する内部配線２５は、素体１０の角部１４に隣接する隅部４０ａの形状が、残り３つの隅部４０ｂ～４０ｄの形状と異なっている。

これにより、隅部４０ａの形状を素体１０の角部１４から露出し難いような形状（例えば、図２に示す切り欠き形状等）としつつ、残り３つの隅部４０ｂ～４０ｄの形状を内部配線２５の断面積を大きくできる形状（例えば、図２に示す直角形状等）とすることが可能である。すなわち、Ｒｄｃを低減することができる。そのため、素体１０の稜線部、具体的には角部１４を含む稜線部に、最も端に位置する内部配線２５が露出することを抑えながら、インダクタ部品１ＡのＱ値、特に低周波でのＱ値を向上することが可能である。

図２に示す例では、垂直断面（ＬＷ面）において、コイル軸方向に平行な方向における一方の最も端に位置する第１内部配線２５ａの第１コイル配線２１ａは、素体１０の２つの角部１４に隣接して２つの配線部２３ａをそれぞれ有しており、各配線部２３ａにおいて、４つの隅部４１ａ～４１ｄのうち、素体１０の角部１４に隣接する隅部４１ａの形状が、残り３つの隅部４１ｂ～４１ｄの形状と異なっている。

図２に示す例では、垂直断面（ＬＷ面）において、コイル軸方向に平行な方向における他方の最も端に位置する第２内部配線２５ｂの第２コイル配線２１ｂは、素体１０の２つの角部１４に隣接して２つの配線部２３ｂをそれぞれ有しており、各配線部２３ｂにおいて、４つの隅部４２ａ～４２ｄのうち、素体１０の角部１４に隣接する隅部４２ａの形状が、残り３つの隅部４２ｂ～４２ｄの形状と異なっている。

また、図３に示すように、垂直断面（ＷＴ面）においても、各内部配線２５は、隅部４０ａ～４０ｄを有しており、コイル軸方向に平行な方向におけるいずれか一方の最も端に位置する内部配線２５は、素体１０の角部１４に隣接する隅部４０ａの形状が、残り３つの隅部４０ｂ～４０ｄの形状と異なっている。

これによっても、図２に示した場合と同様に、隅部４０ａの形状を素体１０の角部１４から露出し難いような形状（例えば、図３に示す切り欠き形状等）としつつ、残り３つの隅部４０ｂ～４０ｄの形状を内部配線２５の断面積を大きくできる形状（例えば、図３に示す直角形状等）とすることが可能である。すなわち、Ｒｄｃを低減することができる。そのため、素体１０の稜線部、具体的には角部１４を含む稜線部に、最も端に位置する内部配線２５が露出することを抑えながら、インダクタ部品１ＡのＱ値、特に低周波でのＱ値を向上することが可能である。

図３に示す例では、垂直断面（ＷＴ面）において、コイル軸方向に平行な方向における一方の最も端に位置する第１内部配線２５ａの第１コイル配線２１ａは、素体１０の１つの角部１４に隣接して１つの配線部２３ａを有しており、配線部２３ａにおいて、４つの隅部４１ａ～４１ｄのうち、素体１０の角部１４に隣接する隅部４１ａの形状が、残り３つの隅部４１ｂ～４１ｄの形状と異なっている。

図３に示す例では、垂直断面（ＷＴ面）において、コイル軸方向に平行な方向における他方の最も端に位置する第２内部配線２５ｂの第２コイル配線２１ｂは、素体１０の２つの角部１４に隣接して２つの配線部２３ｂをそれぞれ有しており、各配線部２３ｂにおいて、４つの隅部４２ａ～４２ｄのうち、素体１０の角部１４に隣接する隅部４２ａの形状が、残り３つの隅部４２ｂ～４２ｄの形状と異なっている。

なお、図２及び図３に示すように、ＬＷ面及びＷＴ面のいずれの垂直断面においても、素体１０の角部１４に隣接する隅部４０ａの形状が、残り３つの隅部４０ｂ～４０ｄの形状と異なっていることが好ましいが、ＬＷ面及びＷＴ面のいずれ一方の垂直断面のみにおいて、この関係を満たしていてもよい。

本実施形態では、少なくともＷＴ面において、この関係を満たしていることが好ましい。

ただし、本発明のインダクタ部品では、少なくとも１つの垂直断面において、この関係を満たしていればよい。

垂直断面において、各内部配線２５は、４つの隅部４０ａ～４０ｄを有しており、角部１４に隣接する隅部４０ａは、隅部４０ｃと対向する位置に配置されており、隅部４０ｂは、隅部４０ｄと対向する位置に配置されている。隅部４０ａは、素体１０の角部１４付近に配置されている。隅部４０ｂ及び４０ｄは、素体１０の平面部付近に配置されている。隅部４０ｃは、４つの隅部４０ａ～４０ｄのうち、最も素体１０の中心の近くに配置されている。

図２及び図３に示すように、垂直断面において、素体１０の角部１４に隣接する隅部４０ａの形状は、切り欠き形状であってもよい。

本明細書中、「切り欠き形状」とは、垂直断面において、内部配線の中心に向かって１つの凹部が設けられた形状であり、図２及び図３に示すように、段差が１段の階段状であってもよい。

垂直断面において、残り３つの隅部４０ｂ～４０ｄの形状は、特に限定されないが、図２及び図３に示すように、直角形状であってもよい。

ここで、「直角形状」は、角の頂点に丸み（Ｒ）が付けられていてもよい。

図４は、図２又は図３に示すインダクタ部品において素体の角部とその近傍の一例を示す断面模式図である。なお、図４中、破線は、製品のサイドギャップの位置を示す。すなわち、素体１０の外形からサイドギャップ分だけオフセットした位置を示す。他方、図２及び図３中の破線は、素体１０の外形から２０μｍ分だけオフセットした位置を示す。

垂直断面において、素体１０の角部１４に隣接する、内部配線２５の隅部４０ａは、素体１０の角部１４との間の距離ｄ（図４参照）が、製品のサイドギャップ以下（図４参照）、又は、２０μｍ以下（図２及び図３参照）、となる角部５０を、少なくとも１つ有することが好ましく、少なくとも２つ有することがより好ましい。これにより、内部配線２５の断面積をより大きくすることができるため、インダクタ部品１ＡのＱ値をより向上することが可能である。

図２に示す例では、垂直断面（ＬＷ面）において、素体１０の角部１４との間の距離が２０μｍ以下となる内部配線２５の角部５０が２箇所×４隅（合計８箇所）存在している。

図３に示す例では、垂直断面（ＷＴ面）において、素体１０の角部１４との間の距離が２０μｍ以下となる内部配線２５の角部５０が２箇所×３隅（合計６箇所）存在している。

図４に示す例では、垂直断面において、１つの角部１４当たり、サイドギャップからはみ出る内部配線２５の角部５０が２つ存在している。

本明細書中、製品のサイドギャップとは、長さ方向Ｌ、幅方向Ｗ及び高さ方向Ｔを問わず、内部配線から素体の表面（平面のみ）までの距離とする。より詳細には、図４に示すように、走査電子顕微鏡等で撮像した垂直断面の画像において、角部１４の湾曲に接続部１６を介して接続される素体１０の平面部１５の平均的な位置を通る直線を算出し、その直線と平行な直線であって、平面部１５に対向する内部配線２５の平均的な位置を通る直線を算出し、これら２直線間の距離を測定し、製品のサイドギャップとする。

サイドギャップの下限値は、耐衝撃性、耐めっき性及び耐圧の観点から、少なくとも２～３μｍ程度、好ましくは、５μｍ程度は必要と考えられる。また、２０μｍ程度のサイドギャップ設計であっても、加工ばらつきが３μｍ程度であれば、Ｃｐｋ＝１．６７となる最小サイドギャップは５μｍとなる。

このような観点からは、素体１０の角部１４と、角部１４に隣接する隅部４０ａの角部５０との距離ｄは、２μｍ以上であることが好ましく、３μｍ以上であることがより好ましく、５μｍ以上であることがさらに好ましい。

インダクタ部品１Ａは、例えば、フォトリソグラフィ法により製造される。すなわち、まず、絶縁ペースト層のフォトリソグラフィ法によるパターニングと、導体層のフォトリソグラフィ法によるパターニングとを繰り返すことにより、絶縁ペースト層、コイル導体層、接続導体層、及び、外部導体層を所定の積層構造になるように形成し、マザー積層体を作製する。

絶縁ペースト層のパターニングは、例えば、以下の方法で行うことができる。まず、硼珪酸ガラスを主成分とするガラス材料等を含む感光性絶縁ペーストをスクリーン印刷等で塗工することにより絶縁ペースト層を形成し、形成された絶縁ペースト層にフォトマスクを介して紫外線等を照射した後、アルカリ溶液等で現像することにより、絶縁ペースト層にビアホールや開口等を形成する。

導体層のパターニングは、例えば、以下の方法で行うことができる。まず、Ａｇ等を金属主成分とする感光性導電ペーストをスクリーン印刷等で塗工することにより導電ペースト層を形成し、形成された導電ペースト層にフォトマスクを介して紫外線等を照射した後、アルカリ溶液等で現像することにより、コイル導体層や外部導体層、コイル導体層及び外部導体層に接続された引出導体層等を形成する。

このとき、パターンの外形を変化させながら複数の導体パターンを多段形成（積層）することにより、垂直断面において、コイル軸方向に平行な方向におけるいずれか一方の最も端に位置する内部配線２５の隅部４０ｃを切り欠き形状や後述する階段形状に形成することができる。

なお、フォトマスクを用いた露光に代えて、例えば、フォトマスクを用いないＤＩ露光（ダイレクトイメージ露光又は直接描画とも呼ばれる）を行ってもよい。

コイル導体層、引出導体層、接続導体層、及び、外部導体層の導体パターンを形成する方法は、上述したフォトリソグラフィ法に限定されず、例えば、導体パターンの形状に開口が設けられたスクリーン印刷版を用いて導電ペーストを印刷積層する方法であってもよいし、スパッタ法、蒸着法、箔を圧着する方法等で導体膜を形成した後、導体パターンの形状になるように導体膜をエッチングする方法であってもよいし、セミアディティブ法でネガパターンを形成してからめっき膜を形成した後、導体パターンの形状になるようにめっき膜の不要部をエッチング等で除去する方法であってもよい。

導体パターンを多段形成する方法は、特に限定されず、例えば、上述したようにフォトリソグラフィ法を用いた工程を繰り返すことで導体パターンを繰り返し重ねる方法であってもよいし、セミアディティブ法で形成された導体パターンを繰り返し重ねる方法であってもよいし、セミアディティブ法で形成された導体パターンと、別途めっき成長させためっき膜をエッチングすることで形成された導体パターンとを順不同で重ねる方法であってもよいし、セミアディティブ法で形成されためっき膜を更にめっき成長させる方法であってもよい。

コイル導体層、引出導体層、接続導体層、及び、外部導体層の導体パターンを構成する導電材料は、上述したＡｇ等を金属主成分とする感光性導電ペーストに限定されず、例えば、スパッタ法、蒸着法、箔を圧着する方法、めっき法等で形成されるＡｇ、Ａｕ、Ｃｕ等の金属を含む導体であってもよい。

絶縁ペースト層を形成する方法は、上述したフォトリソグラフィ法に限定されず、例えば、絶縁材料からなるシートを圧着する方法であってもよいし、絶縁材料をスピンコートする方法であってもよいし、絶縁材料をスプレーコートする方法であってもよい。

ビアホール及び開口が設けられた絶縁ペースト層を形成する方法は、上述したフォトリソグラフィ法に限定されず、例えば、絶縁材料からなるシートを圧着する、絶縁材料をスピンコートする、絶縁材料をスプレーコートする等の方法で絶縁膜を形成した後、絶縁膜にレーザー加工、ドリル加工等を行うことによりビアホール及び開口を設ける方法であってもよい。

絶縁ペースト層を構成する絶縁材料は、上述した硼珪酸ガラスを主成分とするガラス材料に限定されず、例えば、セラミックス材料、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、ポリマー樹脂等の有機材料、ガラスエポキシ樹脂等の複合材料等であってもよい。絶縁材料としては、特に、誘電率及び誘電損失が小さい材料が好ましい。

その後、マザー積層体をダイシング等で切断することにより、複数の未焼成の積層体に個片化する。

未焼成の積層体は、絶縁ペースト層が積層されてなる絶縁ペースト積層部と、隣り合うコイル導体層が接続導体層を介して電気的に接続されるようにコイル導体層が積層されてなるコイル導体積層部と、外部導体層が積層されてなる外部導体積層部と、を有している。

未焼成の積層体に個片化する際、未焼成の積層体の切断面に含まれる少なくとも絶縁ペースト積層部の側面に、外部導体積層部を２箇所で露出させる。

次に、未焼成の積層体を焼成することにより、積層体を作製する。

未焼成の積層体を焼成すると、絶縁ペースト層が絶縁層となることにより、絶縁ペースト積層部は素体１０となる。また、未焼成の積層体を焼成すると、コイル導体層がコイル配線となることにより、コイル導体積層部はコイル２０となる。更に、未焼成の積層体を焼成すると、２つの外部導体積層部は、一方が第１外部電極３０ａの一部となり、他方が第２外部電極３０ｂの一部となる。

次に、得られた積層体に対して、例えば、バレル研磨処理を施すことにより、素体１０の角部及び稜線部に丸みを付けてもよい。

最後に、焼成後の２つの外部導体積層部を下地電極として、めっき処理により、各々の下地電極の表面上にＮｉめっき電極及びＳｎめっき電極を順に形成する。Ｎｉめっき電極及びＳｎめっき電極の厚みについては、各々、例えば、２μｍ以上、１０μｍ以下とする。

このようにして、下地電極、Ｎｉめっき電極、及び、Ｓｎめっき電極を素体１０の表面側から順に有する第１外部電極３０ａ及び第２外部電極３０ｂを形成する。この場合、第１外部電極３０ａでは、下地電極が素体１０の表面（図１では、素体１０の端面１１ａ及び底面１２ｂ）と一体の面をなし、Ｎｉめっき電極及びＳｎめっき電極が下地電極を覆うように素体１０の表面（図１では、素体１０の端面１１ａ及び底面１２ｂ）から盛り上がっていてもよい。また、第２外部電極３０ｂでは、下地電極が素体１０の表面（図１では、素体１０の端面１１ｂ及び底面１２ｂ）と一体の面をなし、Ｎｉめっき電極及びＳｎめっき電極が下地電極を覆うように素体１０の表面（図１では、素体１０の端面１１ｂ及び底面１２ｂ）から盛り上がっていてもよい。

外部電極を形成する方法は、上述したように未焼成の積層体の切断面（少なくとも絶縁ペースト積層部の側面）に露出させた外部導体積層部にめっき処理を施す方法に限定されず、例えば、上述したように未焼成の積層体の切断面（少なくとも絶縁ペースト積層部の側面）に外部導体積層部を露出させてから、外部導体積層部の露出部分を導電ペーストに浸漬（ディップ）したり、外部導体積層部の露出部分にスパッタ法で導電ペーストを成膜したりした後、めっき処理を施す方法であってもよい。

以上により、インダクタ部品１Ａが製造される。

インダクタ部品１Ａは、例えば、０４０２（０．４ｍｍ×０．２ｍｍ×０．２ｍｍ）サイズとして製造される。インダクタ部品１Ａのサイズは、０４０２（０．４ｍｍ×０．２ｍｍ×０．２ｍｍ）サイズに限定されない。

［実施形態２］
本発明の実施形態２のインダクタ部品において、内部配線の積層数は３である。本発明の実施形態２のインダクタ部品は、この点以外、本発明の実施形態１のインダクタ部品と同様である。

図５は、本発明の実施形態２のインダクタ部品の一例を示す斜視模式図である。

図５に示すインダクタ部品１Ｂにおいて、内部配線２５は、第１内部配線２５ａ及び第２内部配線２５ｂに加えて、第３内部配線２５ｃを含んでいる。すなわち、内部配線２５は、コイル軸方向に平行な方向において、一方の端に位置する第１内部配線２５ａと、他方の端に位置する第２内部配線２５ｂと、第１内部配線２５ａと第２内部配線２５ｂとの間に位置する第３内部配線２５ｃとを含んでいる。

第３内部配線２５ｃは、コイル軸方向に平行な方向における最も端に位置しない内部配線２５であり、内部配線２５において、コイル軸方向における中央位置に存在している。

第３内部配線２５ｃは、コイル軸方向における第１コイル配線２１ａと第２コイル配線２１ｂとの間に、第３コイル配線２１ｃを含んでいる。

本実施形態では、コイル２０は、第１コイル配線２１ａ、第２コイル配線２１ｂ及び第３コイル配線２１ｃを含む複数のコイル配線がコイル軸方向に積層されつつ電気的に接続されてなる。つまり、第１コイル配線２１ａ、第２コイル配線２１ｂ及び第３コイル配線２１ｃは、各々、コイル２０を構成している。

第３コイル配線２１ｃは、単層構造を有していてもよいし、複層構造を有していてもよい。

図６は、図５に示すインダクタ部品の線分ａ１－ａ２に沿う断面の一例を示す断面模式図である。図７は、図５に示すインダクタ部品の線分ｂ１－ｂ２に沿う断面の一例を示す断面模式図である。図６及び図７はいずれも、垂直断面を示している。より具体的には、図６は、図５に示すインダクタ部品１Ｂの長さ方向Ｌ及び幅方向Ｗに沿う垂直断面、すなわちＬＷ面のうち、第１コイル配線２１ａ、第２コイル配線２１ｂ及び第３コイル配線２１ｃを含む垂直断面を示している。図７は、図５に示すインダクタ部品１Ｂの幅方向Ｗ及び高さ方向Ｔに沿う垂直断面、すなわちＷＴ面のうち、第１コイル配線２１ａ、第２コイル配線２１ｂ及び第３コイル配線２１ｃを含む垂直断面を示している。

また、図６及び図７中の破線は、素体１０の外形から２０μｍ分だけオフセットした位置を示す。

図６及び図７に示すように、実施形態１と同様に、垂直断面において、コイル軸方向に平行な方向におけるいずれか一方の最も端に位置する内部配線２５は、素体１０の角部１４に隣接する隅部４０ａの形状が、残り３つの隅部４０ｂ～４０ｄの形状と異なっており、切り欠き形状である。

他方、本実施形態では、コイル軸方向に平行な方向における最も端に位置しない内部配線２５である第３内部配線２５ｃ、特に第３コイル配線２１ｃの隅部４３の形状は、垂直断面において、切り欠き形状や後述する階段形状や湾曲形状を含まない。このため、第３内部配線２５ｃの形状を第３内部配線２５ｃの断面積を大きくできる形状（例えば、矩形状等）とすることが可能である。そのため、インダクタ部品１ＡのＱ値をより向上することが可能である。

なお、第３内部配線２５ｃは、素体１０の平面部に対向する位置に存在するため、切り欠き形状等の形状を有さなくとも、素体１０の角部１４から露出することはない。

第３内部配線２５ｃは、４つの隅部４３を有しており、第３内部配線２５ｃの全ての隅部４３の形状は、互いに同じ形状であり、例えば、図６及び図７に示す直角形状である。

本実施形態でも実施形態１と同様に、垂直断面において、素体１０の角部１４に隣接する、最も端に位置する内部配線２５の隅部４０ａは、素体１０の角部１４との間の距離が、製品のサイドギャップ以下、又は、２０μｍ以下（図６及び図７参照）、となる角部５０を、少なくとも１つ有することが好ましく、少なくとも２つ有することがより好ましい。

図６に示す例では、垂直断面（ＬＷ面）において、素体１０の角部１４との間の距離が２０μｍ以下となる内部配線２５の角部５０が２箇所×４隅（合計８箇所）存在している。

図７に示す例では、垂直断面（ＷＴ面）において、素体１０の角部１４との間の距離が２０μｍ以下となる内部配線２５の角部５０が２箇所×３隅（合計６箇所）存在している。

［実施形態３］
本発明の実施形態３のインダクタ部品では、コイルのコイル軸方向が高さ方向Ｔと平行であり、垂直断面において、コイル軸方向に平行な方向におけるいずれか一方の最も端に位置する内部配線は、素体の角部に隣接する隅部の形状が階段形状である内部配線を含む。本発明の実施形態３のインダクタ部品は、この点以外、本発明の実施形態２のインダクタ部品と同様である。

図８は、本発明の実施形態３のインダクタ部品の一例を示す斜視模式図である。

図８に示すインダクタ部品１Ｃにおいて、高さ方向Ｔは、コイル２０のコイル軸方向に平行である。つまり、インダクタ部品１Ｃにおいて、素体１０の表面は、コイル軸方向に直交する底面１２ｂと、コイル軸方向と平行な高さ方向Ｔにおいて底面１２ｂに相対する天面１２ａと、を含んでいる。

インダクタ部品１Ｃにおいても、素体１０の底面１２ｂは、実装面である。よって、インダクタ部品１Ｃでは、素体１０の実装面、すなわち、素体１０の底面１２ｂがコイル軸方向に直交する。

コイル２０のコイル軸方向は、コイル２０のコイル軸Ｃが延びる方向であり、上述したように素体１０の実装面である底面１２ｂに直交する。

図８に示すインダクタ部品１Ｃにおいて、内部配線２５は、第１内部配線２５ａ、第２内部配線２５ｂ及び第３内部配線２５ｃを含んでいる。すなわち、本実施形態において、内部配線２５の積層数は３である。内部配線２５は、コイル軸方向に平行な方向において、一方の端に位置する第１内部配線２５ａと、他方の端に位置する第２内部配線２５ｂと、第１内部配線２５ａと第２内部配線２５ｂとの間に位置する第３内部配線２５ｃとを含んでいる。

第１内部配線２５ａは、複数の内部配線２５のうち、コイル軸方向に平行な方向における一方の最も端に位置する内部配線内部配線２５であり、内部配線２５において、コイル軸方向における素体１０の底面１２ｂ側の最外位置に存在している。

第１内部配線２５ａは、第１外部電極３０ａに接続されている。

第２内部配線２５ｂは、複数の内部配線２５のうち、コイル軸方向に平行な方向における他方の最も端に位置する内部配線内部配線２５であり、内部配線２５において、コイル軸方向における素体１０の天面１２ａ側の最外位置に存在している。

第２内部配線２５ｂは、第２外部電極３０ｂに接続されている。

第３内部配線２５ｃは、コイル軸方向に平行な方向における最も端に位置しない内部配線２５であり、内部配線２５において、コイル軸方向における中央位置に存在している。

本実施形態でも、コイル２０は、第１コイル配線２１ａ、第２コイル配線２１ｂ及び第３コイル配線２１ｃを含む複数のコイル配線がコイル軸方向に積層されつつ電気的に接続されてなる。つまり、第１コイル配線２１ａ、第２コイル配線２１ｂ及び第３コイル配線２１ｃは、各々、コイル２０を構成している。

図９は、図８に示すインダクタ部品の線分ａ１－ａ２に沿う断面の一例を示す断面模式図である。図１０は、図９に示すインダクタ部品の線分ｂ１－ｂ２に沿う断面の一例を示す断面模式図である。図９及び図１０はいずれも、垂直断面を示している。より具体的には、図９は、図８に示すインダクタ部品１Ｃの長さ方向Ｌ及び高さ方向Ｔに沿う垂直断面、すなわちＬＴ面のうち、第１コイル配線２１ａ、第２コイル配線２１ｂ及び第３コイル配線２１ｃを含む垂直断面を示している。図１０は、図８に示すインダクタ部品１Ｃの幅方向Ｗ及び高さ方向Ｔに沿う垂直断面、すなわちＷＴ面のうち、第１コイル配線２１ａ、第２コイル配線２１ｂ及び第３コイル配線２１ｃを含む垂直断面を示している。

また、図９及び図１０中の破線は、素体１０の外形から２０μｍ分だけオフセットした位置を示す。

図９及び図１０に示すように、実施形態１及び２と同様に、垂直断面において、コイル軸方向に平行な方向における他方の最も端に位置する第２内部配線２５ｂ、特に第２コイル配線２１ｂは、素体１０の角部１４に隣接する隅部４２ａの形状が、残り３つの隅部４２ｂ～４２ｄの形状と異なっている。

他方、垂直断面において、コイル軸方向に平行な方向における一方の最も端に位置する第１内部配線２５ａ、特に第１コイル配線２１ａの形状は、切り欠き形状や後述する階段形状や湾曲形状を含まない。

また、本実施形態では、素体１０の角部１４に隣接する、第２内部配線２５ｂの隅部４２ａの形状が、階段形状である。このため、切り欠き形状に比べて、最も端に位置する内部配線２５の断面積をより大きくすることができるため、Ｒｄｃをより低減することができる。したがって、インダクタ部品１ＡのＱ値、特に低周波でのＱ値をより向上することが可能である。

ここで、「階段形状」とは、図９及び図１０に示すように、段差が２段以上の階段状を意味し、段差が１段の階段状は含まないものとする。

なお、図９及び図１０に示す例では、隅部４２ａの階段形状は、段差が２段であるが、３段以上であってもよい。

本実施形態でも実施形態１と同様に、垂直断面において、素体１０の角部１４に隣接する、最も端に位置する内部配線２５の隅部４０ａは、素体１０の角部１４との間の距離が、製品のサイドギャップ以下、又は、２０μｍ以下（図９及び図１０参照）、となる角部５０を、少なくとも１つ有することが好ましく、少なくとも２つ有することがより好ましい。

図９に示す例では、垂直断面（ＬＴ面）において、素体１０の角部１４との間の距離が２０μｍ以下となる内部配線２５の角部５０が３箇所×２隅＋１箇所（合計７箇所）存在している。

図１０に示す例では、垂直断面（ＷＴ面）において、素体１０の角部１４との間の距離が２０μｍ以下となる内部配線２５の角部５０が３箇所×２隅＋１箇所（合計７箇所）存在している。

［実施形態４］
本発明の実施形態４のインダクタ部品では、垂直断面において、コイル軸方向に平行な方向におけるいずれか一方の最も端に位置する内部配線は、素体の角部に隣接する隅部の形状が湾曲状である。本発明の実施形態４のインダクタ部品は、この点以外、本発明の実施形態２のインダクタ部品と同様である。

図１１は、本発明の実施形態４のインダクタ部品の一例を示す断面模式図である。図１１は、図５に示すインダクタ部品の線分ａ１－ａ２に沿う断面に対応する。すなわち、図１１は、垂直断面を示している。より具体的には、図１１は、インダクタ部品の長さ方向Ｌ及び幅方向Ｗに沿う垂直断面、すなわちＬＷ面のうち、第１コイル配線、第２コイル配線及び第３コイル配線を含む垂直断面を示している。

図１１に示すインダクタ部品１Ｄでは、実施形態１～３と同様に、垂直断面において、コイル軸方向に平行な方向におけるいずれか一方の最も端に位置する内部配線２５は、素体１０の角部１４に隣接する隅部４０ａの形状が、残り３つの隅部４０ｂ～４０ｄの形状と異なっている。

他方、本実施形態では、素体１０の角部１４に隣接する隅部４０ａの形状が、湾曲状である。このため、切り欠き形状や階段形状に比べて、最も端に位置する内部配線２５の断面積をより大きくすることができるため、Ｒｄｃをさらに低減することができる。したがって、インダクタ部品１ＡのＱ値、特に低周波でのＱ値をさらに向上することが可能である。

図１２は、図１１に示すインダクタ部品において素体の角部とその近傍の一例を示す断面模式図である。なお、図１１及び図１２中、破線は、素体１０の外形から２０μｍ分だけオフセットした位置を示す。

本実施形態でも実施形態１と同様に、垂直断面において、素体１０の角部１４に隣接する、最も端に位置する内部配線２５の隅部４０ａは、素体１０の角部１４との間の距離ｄ（図１２参照）が、製品のサイドギャップ以下、又は、２０μｍ以下（図１１及び図１２参照）、となる角部５０を、少なくとも１つ有することが好ましく、少なくとも２つ有することがより好ましい。

図１１に示す例では、垂直断面（ＬＷ面）において、素体１０の角部１４との間の距離が２０μｍ以下となる内部配線２５の角部５０が１箇所×４隅（合計４箇所）存在している。

インダクタ部品１Ｄは、例えば、実施形態１と同様に、フォトリソグラフィ法により製造される。

本実施形態では、導体層のパターニングにおいて、パターンの外形を少しずつ変化させながら複数の導体パターンを多段形成（積層）することにより、垂直断面において、最も端に位置する内部配線２５の隅部４０ｃを湾曲状に形成することができる。

なお、上述した実施形態２～４では、内部配線の積層数が３である場合について説明したが、本発明のインダクタ部品において、内部配線の積層数は、４以上であってもよい。その場合、コイル軸方向に平行な方向におけるいずれか一方の最も端に位置する内部配線以外の全ての内部配線は、垂直断面において、切り欠き形状、階段形状及び湾曲形状のいずれの形状もなく、４つの隅部の形状は同じ形状（例えば直角形状）となっていることが好ましい。

本明細書には、以下の内容が開示されている。

＜１＞
長さ方向に相対する一対の端面と、高さ方向に相対する天面及び底面と、幅方向に相対する一対の側面と、を含む直方体状の素体と、
前記素体内部に設けられ、コイル軸方向に沿って螺旋状に巻回されたコイルを含む内部配線と、
前記内部配線の一方端部に電気的に接続され、かつ、前記一対の端面の一方に設けられた第１外部電極と、
前記内部配線の他方端部に電気的に接続され、かつ、前記一対の端面の他方に設けられた第２外部電極と、を備え、
前記コイル軸方向に平行な断面であって前記内部配線の延在する方向に直交する断面において、前記内部配線は４つの隅部を有し、前記内部配線のうち、前記コイル軸方向に平行な方向におけるいずれか一方の最も端に位置する前記内部配線は、前記素体の角部に隣接する前記隅部の形状が、残り３つの前記隅部の形状と異なるものを含む、ことを特徴とするインダクタ部品。

＜２＞
前記断面において、前記素体の角部に隣接する前記隅部の形状は、切り欠き形状、階段形状又は湾曲状である、＜１＞に記載のインダクタ部品。

＜３＞
前記内部配線は、前記コイル軸方向に平行な方向において、一方の端に位置する第１内部配線と、他方の端に位置する第２内部配線と、前記第１内部配線と前記第２内部配線との間に位置する第３内部配線とを備え、
前記断面において、前記第３内部電極における前記隅部の形状は、切り欠き形状、階段形状及び湾曲状のいずれの形状も含まない、＜１＞又は＜２＞に記載のインダクタ部品。

＜４＞
前記断面において、前記素体の角部に隣接する前記隅部は、前記素体の角部との間の距離が製品のサイドギャップ以下又は２０μｍ以下となる少なくとも１つの角部を有する、＜１＞～＜３＞のいずれかに記載のインダクタ部品。

＜５＞
前記断面において、前記素体の角部に隣接する前記隅部は、前記素体の角部との間の距離が製品のサイドギャップ以下又は２０μｍ以下となる前記角部を、その素体の角部１つ当たり少なくとも２つ有する、＜４＞に記載のインダクタ部品。

１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ インダクタ部品
１０ 素体
１１ａ、１１ｂ 素体の端面
１２ａ 素体の天面
１２ｂ 素体の底面
１３ａ、１３ｂ 素体の側面
１４ 素体の角部
１５ 素体の平面部
１６ 素体の接続部
２０ コイル
２１ａ 第１コイル配線
２１ｂ 第２コイル配線
２１ｃ 第３コイル配線
２２ａ 第１引出配線
２２ｂ 第２引出配線
２３ａ 第１コイル配線の配線部
２３ｂ 第２コイル配線の配線部
２５ 内部配線
２５ａ 第１内部配線
２５ｂ 第２内部配線
２５ｃ 第３内部配線
３０ａ 第１外部電極
３０ｂ 第２外部電極
４０ａ～４０ｄ 内部配線の隅部
４１ａ～４１ｄ 第１コイル配線の隅部
４２ａ～４２ｄ 第２コイル配線の隅部
４３ 第３内部配線の隅部
５０ 素体の角部に隣接する内部配線（隅部）の角部
６０ 接続導体（ビア）
Ｃ コイル軸
Ｌ 長さ方向
Ｔ 高さ方向
Ｗ 幅方向

Claims (3)

1. 長さ方向に相対する一対の端面と、高さ方向に相対する天面及び底面と、幅方向に相対する一対の側面と、を含む直方体状の素体と、
   前記素体内部に設けられ、コイル軸方向に沿って螺旋状に巻回されたコイルを含む内部配線と、
   前記内部配線の一方端部に電気的に接続され、かつ、前記一対の端面の一方に設けられた第１外部電極と、
   前記内部配線の他方端部に電気的に接続され、かつ、前記一対の端面の他方に設けられた第２外部電極と、を備え、
   前記コイル軸方向に平行な断面であって前記内部配線の延在する方向に直交する断面において、前記内部配線は４つの隅部を有し、前記内部配線のうち、前記コイル軸方向に平行な方向におけるいずれか一方の最も端に位置する前記内部配線は、前記素体の角部に隣接する前記隅部の形状が、残り３つの前記隅部の形状と異なるものを含み、
   前記断面において、前記素体の角部に隣接する前記隅部の形状は、切り欠き形状、階段形状又は湾曲状であり、
   前記内部配線は、前記コイル軸方向に平行な方向において、一方の端に位置する第１内部配線と、他方の端に位置する第２内部配線と、前記第１内部配線と前記第２内部配線との間に位置する第３内部配線とを備え、
   前記断面において、前記第３内部配線における前記隅部の形状は、切り欠き形状、階段形状及び湾曲状のいずれの形状も含まない、インダクタ部品。
2. 長さ方向に相対する一対の端面と、高さ方向に相対する天面及び底面と、幅方向に相対する一対の側面と、を含む直方体状の素体と、
   前記素体内部に設けられ、コイル軸方向に沿って螺旋状に巻回されたコイルを含む内部配線と、
   前記内部配線の一方端部に電気的に接続され、かつ、前記一対の端面の一方に設けられた第１外部電極と、
   前記内部配線の他方端部に電気的に接続され、かつ、前記一対の端面の他方に設けられた第２外部電極と、を備え、
   前記コイル軸方向に平行な断面であって前記内部配線の延在する方向に直交する断面において、前記内部配線は４つの隅部を有し、前記内部配線のうち、前記コイル軸方向に平行な方向におけるいずれか一方の最も端に位置する前記内部配線は、前記素体の角部に隣接する前記隅部の形状が、残り３つの前記隅部の形状と異なるものを含み、
   前記断面において、前記素体の角部に隣接する前記隅部の形状は、切り欠き形状、階段形状又は湾曲状であり、
   前記断面において、前記素体の角部に隣接する前記隅部は、前記素体の角部との間の距離が製品のサイドギャップ以下又は２０μｍ以下となる少なくとも１つの角部を有する、インダクタ部品。
3. 前記断面において、前記素体の角部に隣接する前記隅部は、前記素体の角部との間の距離が製品のサイドギャップ以下又は２０μｍ以下となる前記角部を、その素体の角部１つ当たり少なくとも２つ有する、請求項２に記載のインダクタ部品。