JP7490950B2 - 絶縁回路基板の製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 100
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 100
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 100
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims description 42
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 41
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 38
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 38
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 37
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 37
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 31
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 15
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 5
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 24
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 12
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 6
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 5
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910017945 Cu—Ti Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 4
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017518 Cu Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017752 Cu-Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017943 Cu—Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001297 Zn alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- TVZPLCNGKSPOJA-UHFFFAOYSA-N copper zinc Chemical compound [Cu].[Zn] TVZPLCNGKSPOJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000000550 scanning electron microscopy energy dispersive X-ray spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
- 238000009763 wire-cut EDM Methods 0.000 description 1
- 150000003751 zinc Chemical class 0.000 description 1
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Description
特許文献1には、銅板に活性金属ろうの薄板をクラッドした複合ろう材をプレス抜き又は放電加工して回路パターンを形成し、この回路パターンを形成した複合ろう材を活性金属ろうの薄板側でセラミックス基板上に接合し、その後、複合ろう材の回路パターンの繋ぎ部分をエッチングして除去することが記載されている。
この場合、プレス抜きにより銅板を回路パターンに形成する場合に比べて、ワイヤカット放電加工により回路パターンに形成する方が、プレス金型の製作を省略できる分、納期を短くすることができる。
しかしながら、回路パターンに繋ぎ部分を形成しない場合など、エッチングを施さない場合には、ろうシミが残ったままとなる。
接合時に溶融して液相となったろう材は、セラミックス基板と銅板との間から余剰分が漏れ出た後、銅板の側面を伝って上昇し、側面から表面にかけて這い上がることで、回路層の表面にろうシミを形成する。このため、回路層表面のろうシミの発生を防止するためには、セラミックス基板と銅板との間からの溶融ろう材の漏れ出し、銅板の側面での上昇、側面から表面への這い上がりの三つの形態のうちのいずれかを抑制する必要がある。
絶縁回路基板1は、セラミックス基板11と、セラミックス基板11の一方の面に形成された回路層12と、セラミックス基板11の他方の面に形成された放熱層13とを備える。
次に、本実施形態の絶縁回路基板1の製造方法について説明する。
銅又は銅合金からなる平板状の銅板をワイヤカット放電加工により切断して、回路層用銅板及び放熱層用銅板を形成する。図3には平板状の銅板150から小回路層用銅板151,152を形成する場合について示している。
ワイヤカット放電加工は、例えば0.2mm~0.3mm程度の直径のワイヤ(電極線)20にパルス電流を流して、ワーク(銅板150)との間で放電現象を発生させながら、例えば図3の矢印Aで示すようにワイヤ20を走行させ、ワイヤ20の長さ方向と直交する方向にワーク(銅板150)を矢印Bで示すように移動させることにより、ワーク(銅板150)をワイヤ20に対向する部分で局部的に溶融除去しつつ切断加工するものである。この場合、ワイヤ20及びワーク(銅板150)の冷却、加工粉の除去等のために、切断部分の全体を水等の加工液中に浸漬させた状態で加工する。
また、プレス加工により回路層用銅板を形成する場合等には、加工後に回路層用銅板を脱脂・洗浄することが行われるが、このワイヤカット放電加工により形成された回路層用銅板151,152については、脱脂・洗浄の処理を施すことなく、加工後にそのまま次の接合工程に供される。
以上のようにして回路層用銅板151,152及び放熱層用銅板130を形成した後、セラミックス基板11に回路層用銅板151,152及び放熱層用銅板130をそれぞれAg-Ti系又はAg-Cu-Ti系の活性金属ろう材を用いて接合する。具体的には、図4に示すように、セラミックス基板11の両面に、それぞれAg-Cu-Ti系等からなるろう材箔30を介在させて回路層用銅板151,152及び放熱層用銅板130を積層する。そして、これらの積層体をカーボン板(図示略)により挟持し、積層方向に荷重をかけながら真空中で加熱することにより、セラミックス基板11と回路層用銅板151,152及び放熱層用銅板130を接合する。これにより、セラミックス基板11の上面に回路層12が接合部(ろう付け部)を介して接合され、下面に放熱層13が接合部(ろう付け部)を介して接合された絶縁回路基板1が形成される。
例えば、上記実施形態ではセラミックス基板の回路層とは反対側の面に放熱層が形成されているが、放熱層を有しない絶縁回路基板にも本発明を適用することができる。
このとき、ワイヤカット放電加工に使用したワイヤ表面及び回路層用銅板の切断端面をそれぞれ走査型電子顕微鏡を用いたエネルギー分散型X線分光法(SEM-EDX)により成分分析して、その亜鉛濃度を測定した。
次いで、ワイヤカット後の銅板を窒化けい素からなるセラミックス基板の表面に厚さ10μmとなるように塗布したAg-Cu-Tiの活性金属ろう材ペーストを介して積層し、これを加圧加熱することによって接合した。このときの接合条件は、真空雰囲気下、加圧力を0.2MPa、温度を815℃とした。
その結果を表1に示す。
11 セラミックス基板
12 回路層
121,122 小回路層
150 銅板
151,152 回路層用銅板
S1 表面
S2 切断端面(側面)
13 放熱層
131 放熱層用金属板
20 ワイヤ
30 活性金属ろう材箔
Claims (2)
- セラミックス基板の表面に、回路パターンに形成された回路層を有する回路基板の製造方法であって、銅又は銅合金からなる銅板をワイヤカット放電加工により前記回路パターンに切断して、切断端面(ただし、該切断端面に突出部が形成されているものを除く)の亜鉛濃度が1.21at%以下の回路層用銅板を形成する回路層用銅板形成工程と、前記回路層用銅板を前記セラミックス基板に活性金属ろう材によって接合して前記回路層を形成する接合工程とを有することを特徴とする絶縁回路基板の製造方法。
- ワイヤカット放電加工に用いられるワイヤの表面の亜鉛濃度が20質量%以下であることを特徴とする請求項1記載の絶縁回路基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019224389A JP7490950B2 (ja) | 2019-12-12 | 2019-12-12 | 絶縁回路基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019224389A JP7490950B2 (ja) | 2019-12-12 | 2019-12-12 | 絶縁回路基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021093482A JP2021093482A (ja) | 2021-06-17 |
JP7490950B2 true JP7490950B2 (ja) | 2024-05-28 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019224389A Active JP7490950B2 (ja) | 2019-12-12 | 2019-12-12 | 絶縁回路基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7490950B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001332854A (ja) | 2000-05-24 | 2001-11-30 | Toshiba Corp | セラミックス回路基板 |
JP2005329504A (ja) | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Hitachi Cable Ltd | ワイヤ放電加工用電極線及びそれを用いて製造した放電加工物 |
JP2007030075A (ja) | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Bridgestone Corp | 放電加工用ワイヤ |
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A621 | Written request for application examination |
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