JP7843939B2 - ウェーハ乾燥システムに使用可能な多種ガス排出統合モジュールおよびウェーハ乾燥システム - Google Patents

Description

本発明は半導体装置の分野に関し、特に、ウェーハ乾燥システムに使用可能な多種ガス排出統合モジュールおよび該ウェーハ乾燥システムに関する。

半導体加工装置を用いたウェーハの乾燥処理においては、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）が使用される。具体的には、ＩＰＡ置換乾燥技術およびマランゴニ（Ｍａｒａｎｇｏｎｉ）乾燥技術が主な手法として採用されている。これらの乾燥処理においては、ＩＰＡの蒸気化ガスおよび窒素ガスを多量あるいは適量使用し、これらのガスは使用後に排気システムによって排出される。

しかしながら、排出されるその他のガスは環境安全に影響を及ぼすだけでなく、乾燥効率および品質にも悪影響を与える可能性がある。

したがって、複数の乾燥プロセスを統合的に適用可能な排気制御方式およびシステムが求められており、実際の乾燥モジュールの動作と連携してＩＰＡ置換プロセスを改善し、マランゴニ乾燥技術に基づくウェーハ乾燥プロセスにおける排気の課題を解決することが必要とされている。

本発明は、上記のような従来技術における課題を克服することを目的とし、ウェーハ乾燥システムに使用可能な多種ガス排出統合モジュールを提供することを目的とする。

本発明の統合モジュールは、統合的な排気制御方式を採用することにより、ウェーハ乾燥処理中の排気問題を効果的に解決するものである。

本発明は、上述の課題を解決するために、以下の技術的構成を提供する。すなわち、本発明に係るウェーハ乾燥システムに使用可能な多種ガス排出統合モジュールは、ウェーハ乾燥システムに設けられた本体、乾燥槽体、およびイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）起泡器を含み、該多種ガス排出統合モジュールは前記ウェーハ乾燥システム内に設置され、以下の構造を備える。

すなわち、本モジュールは、乾燥槽体と接続された槽体排風口を備え、この排風口には排風通断用のダンパ（遮断板）が設けられている。
また、ウェーハ乾燥システムの本体内部に開放状態で設けられる本体排風口を備え、この排風口には本体用の圧力調整ダンパが設けられている。
さらに、ＩＰＡ起泡器と管路で接続された起泡器排風口を備えている。

これらの排風口はすべて外殻（ハウジング）上に設けられており、外殻の内部にはシリンダが設けられており、該シリンダは前記排風通断ダンパと連結されている。

本発明の統合モジュールにはさらに、前置接続管路が設けられており、一端は前記外殻の排気口に接続され、他端は中置調気管路に接続されている。そして、前置接続管路内には主回路用圧力調整ダンパが設けられている。

前記中置調気管路は、入口側が前置接続管路と接続され、出口側が排出管路と接続されている。この中置調気管路上には回転式シリンダモジュールが設けられており、該モジュールは、中置調気管路内に設けられた主回路通断ダンパと連結されている。

前記排出管路の排気端はウェーハ乾燥システムの外部に突出し、工場設備側の排気搬送管路に接続されている。

また、本発明の好適な実施形態においては、前記排出管路と中置調気管路との間にフッ素系ゴム（フッ素カーボンゴム）製のリング状ガスケットが少なくとも一つ設けられている。

さらに、前記回転式シリンダモジュールは、回転シリンダ、ダンパ連結ロッド、および回転シリンダ用外殻を含み、回転シリンダの出力端はダンパ連結ロッドと接続され、該ロッドは中置調気管路内に延在して主回路通断ダンパに接続されている。回転シリンダ用外殻は回転シリンダ全体を覆っている。

また、前記前置接続管路内の主回路圧力調整ダンパには回転ダンパ連結ロッドが接続されており、該ロッドの一端は前置接続管路の外部に突出し、回転ダンパ開閉弁に接続されている。

また、前記前置接続管路と外殻の排気口との間にも、フッ素カーボンゴム製のリング状ガスケットが少なくとも一つ設けられている。

さらに、前記外殻の内部には遮断用マイクロシリンダモジュールが設けられている。このモジュールは、本体外殻、シリンダ、遮断板、取付板、モジュール外殻、および円形支持板を含む構成である。本体外殻は取付板を介して外殻の内壁に固定され、内部には薄型のシリンダが設けられている。
この薄型シリンダは、本体外殻およびモジュール外殻により包囲されており、その出力端はモジュール外殻の外側に突出して円形支持板と連結されている。円形支持板は遮断板と密着して接続されており、両者は、乾燥槽体の排風口を開閉封止可能な排風通断ダンパを構成する。

本発明に係るウェーハ乾燥システム用多種ガス排出統合モジュールにおいて、さらなる構成として、前記本体排風口には本体調圧ダンパが設けられ、該本体調圧ダンパには回転式ダンパ連結ロッドが接続されており、該ロッドの一端は前置接続管路の外側に突出し、回転式ダンパ開閉バルブに接続されている。

また、前記外殻の上部には開閉可能な上蓋が設けられており、該上蓋には起泡器排風口および本体排風口が設けられている。さらに、外殻の側壁には槽体排風口が設けられている。

また、外殻の底部には支持板部材が設けられており、該支持板部材を介して外殻を本体に固定することができる構成となっている。

さらに、槽体排風口には排風通断センサを設置するためのインタフェースが設けられており、排出管路には工場排気圧力センサを設置するためのインタフェースが設けられている。

本発明に係る統合モジュールの作動状態は、待機状態、槽体作動状態、本体正圧状態および停止状態を含む。

待機状態においては、本体排風口は常時開放されており、起泡器排風口は半開状態でＩＰＡ起泡器の排風が行われ、槽体排風口は閉鎖されることでＩＰＡ起泡器および本体の持続的な排風が実現される。

槽体作動状態では、本体排風口は常時開放、起泡器排風口は半開、槽体排風口は開放され、主回路調圧ダンパは半開、総回路通断ダンパは開放され、槽体、ＩＰＡ起泡器および本体の排風がすべて作動する。

本体正圧状態では、本体排風口は常時開放、起泡器排風口は閉鎖、槽体排風口は開放され、主回路調圧ダンパは半開、総回路通断ダンパは開放され、槽体および本体の排風が作動する。

停止状態では、本体排風口、起泡器排風口および槽体排風口はすべて閉鎖され、主回路調圧ダンパおよび総回路通断ダンパも閉鎖され、排風が完全に停止し、外部からの気体流入を防止する。

本発明は、上述の構造を備える多種ガス排出統合モジュールを有するウェーハ乾燥システムにも関する。

本発明の統合モジュールは、ウェーハ乾燥システムにおける３つのガス排出源（乾燥槽体からのＩＰＡおよびＮ２の混合ガス、ＩＰＡ霧化システムからの微粒子高温ガス、および外部供給のＮ２）を連通させ、各乾燥段階での排気を統合的に制御することができる。

各ガス源の切り替えをモジュール内で実現することで、複雑な排気工程を単一モジュールで対応可能とし、プロセスごとに必要な排気制御が柔軟に行える。

また、異なるガス源の同時流入による圧力低下や逆流、粒子汚染などを防ぐための遮断装置を備え、単一モジュールで複数ガスの制御を可能としつつ高い安全性を確保する。

さらに、外部の管路を介さず、上部に設けた手動バルブにより負圧制御を行い、ＦＦＵ（ファンフィルタユニット）の吸気と流場形成を効率的に実現できる。また、回転シリンダによって排気流量および速度を精密に制御することができ、各プロセス段階に応じた最適な排気が可能となる。

これにより、ウェーハ乾燥工程における水跡や粒子残留といった一般的な欠陥を効果的に抑制・改善することができる。

は、本発明に係るウェーハ乾燥システム用多種ガス排出統合モジュールの設置位置を示す概略図である。 は、本発明の統合モジュールの立体部分断面図である。 は、本発明の統合モジュールの構成を示す爆発図である。 は、本発明の統合モジュールのシステム構成原理図である。 は、待機状態における排気状態を示す図である。 は、槽体作動状態における排気状態を示す図である。 は、本体正圧状態における排気状態を示す図である。 は、停止状態における排気状態を示す図である。

以下、本発明に係るウェーハ乾燥システム用多種ガス排出統合モジュールについて、添付図面および具体的な実施例に基づいて詳細に説明する。ただし、本発明の保護範囲はこれらの実施形態に限定されるものではない。

本発明の統合モジュールは、ウェーハ乾燥システムにおいて複数の排気源からのガスを統合的に排出するために設計されており、乾燥工程の各段階で必要とされる気体排出制御を効率的に実行する。

この構成は、複雑な排気処理を単一のモジュール内で一括制御するものであり、各種乾燥プロセスとの連携により、ウェーハ乾燥における排気課題の解決に寄与する。

図１に示すように、従来技術として、既存のウェーハ乾燥システムには、フレームとして機能する本体Ａ、ＩＰＡ起泡器Ｂおよび乾燥槽体Ｃが備えられている。本発明に係る多種ガス排出統合モジュールは、これらの構成を有するウェーハ乾燥システム内に設置される。

図２および図３に示すように、本発明の統合モジュールの構成は以下の要素を含む。

槽体排風口Ｅは、ホースＤを介して乾燥槽体Ｃと接続されており、内部には円形支持板１８からなる排風通断ダンパが設けられている。

本体排風口Ｇは、本体Ａ内に開口状態で設けられており、内部には本体調圧ダンパ２２が設けられている。

起泡器排風口Ｆは、ホースＤを介してＩＰＡ起泡器Ｂと接続されている。

外殻１９には、槽体排風口Ｅ、本体排風口Ｇおよび起泡器排風口Ｆがそれぞれ設けられており、その内部には薄型シリンダ１４が配置されている。該シリンダ１４は円形支持板１８と連結されており、この支持板を動作させて槽体排風口Ｅの開閉を制御する。

前置接続管路７は、一端が外殻１９の排気口と接続され、他端が中置調気管路３と接続されており、その内部には主回路調圧ダンパ１０が設けられている。

中置調気管路３は、前置接続管路７の出気端と排出管路１の入口端とを接続しており、該管路３には総回路通断ダンパ６を駆動するための回転シリンダモジュールが取り付けられている。

排出管路１の出口端はウェーハ乾燥システムの外部に延出しており、工場設備側の排気搬送管に接続されている。

さらに、外殻１９の上部には開閉可能な上蓋２０が設けられており、上蓋２０には起泡器排風口Ｆおよび本体排風口Ｇが配置されている。外殻１９の側壁には槽体排風口Ｅが設けられている。

外殻１９の底部には支持板部材２３が取り付けられ、これにより外殻１９を本体Ａに固定することができる。支持板部材２３は統合モジュールの構造支持体として機能し、剛性を備えた構成が要求されるため、好適にはステンレス鋼（ＳＳ３０４）製とされる。実施例では２枚の支持板部材２３が外殻１９の底部取付孔に取り付けられる。

外殻１９の内部には、気体を遮断するマイクロシリンダモジュールが設けられている。該モジュールは、本体外殻１３、薄型シリンダ１４、遮断板１５、取付板１６、モジュール外殻１７および円形支持板１８を含み、取付板１６を介して本体外殻１３が外殻１９の内壁に固定される。

薄型シリンダ１４は、本体外殻１３とモジュール外殻１７によって保護され、シリンダ１４の出力端は本体外殻１３の外側に突出し、円形支持板１８に接続されている。この支持板１８は遮断板１５と密着連結され、両者により槽体排風口Ｅを開閉封止するための排風通断ダンパが構成される。

さらに、上記の本体外殻１３、薄型シリンダ１４、遮断板１５、取付板１６、モジュール外殻１７および円形支持板１８で構成されるマイクロシリンダモジュールは、ガスの遮断を行い、切り替えとシステム全体の粒子保持機能を実現するものである。本体外殻１３は取付板１６に設けられており、遮断モジュールの収容および固定を担う。

材料選定においては、剛性・強度・耐久性・軽量性を考慮し、アルミニウム合金（ＡＬ６０６１）が好適材料として選定される。マイクロシリンダモジュール内の薄型シリンダ１４は、移動可能な経路を提供し、遮断板１５と円形支持板１８で構成される遮断円形ユニットによって、槽体排風口Ｅからの気体流入を一時的に遮断する。

遮断板１５はポリウレタンゴム製の円形部材からなり、気密性と有機気体への耐性に優れる。遮断時における良好なシール性と化学的耐性を保つため、接合部にはガスケットが設けられ、円形支持板１８とはボルトで固定される。

薄型シリンダ１４は取付板１６の片側に固定され、取付板１６は外殻１９の内側に設けられており、シリンダ１４は外殻１９内部に配置される。外殻１９には、シリンダ１４の取付および脱着を可能とする角穴が設けられ、外殻１９と取付板１６の密閉接続が求められる。これらの部材には、ステンレス鋼（ＳＳ３０４）を材料として選定するのが好適である。

取付板１６と外殻１９の接合部にはシールガスケットが装着され、遮断性能を確保する。外殻１９および本体外殻１３は一体となって外殻ユニットを構成し、マイクロシリンダ１４を内部に収容する。

円形支持板１８は薄型シリンダ１４に接続され、円形板状の支持構造を形成する。その材料も、強度、剛性、耐薬品性を考慮し、ステンレス鋼（ＳＳ３０４）が優先的に選ばれる。

さらに、外殻１９の前端には、乾燥槽体Ｃからのプロセスガス（ＩＰＡおよびＮ２混合ガス）を導入するための湾曲管が槽体排風口Ｅとして配置されている。外殻１９の中空スペースには、前述のマイクロシリンダモジュールが収容可能である。

外殻１９の上部には上蓋２０が設けられており、この上蓋には二系統のガス導入管が設けられている。一つは本体排風口Ｇと接続された乾燥モジュールの大気環境用ガス入力管であり、もう一つは高温の微粒子化ＩＰＡおよびＮ２混合ガスを導入するＩＰＡ霧化システムと連携する入力管である。

さらに、本体排風口Ｇには本体調圧ダンパ２２が設けられ、このダンパは回転連結ロッド２１を介して開閉制御される。ロッド２１の一端は外部に突出し、開閉バルブ９と接続され、手動での開度調整を可能とする。

乾燥モジュールの大気ガス切り替えにおいては、回転ダンパ２２が開閉される必要があり、これが回転連結ロッド２１および手動バルブ９を介して制御される。外部配管なしで安定した負圧環境を形成するために、開閉バルブ９により適切な開度が設定される。

これらの部材に要求される剛性・耐薬品性・耐久性を満たすため、ステンレス鋼（ＳＳ３０４）が最適な材料とされる。

さらに、槽体排風口Ｅには排風通断センサを取り付けるためのインタフェースが設けられており、排出管路１には工場排風圧力センサを取り付けるためのインタフェースが設けられている。これにより、槽体排風口Ｅ内部の圧力を排風通断センサで検出し、排出管路１内の風圧を工場排風圧力センサで検出することによって、排気の精密制御が可能となる。

前置接続管路７内には主回路調圧ダンパ１０が設けられており、これには回転ダンパ連結ロッド８が接続されている。連結ロッド８の一端は前置接続管路７の外側に突出し、手動開閉操作を行うための回転ダンパ開閉バルブ９に接続されている。

操作者が開閉バルブ９を回転させることで、主回路調圧ダンパ１０が回転し、前置接続管路７内の開閉を制御する。主回路調圧ダンパ１０は管状構造内に組み込まれており、回転時の気密性および低発塵性を保持する必要がある。そのため、ダンパ１０には特別な通気孔が設けられており、回転中も外部へのガス漏れを防止する構造となっている。

材料選定においては、剛性・強度・耐久性が求められるため、ダンパ１０および開閉バルブ９にはステンレス鋼（ＳＳ３０４）が最適な構成材料として選定される。

さらに、前置接続管路７と外殻１９の排気口との間には、少なくとも１つのリング状ガスケット２が配置されており、該ガスケット２はフッ素系ゴム（ＦＫＭ）で構成され、完全な気密を確保し、漏気を防止する。

中置調気管路３もまた、排出管路１との接続が可能な環状排気管の構成であり、前置接続管路７との間には、同様にフッ素系ゴム製のリング状ガスケット２が設けられている。ガスケット２は接続部でボルト締結され、構造的な気密性が保たれる。これらの構成部材には、剛性・耐熱性・耐腐食性の観点からステンレス鋼（ＳＳ３０４）が好適である。

排出管路１は環状の筒状排気管として構成されており、工場側の排気搬送管と接続される。中置調気管路３との間にもフッ素ゴム製のリング状ガスケット２が配置されており、ボルト締結によって気密接続が実現される。

ガスケット２は、気体の揮発・漏れを防ぐために重要であり、使用されるフッ素ゴム（ＦＫＭ）は炭素－フッ素結合を有する高分子エラストマーであり、他のゴム材と比較して物理的特性、特に引張強度、構造強度、耐熱性に優れる。静的シール用途においては２３０℃の環境下で長時間使用が可能であり、一時的な高温では２５０℃にも耐える。

さらに、化学的耐性においても優れており、有機溶剤、無機酸、強酸化剤、油脂類に対して優れた耐腐食性を有するため、ウェーハ乾燥システムの排気経路において極めて有用である。

さらに、回転シリンダモジュールは、回転シリンダ１２、ダンパ連結ロッド５および回転シリンダ外殻１１を含み、回転シリンダ１２の出力端はダンパ連結ロッド５に接続されている。ダンパ連結ロッド５は中置調気管路３内に挿入され、総回路通断ダンパ６に接続されており、総回路の開閉制御を実現する。

回転シリンダ外殻１１は回転シリンダ１２の外部に配置され、これを保護する役割を果たす。さらに、中置調気管路３には４本の回転シリンダ支持柱４が設けられ、回転シリンダ１２の設置と固定に使用される。回転シリンダ１２の底面には４つの取付孔があり、これにより確実に固定される。

ダンパ連結ロッド５は、回転シリンダ１２からの駆動力を総回路通断ダンパ６に伝達し、当該ダンパを回転させて総回路の通断を制御する。設計上、回転過程においても気密性と低発塵性が保たれる必要があり、総回路通断ダンパ６には通気用の特別な気孔が設けられており、外部への気体漏れを防止する。

材料の選定においては、ダンパ６およびダンパ連結ロッド５にはステンレス鋼ＳＳ３０４が適用され、耐久性と剛性を確保している。回転シリンダ外殻１１には軽量性と耐久性を両立するためにアルミニウム合金ＡＬ６０６１が選定される。

回転シリンダ１２は、中置調気管路３に取り付けられ、ダンパ連結ロッド５および総回路通断ダンパ６と連動して開閉角度の制御を行うことで、排気の流量および速度を調整する。開閉角度に応じた通気断面の変化により、排出気体の流量および流速を精密に制御することが可能となる。

また、統合モジュールが作動している状態では、乾燥槽体からのＩＰＡとＮ２の混合ガスは、ガス注入時に同期して排出が開始される。停止時には、ガス流を遮断することで、負圧による粒子の吸引を回避し、隔離を実現する。この遮断は、円形支持板１８を駆動して行われる。

ＩＰＡ霧化システムから供給される高温かつ微粒子状のＩＰＡとＮ２の混合ガスは常時開通されており、通常はＩＰＡ容器内部の負圧によって漏れが防止される。ＩＰＡ＆Ｎ２混合ガスからＮ２への切替時には、残留圧力を放出するために本モジュールに接続される。

本発明に係る多気体排出統合モジュールは、ウェーハ乾燥システムの運転状態に連動して動作し、待機状態、槽体作動状態、本体正圧状態および停止状態の各運転モードに応じて切り替えが行われる。

図４に示すように、本統合モジュールの系統構成図では、各排気口およびバルブとの接続が示されている。起泡器排風口Ｆは常開口としてＩＰＡ起泡器排気に使用され、槽体排風口Ｅはマイクロシリンダモジュールによって制御されるＤＵＭＰ４として機能する。

本体排風口Ｇには回転ダンパ２２、回転連結ロッド２１および開閉バルブ９が設けられ、ＤＵＭＰ３として本体の圧力調整を担う。前置接続管路７における主回路調圧ダンパ１０および開閉バルブ９はＤＵＭＰ２として機能し、主回路の圧力調整を行う。

中置調気管路３では、回転シリンダモジュールおよび総回路通断ダンパ６によって構成されたＤＵＭＰ１が配置され、総回路の通断を制御する。

このようにして、起泡器排風口Ｆ、槽体排風口Ｅおよび本体排風口Ｇは外殻１９上にそれぞれ配置され、必要に応じて排気経路が統合され、主回路を経て一括で排出される。本体には個別に制御可能なバルブが設けられており、圧力および開閉状態の制御が確実に行われる。

図５に示すように、待機状態では、本体排風口Ｇに設けられたバルブＤＵＭＰ３は半開状態で通気を行い、起泡器排風口Ｆは常開口としてＩＰＡ起泡器の排気を実現する。槽体排風口ＥはバルブＤＵＭＰ４によって閉鎖され、乾燥槽体は待機状態にある。前置接続管路７の主回路調圧ダンパ１０により、バルブＤＵＭＰ２が半開となり通気が制御され、総回路通断ダンパ６によってバルブＤＵＭＰ１が開き、ＩＰＡ起泡器および本体からの排風が継続的に行われる。

図６に示すように、乾燥槽体が作動状態にある場合、本体排風口ＧのバルブＤＵＭＰ３は半開状態を維持し、起泡器排風口Ｆは常開口としてＩＰＡ起泡器の排気を行う。槽体排風口ＥのバルブＤＵＭＰ４は開放され、乾燥槽体の排気を実現する。前置接続管路７における主回路調圧ダンパ１０により、バルブＤＵＭＰ２が半開状態となり、さらに総回路通断ダンパ６によりバルブＤＵＭＰ１が開かれ、乾燥槽体、ＩＰＡ起泡器および本体のすべての排風が動作状態に入る。

図７に示すように、本体正圧状態では、本体排風口ＧのバルブＤＵＭＰ３は閉鎖され、ＩＰＡ起泡器排風口Ｆは常開口として機能する。槽体排風口ＥのバルブＤＵＭＰ４は開かれ、乾燥槽体からの排気を行う。前置接続管路７の主回路調圧ダンパ１０によりバルブＤＵＭＰ２が半開となり、総回路通断ダンパ６によりバルブＤＵＭＰ１が開かれ、ＩＰＡ起泡器と乾燥槽体の排気が実現される。

図８に示すように、停止状態では、本体排風口ＧのバルブＤＵＭＰ３は閉鎖され、ＩＰＡ起泡器排風口Ｆも閉じられる。槽体排風口ＥのバルブＤＵＭＰ４は閉鎖され、前置接続管路７の主回路調圧ダンパ１０は閉じられ、総回路通断ダンパ６によってバルブＤＵＭＰ１も閉じられる。これにより、乾燥槽体、ＩＰＡ起泡器および本体のすべての排風が停止され、外部からの気体の侵入も防止される。

以上のように、本発明の多気体排出統合モジュールは、ウェーハ乾燥システムにおける各種運転モードに応じて排気制御を高精度に実現することができる。

なお、本発明の多気体排出統合モジュールに関する構成および作動状態の説明は、あくまで一例を示すものであり、その他にも本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者にとって容易に想到し得る変更や置換が可能である。従って、本発明の技術的範囲は、特許請求の範囲に記載された事項によって定められるものとする。

Ａ－本体
Ｂ－ＩＰＡ起泡器
Ｃ－乾燥槽体
Ｄ－ホース
Ｅ－槽体排風口
Ｆ－起泡器排風口
Ｇ－本体排風口
１－排出管路
２－リング状ガスケット
３－中置調気管路
４－回転シリンダ支持柱
５－ダンパ連結ロッド
６－総回路通断ダンパ
７－前置接続管路
８－回転ダンパ連結ロッド
９－開閉バルブ
１０－主回路調圧ダンパ
１１－回転シリンダ外殻
１２－回転シリンダ
１３－本体外殻
１４－薄型シリンダ
１５－遮断板
１６－取付板
１７－モジュール外殻
１８－円形支持板
１９－外殻
２０－上蓋
２１－回転連結ロッド
２２－回転ダンパ
２３－支持板部材

Claims (12)

1. ウェーハ乾燥システムに使用可能な多気体排出統合モジュールであって、
   前記ウェーハ乾燥システムが本体、乾燥槽体およびイソプロピルアルコール起泡器を備え、
   前記多気体排出統合モジュールが前記ウェーハ乾燥システム内に設けられ、
   前記多気体排出統合モジュールは、
   前記乾燥槽体に管路を介して接続され、内部に排風通断ダンパを備える槽体排風口、
   前記本体内に開放的に設けられ、内部に本体調圧ダンパを備える本体排風口、
   前記イソプロピルアルコール起泡器に管路を介して接続される起泡器排風口、
   前記槽体排風口、本体排風口および起泡器排風口がそれぞれ設けられ、内部にシリンダを有し、前記シリンダが前記排風通断ダンパに接続される外殻、
   一端が前記外殻の排気口に接続され、他端が中置調気管路に接続され、内部に主回路調圧ダンパを備える前置接続管路、
   吸気端が前記前置接続管路に接続され、排気端が排出管路に接続され、上部に回転シリンダモジュールを有し、前記回転シリンダモジュールが中置調気管路内の総回路通断ダンパに接続される中置調気管路、
   排気端が前記ウェーハ乾燥システム外に延出され、工場側の排気搬送管路に接続される排出管路、を備える、ことを特徴とする多気体排出統合モジュール。
2. 前記排出管路および中置調気管路の間に少なくとも１つの環状ガスケットが設けられ、前記環状ガスケットはフッ素ゴム製である、ことを特徴とする請求項１に記載の多気体排出統合モジュール。
3. 前記回転シリンダモジュールは、回転シリンダ、ダンパ連結ロッドおよび回転シリンダ外殻を備え、前記回転シリンダの出力端が前記ダンパ連結ロッドに接続され、前記ダンパ連結ロッドが中置調気管路内に延びて総回路通断ダンパに接続され、前記回転シリンダ外殻が前記回転シリンダの外部を覆っている、ことを特徴とする請求項１に記載の多気体排出統合モジュール。
4. 前記前置接続管路内の主回路調圧ダンパが回転ダンパ連結ロッドに接続され、前記回転ダンパ連結ロッドの一端が前記前置接続管路の外側に突出して回転ダンパ開閉バルブに接続されている、ことを特徴とする請求項１に記載の多気体排出統合モジュール。
5. 前記前置接続管路と外殻の排気口との間に少なくとも１つの環状ガスケットが設けられ、前記環状ガスケットはフッ素ゴム製である、ことを特徴とする請求項１に記載の多気体排出統合モジュール。
6. 前記外殻内にガスを遮断するマイクロシリンダモジュールが設けられ、前記マイクロシリンダモジュールは本体外殻、シリンダ、遮断板、取付板、モジュール外殻および円形支持板を備え、前記本体外殻が取付板を介して外殻の内壁に固定され、前記本体外殻内にシリンダが設けられ、前記シリンダが薄型シリンダであり、本体外殻とモジュール外殻により囲まれており、前記薄型シリンダの出力端がモジュール外殻の外側に延びて円形支持板に接続され、前記円形支持板が遮断板に密着接続されており、円形支持板および遮断板が開閉可能に前記槽体排風口を閉塞する排風通断ダンパを構成する、ことを特徴とする請求項１に記載の多気体排出統合モジュール。
7. 前記本体排風口に本体調圧ダンパが設けられ、前記本体調圧ダンパが回転ダンパ連結ロッドに接続され、前記回転ダンパ連結ロッドの一端が前置接続管路の外側に突出して回転ダンパ開閉バルブに接続されている、ことを特徴とする請求項１に記載の多気体排出統合モジュール。
8. 前記外殻の上部に開閉可能な上殻が設けられ、前記上殻に前記起泡器排風口および本体排風口が設けられ、前記外殻の側壁に槽体排風口が設けられている、ことを特徴とする請求項１に記載の多気体排出統合モジュール。
9. 前記外殻の底部に支持プレートが設けられ、前記支持プレートを介して外殻が本体に固定されている、ことを特徴とする請求項１に記載の多気体排出統合モジュール。
10. 前記槽体排風口に排風通断センサを取り付けるためのインターフェースが設けられ、前記排出管路に工場用排風圧力センサを取り付けるためのインターフェースが設けられている、ことを特徴とする請求項１に記載の多気体排出統合モジュール。
11. 多気体排出統合モジュールの動作状態が、待機状態、槽体作動状態、本体正圧状態および停止状態を含み、
    待機状態においては、本体排風口が常時開放の通気口として機能し、起泡器排風口が半開状態でイソプロピルアルコール起泡器の排気を行い、槽体排風口が閉塞され、イソプロピルアルコール起泡器および本体の継続的な排気を実現し、
    槽体作動状態においては、本体排風口が常時開放の通気口として機能し、起泡器排風口が半開状態でイソプロピルアルコール起泡器の排気を行い、槽体排風口が開放され、主回路調圧ダンパが半開となり、総回路通断ダンパが開放され、槽体、イソプロピルアルコール起泡器および本体の全排気が作動し、
    本体正圧状態においては、本体排風口が常時開放の通気口として機能し、起泡器排風口が閉塞され、槽体排風口が開放され、主回路調圧ダンパが半開となり、総回路通断ダンパが開放され、槽体および本体の排気が作動し、
    停止状態においては、本体排風口が封止され、起泡器排風口が閉塞され、槽体排風口が閉塞され、主回路調圧ダンパが閉じられ、総回路通断ダンパが閉じられ、槽体、イソプロピルアルコール起泡器および本体の排気がすべて停止し、外部からのガスの進入を防止する、ことを特徴とする請求項１に記載の多気体排出統合モジュール。
12. 請求項１から１１のいずれかに記載の多気体排出統合モジュールを備える、ことを特徴とするウェーハ乾燥システム。