JP7704629B2

JP7704629B2 - 剥離装置

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Publication number: JP7704629B2
Application number: JP2021153496A
Authority: JP
Inventors: 修三三谷
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2021-09-21
Filing date: 2021-09-21
Publication date: 2025-07-08
Anticipated expiration: 2041-09-21
Also published as: JP2023045223A

Description

本発明は、ワークピースから保護部材を剥離する剥離装置に関する。

ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）及びＬＳＩ（ＬａｒｇｅＳｃａｌｅＩｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、表面に多数のデバイスが形成されたウェーハ等の被加工物（ワークピース）を薄化した後、個々のデバイスを含む領域毎に分割することで製造される。

ワークピースを薄化する方法としては、ワークピースの裏面側の研削が挙げられる。この研削は、一般的に、デバイスを保護するためにワークピースの表面に保護部材を貼着した状態で行われる。また、ワークピースを分割する方法としては、ワークピースの表面側からの切削が挙げられる。この切削は、一般的に、ワークピースの分割前後の取り扱いを容易にするために、ワークピースの裏面に貼着されるダイシングテープを介してワークピースが環状フレームと一体化されたフレームユニットの状態で行われる。

そのため、ワークピースを薄化した後、かつ、ワークピースを分割する前には、外周領域が環状フレームに貼着したダイシングテープの中央領域にワークピースの裏面を貼着するとともにワークピースの表面から保護部材を剥離することが必要になる。例えば、ワークピースの表面からの保護部材（保護テープ）の剥離は、保護部材の端部に剥離用テープを貼着した後、ワークピースを保持する保持テーブルと剥離用テープの一端を把持する把持ユニット（挟持手段）とを相対的に移動させることによって行われる（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１２－２８４７８号公報

ワークピースから保護部材を剥離する剥離装置には、この保護部材を回収する回収ボックスが設けられている。この回収ボックスは、一般的に、底壁と底壁の外周部から立設する側壁とを含み、その上面側が開放されている。また、回収ボックスは、回収された保護部材を取り出して回収ボックスを空にするために、容易に分離できるような態様で剥離装置に組み込まれている。

この剥離装置において保護部材がワークピースから剥離されると、保護部材に貼着した剥離用テープの一端を把持する把持ユニットを移動させて回収ボックスの上方で停止させてから、剥離用テープとともに保護部材が回収ボックスに投下される。ただし、このように把持ユニットを移動させてから停止させると、剥離用テープ及び保護部材に慣性力が働き、一端が把持ユニットに把持されている剥離用テープとともに保護部材が揺れる。

そして、このように剥離用テープ及び保護部材が揺れた状態で剥離用テープ及び保護部材を回収ボックスに投下すると、剥離用テープ及び保護部材が回収ボックスの側壁に張り付くことがある。このような場合、回収された保護部材を回収ボックスから取り出す作業の頻度が増加し、また、この作業が煩雑になるおそれがある。

この点に鑑み、本発明の目的は、回収された保護部材を回収ボックスから取り出す作業の頻度を増加させず、また、この作業を煩雑にすることなく、ワークピースから保護部材を剥離できる剥離装置を提供することである。

本発明によれば、一方の面に保護部材が貼着したワークピースから該保護部材を剥離する剥離装置であって、該ワークピースを他方の面側から保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該ワークピースの該一方の面に貼着している該保護部材に貼着する剥離用テープの一端を把持する把持ユニットと、該把持ユニットから該剥離用テープとともに投下される該保護部材を回収する回収ボックスと、該保持テーブルの上方から該回収ボックスの上方まで該把持ユニットを移動させる移動機構と、該保持テーブル、該把持ユニット及び該移動機構の動作を制御する制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該回収ボックスの上方に該把持ユニットを位置付けてから予め設定された時間だけ該把持ユニットを待機させた後に該把持ユニットから該剥離用テープとともに該保護部材を投下させる剥離装置が提供される。

本発明の剥離装置は、回収ボックスの上方に把持ユニットを位置付けてから予め設定された時間だけ把持ユニットを待機させた後に把持ユニットから剥離用テープとともに保護部材を投下させる制御ユニットを備える。そのため、本発明の剥離装置においては、把持ユニットの移動に伴う剥離用テープ及び保護部材の揺れが収まってから、回収ボックスに剥離用テープ及び保護部材を投下することができる。

この場合、把持ユニットから投下された保護部材が回収ボックスの側壁に張り付く蓋然性を低減できる。その結果、本発明の剥離装置においては、回収された保護部材を回収ボックスから取り出す作業の頻度を増加させず、また、この作業を煩雑にすることなく、ワークピースから保護部材を剥離できる。

図１は、剥離装置の一例を模式的に示す斜視図である。図２は、フレームユニットの一例を模式的に示す斜視図である。図３は、保持テーブルを模式的に示す斜視図である。図４（Ａ）及び図４（Ｂ）は、ワークピースの表面から保護部材を剥離する際の保持テーブルの周辺の様子を模式的に示す一部断面側面図である。図５（Ａ）及び図５（Ｂ）は、ワークピースの表面から保護部材を剥離する際の保持テーブルの周辺の様子を模式的に示す一部断面側面図である。図６（Ａ）及び図６（Ｂ）は、ワークピースの表面から保護部材を剥離する際の保持テーブルの周辺の様子を模式的に示す一部断面側面図である。図７（Ａ）及び図７（Ｂ）は、ワークピースの表面から剥離された保護部材を剥離用テープとともに回収ボックスに投下する際の回収ボックスの周辺の様子を模式的に示す側面図である。図８（Ａ）及び図８（Ｂ）は、ワークピースの表面から剥離された保護部材を剥離用テープとともに回収ボックスに投下する際の回収ボックスの周辺の様子を模式的に示す側面図である。

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、ワークピースから保護部材を剥離する剥離装置の一例を模式的に示す斜視図である。なお、図１に示されるＸ軸方向（前後方向）及びＹ軸方向（左右方向）は、水平面上において互いに直交する方向であり、Ｚ軸方向（上下方向）は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに直交する方向（鉛直方向）である。また、図１においては、一部の構成要素が簡略化されて示されている。

図１に示される剥離装置２は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に平行な支持面４ａを有し、かつ、Ｘ軸方向に沿って延在する直方体状の支持台４を備える。この支持台４の支持面４ａには、後述する保持テーブル１６をＸ軸方向に沿って移動させる第１移動機構（保持テーブル用移動機構）６が設けられている。

この第１移動機構６は、支持面４ａに固定され、かつ、Ｘ軸方向に沿って延在する一対のガイドレール８を有する。そして、一対のガイドレール８の上面側には、一対のガイドレール８に沿ってスライド可能な態様で移動プレート１０が連結されている。また、一対のガイドレール８の間には、Ｘ軸方向に沿って延在するねじ軸１２が配置されている。

このねじ軸１２の前端部には、ねじ軸１２を回転させるためのモータ１４が連結されている。また、ねじ軸１２の螺旋状の溝が形成された表面には、回転するねじ軸１２の表面を転がるボールを収容するナット部が設けられ、ボールねじが構成されている。すなわち、ねじ軸１２が回転するとボールがナット部内を循環してナット部がＸ軸方向に沿って移動する。

さらに、このナット部は、移動プレート１０の下面側に固定されている。そのため、モータ１４でねじ軸１２を回転させれば、ナット部とともに移動プレート１０がＸ軸方向に沿って移動する。この移動プレート１０の上面には、後述するワークピースを含むフレームユニットを保持する保持テーブル１６が設けられている。

図２は、保持テーブル１６において保持されるフレームユニットの一例を模式的に示す斜視図である。図２に示されるフレームユニット１１は、所望の厚さになるように裏面（下面、他方の面）側から研削された後の円盤状のワークピース１３を有する。

このワークピース１３は、例えば、シリコン（Ｓｉ）等の半導体材料からなり、かつ、側面にノッチ１３ａが形成されているウェーハである。また、ワークピース１３は、互いに交差する複数の分割予定ラインで複数の領域に区画されており、各領域の表面（上面）側にはＩＣ又はＬＳＩ等のデバイスが形成されている。

さらに、ワークピース１３の表面（上面、一方の面）には、デバイスを覆うようにワークピース１３の径と概ね等しい径を有する円盤状の保護部材１５が設けられている。この保護部材１５は、例えば、樹脂からなり、ワークピース１３が裏面側から研削された際に表面側に加わる衝撃を緩和してデバイスを保護するために設けられている。

また、ワークピース１３が裏面側から研削された後にワークピース１３の裏面には、ワークピース１３の径よりも長い径を有する円盤状のダイシングテープ１７の中央領域が貼着されている。このダイシングテープ１７は、例えば、可撓性を有するフィルム状のテープ基材と、このテープ基材の一面（ワークピース１３側の面）に設けられた接着層（糊層）とを有する。

このテープ基材は、例えば、ポリオレフィン（ＰＯ）、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）又はポリスチレン（ＰＳ）等からなる。また、この接着層は、例えば、紫外線硬化型のシリコーンゴム、アクリル系材料又はエポキシ系材料等からなる。

また、ダイシングテープ１７の外周領域には、アルミニウム又はステンレス鋼等の金属材料からなる環状フレーム１９が貼着されている。この環状フレーム１９には、ワークピース１３の径よりも長い径を有する円状の開口が形成されている。そして、ダイシングテープ１７は、この開口を塞ぐように環状フレーム１９に貼着されている。

図２に示されるフレームユニット１１は、ダイシングテープ１７が下になるように図１に示される保持テーブル１６に搬入される。図３は、保持テーブル１６を模式的に示す斜視図である。この保持テーブル１６は、円筒状の筐体１８を有する。この筐体１８の上部には円柱状の凹部が形成されており、この凹部には円盤状のポーラス板２０が固定されている。

このポーラス板２０は、筐体１８の内部に形成された吸引路（不図示）、筐体１８に接続された配管及び電動バルブ等を介して、真空ポンプ等の吸引源（不図示）に連通している。また、筐体１８の周囲には、円環状のフレーム保持部２２が設けられている。このフレーム保持部２２の上面には円環状の溝２２ａが形成されている。

この溝２２ａは、溝２２ａの底面において開口する複数の吸引路２２ｂ、フレーム保持部２２に接続された配管及び電動バルブ等を介して、真空ポンプ等の吸引源（不図示）に連通している。なお、この吸引源は、ポーラス板２０に連通する吸引源と同じものであってもよいし、異なるものであってもよい。

保持テーブル１６においてフレームユニット１１を保持する際には、まず、ダイシングテープ１７が下になるようにフレームユニット１１をポーラス板２０の上面及びフレーム保持部２２の上面に搬入する。そして、上記の吸引源を動作させるとともにポーラス板２０及び溝２２ａと吸引源との間に設けられている電動バルブを開く。

これにより、ダイシングテープ１７の中央領域を介してワークピース１３がポーラス板２０側から吸引され、かつ、ダイシングテープ１７の外周領域を介して環状フレーム１９がフレーム保持部２２側から吸引される。その結果、保持テーブル１６にフレームユニット１１が保持される。

また、フレーム保持部２２の下方には、フレーム保持部２２の周方向に沿って概ね等間隔に複数のエアシリンダ２４が設けられている。そして、複数のエアシリンダ２４のそれぞれは、Ｚ軸方向に沿って移動可能なピストンロッド２４ａを有し、このピストンロッド２４ａの上端部にはフレーム保持部２２が連結されている。

そのため、保持テーブル１６においては、保持テーブル１６にフレームユニット１１が保持された状態で複数のエアシリンダ２４を動作させることによって、環状フレーム１９の位置をワークピース１３の位置よりも低くすること等が可能である。

保持テーブル１６の上方には、図１に示されるように、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に平行な支持面２６ａを有し、かつ、Ｘ軸方向に沿って延在する直方体状の支持台２６が設けられている。この支持台２６の支持面２６ａには、後述する把持ユニット４２及び加熱板４８をＸ軸方向に沿って移動させる第２移動機構（保持テーブル及び加熱板用移動機構）２８が設けられている。

この第２移動機構２８は、支持面２６ａに固定され、かつ、Ｘ軸方向に沿って延在する一対のガイドレール３０を有する。そして、一対のガイドレール３０の表面側には、一対のガイドレール３０に沿ってスライド可能な態様で移動プレート３２が連結されている。また、一対のガイドレール３０の間には、Ｘ軸方向に沿って延在するねじ軸３４が配置されている。

このねじ軸３４の前端部には、ねじ軸３４を回転させるためのモータ３６が連結されている。また、ねじ軸３４の螺旋状の溝が形成された表面には、回転するねじ軸３４の表面を転がるボールを収容するナット部が設けられ、ボールねじが構成されている。すなわち、ねじ軸３４が回転するとボールがナット部内を循環してナット部がＸ軸方向に沿って移動する。

さらに、このナット部は、移動プレート３２の裏面側に固定されている。そのため、モータ３６でねじ軸３４を回転させれば、ナット部とともに移動プレート３２がＸ軸方向に沿って移動する。また、この移動プレート３２の表面には、前後に並ぶように一対のエアシリンダ３８，４０が設けられている。

そして、前方に位置するエアシリンダ３８は、Ｚ軸方向に沿って移動可能なピストンロッド３８ａを有し、このピストンロッド３８ａの下端部には後述する剥離用テープ２１を把持する把持ユニット４２が連結されている。この把持ユニット４２は、Ｌ字状の固定爪４４を有する。

この固定爪４４は、Ｚ軸方向に沿って延在する直方体状の立設部４４ａと、この立設部４４ａの下端部から後方に向かって延在する直方体状の底部４４ｂとを有する。また、この立設部４４ａの後面には、Ｚ軸方向に沿って移動可能な直方体状の可動爪４６が設けられている。

また、エアシリンダ３８の後方に位置するエアシリンダ４０は、Ｚ軸方向に沿って移動可能なピストンロッド４０ａを有し、このピストンロッド４０ａの下端部には後述する剥離用テープ２１を加熱する直方体状の加熱板４８が連結されている。この加熱板４８には電熱線が内蔵されており、この電熱線に電流を生じさせることで加熱板４８の下端近傍を中心として加熱板４８が加熱される。

さらに、エアシリンダ４０の後方下側には、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に平行な支持面５０ａを有し、かつ、Ｙ軸方向に沿って延在する直方体状の支持台５０が設けられている。この支持台５０の支持面５０ａには、後述するカッター６２をＹ軸方向に沿って移動させる第３移動機構（カッター用移動機構）５２が設けられている。

この第３移動機構５２は、支持面５０ａに固定され、かつ、Ｙ軸方向に沿って延在する一対のガイドレール５４を有する。そして、一対のガイドレール５４の前面側には、一対のガイドレール５４に沿ってスライド可能な態様でエアシリンダ５６が連結されている。また、一対のガイドレール５４の間には、Ｙ軸方向に沿って延在するねじ軸５８が配置されている。

このねじ軸５８の一端部には、ねじ軸５８を回転させるためのモータ６０が連結されている。また、ねじ軸５８の螺旋状の溝が形成された表面には、回転するねじ軸５８の表面を転がるボールを収容するナット部が設けられ、ボールねじが構成されている。すなわち、ねじ軸５８が回転するとボールがナット部内を循環してナット部がＹ軸方向に沿って移動する。

さらに、このナット部は、エアシリンダ５６の後面側に固定されている。そのため、モータ６０でねじ軸５８を回転させれば、ナット部とともにエアシリンダ５６がＹ軸方向に沿って移動する。また、エアシリンダ５６は、Ｚ軸方向に沿って移動可能なピストンロッド５６ａを有し、このピストンロッド５６ａの下端部には円盤状のカッター６２が連結されている。

また、カッター６２の下方には、後述する剥離用テープ２１を切断するために利用される作業台６４が設けられている。この作業台６４は、保持テーブル１６の上面（ポーラス板２０の上面及びフレーム保持部２２の上面）よりも高い位置に設けられている。また、作業台６４には、Ｙ軸方向に沿って延在する溝６４ａが形成されている。

そして、剥離用テープ２１が作業台６４上に存在する状態で、下端が溝６４ａの内部に位置付けられたカッター６２をＹ軸方向に沿って移動させると、この剥離用テープ２１がカッター６２によって切断される。

さらに、作業台６４の後方上側には、剥離用テープ供給ユニット６６が設けられている。この剥離用テープ供給ユニット６６は、供給ローラ６８を有する。この供給ローラ６８には、剥離用テープ２１が巻き取られている。この剥離用テープ２１は、例えば、テープ基材と、このテープ基材の一面（供給ローラ６８側の面）に設けられた熱硬化性樹脂層とを有する。

また、供給ローラ６８の下方には、Ｚ軸方向に沿って並ぶ一対の誘導ローラ７０が設けられており、この一対の誘導ローラ７０によって剥離用テープ２１が下方に引き出される。さらに、一対の誘導ローラ７０の下方には、Ｚ軸方向に沿って並ぶ一対の送り出しローラ７２が設けられており、この一対の送り出しローラ７２によって剥離用テープ２１が前方へと送られる。

さらに、剥離用テープ供給ユニット６６は、Ｚ軸方向に沿って剥離用テープ供給ユニット６６を移動させる第４移動機構（剥離用テープ供給ユニット用移動機構）（不図示）に連結されている。この第４移動機構は、例えば、ボールねじ式の移動機構である。

また、剥離用テープ供給ユニット６６の下方には、ワークピース１３から剥離された保護部材１５を回収する回収ボックス７４が設けられている。なお、図１においては、便宜上、この回収ボックス７４の輪郭のみが一点鎖線で示されている。具体的には、回収ボックス７４は、底壁と底壁の外周部から立設する側壁とを含み、その上面側が開放されている。

さらに、剥離装置２には、上述した構成要素を覆うカバー（不図示）が設けられている。そして、このカバーの前面には、タッチパネル７６が配置されている。このタッチパネル７６は、例えば、静電容量方式又は抵抗膜方式のタッチセンサ等の入力装置と、液晶ディスプレイ又は有機ＥＬ（ＥｌｅｃｔｒｏＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイ等の表示装置とによって構成され、ユーザインターフェースとして機能する。

また、剥離装置２の構成要素は、制御ユニット７８に接続されている。なお、図１においては、便宜上、この制御ユニット７８が機能ブロックとして示されている。具体的には、制御ユニット７８は、中央処理装置（ＣＰＵ）と、主記憶装置及び補助記憶装置を含む記憶装置とを有し、上述した構成要素の動作を制御する。

なお、主記憶装置は、ＤＲＡＭ（ＤｙｎａｍｉｃＲａｎｄｏｍＡｃｃｅｓｓＭｅｍｏｒｙ）又はＳＲＡＭ（ＳｔａｔｉｃＲａｎｄｏｍＡｃｃｅｓｓＭｅｍｏｒｙ）等の揮発性メモリによって構成される。また、補助記憶装置は、ＳＳＤ（ＳｏｌｉｄＳｔａｔｅＤｒｉｖｅ）（ＮＡＮＤ型フラッシュメモリ）又はＨＤＤ（ＨａｒｄＤｉｓｋＤｒｉｖｅ）（磁気記憶装置）等の不揮発性メモリによって構成される。また、ＣＰＵは、主記憶装置及び／又は補助記憶装置に記憶された各種のプログラム及び／又はデータを読みだして上述した構成要素の動作を制御する。

例えば、ＣＰＵは、ワークピース１３の表面から剥離された保護部材１５に貼着した剥離用テープ２１の先端を把持する把持ユニット４２を回収ボックス７４の上方において待機させる時間（待機時間）のデータを補助記憶装置から読み出す。そして、ＣＰＵは、この待機時間だけ把持ユニット４２を待機させた後に把持ユニット４２から剥離用テープ２１とともに保護部材１５を投下させるように把持ユニット４２を制御する。

図４（Ａ）及び図４（Ｂ）、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）並びに図６（Ａ）及び図６（Ｂ）は、ワークピース１３の表面から保護部材１５を剥離する際の保持テーブル１６周辺の様子を模式的に示す一部断面側面図である。また、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）並びに図８（Ａ）及び図８（Ｂ）は、ワークピース１３の表面から剥離された保護部材１５を剥離用テープ２１とともに回収ボックス７４に投下する際の回収ボックス７４周辺の様子を模式的に示す側面図である。

剥離装置２においては、例えば、以下の順序でワークピース１３の表面から保護部材１５を剥離し、剥離された保護部材１５を回収ボックス７４に投下する。具体的には、まず、フレームユニット１１の保持テーブル１６への搬入が把持ユニット４２及び作業台６４等によって阻害されないように、制御ユニット７８が第１移動機構６を動作させて保持テーブル１６を前方に移動させる。

次いで、保護部材１５が上を向くようにフレームユニット１１を保持テーブル１６に搬入する。次いで、ポーラス板２０に連通する吸引源とフレーム保持部２２の溝２２ａ及び吸引路２２ｂに連通する吸引源とを制御ユニット７８が動作させる。次いで、これらの吸引源とポーラス板２０又はフレーム保持部２２との間に設けられている電動バルブを制御ユニット７８が開く。

これにより、ダイシングテープ１７の中央領域を介してワークピース１３がポーラス板２０側から吸引され、かつ、ダイシングテープ１７の外周領域を介して環状フレーム１９がフレーム保持部２２側から吸引される（図４（Ａ）参照）。その結果、保持テーブル１６にフレームユニット１１が保持される。

次いで、フレーム保持部２２を下降させるように、制御ユニット７８が複数のエアシリンダ２４を制御してピストンロッド２４ａを下降させる。この時、フレーム保持部２２に吸引されている環状フレーム１９も下降する（図４（Ｂ）参照）。これにより、ワークピース１３の表面から剥離された保護部材１５が環状フレーム１９に付着すること等を防止することができる。

次いで、保持テーブル１６に保持されたフレームユニット１１の上方に作業台６４等が位置付けられるように、制御ユニット７８が第１移動機構６を動作させて保持テーブル１６を後方に移動させる。次いで、把持ユニット４２を剥離用テープ供給ユニット６６に接近させるように、制御ユニット７８が第２移動機構２８を動作させる。

次いで、剥離用テープ２１が把持ユニット４２に向けて送り出されるように、制御ユニット７８が一対の誘導ローラ７０及び一対の送り出しローラ７２を動作させる。これにより、剥離用テープ２１の先端（一端）が固定爪４４の底部４４ｂと可動爪４６との間に位置付けられる。

次いで、剥離用テープ２１の先端が固定爪４４の底部４４ｂと可動爪４６によって挟まれるように、すなわち、把持ユニット４２によって把持されるように、可動爪４６を固定爪４４の底部４４ｂに接近させる。次いで、把持ユニット４２が剥離用テープ供給ユニット６６から離隔して、加熱板４８の真下に保護部材１５の前端部が位置付けられるように、制御ユニット７８が第２移動機構２８を動作させる。

これにより、剥離用テープ２１は、その先端が作業台６４よりも前に位置付けられるまで把持ユニット４２によって引き出される。次いで、加熱板４８の直下に存在する剥離用テープ２１の一部を保護部材１５に押し当てるように、制御ユニット７８がエアシリンダ４０を動作させて加熱板４８に連結されているピストンロッド４０ａを下降させる（図５（Ａ）参照）。

次いで、加熱板４８に内蔵された電熱線に制御ユニット７８が電流を生じさせ、加熱板４８の下端近傍を加熱する。これにより、剥離用テープ２１の一部が保護部材１５に貼着される。次いで、カッター６２の下端が溝６４ａの内側に位置付けられるように、制御ユニット７８がエアシリンダ５６を動作させてカッター６２に連結されているピストンロッド５６ａを下降させる。

次いで、剥離用テープ２１の作業台６４の溝６４ａの上方に位置する部分がカッター６２によって切断されるように、制御ユニット７８が第３移動機構５２を動作させる。次いで、加熱板４８を剥離用テープ２１から離隔させるように、制御ユニット７８がエアシリンダ４０を動作させて加熱板４８に連結されているピストンロッド４０ａを上昇させる（図５（Ｂ）参照）。

次いで、把持ユニット４２を上昇させるように、制御ユニット７８がエアシリンダ３８を動作させて把持ユニット４２に連結されているピストンロッド３８ａを上昇させる（図６（Ａ）参照）。これにより、剥離用テープ２１とともに保護部材１５の前端部がワークピース１３の表面から剥離される。

次いで、保護部材１５の全部がワークピース１３の表面から剥離されるように、制御ユニット７８が第１移動機構６及び第２移動機構２８を動作させる（図６（Ｂ）参照）。すなわち、剥離用テープ２１の先端を把持する把持ユニット４２とフレームユニット１１を保持する保持テーブル１６とをＸ軸方向に沿って相対的に移動させる。

次いで、ワークピース１３の表面から剥離された保護部材１５と一体化された剥離用テープ２１の先端を把持する把持ユニット４２が回収ボックス７４の上方に位置付けられるように、制御ユニット７８が第２移動機構２８を動作させる（図７（Ａ）参照）。そして、把持ユニット４２が回収ボックス７４の上方まで到達すれば、制御ユニット７８が第２移動機構２８の動作を停止させる（図７（Ｂ）参照）。

ここで、このように把持ユニット４２を移動させてから停止させると、剥離用テープ２１及び保護部材１５に慣性力が働き、先端が把持ユニット４２に把持されている剥離用テープ２１とともに保護部材１５が揺れる。そして、この揺れが収まってから保護部材１５を回収ボックス７４に投下するために、制御ユニット７８は、予め設定された時間（例えば、１０秒以上２０秒以下）だけ把持ユニット４２を待機させる（図８（Ａ）参照）。

なお、この時間は、例えば、タッチパネル７６を介してオペレータによって設定され、また、変更可能である。そして、この時間が経過すれば、剥離用テープ２１とともに保護部材１５が回収ボックス７４に投下されるように、制御ユニット７８が把持ユニット４２を動作させる、すなわち、可動爪４６を固定爪４４の底部４４ｂから離隔させる（図８（Ｂ）参照）。

上述した剥離装置２は、回収ボックス７４の上方に把持ユニット４２を位置付けてから予め設定された時間だけ把持ユニット４２を待機させた後に把持ユニット４２から剥離用テープ２１とともに保護部材１５を投下させる制御ユニット７８を備える。そのため、剥離装置２においては、把持ユニット４２の移動に伴う剥離用テープ２１及び保護部材１５の揺れが収まってから、回収ボックス７４に剥離用テープ２１及び保護部材１５を投下することができる。

この場合、把持ユニット４２から投下された保護部材１５が回収ボックス７４の側壁に張り付く蓋然性を低減できる。その結果、剥離装置２においては、回収された保護部材１５を回収ボックス７４から取り出す作業の頻度を増加させず、また、この作業を煩雑にすることなく、ワークピース１３から保護部材１５を剥離できる。

なお、上述した実施形態にかかる構造及び方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２：剥離装置
４：支持台（４ａ：支持面）
６：第１移動機構（保持テーブル用移動機構）
８：ガイドレール
１０：移動プレート
１１：フレームユニット
１２：ねじ軸
１３：ワークピース（１３ａ：ノッチ）
１４：モータ
１５：保護部材
１６：保持テーブル
１７：ダイシングテープ
１８：筐体
１９：環状フレーム
２０：ポーラス板
２１：剥離用テープ
２２：フレーム保持部（２２ａ：溝、２２ｂ：吸引路）
２４：エアシリンダ（２４ａ：ピストンロッド）
２６：支持台（２６ａ：支持面）
２８：第２移動機構（把持ユニット用移動機構）
３０：ガイドレール
３２：移動プレート
３４：ねじ軸
３６：モータ
３８：エアシリンダ（３８ａ：ピストンロッド）
４０：エアシリンダ（４０ａ：ピストンロッド）
４２：把持ユニット
４４：固定爪（４４ａ：立設部、４４ｂ：底部）
４６：可動爪
４８：加熱板
５０：支持台（５０ａ：支持面）
５２：第３移動機構（カッター用移動機構）
５４：ガイドレール
５６：エアシリンダ（５６ａ：ピストンロッド）
５８：ねじ軸
６０：モータ
６２：カッター
６４：作業台（６４ａ：溝）
６６：剥離用テープ供給ユニット
６８：供給ローラ
７０：誘導ローラ
７２：送り出しローラ
７４：回収ボックス
７６：タッチパネル
７８：制御ユニット

Claims

一方の面に保護部材が貼着したワークピースから該保護部材を剥離する剥離装置であって、
該ワークピースを他方の面側から保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持された該ワークピースの該一方の面に貼着している該保護部材に貼着する剥離用テープの一端を把持する把持ユニットと、
該把持ユニットから該剥離用テープとともに投下される該保護部材を回収する回収ボックスと、
該保持テーブルの上方から該回収ボックスの上方まで該把持ユニットを移動させる移動機構と、
該保持テーブル、該把持ユニット及び該移動機構の動作を制御する制御ユニットと、を備え、
該制御ユニットは、該回収ボックスの上方に該把持ユニットを位置付けてから予め設定された時間だけ該把持ユニットを待機させた後に該把持ユニットから該剥離用テープとともに該保護部材を投下させることを特徴とする剥離装置。