JP7521936B2 - 磁場検出装置及び磁場検出装置アレイ - Google Patents
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Description
10 ボビン
11,12 鍔部
13 巻芯部
14 中空部
15 回路基板
20 センサ収容体
21 基板
22 センサチップ
23 集磁体
24,25 絶縁膜
31 フィードバック回路
31a 差動アンプ
32 検出回路
32a 差動アンプ
33 電圧測定回路
40 キャンセル空間
100 カバー部材
110,120,130,140 側面
111,121,131,141 第1の部分
112,122,132,142 第2の部分
113、123,133,143 第3の部分
120 側面
121 第1の部分
122 第2の部分
150 上面
160 下面
170 収容部
200 本体部
300 カバー部材
310,320,330,340,350,360 側面
A0~A4,B0~B6 キャビティ
C1,C2 キャンセルコイル
F1,F2 フィードバック電流
H センサヘッド
L0~L4 配線
M1~M4 磁気抵抗効果素子
R1,R2 抵抗
S1,S21~S24 磁気センサ
Claims (10)
- ボビンと、
前記ボビンに巻回されたキャンセルコイルと、
前記ボビンに固定され、前記キャンセルコイルを軸方向に対して垂直な方向から覆うカバー部材と、
前記ボビン又は前記カバー部材に固定された第1及び第2の磁気センサと、
前記第2の磁気センサの出力信号に応じて前記キャンセルコイルにキャンセル電流を流すことにより、前記キャンセルコイルの軸方向における一方側に位置する第1のキャンセル空間、並びに、前記キャンセルコイルの軸方向における他方側に位置する第2のキャンセル空間の環境磁場を打ち消すフィードバック回路と、を備え、
前記第1の磁気センサは、前記第1のキャンセル空間内に配置されており、
前記第2の磁気センサは、前記第2のキャンセル空間内に配置されており、
前記カバー部材は、前記キャンセルコイルの前記軸方向に延在し、且つ、互いに反対側に位置する第1及び第2の側面を有し、
前記第1及び第2の側面には、それぞれ第1及び第2の係合部が設けられており、
前記第1の係合部の形状は、前記第2の係合部の形状と係合可能な形状であることを特徴とする磁場検出装置。 - 前記カバー部材は、前記キャンセルコイルの軸方向に延在し、且つ、互いに反対側に位置する第3及び第4の側面を有し、
前記第3及び第4の側面には、それぞれ第3及び第4の係合部が設けられており、
前記第3の係合部の形状は、前記第4の係合部の形状と係合可能な形状であることを特徴とする請求項1に記載の磁場検出装置。 - 前記第1及び第2の側面と前記第3及び第4の側面は、互いに直交することを特徴とする請求項2に記載の磁場検出装置。
- 前記カバー部材は、前記キャンセルコイルの軸方向に延在し、且つ、互いに反対側に位置する第5及び第6の側面を有し、
前記第5及び第6の側面には、それぞれ第5及び第6の係合部が設けられており、
前記第5の係合部の形状は、前記第6の係合部の形状と係合可能な形状であり、
前記第1及び第2の側面と、前記第3及び第4の側面と、前記第5及び第6の側面は、互いに60°の角を成すことを特徴とする請求項2に記載の磁場検出装置。 - 前記ボビン又は前記カバー部材は、軸方向における前記一方側において開口する第1のキャビティと、軸方向における前記他方側において開口する第2のキャビティを有し、
前記第1の磁気センサは、前記第1のキャビティに収容され、
前記第2の磁気センサは、前記第2のキャビティに収容されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の磁場検出装置。 - 前記第1の磁気センサのセンサヘッドは、前記ボビン又は前記カバー部材から軸方向における前記一方側に突出しており、
前記第2の磁気センサのセンサヘッドは、前記ボビン又は前記カバー部材から軸方向における前記他方側に突出していることを特徴とする請求項5に記載の磁場検出装置。 - 前記第1の磁気センサを複数備え、
前記複数の第1の磁気センサは、前記キャンセルコイルの軸方向における前記一方側において、前記キャンセルコイルのコイル軸を中心とした径方向位置が互いに同じとなるよう、同心円状に配置されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の磁場検出装置。 - 前記キャンセルコイルのコイル軸を中心とした前記第2の磁気センサの径方向位置は、前記キャンセルコイルのコイル軸を中心とした前記複数の第1の磁気センサの径方向位置と同じであることを特徴とする請求項7に記載の磁場検出装置。
- 請求項3に記載の磁場検出装置を複数備え、
前記第1及び第2の側面と直交する第1の方向に隣接する2つの磁場検出装置の前記第1及び第2の係合部が互いに係合し、
前記第3及び第4の側面と直交する第2の方向に隣接する2つの磁場検出装置の前記第3及び第4の係合部が互いに係合していることを特徴とする磁場検出装置アレイ。 - 請求項4に記載の磁場検出装置を複数備え、
前記第1及び第2の側面と直交する第1の方向に隣接する2つの磁場検出装置の前記第1及び第2の係合部が互いに係合し、
前記第3及び第4の側面と直交する第2の方向に隣接する2つの磁場検出装置の前記第3及び第4の係合部が互いに係合し、
前記第5及び第6の側面と直交する第3の方向に隣接する2つの磁場検出装置の前記第5及び第6の係合部が互いに係合していることを特徴とする磁場検出装置アレイ。
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