JP7583403B2 - 除塵装置、及び巻込み防止パネル - Google Patents
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Description
図1に示す除塵装置1は、シート状又はフィルム状のワークWの表面に付着する塵埃を除去する装置である。
なお、以下では、x、y、zの三つの軸によって方向を説明する場合がある。x軸は、ワークWの搬送方向である。y軸は、水平方向において、ワークWの搬送方向に直交する向きである。z軸は、鉛直方向である。
ワークWは、フィルム状又はシート状の薄い部材である。例えば、ワークWは液晶パネルを保護する樹脂製の保護フィルムなどである。
本実施形態に係る除塵装置1は、撓んだり歪んだりするワークWに好適である。ただし、除塵装置1は、金属やガラスなどの材料からなる基板や液晶パネルにも使用できる。
図1及び図2に示すように、除塵装置1は、筐体21、第一搬送部22、第二搬送部23、ユニットUを備えている。ユニットUは、第一ユニットU1と第二ユニットU2からなる。本実施形態では、第一ユニットU1が下方に設けられ、第二ユニットU2が上方に設けられている。
なお、図2は、第二ユニットU2を上方に跳ね上げた状態を示している。除塵装置1をメンテナンスする際には、このように第二ユニットU2は跳ね上げられる。
筐体21は、略箱型形状からなり、中空状の凹部21aにユニットUが備え付けられる。また、筐体21には、ワークWの搬送方向の一端側に第一搬送部22が取り付けられ、他端側に第二搬送部23が取り付けられている。
筐体21は、基底部211と一対の側面部212とを備える。一対の側面部212は、基底部211の両端から上方に立設し、互いに向き合うように設けられている。側面部212には、クリーンローラ4の芯棒43を回動可能に取り付けるための取付孔が設けられている。また、筐体21内には、芯棒43に接続し、芯棒43を回転駆動させる駆動部が内蔵されている。
第一搬送部22と第二搬送部23は、筐体21の搬送方向の一端側と他端側に取り付けられる。第一搬送部22と第二搬送部23は、上面に載置されたワークWをユニットUに向かって搬送したり、ユニットUから送り出されたワークWをそのまま、送り出された方向に搬送したりする。
搬送ベルト221は、紐状の無端ベルトであり、一対の回転体222に架け渡されている。一対の回転体222は、搬送ベルト221の長さ方向の両端に設けられており、所定の駆動力によって回転する。一対の回転体222が回転すると、これに応じて搬送ベルト221が回転する。
一対の回転体222と当該一対の回転体222に架け渡された搬送ベルト221は、一対の棒状の支持部材223の間に複数設けられている。支持部材223は、一端側が筐体21に取り付けられている。これにより、搬送ベルト221上に載置されたワークWは、搬送ベルト221に従ってユニットUへ搬送される。
ユニットUは、図2に示すように、第一ユニットU1と第二ユニットU2によって構成される。
第一ユニットU1と第二ユニットU2は、互いと対向する位置に配設されてワークWを挟圧する。図2に示すように、本実施形態では、第一ユニットU1が下側、第二ユニットU2が上側に設けられており、第一ユニットU1と第二ユニットU2は上下で互いと向かい合っている。
第一ユニットU1は、図3及び図4に示すように、巻込み防止パネル3、クリーンローラ4、及び枠体5によって構成される。
クリーンローラ4は、ワークWを搬送すると共に、ワークWの表面に付着した塵埃を自らに粘着させて除去する。
クリーンローラ4は、図3及び図4に示すように略円柱状からなり、ワークWの搬送方向に沿って3つ設けられている。いずれのクリーンローラ4も、枠体5の側面部51に回転可能に軸支されている。第一ユニットU1が筐体21に取り付けられた状態では、クリーンローラ4は駆動部に接続され、回転駆動する。
なお、他の実施形態において、ワークWの搬送方向に沿って設けるクリーンローラ4の数は限定されない。
粘着部41は、一端側がワークWの搬送面を構成する。図3及び図4では、外周面の上端側がワークWの搬送面を構成している。ワークWが粘着部41に押し付けられると、粘着部41はワークWの表面の塵埃を捕捉する。
ただし、粘着部41全体を低粘着性の材料で構成してもよい。
ワークWの搬送方向に沿って並設された3つのクリーンローラ4-1、4-2、4-3の溝42は、ワークWの搬送方向において一直線上に並ばないように設けられている。
クリーンローラ4-1、4-2、4-3の-y方向の端部に設けられている粘着部41-11、41-21、41-31について、粘着部41-11の幅は粘着部41-21の幅よりも大きい。また、粘着部41-21の幅は、粘着部41-31の幅よりも大きい。
クリーンローラ4-1、4-2、4-3の+y方向の端部に設けられている粘着部41-18、41-28、41-38について、粘着部41-18の幅は粘着部41-28の幅よりも小さい。また、粘着部41-28の幅は、粘着部41-38の幅よりも小さい。
粘着部41-11、41-21、41-28、41-38以外の粘着部41-12~41-18、41-22~41-27、41-31~41-37の幅はいずれも同じである。
図3及び図4に示す巻込み防止パネル3は、ワークWがクリーンローラ4に巻き込まれるのを防止する薄板状の部材である。巻込み防止パネル3はクリーンローラ4の搬送面上に配設される。
なお、巻込み防止パネル3の素材は、容易に撓まない金属や硬質樹脂などが好適である。巻込み防止パネル3が板状の硬質な部材からなるため、巻込み防止パネル3は高耐久性を備えている。
この折曲部32により、第一ユニットU1上に搬送されてくるワークWは、巻込み防止パネル3の端面に当接することなく、基体部31上にスムーズにガイドされる。
取付片33は、巻込み防止パネル3の端部のうち、ワークWの搬送方向と直交する向きの両端に設けられている。取付片33にはネジ孔が設けられている。このネジ孔にはネジが通され、巻込み防止パネル3が連結部材53にネジ止めされる。連結部材53は、枠体5に連結し、これにより巻込み防止パネル3が枠体5に取り付けられる。
この貫通孔3aは、クリーンローラ4の粘着部41が設けられている位置に対応する位置に設けられている。これにより、クリーンローラ4の搬送面上に巻込み防止パネル3を配設すると、貫通孔3aから粘着部41が露出する。
貫通孔3aは、巻込み防止パネル3の長さ方向の中央側を上底とし、長さ方向の外側を下底とした台形状をなしている。台形の角部にあたる箇所は、角丸に形成されている。
なお、貫通孔3aの孔縁は面取りされており、ワークWが貫通孔3aに引っかかりにくい。
また、ワークWの搬送方向が-x方向である場合、図示中央から左側に設けられている貫通孔3a-21~3a-24では、ワークWの搬送方向下流側に相当する-x側の孔縁が-x方向且つ-y方向に伸びている。一方、図示中央から右側に設けられている貫通孔3a-25~3a-28では、-x側の孔縁が-x方向且つ+y方向に伸びている。
例えば、粘着部41-11が露出する貫通孔3a-11の幅は、粘着部41-11の幅よりも僅かに広い幅からなる。また、粘着部41-12~41-18が露出する貫通孔3a-12~3a-18の幅は、粘着部41-12~41-18の幅よりも僅かに広い幅からなる。
枠体5は、図4及び図5に示すように、内部にクリーンローラ4を回動可能に収める。また、枠体5には巻込み防止パネル3が取り付けられる。
この枠体5は、一対の板状の側面部51と、一対の側面部51を連結する連結部52から構成される。
なお、図4に示す例では、連結部材53が巻込み防止パネル3と枠体5に連結する手段は、ネジとネジ孔によって構成されている。ただし、連結する手段は、所定の形状による係合等、他の手段であってもよい。また、巻込み防止パネル3と枠体5が直接連結するように構成してもよい。
第二ユニットU2は、図7及び図8に示すように、第一ユニットU1と同様、巻込み防止パネル6、クリーンローラ7、及び枠体8によって構成される。
巻込み防止パネル6、クリーンローラ7、及び枠体8の構成はそれぞれ、第一ユニットU1の巻込み防止パネル3、クリーンローラ4、及び枠体5と同様である。
この巻込み防止パネル6は、基体部61、折曲部62、及び取付片63からなる。基体部61は、隣り合うクリーンローラ7の間や、クリーンローラ7に設けられている溝72を覆う平滑な部分である。折曲部62は、基体部61の端部のうち、ワークWの搬送方向の両端に設けられている。取付片63は、巻込み防止パネル6の端部のうち、ワークWの搬送方向と直交する向きの両端に設けられている。
第二ユニットU2では、巻込み防止パネル6はクリーンローラ7の下方に配設される。
即ち、貫通孔6a-21~6a-28では、ワークWの搬送方向下流側の孔縁が搬送方向に対して鋭角をなすように設けられている。さらに、貫通孔6a-21~6a-28では、ワークWの搬送方向下流側の孔縁が、巻込み防止パネル6の長さ方向中央側から外側且つ搬送方向下流側に向かって伸びた形状からなる。これにより、貫通孔6a-21~6a-28では、下底の両端の角度が等しい等脚台形状からなる。
貫通孔6a-31~6a-38について、巻込み防止パネル6の幅方向の端部側の孔縁は、折曲部62上に形成されている。一方、巻込み防止パネル6の幅方向の端部側とは反対側の孔縁は、ワークWの搬送方向に対して鋭角をなしている。
このクリーンローラ7は、粘着部71、溝72、及び芯棒73によって構成される。粘着部71は、隣り合う溝72の間に設けられている。粘着部71は、一端側がワークWの搬送面を構成する。図7及び図8では、外周面の下端側がワークWの搬送面を構成している。ワークWが粘着部71に押し付けられると、粘着部71はワークWの表面の塵埃を捕捉する。
この枠体8は、一対の板状の側面部81と、一対の側面部81を連結する連結部82から構成される。
上下に対向して設けられた第一ユニットU1と第二ユニットU2において、クリーンローラ4-1の粘着部41-11~41-18はそれぞれ、クリーンローラ7-1の粘着部71-11~71-18に向き合う。したがって、相対的に幅の大きい粘着部41-11と粘着部71-11とが互いに向き合い、相対的に幅の小さい粘着部41-12~41-18と粘着部71-12~71-18とが互いに向き合う。
除塵装置1によりワークWの表面の塵埃を除去する除塵工程について説明する。
まず、図1に示すように、第一搬送部22の搬送ベルト221上にワークWを載置する。このとき、搬送方向と直交する向きにおいて、ワークWの中央と第一搬送部22の中央が一致するようにワークWを載置する。ただし、ワークWの中央と第一搬送部22の中央は厳密に一致しなくてもよい。少なくとも、ワークWを載置する位置が、第一搬送部22の中央から左右のいずれかに偏った位置でなければよい。
なお、ワークWは第二搬送部23からユニットUへ搬送することもできる。この場合、ワークWは、ユニットUで表面の塵埃を除去されると、第一搬送部22へ送り出される。
図11は、ワークWが第一ユニットU1の搬送面上を通過する様子を示している。また、図12は、ワークWが第二ユニットU2の搬送面上を通過する様子を示している。なお、図11及び図12では、第一ユニットU1側と第二ユニットU2側に分けてワークWの様子を示しているが、実際には、ワークWは第一ユニットU1と第二ユニットU2の間に挟圧されている。
また、図11と図12に基づいた以下の説明では、ワークWが+x方向に搬送されるものとする。
ワークWは、粘着部41と粘着部71で挟圧されながら、搬送方向に送り出される。このとき、ワークWの一面側に付着する塵埃は粘着部41によって捕捉される。また、ワークWの他面側に付着する塵埃は粘着部71によって捕捉される。
まず、図13(a)は、ワークWの搬送方向下流側の端部のうち、一端側の角部近傍を示している。この図13(a)において、貫通孔3a(貫通孔3a-22)は、4つの孔縁301、302、303、304で構成される。ワークWの搬送方向下流側にあたる孔縁301は、巻込み防止パネル3の中央から外側且つ搬送方向下流側に向かって伸びた形状からなる。即ち、図13(a)の例では、孔縁301は+x方向且つ-y方向に伸びている。
しかしながら、ワークWの搬送方向下流側にあたる孔縁301は、巻込み防止パネル3の中央から外側且つ搬送方向下流側に向かって伸びた形状からなる。そのため、ワークWの搬送方向下流側の端部はまず、縁辺W11から孔縁301に接触し、最後にワークWの角部W12が孔縁301に接触する。このように、ワークWの縁辺W11は孔縁301の端面に斜めに当接するため、ワークWの端部は基体部31上へ案内される。これにより、ワークWが角部W12から貫通孔3a内へ入り込まず、ワークWはクリーンローラ4に巻き込まれない。
このワークWの他端側においても、ワークWの搬送方向下流側の端部はまず、縁辺W21から孔縁311に接触し、最後に角部W22が孔縁311に接触する。これにより、ワークWが角部W22から貫通孔3a内へ入り込まず、ワークWはクリーンローラ4に巻き込まれない。
一方、第二ユニットU2についても、巻込み防止パネル6の貫通孔6aは巻込み防止パネル3の貫通孔3aと同様の形状からなる。そのため、ワークWが貫通孔6aからクリーンローラ7に巻き込まれるのを防止できる。
転写ローラは、その外周面に、クリーンローラ4、7の粘着部41、71よりも高い粘着力を有する粘着層を備えている。例えば、クリーンローラ4、7がワークWに当接する側と反対の側に転写ローラを設け、クリーンローラ4、7の粘着部41、71が転写ローラに当接するように配設する。これにより、転写ローラはクリーンローラ4、7の回転に連れ回って回転し、粘着部41、71に付着した塵埃を捕捉する。その結果、クリーンローラ4、7の粘着部41、71を清浄な状態に保ち、クリーンローラ4、7による塵埃の除去能力を長時間にわたって維持できる。
21 :筐体
22 :第一搬送部
23 :第二搬送部
3 :巻込み防止パネル
3a :貫通孔
4 :クリーンローラ
4a :貫通孔
41 :粘着部
42 :溝
43 :芯棒
5 :枠体
6 :巻込み防止パネル
6a :貫通孔
7 :クリーンローラ
71 :粘着部
72 :溝
73 :芯棒
8 :枠体
U :ユニット
U1 :第一ユニット
U2 :第二ユニット
W :ワーク
Claims (8)
- ワークを搬送すると共に、当該ワークの表面の塵埃を除去するクリーンローラと、
前記クリーンローラの搬送面上に配設され、前記ワークが前記クリーンローラに巻き込まれるのを防止する巻込み防止パネルと、によって構成され、
前記クリーンローラは、
前記ワークの表面の塵埃を付着させて除去する粘着部、を有し、
前記巻込み防止パネルは、
前記クリーンローラを露出させる貫通孔、を有し、
前記貫通孔は、前記ワークの搬送方向下流側の孔縁が、搬送方向に対して鋭角をなすと共に、搬送方向と直交する向きの中央側から外側且つ搬送方向下流側に向かって延びた形状のみからなる、
除塵装置。 - 前記クリーンローラは、
搬送方向と直交する向きに一定間隔で設けられた溝、をさらに有し、
前記粘着部は、前記溝によって分割されている
請求項1記載の除塵装置。 - 前記貫通孔は、搬送方向と直交する向きに複数、設けられている、
請求項1記載の除塵装置。 - 前記貫通孔は、前記クリーンローラの前記粘着部ごとに設けられている、
請求項1記載の除塵装置。 - 前記貫通孔は台形状からなる、
請求項1記載の除塵装置。 - 前記クリーンローラは、搬送方向に複数、並設され、
搬送方向において隣り合うクリーンローラにおいて、一のクリーンローラの溝と、隣り合う他のクリーンローラの溝とが、搬送方向において一直線上に並ばないようにずれた位置をとる、
請求項2記載の除塵装置。 - 前記クリーンローラと前記巻込み防止パネルが、搬送される前記ワークの両面側に前記ワークを挟む状態に設けられている、
請求項1記載の除塵装置。 - ワークを搬送しながら表面の塵埃を除去するクリーンローラ、を備えた除塵装置に取り付けられ、当該ワークが当該クリーンローラに巻き込まれるのを防ぐ巻込み防止パネルであって、
前記クリーンローラを露出させる貫通孔、を有し、
前記貫通孔は、前記ワークの搬送方向下流側の孔縁が、搬送方向に対して鋭角をなすと共に、搬送方向と直交する向きの中央側から外側且つ搬送方向下流側に向かって延びた形状のみからなる、
巻込み防止パネル。
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