JP7843858B2 - 一体化加工設備 - Google Patents

Description

［関連出願の相互参照］
本願発明は、２０２２年４月１８日に中国特許庁に提出された「一体化加工設備」と題する中国出願番号２０２２１０４０６０６９．９の中国特許出願の優先権を主張し、その全内容は参照により本願発明に組み込まれる。
本願発明は、加工技術の分野に関し、具体的に言えば、一体化加工設備に関する。

現像プロセスは、フォトリソグラフィープロセスの中途プロセスであり、その目的は、ウエハ上のフォトレジストの一部を除去して三次元物理パターンを形成し、それによってマスク上の回路構造をシリコンウェハのフォトレジスト層に正確にコピーすることである。現像プロセスでは、流体と露光領域のフォトレジストは酸塩基の中和反応を起こし、現像後、反応による残留物が脱イオン水によって除去される。現像のポイントは、フィーチャサイズ（集積回路製造における半導体デバイスの最小線幅）が要件を満たしていることを確認することであり、フィーチャサイズが要件を満たしている場合、加工中に生成されるすべての幾何学的フィーチャは要件を満たしていると見なされる。従来の現像プロセスには、浸漬現像、連続スプレー現像、及び回転浸漬現像という三種類の現像プロセスがある。従来の連続スプレー現像では、ウエハを１００ｒ／ｍｉｎ～５００ｒ／ｍｉｎの速度で回転させながら、ミスト状の流体をウエハ上にスプレーすることである。

本発明者らは、鋭意検討を行った結果、既存の現像装置には適用範囲が狭く、コストが高いという欠点があることを発見した。

本願発明は、さまざまなサイズのワークピースを加工でき、高い適応性、広い適用範囲、および低コストという利点がある一体化加工設備を提供することを目的とする。

本願発明の実施例は以下のように実現される。
本願発明は、一体化加工設備を提供し、
ベース、回転装置および導流装置を含み、
前記回転装置は傾斜角度調整ユニットと回転ユニットとを含み、前記傾斜角度調整ユニットは前記ベースに設置され、前記回転ユニットは前記傾斜角度調整ユニットに接続され、前記回転ユニットはワークピースを載置して前記ワークピースを第１軸の周りに回転するように構成され、前記傾斜角度調整ユニットは、前記回転ユニットを駆動して、前記第１軸に対して夾角を有する第２軸の周りを回転させるように構成され、
前記導流装置は枠体、液体貯留部及び導流部を含み、前記枠体は前記傾斜角度調整ユニットに接続され、前記液体貯留部および前記導流部は、いずれも前記枠体に接続され、前記液体貯留部は、液体を前記導流部に輸送するように構成され、前記液体は、前記導流部を通って前記回転ユニットに位置するワークピースに流れることができる。

可能な実施形態では、前記傾斜角度調整ユニットは、第１駆動部と取付台とを含み、前記第１駆動部は前記ベースに接続され、前記取付台は前記第１駆動部に接続され、前記第１駆動部は、前記取付台を駆動して前記第１軸の周りを回転させるように構成され、
前記回転ユニット及び前記枠体はいずれも前記取付台に接続される。

可能な実施形態では、前記取付台には、液体収集タンクと、前記液体収集タンクに連通する液体排出口が設置され、前記ベースには液体収集チャンバーが設置され、前記液体排出口は前記液体収集チャンバーに連通し、前記回転ユニットは前記液体収集タンク内に設置され、前記液体収集タンクは、前記ワークピースから落下した液体を収集し、落下した液体を前記液体排出口から前記液体収集チャンバー内に入れるように構成される。

可能な実施形態では、前記回転ユニットは、第２駆動部、回転ディスク、及び位置決めコンポーネントを含み、前記第２駆動部は前記取付台に接続され、前記回転ディスクは前記第２駆動部に接続され、前記第２駆動部は、前記回転ディスクを駆動して前記第２軸の周りを回転させるように構成され、前記位置決めコンポーネントは前記回転ディスクに接続され、前記位置決めコンポーネントは前記回転ディスクにあるワークピースを位置決めるように構成される。

可能な実施形態では、前記位置決めコンポーネントは複数のクランプブロックを含み、前記複数のクランプブロックはいずれも前記回転ディスクに接続され、前記複数のクランプブロックは、ワークピースをクランプするためのクランプ領域を共同で画定し、前記複数のクランプブロックのうちの少なくとも１つは、前記回転ディスクに対して移動して、前記クランプ領域のサイズを調整するように構成される。

可能な実施形態では、前記導流部には液体排出側が設置され、前記導流部は前記枠体に移動可能に接続され、前記液体排出側と前記枠体との間の距離を調整することにより、前記液体排出側と前記回転ユニット上に位置するワークピースとの間の距離を調整するために使用される。

可能な実施形態では、前記導流部は、前記液体排出側と前記枠体との間の距離を調整するように前記枠体に対して前記第２軸の延在方向にスライド可能に接続されている。

可能な実施形態では、前記導流装置はロックユニットも含み、前記ロックユニットは前記導流部と前記枠体に同時に接続され、前記ロックユニットは、切り替え可能なロック状態とロック解除状態を有し、前記ロック状態では、前記導流部は、前記枠体に対して前記第２軸の延在方向に固定され、前記ロック解除状態では、前記導流部は、前記枠体に対して前記第２軸の延在方向にスライド可能である。

可能な実施形態では、前記液体貯留部は、前記液体貯留部の前記導流部に対する距離を調整するように前記枠体に対して前記第２軸の延在方向にスライド可能に接続されている。

可能な実施形態では、前記液体貯留部には、互いに独立した第１チャンバーと第２チャンバーとが設置され、前記第１チャンバーは第１出口を有し、前記第１チャンバーは流体を貯留するように構成され、前記第２チャンバーは第２出口を有し、前記第２チャンバーは洗浄液を貯留するように構成される。

本願発明の有益な効果は以下のとおりである。
要約すると、本願発明によって提供される一体化加工設備は、現像シナリオに適用することができ、具体的には、ワークピースを現像する際、回転ユニット上にワークピースを配置し、そして、ワークピースの厚みやサイズに応じて、傾斜角度調整ユニットにより水平面に対するワークピースの傾斜角度を調整し、つまり、導流部に対するワークピースの傾斜角度を調整し、導流部からワークピース表面に流れる流体は、ワークピース表面への衝撃力が小さく、ワークピース表面を傷つけにくく、現像品質が高い。ワークピースの厚みやサイズに応じて、必要に応じてワークピースと導流部との間の角度を調整できるため、異なるサイズのワークピースの現像作業に適応し、現像品質を確保でき、適用範囲が広く、サイズの異なるワークピースに合わせて専用の現像装置を設計する必要がなくなり、コストを削減できる。

本願発明の実施例の技術的解決策をより明確に説明するために、実施例で使用する必要がある図面を以下に簡単に説明し、以下の図面は、本願発明の特定の実施例のみを示しており、したがって、範囲を限定するものとして解釈されるべきではないことが理解されるべきである。当業者であれば、創造的な努力をすることなく、これらの図面に基づいて他の関連する図面を取得することもできる。

本願発明の実施例に係る一体化加工設備のある視点から見た構造概略図である。 本願発明の実施例に係る一体化加工設備の別の視点から見た構造概略図である。 本願発明の実施例に係る一体化加工設備の部分構造概略図である。 本願発明の実施例による回転ディスクおよび位置決めコンポーネントの構造概略図である。 本願発明の実施例による枠体およびロックユニットの構造概略図である。 本願発明の実施例によるロックユニットの構造概略図である。 本願発明の実施例による導流部の構造概略図である。 本願発明の実施例による液体貯留部の構造概略図である。

本願発明の実施例の目的、技術的解決策および利点をより明確にするために、本願発明の実施例の図面と併せて、本願発明の実施例における技術的解決策を以下に明確かつ完全に説明し、明らかに、説明される実施例は、本願発明の一部の実施例であるが、すべての実施例ではない。通常、図面に説明して示される本願発明の実施例のコンポーネントは、各種の異なる構成で配置され設計されることができる。

したがって、添付の図面に提供される本願発明の実施例に関する以下の詳細な説明は、請求される本願発明の範囲を限定することを意図するものではなく、単に本願発明の選択された実施例を表すことを意図するものである。本願発明の実施例に基づいて、当業者が創造的な努力なしに得た他のすべての実施例は、本願発明の保護の範囲内に入る。

以下の図において同様の参照番号および文字は同様の項目を表すため、ある図で項目を定義したら、後続の図ではそれ以上の定義および説明を必要としないことが理解されるべきである。

本願の説明においては、「中央」、「上」、「下」、「左」、「右」、「垂直」、「水平」、「内側」、「外側」などの用語で示されている方向または位置関係は、図面に基づいて示されている方向または位置関係、該出願製品が使用時に通常置かれる方向や位置関係であり、本願発明を便利に説明して説明を簡略化するためだけであり、言及した装置又は要素には特定の方向を向い、特定の方向で構築して動作しなければならないことを指示又は暗示するものではなく、したがって本願発明を限定するものと理解できないことを理解する必要がある。また、「第１」、「第２」、「第３」等の用語は、説明を区別するためだけのものであり、相対的な重要性を示したり暗示したりするものとして解釈されるべきではない。

また、「水平」、「垂直」等の用語は、部品が完全に水平またはぶら下がる必要があるという意味ではなく、わずかに傾いていてもかまいない。たとえば、「水平」は、その方向が「垂直」よりも水平であることを意味するだけであり、該構造が完全に水平でなければならないという意味ではなく、わずかに傾斜していても構いない。

本願発明の説明において、また、特に明確に記載および限定されない限り、「設置」、「取り付け」、「相互接続」および「接続」という用語は、例えば、広い意味で理解されるべきであり、例えば、固定接続、取り外し可能な接続、または一体型接続であることができ、機械的接続であることも、電気的接続であることもでき、直接接続することも、仲介経由で間接的に接続することも、２つのコンポーネント間の内部接続にすることもできる。当業者であれば、本願発明における上記用語の具体的な意味は、ケースバイケースで理解できるであろう。

現在、半導体加工の分野では、ワークピースを現像する際、一般的には、ワークピースを回転ディスク上に配置し、その後、流体をワークピースの表面に、ワークピースは連続的に回転することにより、全周方向に現像を達成できる。回転ディスクでワークピースを位置決めした後、回転ディスクの角度が固定され、水平面に対するワークピースの角度は固定され、調整することができないので、ワークピースサイズが異なると、ワークピースと流体流出側との高さが変わり、流体がワークピース表面に到達すると衝撃力が変化し、また、該衝撃力によりワークピースが損傷しやすく、最終製品の歩留まりが低下する。

これを考慮して、図１～図８を参照して、本発明者らは、現像分野で利用可能な一体化加工設備を設計し、必要に応じて水平面に対するワワークピースの傾斜角度を調整することで、流体からワークピース表面までの距離を調整し、衝撃力を軽減でき、また、ワークピース表面を流れる現像液の速度を調整できるため、現像品質の管理が容易になり、最終製品の歩留まりが向上する。

図１～図３を参照して、本実施例において、一体化加工設備は、ベース１００、回転装置２００及び導流装置３００を含む。ベース１００は、作業台または地面などの支持面上に固定されるためのものである。回転装置２００は傾斜角度調整ユニット２１０と回転ユニット２２０とを含み、傾斜角度調整ユニット２１０はベース１００に設置され、回転ユニット２２０は傾斜角度調整ユニット２１０に接続され、回転ユニット２２０はワークピースを載置して、ワークピースを第１軸００１の周りに回転させるように構成され、傾斜角度調整ユニット２１０は、回転ユニット２２０を駆動して、第１軸００１に対して夾角を有する第２軸００２の周りを回転させるように構成されるる。導流装置３００は、枠体３１０と、液体貯留部３２０と、導流部３３０とを備え、枠体３１０は傾斜角度調整ユニット２１０に接続され、液体貯留部３２０および導流部３３０は、いずれも枠体３１０に接続され、液体貯留部３２０は、液体を導流部３３０に輸送させるように構成され、液体は、導流部３３０を通って回転ユニット２２０上に位置するワークピースに流れることができる。

本実施例において、第１軸００１は第２軸００２に垂直であり、第２軸００２は基本的に水平面と一致し、明らかに、他の実施例では、第１軸００１と第２軸００２は、０°および９０°以外の他の夾角を有してもよい。同時に、第２軸００２は、水平面に対して０°以外の夾角を有していてもよい。

本実施例において、選択可能な構成として、ベース１００は正方形のベースとして設置され、ベース１００は、互いに対向する第１板面と第２板面とを有し、第１板面は支持面に固定されるためのものであり、第２板面は上を向き、第２板面には２つの取付ブロック１３０が設置され、２つの取付ブロック１３０はいずれも方形ブロックであり、２つの取付ブロック１３０は間隔をあけて配置されている。各取付ブロック１３０には軸受穴が設置され、２つの取付ブロック１３０の２つの軸受穴は同軸上に設置されている。さらに、ベース１００には液体収集チャンバー１１０が設置されており、液体収集チャンバー１１０は、第２板面上に位置する開口部を有し、液体収集チャンバー１１０内には水ポンプ１２０が設置される。

図２を参照して、本実施例において、選択可能な構成として、傾斜角度調整ユニット２１０は、第１駆動部２１１、取付台２１２及び軸受（図示せず）を含み、第１駆動部２１１はモータとして構成されており、第１駆動部２１１は第２板面上に固定されており、軸受の数は２つであり、２つの軸受は２つの取付ブロック１３０の軸受穴にそれぞれ嵌設され、第１駆動部２１１の出力軸は、２つの軸受の内輪に同時に挿入され、このように、第１駆動部２１１の出力軸は、２つの軸受を介して２つの取付ブロック１３０に第２軸００２回りに回転可能に接続されている。取付台２１２は、第１駆動部２１１の出力軸に固定されており、出力軸とともに回転可能である。つまり、取付台２１２が出力軸に取り付けられた後、取付台２１２と出力軸とは、出力軸の周方向において相対的に固定される。例えば、取付台２１２は、スプラインまたはピンを介して出力軸に固定的に接続することができる。さらに、取付台２１２は、接続されたベース本体２１２１と板体２１２２とを含み、ベース本体２１２１は、出力軸の外側に嵌着され、出力軸に固定的に接続される。板体２１２２には、液体収集タンク２１２３と、液体収集タンク２１２３に連通した液体排出口２１２４が設置され、液体収集タンク２１２３の中央には貫通孔が設置され、貫通孔は円筒状の孔であり、貫通孔内にはシール付き軸受が設置されている。液体回収タンク２１２３内の液体は、液体排出口２１２４を介して液体収集チャンバー１１０内に排出可能である。

他の実施例において、選択可能な構成として、傾斜角度調整ユニット２１０は角度測定器も含み、角度測定器は、第１駆動部２１１に接続され、第１駆動部２１１の出力軸の回転角度を検出するように構成されることで、取付台２１２の回転角度を取得し、さらに水平面に対する取付台２１２の角度を取得し、最終的に水平面に対するワークピースの角度を取得できる。

図１及び図４を参照して、本実施例において、選択可能な構成として、回転ユニット２２０は、第２駆動部２２１、回転ディスク２２２、位置決めコンポーネント２２３を含み、第２駆動部２２１はモータとして構成される。第２駆動部２２１はベース本体２１２１上に固定されており、また、第２駆動部２２１の出力軸はシール軸受に挿入されており、第２駆動部２２１の出力軸は液体収集タンク２１２３内まで延びている。回転ディスク２２２は、円形ディスクであってもよい。回転ディスク２２２は、液体収集タンク２１２３内に配置される。回転ディスク２２２は、出力軸に固定的に接続される。回転ディスク２２２の軸は出力軸の軸と同一線上にある。位置決めコンポーネント２２３は回転ディスク２２２上に配置され、位置決めコンポーネント２２３は、現像プロセス中にワークピースが回転ディスク２２２に対して動かないように、ワークピースを回転ディスク２２２上に位置決めするたのものである。

選択可能な構成として、位置決めコンポーネント２２３は複数の位置決めブロックを含み、複数の位置決めブロックはいずれも回転ディスク２２２に接続されており、かつ、複数の位置決めブロックのうちの少なくとも１つの位置決めブロックは、回転ディスク２２２の径方向に沿って回転ディスク２２２に対してスライド可能であり、これにより、回転ディスク２２２に対する位置決めブロックの位置が調整される。複数の位置決めブロックが共同にワークピースをクランプするように構成され、複数の位置決めブロックが共同でクランプ領域を画定する。位置決めブロックが回転ディスク２２２に対して移動すると、クランプ領域のサイズが変化することで、さまざまなワークピースのクランプに適応し、幅広い用途と低コストを実現することが理解されるべきである。

複数の位置決めブロックのうちの各位置決めブロックは、回転ディスク２２２に対してスライド可能に設置することができ、調整範囲が広く柔軟に調整することができ、より多くの種類のワークピースをクランプすることができる。もちろん、他の実施例では、複数の位置決めブロックのうちの１つの位置決めブロックのみを回転ディスク２２２に対して移動可能に構成し、クランプ領域のサイズを調整する機能も達成され得る。

また、位置決めブロックはネジによって回転ディスク２２２に固定することができ、回転ディスクには複数のネジ穴を設置することができる。ネジが異なるねじ穴にねじ込まれると、回転ディスク２２２の半径方向における回転ディスク２２２に対する位置決めブロックの位置を変えることができることで、クランプ領域のサイズを調整した後、クランプ領域のサイズを変更せずにワークピースを安定してクランプすることができる。

図５を参照して、本実施例において、選択可能な構成として、枠体３１０は、固定板３１１と、固定ロッド３１２と、調整ロッド３１３とを含む。固定板３１１は、長方形の板状に構成されており、ネジによってベース本体２１２１に固定されている。固定ロッド３１２の一端は、固定板３１１に接続され、他端は、調整ロッド３１３に接続され、固定ロッド３１２および調整ロッド３１３の数は２本である。２つの固定ロッド３１２の一端はベース本体２１２１に接続され、２つの固定ロッド３１２の他端は２つの調整ロッド３１３にそれぞれ固定的に接続される。２つの調整ロッド３１３は、いずれも第２軸００２に対して垂直であり、第２軸００２の延在方向に間隔をあけて配置されている。

さらに、各調整ロッド３１３は、対応する固定ロッド３１２にスライド可能に接続される。調整ロッド３１３および固定ロッド３１２のスライド方向は、液体を案内してワークピースに流す導流部３３０の案内方向と平行である。このようにして、回転ディスク２２２上に位置するワークピースのサイズが小さい場合、固定ロッド３１２に対する調整ロッド３１３の位置を調整して、導流部３３０をワークピースに近づけたり遠ざけたりすることで、導流部３３０から流出した液体がワークピース上にスムーズに落下することができる。

本実施例において、選択可能な構成として、導流部３３０は、ロックユニット３４０を介して枠体３１０にスライド可能に嵌合される。ロックユニット３４０は、相互切り替え可能なロック状態とロック解除状態とを有し、ロック状態では、導流部３３０は、枠体３１０に対して第２軸００２の延在方向に固定され、ロック解除状態では、導流部３３０は、枠体３１０に対して第２軸００２の延在方向にスライド可能である。このようにして、導流部３３０は枠体３１０に対して移動することができ、それによって回転ディスク２２２に対して移動することができ、導流部３３０と回転ディスク２２２との間の距離が調整され、最終的に、導流部３３０と回転ディスク２２２上に位置するワークピース表面との間の距離が調整される。このように設計されると、導流部３３０の位置は、異なる厚さのワークピースに応じて調整され、導流部３３０とワークピースとの間の距離が常に妥当な距離範囲内に維持され、導流部３３０によって案内され、導流部３３０の液体排出側３３１からワークピースの表面に流れる液体は、ワークピースの表面を均一に覆うことができ、それによって作業品質を向上させることができる。

図６を参照して、選択可能な構成として、ロックユニット３４０は、複数の係着ロッド３４１を含み、各調整ロッド３１３には少なくとも１つの係着ロッド３４１が設置され、各係着ロッド３４１には、係着ロッド３４１の軸延在方向に等間隔に配置された環状突起３４２が設置される。各調整ロッド３１３上の係着ロッド３４１の数は、１つ、２つ、または３つ等であってもよい。

図７を参照して、選択可能な構成として、導流部３３０は正方形板として設置され、導流部３３０の一方の側を液体排出側３３１とする。導流部３３０には、導流部３３０を厚さ方向に貫通するクランプ穴３３２が設置され、クランプ穴３３２は、連通した第１穴部３３２１と第２穴部３３２２とを含み、第１穴部３３２１および第２穴部３３２２は、いずれも円弧状の穴部であり、第１穴部３３２１の穴径は、第２穴部３３２２の空間よりも大きい。導流部３３０上のクランプ穴３３２の数は、係着ロッド３４１の数に従って設計され、クランプ穴３３２の数は係着ロッド３４１の数と等しく、１対１に対応し、各係着ロッド３４１は、対応するクランプ穴３３２に挿入することができる。かつ、係着ロッド３４１は、第１穴部３３２１と第２穴部３３２２との間で移動可能であり、係着ロッド３４１が第１穴部３３２１内に位置するとき、ロックユニット３４０はロック解除状態にあり、係着ロッド３４１は、導流部３３０に対して第１穴部３３２１の軸延在方向に相対移動可能であり、これにより導流部３３０の位置を調整することができ、かつ、設定位置に移動した後、係着ロッド３４１を第２穴部３３２２にスライドさせ、環状突起３４２を使用して導流部３３０に係着する。このとき、ロックユニット３４０はロック状態にあり、導流部３３０と係着ロッド３４１とは、係着ロッド３４１の軸延在方向に沿って固定された状態が保持される。枠体３１０に対する導流部３３０の位置の調整操作は便利で柔軟である。

明らかに、他の実施例では、導流部３３０も枠体３１０とともに回転するように設置することができ、液体排出側３３１とワークピースとの間の距離も調整することができる。

図８を参照して、本実施例において、選択可能な構成として、液体貯留部３２０には、互いに独立した第１チャンバーと第２チャンバーとが設置され、第１チャンバーは第１出口３２１と第１入口を有し、第１チャンバーは流体を貯留するように構成され、流体は現像液などであってもよい。第２チャンバーは第２出口３２２と第２入口を有し、第２チャンバーは洗浄液を貯留するように構成される。実際の作業中、現像が必要な場合、流体は第１入口を通して第１チャンバー内に補充され、流体は、第１出口３２１から排出されて導流部３３０上に落下し、導流部３３０の液体排出側３３１からワークピース表面に流れる。現像完了後にワークピースを洗浄する必要がある場合、第２チャンバー内の洗浄液を第２出口３２２から排出し、導流部３３０を通ってワークピースの表面に流れる。

さらに、第１出口３２１および第２出口３２２は、いずれも帯状の開口であり、第１出口３２１および第２出口３２２は、いずれも第２軸００２の延在方向に沿って延びている。これにより、第１出口３２１および第２出口３２２から流出する液体を水のカーテン状にすることができ、導流部３３０に向かってより均一に流れることができる。

本実施例において、一体化加工設備は、たとえば次のように動作する。
ワークピースを回転ディスク２２２上に載置し、位置決めブロックを移動させることによりワークピースを回転ディスク２２２上にクランプする。次に、傾斜角度調整ユニット２１０を用いて取付台２１２を回転させ、これにより回転ディスク２２２、ワークピース、回転ユニット２２０および導流装置３００を動作させながら水平面に対する傾斜角度を変更する。傾斜角度調整が完了した後、ワークピースに対する導流板の高さを調整し、次に、現像して洗浄する。もちろん、他のステップにおいて、まず導流板とワークピースとの距離を調整し、次にワークピースの傾斜角度を調整することも可能である。

本実施例によって提供される一体化加工設備は、異なる形状およびサイズのワークピースを加工することができ、ワークピースのサイズは、ワークピースの外形サイズおよび厚さなどを含み、ワークピースの形状は、円形、方形などであり得、加工範囲が広く、応用範囲が広く、低コストである。同時に、導流板に対するワークピースの傾斜角度と距離をワークピースの要件に応じて調整して、さまざまな加工ニーズを満たすことができ、加工品質が高くなる。

該一体化加工設備は、酸コーティングやコーティングなどの他の作業シナリオでも使用できる。

上記の説明は、本願発明の好ましい実施例にすぎず、本願発明を限定することを意図するものではない。当業者は、本願発明に対して様々な修正および変形を行うことができる。本願発明の精神と原則の範囲内で行われた変更、同等の交換、改善などは、本願発明の保護範囲に含まれるものとする。

００１－第１軸
００２－第２軸
１００－ベース
１１０－液体収集チャンバー
１２０－水ポンプ
１３０－取付ブロック
２００－回転装置
２１０－傾斜角度調整ユニット
２１１－第１駆動部
２１２－取付台
２１２１－ベース本体
２１２２－板体
２１２３－液体収集タンク
２１２４－液体排出口
２２０－回転ユニット
２２１－第２駆動部
２２２－回転ディスク
２２３－位置決めコンポーネント
３００－導流装置
３１０－枠体
３１１－固定板
３１２－固定ロッド
３１３－調整ロッド
３２０－液体貯留部
３２１－第１出口
３２２－第２出口
３３０－導流部
３３１－液体排出側
３３２－クランプ穴
３３２１－第１穴部
３３２２－第２穴部
３４０－ロックユニット
３４１－係着ロッド
３４２－環状突起

Claims (7)

1. 一体化加工設備であって、
   ベース、回転装置および導流装置を含み、
   前記回転装置は傾斜角度調整ユニットと回転ユニットとを含み、前記傾斜角度調整ユニットは前記ベースに設置され、前記回転ユニットは前記傾斜角度調整ユニットに接続され、前記回転ユニットはワークピースを載置して前記ワークピースを第１軸の周りに回転させるように構成され、前記傾斜角度調整ユニットは、前記回転ユニットを駆動して前記第１軸に対して夾角を有する第２軸の周りを回転させるように構成され、
   前記導流装置は枠体、液体貯留部及び導流部を含み、前記枠体は前記傾斜角度調整ユニットに接続され、前記液体貯留部および前記導流部は、いずれも前記枠体に接続され、前記液体貯留部は、液体を前記導流部に輸送させるように構成され、前記液体は、前記導流部を通って前記回転ユニットに位置するワークピースに流れることができ、
   前記導流部には液体排出側が設置され、
   前記導流部は、前記枠体に移動可能に接続され、前記液体排出側と前記枠体との間の距離を調整することにより、前記液体排出側と前記回転ユニット上に位置するワークピースとの間の距離を調整し、
   前記導流部は、前記液体排出側と前記枠体との間の距離を調整するように前記枠体に対して前記第１軸の延在方向にスライド可能に接続されており、
   前記導流装置はロックユニットも含み、前記ロックユニットは前記導流部と前記枠体に同時に接続され、前記ロックユニットは、切り替え可能なロック状態とロック解除状態を有し、前記ロック状態では、前記導流部は、前記枠体に対して前記第１軸の延在方向に固定され、前記ロック解除状態では、前記導流部は、前記枠体に対して前記第１軸の延在方向にスライド可能であることを特徴とする一体化加工設備。
2. 前記傾斜角度調整ユニットは、第１駆動部と取付台とを含み、前記第１駆動部は前記ベースに接続され、前記取付台は前記第１駆動部に接続され、前記第１駆動部は、前記取付台を駆動して前記第２軸の周りを回転させるように構成され、
   前記回転ユニット及び前記枠体はいずれも前記取付台に接続されることを特徴とする請求項１に記載の一体化加工設備。
3. 前記取付台には、液体収集タンクと、前記液体収集タンクに連通する液体排出口が設置され、前記ベースには液体収集チャンバーが設置され、前記液体排出口は前記液体収集チャンバーに連通し、前記回転ユニットは前記液体収集タンク内に設置され、前記液体収集タンクは、前記ワークピースから落下した液体を収集し、落下した液体を前記液体排出口から前記液体収集チャンバー内に入れるように構成されることを特徴とする請求項２に記載の一体化加工設備。
4. 前記回転ユニットは、第２駆動部、回転ディスク、及び位置決めコンポーネントを含み、前記第２駆動部は前記取付台に接続され、前記回転ディスクは前記第２駆動部に接続され、前記第２駆動部は、前記回転ディスクを駆動して前記第１軸の周りを回転させるように構成され、前記位置決めコンポーネントは前記回転ディスクに接続され、前記位置決めコンポーネントは前記回転ディスクにあるワークピースを位置決めるように構成されることを特徴とする請求項２に記載の一体化加工設備。
5. 前記位置決めコンポーネントは複数のクランプブロックを含み、前記複数のクランプブロックはいずれも前記回転ディスクに接続され、前記複数のクランプブロックは、ワークピースをクランプするためのクランプ領域を共同で画定し、前記複数のクランプブロックのうちの少なくとも１つは、前記回転ディスクに対して移動して、前記クランプ領域のサイズを調整するように構成されることを特徴とする請求項４に記載の一体化加工設備。
6. 前記液体貯留部は、前記液体貯留部の前記導流部に対する距離を調整するように前記枠体に対して前記第１軸の延在方向にスライド可能に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の一体化加工設備。
7. 前記液体貯留部には、互いに独立した第１チャンバーと第２チャンバーとが設置され、前記第１チャンバーは第１出口を有し、前記第１チャンバーは流体を貯留するように構成され、前記第２チャンバーは第２出口を有し、前記第２チャンバーは洗浄液を貯留するように構成されることを特徴とする請求項６に記載の一体化加工設備。