JP7829842B2 - 搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、搬送装置に係わり、特に、天井軌道を走行して物品を搬送する天井走行型の搬送装置に関する。

特許文献１には、カセットを傾けて搬送する天井走行型搬送装置が開示されている。この天井走行型搬送装置は、２本のベルトの先端に取り付けられたグリッパでカセットを把持し、各ベルトを径の異なるドラムで巻上げることにより、２本のベルトの巻き上げ量を互いに異ならせるようにし、これにより、下限位置で水平姿勢であるグリッパを、上昇するにつれて徐々に傾斜させ、上限位置で目的とする傾斜姿勢となるようにしている。

特開平８－１８８３７５号公報

しかしながら、上述した特許文献１のような天井走行型搬送装置では、カセットを目的とする一定の傾斜角度で傾斜させるには、昇降距離（即ち、カセットの下限位置と上限位置との間の距離）に応じて、ベルトの長さやドラム径を調整する必要がある。したがって、カセットの最適な傾斜角度を得るために、このような搬送装置を設ける物件ごとに、天井軌道までの高さやロードポートなどの仕様に応じて、ベルトの長さやドラム径の調整が必要なので、対応が煩雑となり、コストも増大するという問題がある。

そこで、本発明は、上述した問題を解決するためになされたものであり、昇降距離に依存せずに物品を適切に傾けて搬送することができる天井走行型の搬送装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明は、天井軌道を走行して物品を搬送する天井走行型の搬送装置であって、台車本体部と、物品を保持する保持装置と、台車本体部に対して保持装置を昇降させる昇降装置と、を備え、昇降装置は、保持装置を吊り下げる第１吊り下げ部材および第２吊り下げ部材と、第１吊り下げ部材および第２の吊り下げ部材の巻上げおよび繰り出しを行う駆動装置と、を備え、保持装置は、保持装置が台車本体部に対して上昇した所定の上昇位置において台車本体部と当接する当接部材を備え、台車本体部は、保持装置の当接部材が当接する被当接部材を備え、第１吊り下げ部材は、保持装置上の第１位置で保持装置を吊り下げ、第２吊り下げ部材は、保持装置上の第２位置で保持装置を吊り下げ、駆動装置は、第１吊り下げ部材および第２吊り下げ部材を同じ長さだけ巻上げまたは繰り出し、さらに、保持装置の当接部材が台車本体部の被当接部材に当接した所定の上昇位置で第１吊り下げ部材および第２吊り下げ部材が同じ長さだけ巻き上げられたとき、当接部材と被当接部材との当接箇所を支点とする保持装置の傾きを許容する許容部を備える、ことを特徴としている。

このように構成された本発明によれば、第１吊り下げ部材および第２吊り下げ部材を同じ長さだけ巻上げる昇降装置と、保持装置の当接部材が台車本体部の被当接部材に当接した所定の上昇位置で第１吊り下げ部材および第２吊り下げ部材が同じ長さだけ巻き上げられたとき、当接部材と被当接部材との当接箇所を支点とする保持装置の傾きを許容する許容部とを備えているので、昇降距離（吊り下げ部材の巻上げ量）に関わらず、所望する一定の傾斜角度だけ保持装置を傾けることができる。

また、本発明において、好ましくは、保持装置の当接部材は、水平方向で見て、第１位置と第２位置との間に設けられ、許容部は、所定の上昇位置で第１吊り下げ部材および第２吊り下げ部材が同じ長さだけ巻き上げられたとき、当接部材と被当接部材との当接箇所を支点として、第１位置が上方に変位し、第２位置が下方に変位するように保持装置の傾きを許容する。
このように構成された本発明によれば、より効果的に、所望する一定の傾斜角度だけ保持装置を傾けることができる。

また、本発明において、好ましくは、許容部は、所定の上昇位置で第１吊り下げ部材および第２吊り下げ部材が同じ長さだけ巻き上げられたとき、弾性変形することにより、当接部材と被当接部材との当接箇所を支点とする保持装置の傾きを許容する弾性部材を備える。
このように構成された本発明によれば、より効果的に、保持装置の傾きを許容することができる。

また、本発明において、好ましくは、弾性部材は、保持装置が物品を保持していない状態で、その自然長よりも収縮している。
このように構成された本発明によれば、弾性部材が自然長より収縮し、その分発生する与圧を保持装置に与えることにより、物品を保持した保持装置を（たとえばロードポートから）持上げたとき、保持装置の傾きを抑制することができる。

また、本発明において、好ましくは、保持装置の当接部材および台車本体部の被当接部材は、所定の上昇位置で、保持装置の水平位置かつ上昇位置を規定する。
このように構成された本発明によれば、保持装置の当接部材および台車本体部の被当接部材は、保持装置が傾斜するときの支点としての役割に加え、保持装置が上昇したときの位置決めの役割を有する。

また、本発明において、好ましくは、保持装置の第１位置には、第１吊り下げ部材を保持装置のベース部材に接続する第１接続部材が設けられ、保持装置の第２位置には、第２吊り下げ部材を保持装置のベース部材に接続する第２接続部材が設けられ、第１接続部材はベース部材に固定され、第２接続部材はベース部材に対して上下方向に相対変位可能にベース部材に取り付けられ、許容部は、ベース部材と第２接続部材との間に設けられ、ベース部材と第２接続部材との相対変位を許容する弾性部材を備える。
このように構成された本発明によれば、弾性部材が、保持装置のベース部材と、第２吊り下げ部材に接続された第２接続部材とからの力を受けて撓むことにより、保持装置の傾きを有効に許容することができる。

また、本発明において、好ましくは、当接部材は、上方側に突出したピン部材であり、被当接部材は、下方側に開口し、ピン部材を受け入れて支持するガイド部材である。
このように構成された本発明によれば、より効果的に、所望する一定の傾斜角度だけ保持装置を傾斜させることができる。

本発明によれば、昇降距離に依存せずに物品を適切に傾けて搬送することができる。

本発明の実施形態による天井走行型搬送装置の全体の概略構成を示す側面図である。 本発明の実施形態による搬送装置の昇降装置の概略構成を示す装置を左側から見た左側面図である。 本発明の実施形態による搬送装置の昇降装置の概略構成を示す装置を上方から見た上面図である。 本発明の実施形態による保持装置の概略構成を示す装置の正面図である。 本発明の実施形態による保持装置の概略構成を示す装置の左側面図である。 本発明の実施形態による保持装置の概略構成を示す装置の背面図である。 本実施形態の搬送装置の動作パターンを示す模式図であり、図７（Ａ）は、保持装置がロードポート上の搬送物にアクセスする移載位置での動作を説明するための図であり、図７（Ｂ）は、保持装置を昇降ベルトで持ち上げる上昇途中の動作を説明するための図であり、図７（Ｃ）は、保持装置が基準上昇位置まで持ち上げられたときの動作を説明するための図であり、図７（Ｄ）は、さらに昇降ベルトを巻き上げる途中の保持装置の動作を説明するための図であり、図７（Ｅ）は、昇降ベルトの巻き上げが完了したときの保持装置の動作を説明するための図である。 保持装置の基準上昇位置での動作をより詳細に説明するための図７（Ｃ）の一部拡大図である。 保持装置の傾斜動作をより詳細に説明するための図７（Ｄ）の一部拡大図である。 保持装置の傾斜動作をより詳細に説明するための図７（Ｅ）の一部拡大図である。

次に、添付図面を参照して、本発明の実施形態による天井走行型の搬送装置を説明する。

まず、図１により、本発明の実施形態による天井走行型搬送装置（天井搬送車）の全体構成を説明する。図１は、本発明の実施形態による天井走行型搬送装置の全体の概略構成を示す側面図である。なお、以下で説明する本実施形態は、半導体製造工場のクリーンルーム内において、半導体ウェハを収容して搬送する搬送装置に、本発明を適用したものである。

まず、図１に示すように、符号１は、本実施形態の天井走行型の搬送装置（天井搬送車）（以下、「搬送装置」という）を示す。この搬送装置１は、搬送台車本体（以下、「台車本体」という）２を備えている。この台車本体２は、クリーンルーム等の建屋内の天井に取り付けられた軌道レール４に吊り下げられ、軌道レール４に対して動作する走行機構６により走行し、目標となる位置まで移動することができる。
なお、以下の説明および各図面において、「正面」、「背面」とは、搬送装置１の走行方向に対して直交する方向かつ水平方向で見た搬送装置１の正面、背面を意味し、「側面」とは、搬送装置１の正面および背面に対する側面を意味する。また、「正面」とは、後述するオープンカセット１８の開口部２４が形成された面の方向から見た搬送装置１の正面である。

次に、搬送装置１は、昇降装置（昇降機）８および保持装置（チルト機構付きハンドユニット）１０を備える。
昇降装置８は、いわゆるホイストとして機能する昇降ベルト１２、１４により保持装置１０を昇降させる装置であり、上述した走行機構６の下方の位置で、台車本体２に取り付けられている。
保持装置１０は、建屋に設置された半導体製造装置のロードポート１６上に置かれたオープンカセット１８をチャック２０により把持（保持）し、そのオープンカセット１８内のウェハ（搬送物）２２を搬送できるようにするためのものである。

オープンカセット１８は、その正面側の一面に開口部２４が形成されており、ロードポート１６のウェハ２２は、この開口部２４からオープンカセット１８内に水平に移載される（ウェハ２２が出し入れ可能となっている）。なお、理解のために、図１を含む側面視での図面では、ウェハ２２がオープンカセット１８の開口部２４から突出した状態で図示しているが、実際には、ウェハ２２全体がオープンカセット１８内に収容されている。
ここで、オープンカセット１８には、ウェハ２２の位置を保持する構造は設けられていない。移載時は、通常、水平方向の大きな力が加わらないため、開口部２４を閉じるような構成としなくても、ウェハ２２が移動することはないが、走行時は、カーブでの遠心力や走行振動などによりウェハ２２が移動してしまう可能性がある。そこで、本実施形態では、後述するように、天井走行時に保持装置１０を傾斜させるようにして、ウェハ２２を有効に搬送するようにしている。

次に、図１乃至図３により、昇降装置８の基本構造を説明する。図２は、本発明の実施形態による搬送装置の昇降装置の概略構成を示す装置を左側から見た左側面図であり、図３は、本発明の実施形態による搬送装置の昇降装置の概略構成を示す装置を上方から見た上面図である。
図１乃至図３に示すように、昇降装置８は、一対のベルトからなる第１昇降ベルト（第１吊り下げ部材）１２と、一対の昇降ドラム２６および一対のアイドラプーリ２８を備えている。第１昇降ベルト１２の始端は、昇降ドラム２６に取り付けられ、昇降ドラム２６を回転駆動させることにより、アイドラプーリ２８を介して、第１昇降ベルト１２を巻上げまたは繰り出すようになっている。
また、昇降装置８は、単一のベルトからなる第２昇降ベルト（第２吊り下げ部材）１４と、第２昇降ベルト用の昇降ドラム３０および２つのアイドラプーリ３２を備えている。第２昇降ベルト１４の始端は、昇降ドラム３０に取り付けられ、昇降ドラム３０を回転駆動させることにより、２つのアイドラプーリ３２を介して、第２昇降ベルト１４を巻上げまたは繰り出すようになっている。

ここで、計３つの昇降ドラム２６、３０は、図示しないモータに接続された共通の駆動軸３４により駆動することにより、いずれも、同一回転速度、および、同一の回転量で駆動されるようになっている。また、３つの昇降ドラム２６、３０は、いずれも、同一の径を有する。したがって、本実施形態では、このような構成により、第１昇降ベルト１２と第２昇降ベルト１４は、昇降ドラム２６、３０を回転させると、同じ長さだけ巻上げまたは繰り出されるようにしている。

次に、図１に示すように、第１昇降ベルト１２の下端は、第１接続部材（第１接続ブラケット）３６を介して、開口部２４側（正面側）の第１の位置Ａで保持装置１０に取り付けられ、第２昇降ベルト１４の下端は、第２接続部材（第２接続ブラケット）４０を介して、背面側の第２の位置Ｂで、保持装置１０に取り付けられている。すなわち、第１昇降ベルト１２は、保持装置１０のオープンカセット１８の開口部２４側の第１の位置Ａで保持装置１０を吊り下げ、第２昇降ベルトは、保持装置１０の背面側の第２の位置Ｂで保持装置１０を吊り下げる。

また、本実施形態では、台車本体２の昇降装置８に、下方に向けて開口する、一対の位置決めガイド部材（以下、「ガイド部材」という）４４が取り付けられている。この一対のガイド部材４４は、図３に示すように、昇降装置８の左右両縁部にそれぞれ配置され、後述するように、保持装置１０に設けた一対の位置決めピン部材（以下、「ピン部材」という）４６が当接するようになっている。より詳細には、一対のガイド部材４４には、それぞれ、断面半円状の凹部（被当接部）４４ａが形成され、これらの凹部４４ａに、後述する一対のピン部材４６の半円状の外面を有する円筒部（当接部）４６ａがそれぞれ当接するようになっている。

次に、図４乃至図６により、保持装置１０の基本構造を説明する。図４は、本発明の実施形態による保持装置の概略構成を示す装置の正面図であり、図５は、本発明の実施形態による保持装置の概略構成を示す装置の左側面図であり、図６は、本発明の実施形態による保持装置の概略構成を示す装置の背面図である。
まず、図４乃至図６に示すように、保持装置１０は、種々の部品が取り付けられるベースプレート５０を備えている。なお、図４乃至図６では、保持装置１０に設けたチャック２０によって、オープンカセット１８が保持されている。

ベースプレート５０には、その第１の位置Ａ（符号Ａは、図１、図５の側面図に付す）において、一対の第１接続部材３６を介して、一対の第１昇降ベルト１２が取り付けられている。第１接続部材３６は、上方に開口したＵ字状のブラケット等で構成されている。
なお、第１昇降ベルト１２が取り付けられる第１の位置Ａは、正面視（図４）および背面視（図６）では一対の位置として２カ所となるが、側面視（図１、図５）では１カ所と見なすことができる。本実施形態では、第１の位置Ａとは、側面視で見た１カ所の第１の位置Ａを意味することを前提として説明する。
なお、詳細な取り付け構造の説明は省略するが、この第１の位置Ａでは、第１接続部材３６はベースプレート５０に固定され、第１接続部材３６および第１昇降ベルト１２は、ベースプレート５０に対して、上下方向に相対変位しないようにしている。

また、ベースプレート５０には、その第２の位置Ｂ（符号Ｂは、図１、図５の側面図に示す）において、第２接続部材４０を介して、第２昇降ベルト１４が取り付けられている。
なお、詳細な取り付け構造の説明は省略するが、この第２の位置Ｂでは、第２接続部材４０はベースプレート５０に対して、上下方向に相対変位可能に取り付けられている。これにより、後述するように、ベースプレート５０が傾斜するとき、ベースプレート５０が、第２接続部材４０および第２昇降ベルト１４に対して、相対的に変位することができるようにしている。

ここで、図４乃至図６において、符号１２ａは、第１昇降ベルト１２の下端部であり、第１接続部材３６への取付部となっている。また、符号３６ａは、その下端部１２ａを第１接続部材３６へ取り付けるための固定部材である。また、符号１４ａは、第２昇降ベルト１４の下端部であり、第２接続部材４０への取付部となっている。また、符号４０ａは、その下端部１４ａを第２接続部材４０へ取り付けるための固定部材である。

次に、第２の位置Ｂでは、第２接続部材４０の下端部（Ｕ字状のブラケットの底部分）と、ベースプレート５０の下面部との間に、圧縮ばね５２が取り付けられている。本実施形態では、この圧縮ばね５２は、主に２つの機能を有している。
第１に、圧縮ばね５２は、所定量圧縮した状態で、第２接続部材４０とベースプレート５０との間に組み込まれている。これによって、所定量の「与圧」を生じさせ、この与圧により、保持装置１０がロードポート１６上のオープンカセット１８を持ち上げたとき、その重量に対抗して、保持装置１０およびオープンカセット１８の傾きを抑制する機能を有する。第２接続部材４０は、圧縮ばね５２に与圧を生じさせるために、所定の位置より下方に変位しないように規制されるように構成されている。

第２に、図７～図１０で後述するように、ピン部材４６がガイド部材４４に当接した後、第１昇降ベルト１２および第２昇降ベルト１４をさらに巻き上げたとき、第２接続部材４０がベースプレート５０に対して変位すると共に、圧縮ばね５２が圧縮され（縮んで）、ベースプレート５０、ひいては、保持装置１０が傾斜することを許容する機能を有する。言い換えれば、本実施形態の搬送装置１は、主に、ベースプレート５０と、このベースプレート５０に対して上下方向に相対変位可能な第２接続部材４０と、圧縮ばね５２とにより、保持装置１０の傾きを許容する許容部を構成するようにしている。
なお、圧縮ばね５２は、以上説明したような機能を発揮できる弾性材料として、たとえばゴムでもよい。

次に、図４乃至図６に示すように、保持装置１０の左右両縁部には、上方に向けて延びる、一対のピン部材４６が取り付けられている。この一対のピン部材４６は、その上方端部に、上述したガイド部材４４の凹部４４ａと同様の大きさおよび形状の半円状の外面を有する円筒部（当接部）４６ａが形成されている。
図５に示すように、この一対のピン部材４６は、側面視で、水平方向に見て、第１昇降ベルト１２で吊り下げられる第１の位置Ａと、第２昇降ベルト１４で吊り下げられる第２の位置Ｂとの間に位置するように設けられる。上述した昇降装置８の一対のガイド部材４４も、それぞれ、このように位置決めされた一対のピン部材４６の鉛直上方に設けられる。

なお、変形例として、ピン部材４６と同様の機能を有する部材を台車本体２側（たとえば昇降装置８）に設けてもよく、一方、ガイド部材４４と同様の機能を有する部材を保持装置１０側に設けてもよい。なお、たとえばこのような変形例において、互いに当接するという技術事項に基づいて、ガイド部材４４や同様の機能を有する部材を「当接部材」と捉え、ピン部材４６や同様の機能を有する部材を「被当接部材」と捉えることもできる。このような変形例においても、後述する「支点」としての機能を発揮し、保持装置１０を傾斜させることができる。

また、変形例として、ピン部材４６は、たとえば、図５のような側面視で、第２の位置Ｂと重複するような位置に配置しても良い。また、変形例として、ピン部材４６は、第２の位置Ｂより外方側に配置し、側面視で、水平方向で見て、第１の位置Ａ、第２の位置Ｂ、ピン部材４６の順で並ぶようにしてもよい。これらのような変形例でも、後述する「支点」としての機能を発揮し、保持装置１０を傾斜させることができる。

また、本実施形態では、ピン部材４６およびガイド部材４４を各装置８、１０に取り付けるようにしているが、変形例として、ピン部材４６やガイド部材４４と同様の機能を有する当接部や被当接部を、台車本体２や、昇降装置８や、保持装置１０に一体的に形成するようにしてもよい。
また、変形例として、ピン部材４６およびガイド部材４４は、一対ではなく、それぞれ単一のものでもよい。なお、一対とすることで、後述する「支点」としての機能をより効果的に得ることができる。

次に、図７乃至図１０により、本実施形態の搬送装置１の動作パターンを説明する。図７は、本実施形態の搬送装置の動作パターンを示す模式図であり、図７（Ａ）は、保持装置がロードポート上の搬送物にアクセスする移載位置での動作を説明するための図であり、図７（Ｂ）は、保持装置を昇降ベルトで持ち上げる上昇途中の動作を説明するための図であり、図７（Ｃ）は、保持装置が基準上昇位置まで持ち上げられたときの動作を説明するための図であり、図７（Ｄ）は、さらに昇降ベルトを巻き上げる途中の保持装置の動作を説明するための図であり、図７（Ｅ）は、昇降ベルトの巻き上げが完了したときの保持装置の動作を説明するための図であり、図８は、保持装置の基準上昇位置での動作をより詳細に説明するための図７（Ｃ）の一部拡大図であり、図９は、保持装置の傾斜動作をより詳細に説明するための図７（Ｄ）の一部拡大図であり、図１０は、保持装置の傾斜動作をより詳細に説明するための図７（Ｅ）の一部拡大図である。
なお、図７乃至図１０では、上述したガイド部材４４を簡略化し、その下方に開口した凹部（被当接部）４４ａを三角形の凹部として図示している。

まず、図７（Ａ）に示すように、ロードポート１６上において、保持装置１０により水平状態に保持されたオープンカセット１８に、図示しない処理装置のハンド等によってウェハ２２が移載される。
次に、図７（Ｂ）に示すように、昇降ドラム２６、３０の回転駆動により、第１および第２の昇降ベルト１２、１４を互いに同じ量だけ巻き上げて、ウェハ２２を格納しているオープンカセット１８を保持した保持装置１０を上昇させる。この上昇時、保持装置１０は、上述した圧縮ばね５２の与圧により、水平姿勢を維持したままとなる。

次に、図７（Ｃ）に示すように、所定の上昇位置において、ピン部材４６の円筒部４６ａが、ガイド部材４４の凹部４４ａに当接する。本実施形態において、この所定の上昇位置とは、保持装置１０が水平姿勢（水平位置）を保つ最も上方の位置であり、以下では、これを「基準上昇位置」という。
次に、図７（Ｃ）の基準上昇位置となった後、さらに昇降ドラム２６、３０を回転駆動させ、第１および第２の昇降ベルト１２、１４を互いに同じ量だけ巻き上げると、図７（Ｄ）に示すように、保持装置１０が角度α１（たとえば、α１＝３°）だけ傾く状態となる。
さらに、図７（Ｅ）に示すように、保持装置１０の傾斜が、最終目標角度α２（たとえば、α２＝６°）となるまで、第１および第２の昇降ベルト１２、１４を互いに同じ量だけ巻き上げて、この位置で、巻き上げを終了する。

以上、本実施形態では、第１および第２の昇降ベルト１２、１４の巻き上げにより、保持装置１０の水平姿勢を保ったまま保持装置１０を上昇させる「上昇期間（昇降期間）」（図７（Ａ）～図７（Ｃ）に示す間）と、第１および第２の昇降ベルト１２、１４を巻き上げるが、保持装置１０をそれ以上上昇させず、保持装置１０を水平姿勢から傾斜姿勢へと変化させる「傾斜期間」（図７（Ｃ）～図７（Ｅ）に示す間）とを有するようにしている。

以下では、図７（Ｃ）に示す「上昇期間」の終了時点の保持装置１０の動作、および、図７（Ｄ）、図７（Ｅ）に示す「傾斜期間」における保持装置１０の動作について、図８乃至図１０により、より詳細に説明する。
まず、図８に示すように、上述した基準上昇位置では、保持装置１０が上昇し、ピン部材４６の円筒部４６ａが、ガイド部材４４の凹部４４ａに当接している。
このとき、保持装置１０は、側面視において（水平方向で見て）、一点鎖線Ｌｐ０（第１位置Ａと第２位置Ｂとを結んだ線）で示すベースプレート５０の姿勢で表されるように、水平姿勢である。すなわち、基準上昇位置での保持装置１０の水平位置／水平姿勢が、ピン部材４６とガイド部材４４との当接により規定される。より詳細には、このような保持装置１０の水平姿勢を保つ最上昇位置が、ピン部材４６とガイド部材４４との当接により規定される。
また、上述したように、第１および第２の昇降ベルト１２、１４の巻き上げ量は互いに同一であるので、各昇降ベルト１２、１４の下端の位置を結んだ一点鎖線Ｌｂ０は、水平となる。
また、このとき、圧縮ばね５２の高さＳ０は、最初に組み込まれたとき、あるいは、保持装置１０が水平姿勢のときの高さと同一である。

次に、図９に示すように、図８に示す基準上昇位置の状態から、第１および第２の昇降ベルト１２、１４をさらに巻き上げる（互いに同じ巻き上げ量である）と、各昇降ベルト１２、１４の下端の位置を結んだ一点鎖線Ｌｂ１は水平のままであるが、一点鎖線Ｌｂ０（「基準上昇位置」でのベルト下端位置）に対して、その巻き上げ量に相当する距離Ｄ１だけ、上方に変位する。
そして、この状態での第１位置Ａと第２位置Ｂとを結んだ線である一点鎖線Ｌｐ１は、上述した基準上昇位置での一点鎖線Ｌｐ０に対し、側面視で傾斜している。以下に、このメカニズムを説明する。

まず、上述したように、第１昇降ベルト１２の巻き上げにより、ベースプレート５０に固定された第１接続部材３６は、その巻き上げ量と同じ量だけ上昇する。
このとき、ピン部材４６はガイド部材４４の凹部４４ａに当接しており、かつ、ピン部材４６はベースプレート５０に固定されているので、ベースプレート５０（保持装置１０）は、ピン部材４６の円筒部４６ａと、ガイド部材４４の凹部４４ａとの当接箇所を「支点」として、一点鎖線Ｌｐ１に示すように、第１の位置Ａが上方に変位するような傾斜姿勢となる。

一方、第２昇降ベルト１４の巻き上げ量は、第１昇降ベルト１２の巻き上げ量と同じであるので、第２接続部材４０は、第１接続部材３６と同じ量だけ上昇する。ここで、本実施形態では、第２接続部材４０は、ベースプレート５０に対して上下方向に変位可能に取り付けられ、また、ベースプレート５０と第２接続部材４０との間には圧縮ばね５２が組み込まれている。したがって、第２接続部材４０の上昇に伴い、圧縮ばね５２は、図８に示す高さＳ０から図９に示す高さＳ１まで圧縮され、これにより、ベースプレート５０の傾斜（一点鎖線Ｌｐ１）が許容される。
このような圧縮ばね５２の傾斜許容作用により、保持装置１０は、第１の位置Ａが上方に変位すると共に、第２の位置Ｂが下方に変位するような傾斜姿勢となる。

なお、上述した変形例のように、ピン部材４６が、側面視で、第２の位置Ｂと重複するような位置に配置した場合は、側面視において、水平方向で見て、ベースプレート５０の傾斜の支点が、ピン部材４６のガイド部材４４への当接箇所と一致する。したがって、このような変形例の場合は、保持装置１０は、第１の位置Ａが上昇し、第２の位置Ｂがその位置にとどまるような傾斜姿勢となる。
さらに、上述した変形例のように、側面視で、第１の位置Ａ、第２の位置Ｂ、ピン部材４６の順で並ぶようにした場合には、側面視において、水平方向で見て、ベースプレート５０の傾斜の支点が、第２の位置Ｂより外方側に位置する。したがって、このような変形例の場合は、保持装置１０は、第１の位置Ａが上昇すると共に、第２の位置Ｂも上昇した傾斜姿勢となる。なお、この場合、第２の位置Ｂの上昇量は第１の位置Ａの上昇量よりも小さい。

次に、図１０に示すように、目標とする傾斜角度α２となるまで、さらに第１および第２の昇降ベルト１２、１４を互いに同じ量だけ巻き上げる。
このとき、各昇降ベルト１２、１４の下端の位置を結んだ一点鎖線Ｌｂ２は水平のままであるが、一点鎖線Ｌｂ０で示す「基準上昇位置」での位置に対して、基準上昇位置からの総巻き上げ量に相当する距離Ｄ２だけ、上方に変位する。
そして、この状態での第１位置Ａと第２位置Ｂとを結んだ線である一点鎖線Ｌｐ２で表される保持装置１０の姿勢は、図９で説明したメカニズムにより、側面視で、基準上昇位置での一点鎖線Ｌｐ０の水平姿勢に対し、傾斜した姿勢となる。
このとき、圧縮ばね５２は、さらに高さＳ２（Ｓ１より小さい）に圧縮されて、これにより、保持装置１０の傾斜が許容される。
なお、荷下ろし時は、各昇降ベルト１２、１４を等量送り出すだけで、保持装置１０と搬送物であるウェハ２２（オープンカセット１８）は水平になる。これにより、簡易な構造で、かつ、昇降ドラム２６，３０の通常の制御と同様の制御方法で、台車走行時のみ、搬送物を傾けることが出来る。

次に、本発明の実施形態による天井走行型の搬送装置の作用効果を説明する。
まず、本実施形態および変形例による天井走行型の搬送装置１は、天井軌道４を走行して物品２２を搬送する天井走行型の搬送装置１であって、台車本体（台車本体部）２と、物品を保持する保持装置１０と、台車本体２に対して保持装置１０を昇降させる昇降装置８と、を備え、昇降装置８は、保持装置１０を吊り下げる第１ベルト部材（第１吊り下げ部材）１２および第２ベルト部材（第２吊り下げ部材）１４と、第１ベルト部材および第２ベルト部材の巻上げおよび繰り出しを行う駆動装置２６、３０、３４と、を備え、保持装置１０は、保持装置１０が台車本体２に対して上昇した所定の上昇位置（基準上昇位置）において台車本体２と当接する当接部材（４６）を備え、台車本体２は、保持装置１０の当接部材４６が当接する被当接部材（４４）を備え、第１ベルト部材１２は、保持装置上の第１位置Ａで保持装置１０を吊り下げ、第２ベルト部材１４は、保持装置上の第２位置Ｂで保持装置１０を吊り下げ、駆動装置２６、３０は、第１ベルト部材１２および第２ベルト部材１４を同じ長さだけ巻上げまたは繰り出し、さらに、保持装置１０の当接部材が台車本体２の被当接部材に当接した所定の上昇位置（基準上昇位置）で第１ベルト部材１２および第２ベルト部材１４が同じ長さだけ巻き上げられたとき、当接部材と被当接部材との当接箇所（４６ａ、４４ａ）を支点とする保持装置１０の傾き（α１、α２）を許容する許容部（ばね、ゴムなど）５２を備える。
このように構成された本実施形態によれば、昇降距離（ベルト部材／吊り下げ部材の巻上げ量）に関わらず、所望する一定の傾斜角度（α２）だけ保持装置１０を傾けることができる。

また、本実施形態では、保持装置１０の当接部材４６は、水平方向で見て、第１位置Ａと第２位置Ｂとの間に設けられ、許容部（５２）は、所定の上昇位置（基準上昇位置）で第１ベルト部材１２および第２ベルト部材１４が同じ長さだけ巻き上げられたとき、当接部材と被当接部材との当接箇所（４６ａ、４４ａ）を支点として、第１位置Ａが上方に変位し、第２位置Ｂが下方に変位するように保持装置１０の傾斜（α１、α２）を許容するので、より効果的に、所望する一定の傾斜角度（α２）だけ保持装置１０を傾けることができる。

また、本実施形態では、許容部（５２）は、所定の上昇位置（基準上昇位置）で第１ベルト部材１２および第２ベルト部材１４が同じ長さだけ巻き上げられたとき、弾性変形することにより、当接部材（４６）と被当接部材（４４）との当接箇所（４６ａ、４４ａ）を支点とする保持装置１０の傾きを許容する弾性部材（ばね５２、ゴム）を備えるので、より効果的に、保持装置１０の傾きを許容することができる。

また、本実施形態では、弾性部材５２は、保持装置１０が物品１０、２２を保持していない状態で、その自然長よりも収縮しているので、弾性部材５２が自然長より収縮した分発生する与圧を保持装置１０に与えることにより、物品を保持した保持装置１０を（たとえばロードポート１６から）持上げたとき、保持装置１０の傾きを抑制することができる。

また、本実施形態では、保持装置１０の当接部材（４６）および台車本体２の被当接部材（４４）は、所定の上昇位置（基準上昇位置）で、保持装置１０の水平位置（Ｌｐ０）かつ上昇位置（Ｌｂ０）を規定するので、当接部材および被当接部材は、保持装置１０が傾斜するときの「支点」としての役割に加え、保持装置１０が上昇したときの位置決めの役割を有する。

また、本実施形態では、保持装置１０の第１位置Ａには、第１ベルト部材１２を保持装置１０のベースプレート（ベース部材）５０に接続する第１接続部材３６が設けられ、保持装置１０の第２位置Ｂには、第２ベルト部材１４を保持装置１０のベースプレート５０に接続する第２接続部材４０が設けられ、第１接続部材３６はベースプレート５０に固定され、第２接続部材４０はベースプレート５０に対して上下方向に相対変位可能にベースプレート５０に取り付けられ、許容部は、ベースプレート５０と第２接続部材４０との間に設けられ、ベースプレート５０と第２接続部材４０との相対変位を許容する弾性部材（ばね、ゴムなど）５２を備える。
このように構成された本実施形態によれば、弾性部材５２が、保持装置１０のベースプレート５０と、第２ベルト部材１４に接続された第２接続部材４０とからの力を受けて撓むことにより、保持装置１０の傾きを有効に許容することができる。

また、本実施形態では、昇降装置８は台車本体２に取り付けられ、台車本体２の被当接部材４４は、台車本体２に取り付けられた昇降装置８に取り付けられている。また、当接部材４６は、上方側に突出したピン部材４６であり、被当接部材４４は、下方側に開口し、ピン部材４６を受け入れて支持するガイド部材４４であるので、より効果的に、所望する一定の傾斜角度（α２）だけ保持装置１０を傾斜させることができる。

Ａ 第１の位置
Ｂ 第２の位置
Ｄ１、Ｄ２ 基準上昇位置からの昇降ベルトの巻き上げ量／保持装置の上昇量
Ｌｂ０、Ｌｂ１、Ｌｂ２ 第１および第２の昇降ベルトの下端の位置を結んだ線
Ｌｐ０、Ｌｐ１、Ｌｐ２ 第１位置Ａと第２位置Ｂとを結んだ線／保持装置の傾斜姿勢
１ 天井走行型搬送装置
２ 台車本体
４ 軌道レール
６ 走行機構
８ 昇降装置
１０ 保持装置
１２ 第１の昇降ベルト（第１吊り下げ部材）
１４ 第２の昇降ベルト（第２吊り下げ部材）
１６ ロードポート
１８ オープンカセット
２２ ウェハ（物品、搬送物）
２６、３０ 昇降ドラム
３４ 駆動軸
３６ 第１接続部材／第１接続ブラケット
４０ 第２接続部材／第２接続ブラケット
４４ ガイド部材（被当接部材）
４４ａ 凹部（被当接部）
４６ ピン部材（当接部材）
４６ａ 円筒部（当接部）
５０ ベースプレート（ベース部材）
５２ 圧縮ばね（許容部、与圧部材）

Claims (7)

1. 天井軌道を走行して物品を搬送する天井走行型の搬送装置であって、
   台車本体部と、物品を保持する保持装置と、上記台車本体部に対して上記保持装置を昇降させる昇降装置と、を備え、
   上記昇降装置は、上記保持装置を吊り下げる第１吊り下げ部材および第２吊り下げ部材と、上記第１吊り下げ部材および上記第２の吊り下げ部材の巻上げおよび繰り出しを行う駆動装置と、を備え、
   上記保持装置は、上記保持装置が上記台車本体部に対して上昇した所定の上昇位置において上記台車本体部と当接する当接部材を備え、
   上記台車本体部は、上記保持装置の当接部材が当接する被当接部材を備え、
   上記第１吊り下げ部材は、上記保持装置上の第１位置で上記保持装置を吊り下げ、上記第２吊り下げ部材は、上記保持装置上の第２位置で保持装置を吊り下げ、
   上記駆動装置は、上記第１吊り下げ部材および上記第２吊り下げ部材を同じ長さだけ巻上げまたは繰り出し、
   さらに、上記保持装置の当接部材が上記台車本体部の被当接部材に当接した上記所定の上昇位置で上記第１吊り下げ部材および上記第２吊り下げ部材が同じ長さだけ巻き上げられたとき、上記当接部材と上記被当接部材との当接箇所を支点とする上記保持装置の傾きを許容する許容部を備える、ことを特徴とする搬送装置。
2. 上記保持装置の当接部材は、水平方向で見て、上記第１位置と上記第２位置との間に設けられ、
   上記許容部は、上記所定の上昇位置で上記第１吊り下げ部材および上記第２吊り下げ部材が同じ長さだけ巻き上げられたとき、上記当接部材と上記被当接部材との当接箇所を支点として、上記第１位置が上方に変位し、上記第２位置が下方に変位するように上記保持装置の傾きを許容する、請求項１に記載の搬送装置。
3. 上記許容部は、上記所定の上昇位置で上記第１吊り下げ部材および上記第２吊り下げ部材が同じ長さだけ巻き上げられたとき、弾性変形することにより、上記当接部材と上記被当接部材との当接箇所を支点とする上記保持装置の傾きを許容する弾性部材を備える、請求項１または請求項２に記載の搬送装置。
4. 上記弾性部材は、上記保持装置が物品を保持していない状態で、その自然長よりも収縮している、請求項３に記載の搬送装置。
5. 上記保持装置の当接部材および上記台車本体部の被当接部材は、上記所定の上昇位置で、上記保持装置の水平位置かつ上昇位置を規定する、請求項１または請求項２に記載の搬送装置。
6. 上記保持装置の第１位置には、上記第１吊り下げ部材を上記保持装置のベース部材に接続する第１接続部材が設けられ、
   上記保持装置の第２位置には、上記第２吊り下げ部材を上記保持装置のベース部材に接続する第２接続部材が設けられ、
   上記第１接続部材は上記ベース部材に固定され、
   上記第２接続部材は上記ベース部材に対して上下方向に相対変位可能に上記ベース部材に取り付けられ、
   上記許容部は、上記ベース部材と上記第２接続部材との間に設けられ、上記ベース部材と上記第２接続部材との相対変位を許容する弾性部材を備える、請求項１または請求項２に記載の搬送装置。
7. 上記当接部材は、上方側に突出したピン部材であり、
   上記被当接部材は、下方側に開口し、上記ピン部材を受け入れて支持するガイド部材である、請求項１または請求項２に記載の搬送装置。