JP7490254B2 - 電磁ポンプを備えたｘ線源 - Google Patents

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Description

本明細書で開示される発明は一般に、電磁ポンプに関し、特に、Ｘ線源においてターゲットとして使用される導電性液体を圧送するための１つ又は複数の電磁ポンプを備えるＸ線源に関する。
これまで、電子ビームを固体アノードターゲットに衝突させることによってＸ線を発生させていた。しかしながら、アノードにおける熱効果は、Ｘ線源の性能を制限する。
固体アノードターゲットの過熱に関する問題を軽減する１つの方法は、Ｘ線を発生させる際に電子ターゲットとして液体金属ジェットを使用することであった。従って、液体金属ジェットＸ線源は、電子ビームと液体金属ジェットとの間の相互作用によるＸ線放射の発生に基づく。そのような液体金属のジェットは、その再生特性により、強い電子ビーム衝撃に耐えることができる。そのようなシステムの例は、国際公開第２０１０／１１２０４８号に開示されている。このシステムでは、液体金属ジェットは、加圧手段、ジェットノズル、及びジェットの終わりに液体金属を収集するためのリザーバによって閉ループ方式で供給される。
しかしながら、電子ターゲットとして液体金属ジェットを使用することは、潜在的な弱点を伴うことが分かっている。例えば、液体金属を加圧するために使用されるポンプに起因する圧力変動及び不十分性により、ジェットの均一性は、速度、形状、及び厚さ（断面サイズ）の観点から、最適とは言えない場合がある。更に、ポンプは典型的に、定期的かつ時間のかかるメンテナンスが必要であり、これは、運用コストの増加及びシステムダウンタイムをもたらし得る。
本発明の目的は、上記の欠点の少なくともいくつかに対処することである。特定の目的は、改良された電磁ポンプ及びそのようなポンプを有するＸ線源を提供することである。
前置きとして、液体ジェットを供給するためのシステムに関する背景及びいくつかの課題について簡単に説明する。
上述のタイプのＸ線源は、電子銃と、真空チャンバ内に加圧液体金属の安定したジェットを提供するためのシステムとを含み得る。使用される金属は、好ましくは、比較的低い溶融温度を有するもの、例えば、インジウム、ガリウム、スズ、鉛、ビスマス、又はそれらの混合物もしくは合金である。電子銃は、冷電界放出、熱電界放出、熱電子放出などの原理によって機能し得る。電子衝撃ターゲット、すなわち液体ジェットを提供するためのシステムは、加熱器及び／又は冷却器と、加圧手段と、ジェットノズルと、ジェットの終わりで液体を収集するためのリザーバとを含み得る。Ｘ線放射は、電子と液体ターゲットとの間の相互作用の結果として衝突領域内で発生する。好適な透過特性を有する窓は、発生したＸ線放射が真空チャンバから放出されることを可能にする。Ｘ線源の連続動作を可能にするためには、一般に、閉ループ方式で液体を回収することが望ましい。
技術水準では、液体ジェットの供給及び加圧は困難であり得る。特に、液体を加圧及び循環させるために使用されるポンプは、例えば、ポンプピストンの動きによって引き起こされる圧力変動により、又は十分に高い圧力を作り上げるための容量の不足により、満足できるもではない可能性があり得る。
液体、すなわちターゲット材料の漏れは、別の潜在的な課題である。漏れの結果、金属がシステムの外部に出て永久に失われる可能性がある。漏れの他の問題としては、アクセスすることが困難であるか又は実質的に不可能であるシステムの一部で金属が凝固する状況の発生が挙げられる。更に、シール、配管、及びポンプはすべて、液体の漏れを引き起こす可能性があり、従って、液体ジェットの供給システムの弱点である。ユーザの観点から、漏れは、高価な液体の補充を必要とし、メンテナンス間隔を短くし、一般に、関連するＸ線源の操作及びメンテナンスをより困難で時間のかかるものにする。本発明は、これらの課題の少なくともいくつかに対処することを目的とする。
本発明は、ターゲット液体に電磁ポンプを使用することによって従来技術の上述の欠点の少なくともいくつかが軽減され得るという洞察に基づくものである。
導電性液体用の電磁ポンプは従来技術で知られているが、電子ビーム衝撃Ｘ線源におけるターゲットとして使用するための液体金属ジェットを生成するためには採用されていない。この１つの理由は、従来技術の電磁ポンプが十分に高い圧力を達成することができないからである。
電子ビーム衝撃Ｘ線源におけるターゲットとして使用するための液体金属ジェットを生成するためには、典型的に、１００バールを上回るまで液体を加圧する必要がある。このような高圧を達成する１つの方法は、少なくとも原理的には、複数の電磁ポンプを直列に接続することである。しかしながら、この場合、上述したように、潜在的な漏れの箇所を構成するシール及び配管の発生を増加させ、また、追加の電気接続も必要となる。従って、本発明の実施形態では、ポンプに沿った圧力を十分なレベルまで連続的に上昇させるために単一の本体内に複数のセクションが設けられた電磁ポンプが提供される。
従って、本発明の概念の第１の態様によれば、導電性液体を圧送するための電磁ポンプが本明細書で提案される。このポンプは以下を備える：
入口及び出口を有する第１の導管セクション、及び
入口及び出口を有する第２の導管セクション、
ここにおいて、導管セクションの各々は、その入口からその出口への液体の流れを提供するように配置され、
第１の導管セクションの出口は、第２の導管セクションの入口に流体接続される。
ポンプは、更に以下を備える：
電流の方向が第１の導管セクション及び第２の導管セクション内の液体の流れと交差するように第１の導管セクション内の液体及び第２の導管セクション内の液体を通る電流を提供するように配置された電流発生器、及び
磁界の方向が液体の流れ及び電流の方向と交差するように第１の導管セクション及び第２の導管セクション内の液体を通過する磁界を提供するように配置された磁界発生装置、
ここにおいて、第１の導管セクション及び第２の導管セクションは、第２の導管セクション内の液体の流れの向きとは反対の第１の導管セクション内の液体の流れの向きを提供するように構成される。
従って、本発明のいくつかの実施形態は、少なくとも第１及び第２のセクションを含む電磁ポンプを含み得る。第１の永久磁石は第１のセクションに配置され得、第２の永久磁石は第２のセクションに配置され得、第１及び第２の永久磁石は、反対の磁界の向きで配置される。両方のセクションにおいて液体金属に沿って同じ方向にポンプ力を達成するために、第１のセクションにおける導管の巻き方向は、第２のセクションにおける導管の巻き方向と反対であり得る。このようにして、電流は、装置全体を通って同じ方向に流れることができる。そのような装置は、任意の数のセクションに拡張され得、それに応じて磁界の向き及び導管の巻き方向が各セクション間で切り替えられることは理解されたい。
導電性液体中の圧力の上昇は、磁界と液体を通って流れる電流との間の相互作用から生じる磁力によって達成され得る。磁力の方向は、磁界及び電流の方向の両方を含む平面に対してほぼ垂直であり、この平面を導管の長さ方向に実質的に垂直になるように方向付けることによって、液体の流れが導管を通って誘導され得る。通電導体上の磁力は、次のように書き表すことができる：
換言すると、発生した力は、磁界及び電流の両方に垂直であり、互いに垂直な磁界及び電流の成分だけが、発生した力に寄与する。磁力、ひいては液体の流れは、磁界の強度、液体を通って流れる電流、及び磁力が作用する導管の長さの影響を受け得る。更に、磁力の強さは、磁界が電流の方向となす角度によって決定され得る。最大の磁力を提供するためには、磁界が電流の方向に垂直であることが好ましい。例えば、磁界は、電流の方向に対して７０～１１０度の角度で配置され得る。更に、電磁ポンプによって与えられる圧力は、電磁ポンプ内に配置される導管セクションの数に比例し得る。本開示では、第１及び第２の導管セクションについて説明する。しかしながら、本発明の概念によるいくつかの導管セクションが電磁ポンプ内に連続的に配置され得ることは更に想定される。従来の電磁ポンプは、多くの場合、数十バールまでの範囲の圧力を与えるように設計される。本発明は、数百バール、例えば、２００バール、３５０バール、又は１０００バールまでの圧力を与えるのに適したポンプを対象としている。
電磁ポンプが、導電性流体を圧送するように構成され得ることは更に想定される。そのような配置は、本開示で開示される特徴及び利点のいずれかを有し得る。
第１の導管セクションは、第２の導管セクションによって提供される流れの向きとは反対の液体の流れの向きを提供するように構成され得、電流は、両方のセクションを通して実質的に同じ主方向を維持し得る。その結果、磁界と電流との間の相互作用により発生する磁力は、２つのセクション間で反対方向を向き得る。これは、結果として生じる流れが両方の導管セクションを通って流れ得るように、第２の導管セクション内の液体の流れの向きを逆にすることによって補償され得る。
磁界発生装置は、第２の導管セクション内の磁界と比較して方向が反対である磁界を第１の導管セクション内に提供するように配置され得、電流は、両方のセクションを通して実質的に同じ主方向を維持し得る。
本発明の概念を完全に理解するために、最初にいくつかの用語が更に明確にされ得る。
電磁ポンプの主ポンプ方向は、第１の導管セクションの入口と第２の導管セクションの出口との間のベクトルとして定義され得る。従って、導管セクション内の流れの「向き」は、上記導管セクションの導管内の流れの向きとして理解され、これは、必ずしも主ポンプ方向と同じではない。
更に、各導管セクションはまた、導管セクションの入口と導管セクションの出口との間のベクトルとして定義されるセクション方向を有し得る。
第１の導管セクション内の液体の流れの向きが第２の導管セクション内の液体の流れの向きと「反対」であることは、例えば、それぞれの導管セクション内の流れの左巻き及び右巻きの向き、例えば、それぞれ左巻き及び右巻きのスパイラル又は螺旋の流れとして定義され得る。また、それぞれの導管セクションにおけるセクション方向が互いに実質的に対向すると定義され得る。
それぞれの導管セクション内の液体の流れの反対の向きは、鏡映されたセクション、すなわち、第１のレイアウトを有する第１の導管セクションと、第１のレイアウトに対して鏡映される第２のレイアウトを有する第２の導管セクションとを有することによって達成され得る。それぞれの導管セクション内の液体の流れの反対の向きは、実質的に同一の導管セクション、すなわち、第１のレイアウトを有する第１の導管セクション及び第１のレイアウトを有する第２の導管セクションの流れ方向を逆にすることによって達成され得、ここにおいて、第１の導管セクションの第１の開口部は入口として働き、第１の導管セクションの第２の開口部は出口として働き、第１の導管セクションの第１の開口部に対応する第２の導管セクションの第１の開口部は出口として働き、第１の導管セクションの第２の開口部に対応する第２の導管セクションの第２の開口部は入口として働くことが更に想定される。
本開示全体を通して、磁界発生器の「タイプ１」及び「タイプ２」の極性が参照されており、そのようなタイプの例は、それぞれ磁界発生器の南極及び北極、例えば、それぞれ永久磁石の北極及び南極である。
導管セクションの各々は、液体を保持するための導管を含み得る。導管は、ダクト、管、及び／又はパイプを含み得る。管は、断面が正方形、長方形などになるように配置することができる点で有利であり得る。そのような断面は、電流が導管セクションの各々の中を移動することを可能にする相互接続配置を提供するために有益であり得る。特に、矩形断面は、円形断面と比べて比較的大きな表面積を有する導管セクションの導管間の界面を提供し得る。一方、矩形断面の場合は角部に応力集中が現れるのに対して、円形断面のパイプは、フープ応力が断面全体で同じであるため、所与の壁厚に対してより高い機械的強度を提供し得る。導管は、少なくとも２つの機械加工された部品を組み立てることによって形成され得る。導管は、好適な導電性材料の３Ｄ印刷によって形成され得る。好ましくは、導管は、磁界が、圧送される液体を貫通することを確実にするために、非磁性材料から作られるべきである。いくつかの実施形態では、導管は、ステンレス鋼管で構成され得る。
導電性液体は、ガリウム、インジウム、スズ、鉛、ビスマス、もしくはそれらの合金であり得るか、又はそれらを含み得る。
本発明の概念による電磁ポンプによって、コンパクトなポンプが実現され得る。特に、それぞれの導管セクションにおける反対の向きにより、磁界発生装置のよりコンパクトな配置が提供され得る。いくつかの実施形態では、導管セクションは、それぞれの磁界発生器に関連付けられ得る。そのような磁界発生器は、導管セクション間で反対の極性を有し得、これにより、磁気回路を閉じるための中間材料を磁界発生器間に必要とすることなく、磁界発生器のコンパクトな配置が提供され得る。磁界発生器は、ネオジム磁石などの永久磁石として具現化され得る。
更に、本発明の概念による電磁ポンプは、導電性液体用の従来のポンプと比べて、可動部品がほとんどない（又は完全にない）ポンプを提供し得る。これによって、メンテナンスが容易になり得、可動部品によって生じる圧力変動のリスクを低減することができる。
本開示全体を通して、導管セクションのいくつかの例が開示される。導管セクションの更なる変形が、本発明の概念の範囲内で想定されることは理解されるべきである。
第１の導管セクションは、第１の方向に巻線を有するコイルを備え得、第２の導管セクションは、第２の方向に巻線を有するコイルを備え得、第１の方向は第２の方向と反対である。
電磁ポンプは、第１の導管セクション及び第２の導管セクションを囲むヨークを更に備え得、ヨークは、鉄、磁性鋼などの強磁性材料を含む。ヨークは、機械的支持を提供するように配置され得る。特に、ヨークは、電磁ポンプによって導電性液体に作用する力を介して発生する圧力に耐えるように構成され得る。ヨークはまた、磁界の経路指定を提供し得、すなわち、ヨークは、磁界発生装置によって発生する磁束が閉じ込められことに備え得る。
電磁ポンプは、強磁性材料のコアを更に備え得る。コアは、磁気回路の閉鎖を提供し得、すなわち、コアは、磁界発生装置によって発生する磁束が閉じ込められる経路を提供し得る。
以下でより詳細に説明するように、磁界を閉じ込めるために、外側ヨークは、コアの直径の少なくとも２０％の厚さを有し得る。好ましくは、典型的にはコアとヨークとの間にギャップが存在することも考慮すると、ヨークの厚さは、コアの直径の少なくとも２０％にコアとヨークとの間の半径方向距離の６％を足したものであり得る。このようなヨークの厚さにより、磁界が電磁ポンプ内に実質的に閉じ込められ、その結果、Ｘ線源の電子ビームとの干渉が事実上排除される。
第１の導管セクションの出口は、電磁ポンプの内壁及び外壁によって形成された中間リザーバによって第２の導管セクションの入口に流体接続され得る。内壁は、上述の電磁ポンプのコアであり得る。外壁は、上述の電磁ポンプのヨークであり得る。内壁及び／又は外壁が磁界発生装置によって形成され得ることも想定される。更に、電磁ポンプは、中間リザーバを形成する内壁及び／又は外壁を提供する別個の要素を備え得ることが想定される。中間リザーバは、第１の導管セクションの少なくとも一部及び第２の導管セクションの少なくとも一部によって更に形成され得る。中間リザーバを設けることによって、第１の導管セクションと第２の導管セクションとの間の単純な流体接続が達成され得る。
第１の導管セクションの出口及び第２の導管セクションの入口は、１つの同じ構造の一部であり得、すなわち、第１の導管セクション及び第２の導管セクションは、単一の部分であり得る。
第１の導管セクションの出口は、中間導管によって第２の導管セクションの入口に流体接続され得る。これによって、第１の導管セクションと第２の導管セクションとの間の単純な流体接続が達成され得る。
電磁ポンプは、電流が第１の導管セクションから第２の導管セクションに流れることを可能にするように更に構成され得る。これは、例えば、上述の中間リザーバによって少なくとも部分的に達成され得る。導電性液体が中間リザーバを満たし、第１の導管セクションから第２の導管セクションに電流を伝導し得る。電磁ポンプが、以下で説明されるような導電性カフのような中間導電要素を備え得ることもまた想定される。中間導電要素は、第１の導管セクションから第２の導管セクションに電流を伝導するように配置され得る。
導管セクションの各々は、液体経路と、導管セクションの各々内で、導管セクションの各々の入口から出口まで、液体経路よりも短い距離を電流が移動することを可能にするように構成された相互接続配置とを含み得る。液体経路は、導管の幾何学的形状、すなわち、液体が流れる、導管に沿った移動経路によって定義され得る。対照的に、電流は、相互接続配置により、液体経路に沿った移動に制限されない。相互接続配置は、導管セクションの導管の異なる部分間の直接接触、及び／又は、例えば、はんだ付け又はろう付けによって達成される導管セクションの導管の異なる部分間の接触を含み得る。導管は、エッチング剤で処理された内面を含み得ることが更に想定される。導管の内面は、液体と接触することが意図された表面である。内面をエッチング剤で処理することによって、電流を伝導するための導管と液体との間の界面を改善することができる。相互接続配置は、銅といった金属などの導電性材料を含むか、又はそのものであり得る。更なる実施形態では、相互接続配置は、導管セクションと周囲の壁との間の空間を埋めるように設けられ得、従って、電気接触及び機械的支持の両方を提供する。
磁界発生装置は、永久磁石を含み得る。磁界が、例えば電磁石によって提供され得ることは更に想定される。本発明の概念は、複数の磁界発生器が空間効率の良い方法で組み合わせられることを可能にする技術を提供する。更に、磁界発生装置は、各導管セクションに関連付けられた磁界発生器を備え得、それぞれの磁界発生器は、複数の磁界発生要素を備える。そのような磁界発生要素は、例えば、セクタ、すなわち、主軸に対する導管セクションの円周の一部を表し得る。
電磁ポンプは、電流が第１の導管セクションから第２の導管セクションに移動することを可能にするために、第１の導管セクションと第２の導管セクションとの間に配置された導電性カフを更に備え得る。これによって、電流が導管セクション間を通過することができ、各導管セクションへの別個の経路指定が必要なくなるため、電磁ポンプの電気経路指定が容易になり得る。導電性カフは、第１の導管セクションの出口から第２の導管セクションの入口への流体接続を可能にする開放セクションを含み得る。
第１の導管セクション及び第２の導管セクションは、主軸に沿って連続的に配置され得る。主軸は、本開示において先に定義された主ポンプ方向と一致し得る。更に、主軸は、電磁ポンプの長手方向軸であり得る。第１の導管セクション及び第２の導管セクションが連続的に配置されていることは、これらの導管セクションが主軸に沿って直列に配置されていると理解され得る。更に、第１の導管セクション及び第２の導管セクションは、主軸を中心とし得る。
第１の導管セクションは、主軸の周りに第１の方向に巻かれた第１のコイルを備え得、第２の導管セクションは、主軸の周りに第２の方向に巻かれた第２のコイルを備え得、第２の方向は第１の方向と反対である。換言すると、第１の導管セクションは、主軸の周りに第１の方向に巻かれた第１の螺旋、すなわち右巻き及び左巻きの螺旋の一方を含み得、第２の導管セクションは、主軸の周りに第２の方向に巻かれた第２の螺旋、すなわち右巻き及び左巻きの螺旋の他方を含み得る。
第１のコイル及び第２のコイルの隣接するターンはそれぞれ、互いに電気接触し得る。これによって、電流は、各導管セクションを通って移動し得る。
磁界発生装置は、第１の導管セクションを少なくとも部分的に囲むように配置された第１の磁界発生器と、第２の導管セクションを少なくとも部分的に囲むように配置された第２の磁界発生器とを備え得、第１の磁界発生器は、タイプ１の磁極が第１の導管セクションに向かって半径方向に面し、タイプ２の磁極が第１の導管セクションから離れるように半径方向に面した状態で配置され、第２の磁界発生器は、タイプ１の磁極が第２の導管セクションから離れるように半径方向に面し、タイプ２の磁極が第２の導管セクションに向かって半径方向に面した状態で配置され、タイプ１の磁極及びタイプ２の磁極は、反対の磁極である。これらの特徴は、図２及び図３に関連して更に説明される。
磁界発生装置は、第１の導管セクションの入口側に配置された第１の磁界発生器であって、タイプ１の磁極が第１の導管セクションに向かって軸方向に面し、タイプ２の磁極が第１の導管セクションから離れるように軸方向に面する状態で配置された第１の磁界発生器と、第１の導管セクションの出口側及び第２の導管セクションの入口側に配置された第２の磁界発生器であって、タイプ１の磁極が第１の導管セクションに向かって軸方向に面し、タイプ２の磁極が第２の導管セクションに向かって軸方向に面する状態で配置された第２の磁界発生器とを備え得、タイプ１の磁極及びタイプ２の磁極は、反対の磁極である。
第１のコイル及び第２のコイルの隣接するターンはそれぞれ、互いに電気接触し得る。これによって、電流は、各導管セクションを通って移動し得る。
これらの特徴は、図４に関連して更に説明される。
第１の導管セクションは、主軸に対して実質的に横方向に配置された第１のスパイラル形状を含み得、第２の導管セクションは、主軸に対して実質的に横方向に配置された第２のスパイラル形状を含む。第１のスパイラル形状及び第２のスパイラル形状は、それぞれ、単一平面内に配置され得る。
磁界発生装置は、第１の導管セクションの入口側に配置された第１の磁界発生器であって、タイプ１の磁極が第１の導管セクションに向かって軸方向に面し、タイプ２の磁極が第１の導管セクションから離れるように軸方向に面する状態で配置された第１の磁界発生器と、第１の導管セクションの出口側及び第２の導管セクションの入口側に配置された第２の磁界発生器であって、タイプ１の磁極が第２の導管セクションに向かって軸方向に面し、タイプ２の磁極が第１の導管セクションに向かって軸方向に面した状態で配置された第２の磁界発生器とを備え、タイプ１の磁極及びタイプ２の磁極は、反対の磁極である。これらの特徴は、図６に関連して更に説明される。
第２の態様によれば、導電性液体を圧送するための電磁ポンプが提供され、これは、第１の態様及び実施形態に関連して上で開示された電磁ポンプと同様に構成され得る。しかしながら、本態様によるポンプは、単一の導管セクションを備え得、従って必ずしも２つ以上の導管セクションを備える必要がない点で異なることは理解されたい。第１の態様及び実施形態と同様に、電磁ポンプは、電流の方向が導管セクション内の液体の流れと交差するように導管セクション内の液体を通る電流を提供するように配置された電流発生器を備え、磁界の方向が液体の流れ及び電流の方向と交差するように導管セクション内の液体を通過する磁界を提供するように配置された磁界発生装置を更に備え得る。
いくつかの実施形態では、第１又は第２の態様による電磁ポンプは、導管セクション（複数可）と電磁ポンプの外壁の内面との間に流体が存在することを可能にするように構成され得る。従って、導管の内側の液体が導管壁にかける圧力を均衡させるために、導管の外側に流体が存在し得る。有利には、このように導管壁にわたって圧力差を均衡させることで、そうしなければ導管セクションを損傷する危険性があったであろう液体圧力でポンプは動作することができる。言い換えると、導管セクションの外側の液体により、壁セクションがより低い圧力差に曝されるため、導管セクションの壁厚を減少させることができる。
流体は、例えば、電磁ポンプを通して圧送される導電性液体から形成され得、一例では、導管の内側と導管と周囲の外壁との間の空間との間の流体接続によって提供され得る。この流体接続は、例えば、上述したように、電磁ポンプの内壁及び外壁によって形成された中間リザーバを介して提供され得る。導管と周囲の壁との間の空間が、導管セクションの入口から出口への開放的な接続を形成することを条件として、導管の外側を流れる流体は、圧送される液体に対する並流と見なされ得る。流体に電流を流すと、この流体にもポンプ力が作用する。
本発明の範囲内で、導管セクションの外側に異なる液体を提供することも考えられる。そのような場合、２つの液体の混合を防止する手段が設けられ得る。更なる実施形態では、導管セクションと周囲の内壁との間の空間は、非圧縮性ポッティング化合物（incompressible potting compound）、例えばエポキシで満たされ得る。
本発明の概念の第３の態様によれば、導電性液体の液体ターゲットを形成するように構成された液体ターゲット発生器と、Ｘ線放射を発生させるために液体ターゲットと相互作用する電子ビームを提供するように構成された電子源と、本発明の概念の上述の態様のいずれかによる電磁ポンプとを備えるＸ線源が提供される。
実際的な理由、例えば、放射シールド及び真空エンクロージャにおける損失及びフィードスルーを回避するために、ポンプは、真空チャンバの近くに、更には真空チャンバの内部に位置していることが好ましい。電磁ポンプのそのような配置は、電子ビームとの干渉をもたらす可能性がある。本発明の実施形態では、電磁ポンプからの電子ビームとの干渉は、磁気漏れを防止するのに十分な厚さの磁気回路用のヨークを有する電磁ポンプを使用することによって低減されるか、更には除去される。この目的のために、外側ヨークの厚さがコアの直径の少なくとも２０％、好ましくはコア直径の少なくとも２０％にコアとヨークとの間の半径方向距離の６％を足したものである液体金属ジェットＸ線源が提供され得る。コア及びヨークの両方は、鉄、磁性鋼などの同じ強磁性材料で作られることが好ましい。Ｘ線源は、電磁ポンプが組み込まれた再循環経路などの閉ループ循環システムを含み得る。更に、Ｘ線源は、液体ターゲット発生器から排出される液体を収集するための収集リザーバを備え得る。
ターゲット材料に使用される液体金属の特性に応じて、上で説明した電磁ポンプは、異なる温度で動作する必要がある場合がある。２つの非限定的な例は、融点が３０℃のガリウム及び融点が１５７℃のインジウムであり得る。より高い温度で性能を失うことを回避するために、磁性材料を含まない磁気回路の任意の部分は、可能な限り小さくしておく必要がある。換言すると、磁極間のギャップを狭くするべきである。しかしながら、典型的には、液体金属を輸送する導管がこのギャップ内に存在するため、ギャップの幅が減少するとポンプ容量が減少する。これを解決するために、好適に設計された電磁ポンプを備えた液体金属ジェットＸ線源が提供され得る。電磁ポンプは、外側の第１の直径及び内側の第２の直径を有する中空円筒形の半径方向に磁化された永久磁石と、上記永久磁石と同心円状に配置された第３の直径を有する円筒形コアとを備え得、磁石の内径とコアの直径との間の距離は、第３の直径と、第１の直径と第２の直径との差を第１の直径と第２の直径との和で割ったものとの積よりも小さい。Ｘ線源はまた、磁気漏れを防止するのに十分な厚さの磁気回路用のヨークを組み込み得る。更に、電磁ポンプは、所望のポンプ性能を達成するために複数のセクションを備え得る。
第３の態様の範囲内で、いくつかの修正及び変形が可能である。特に、１つよりも多くの液体ターゲット又は１つよりも多くの電子ビームを備えるＸ線源及びシステムが、本発明の概念の範囲内で考えられる。更に、本明細書で説明したタイプのＸ線源は、医療診断、非破壊試験、リソグラフィ、結晶解析、顕微鏡法、材質科学、顕微鏡法表面物理学、Ｘ線回折による蛋白質構造決定、Ｘ線光分光法（ＸＰＳ）、臨界寸法小角Ｘ線散乱（ＣＤ－ＳＡＸＳ）、及び蛍光Ｘ線（ＸＲＦ）によって例示されるがこれらに限定されない特定の用途に合わせて調整されたＸ線光学系及び／又は検出器と有利に組み合わせられ得る。
追加的に、開示された例に対する変形は、図面、開示、及び添付の特許請求の範囲の検討から、請求項に係る発明を実施する際に当業者によって理解され、達成され得る。特定の手段が相互に異なる従属請求項に記載されているという単なる事実は、これらの手段の組合せが有利に使用できないことを示すものではない。
一態様に関連して説明された特徴は、他の態様にも組み込まれ得、この特徴の利点は、それが組み込まれるすべての態様に適用可能である。
本発明の概念の他の目的、特徴、及び利点は、以下の詳細な開示から、添付の特許請求の範囲から、並びに図面から明らかになるであろう。
一般に、特許請求の範囲において使用されるすべての用語は、本明細書において別段に明示的に定義されない限り、技術分野におけるそれらの通常の意味に従って解釈されるべきである。更に、「第１の」、「第２の」、及び「第３の」などの用語の使用は、本明細書では、順序、量、又は重要性を示すものではなく、１つの要素を別の要素から区別するために使用されている。「ａ／ａｎ／ｔｈｅ［要素、デバイス、構成要素、手段、ステップなど］」へのすべての参照は、別段に明示的に述べられていない限り、上記要素、デバイス、構成要素、手段、ステップなどの少なくとも１つの事例を指すものとしてオープンに解釈されるべきである。本明細書に開示される任意の方法のステップは、明示的に述べられない限り、開示される順序どおりに行われる必要はない。
本発明の概念の上記の並びに追加の目的、特徴、及び利点は、添付された図面を参照して、本発明の概念の異なる実施形態についての以下の実例となる非限定的な詳細な説明を通じてより良く理解されるであろう。
図１は、第１の導管セクション及び第２の導管セクションを概略的に例示する。 図２は、電磁ポンプを断面図で概略的に例示する。 図３は、第１の導管セクション及び第２の導管セクションの実施形態を断面図で概略的に例示する。 図４は、第１の導管セクション及び第２の導管セクションの更なる実施形態を断面図で概略的に例示する。 図５ａは、第１の導管セクション及び第２の導管セクションの更なる実施形態を断面図で概略的に例示する。 図５ｂは、第１の導管セクション及び第２の導管セクションの更なる実施形態を断面図で概略的に例示する。 図６は、第１の導管セクション及び第２の導管セクションの更なる実施形態を断面図で概略的に例示する。 図７は、電磁ポンプを備えるＸ線源を概略的に例示する。 図８は、一実施形態のコア及びヨークの幾何学的形状を概略的に例示する。 図９は、一実施形態の寸法及びサイズを例示する断面図である。
これらの図は、必ずしも縮尺通りではなく、概して、本発明の概念を明らかにするために必要な部分だけを示しており、他の部分は省略され得るか、又は単に示唆され得る。
図１を参照すると、第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４が例示されている。第１の導管セクション１０２は、ここでは管又はパイプを含み、右巻き螺旋として配置され、第２の導管セクション１０４は、ここでは管又はパイプを含み、左巻き螺旋として配置される。第１の導管セクション１０２は、中間導管１５７を介して第２の導管セクションに流体接続され得る。磁界発生装置（図示せず）によって発生する磁界の方向Ｂ、電流方向Ｉ、及び各導管セクション内の流れ方向Ｐが例示されている。図に示すように、磁界の方向Ｂ、電流方向Ｉ、及び流れ方向Ｐは、すべて互いに直交している。
図２は、導電性液体を圧送するための電磁ポンプ１００を、電磁ポンプ１００の主軸Ａに沿った断面図で例示する。電磁ポンプ１００は、ここでは４つの導管セクション１０２、１０４、１０６、１０８を備える。しかしながら、電磁ポンプ１００は、入口１１０及び出口１１２を有する少なくとも第１の導管セクション１０２と、入口１１４及び出口１１６を有する第２の導管セクション１０４とを備え得、これらの導管セクション１０２、１０４の各々は、その入口からその出口への液体の流れを提供するように配置されることを理解されたい。第１の導管セクション１０２の出口１１２は、第２の導管セクション１０４の入口１１４に更に流体接続される。この実施形態に例示される更なる導管セクション１０６、１０８は、第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４の繰り返しと見なされ得、すなわち、第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４に続いて、更に別の第１の導管セクション１０６及び第２の導管セクション１０８が配置される。この点に関して、「第１の導管セクション」及び「第２の導管セクション」という用語は、特定の導管セクションではなく、あるタイプの導管セクションへの参照と見なされ得る。
電磁ポンプ１００は、電流の方向が第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４内の液体の流れに実質的に垂直であるように第１の導管セクション１０２内の液体及び第２の導管セクション１０４内の液体を通る電流を提供するように配置された電流発生器１２０を更に備える。電流の方向及び導管セクション内の液体の流れは、図３により明確に例示されている。電流発生器１２０が、図２に例示されている点以外の点に接続され得ることに留意されたい。
電磁ポンプ１００は、磁界の方向が液体の流れ及び電流の方向に実質的に垂直であるように第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４内の液体を通過する磁界を提供するように配置された磁界発生装置１２２を更に備える。上記と同様に、磁界の方向は、図３により明確に例示されている。
第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４は、第２の導管セクション１０４内の液体の流れの向きとは反対の第１の導管セクション１０２内の液体の流れの向きを提供するように構成される。
更に、電磁ポンプ１００は、液体をそれぞれ受容及び排出するための主入口１２４及び主出口１２６を備え得る。更に、第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４を囲むヨーク１２８が電磁ポンプ１００に含まれ得る。ヨーク１２８は、強磁性材料を含む。更に、ヨーク１２８は、それぞれ、ここでは第１の導管セクション１０２である電磁ポンプ１００の第１の導管セクションの前と、ここでは第２の導管セクション１０８である電磁ポンプ１００の最後の導管セクションの後に配置されたエンドピース１３０、１３２を備える。この点に関して、「前（before）」及び「後（after）」という用語は、主入口１２４と主出口１２６との間の流れベクトルによって定義される主流方向Ｍに対してなされる。特に、「前（before）」という用語は、「上流（upstream）」という用語と交換可能であり得、「後（after）」という用語は、「下流（downstream）」という用語と交換可能であり得る。ヨークのエンドピース１３０、１３２は、磁界の経路指定を提供し得る。電磁ポンプ１００にはコア１２９も配置されている。従って、磁界は、磁界発生器１２２の内極から出て、第１の導管セクション１０２の導管を半径方向に通過し、コア１２９、エンドピース１３０、及びヨーク１２８を通って磁界発生器の外極に入り得、従って閉磁気回路が完成する。
電磁ポンプ１００は、ヨーク１２８に接続されるように構成された蓋１３６、１３８を更に備え得る。蓋１３６、１３８は、導電性液体１２４、１２６及び電流Ｉのための機械的支持及びフィードスルーを提供し得る。特に、蓋１３６、１３８は、電磁ポンプ１００によって導電性液体に作用する力を介して発生する圧力に耐えるように構成され得る。
ここで図３を参照すると、第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４が断面図で例示されている。主流方向は、ここでは図において方向Ｍで示されている。主軸Ａも示されている。第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４は、ここでは主軸Ａに沿って連続的に配置される。
第１の導管セクション１０２は、主軸Ａの周りに第１の方向に巻かれた第１のコイル１４０を備え、第２の導管セクション１０４は、主軸の周りに第２の方向に巻かれた第２のコイル１４２を備え、第２の方向は第１の方向と反対である。換言すると、第１の導管セクション１０２は、右巻きコイル及び左巻きコイルの一方である第１のコイル１４０を備え、第２の導管セクション１０４は、主軸の周りに第２の方向に巻かれた第２のコイル１４２、すなわち右巻きコイル及び左巻きコイルの他方を備える。例示された断面からは、導管セクション１０２、１０４の特定の向き、すなわち、それらが左巻きコイルであるか右巻きコイルであるかを推測することはできない。対照的に、重要なことは、第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４がそれぞれ反対の向きを有することである。
例示された断面では、第１の導管セクション１０２内の液体の流れは、流れ方向１４４及び１４６で示され、第２の導管セクション１０４における流れ方向は、流れ方向１４５及び１４７で示され、流れは、例示されている平面から外へ伝搬する（点で示される）か、又は例示されている平面内に伝播する（×印で示される）。
第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４内の液体を通る電流Ｉの方向が示されており、電流Ｉの方向は、第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４内の液体の流れに実質的に垂直である。
電磁ポンプ１００は、ここでは、第１の導管セクション１０２を少なくとも部分的に囲むように配置された第１の磁界発生器１４８と、第２の導管セクション１０４を少なくとも部分的に囲むように配置された第２の磁界発生器１５０とを備える磁界発生装置を更に備え、ここにおいて、第１の磁界発生器１４８は、タイプ１の磁極１５２（この例では南極Ｓ）が第１の導管セクション１０２に向かって半径方向に面し、タイプ２の磁極１５４（この例では北極Ｎ）が第１の導管セクション１０２から離れるように半径方向に面した状態で配置され、第２の磁界発生器１５０は、タイプ１の磁極１５２（この例では南極Ｓ）が第２の導管セクション１０４から離れるように半径方向に面し、タイプ２の磁極１５４（この例では北極Ｎ）が第２の導管セクション１０４に向かって半径方向に面した状態で配置され、タイプ１の磁極１５２及びタイプ２の磁極１５４は、反対の磁極である。第１の磁界発生器１４８及び第２の磁界発生器１５０の配置により、それぞれの磁界発生器１４８、１５０によって発生する磁界は、互いによって相互に閉じられる。
それぞれの磁界発生器１４８、１５０によって提供される磁気回路は、磁界の方向が液体の流れ及び電流Ｉの方向に実質的に垂直であるようにそれぞれ第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４内の液体を通過する。
第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４を囲むヨーク１２８、並びにコア１２９もまた、例示される断面において可視である。
中間リザーバ１５６は、第１の導管セクションの出口１１２及び第２の導管セクション１０４の入口１１４に流体接続される。中間リザーバ１５６は、ここでは、コア１２９、外壁１５８、並びに第１の導管セクション１０２の少なくとも一部及び第２の導管セクション１０４の少なくとも一部によって形成される。従って、導電性液体（図示せず）は、第１の導管セクション１０２から中間リザーバ１５６を介して第２の導管セクション１０４内に流れ得る。中間リザーバ１５６内に位置する導電性液体はまた、第１の導管セクション１０２から第２の導管セクション１０４に電流Ｉを通すように働き得る。導電性カフ（図示せず）などの中間導電要素が、第１の導管セクション１０２と第２の導管セクション１０４との間に配置され得ることは更に想定される。中間導電要素は、主軸Ａの周りに延在し得、従って、中間導電要素と第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４それぞれとの間の接触面積を増大させる。そのような中間導電要素の一実施形態は、開放カフによって表され得、カフ内の開口部は、中間リザーバ１５６の一部を形成する。
外壁１５８は、電気絶縁性であり得、及び／又は電気絶縁材料から作られ得る。
各導管セクション１０２、１０４は、相互接続配置を更に備え得る。相互接続配置は、電流が導管セクションの各々の中を移動することを可能にするように構成され得る。特に、相互接続配置は、各導管セクション内の流れ方向に垂直な方向に電流が移動することを可能にするように構成され得る。相互接続配置は、電流を伝導するように構成され得る。
ここで図４を参照すると、図３に関連して説明したものと同様の配置が示されている。既に説明した特徴の繰り返しを避けるために、図２、図３、及び図４に関連して説明した実施形態間の同様の要素については、以下のセクションではこれ以上説明しない。主流方向は、方向Ｍで示されている。
磁界発生装置は、ここでは、第１の導管セクション１０２の入口側１１１に配置された第１の磁界発生器１４８であって、タイプ２の磁極１５４が第１の導管セクション１０２に向かって軸方向に面し、タイプ１の磁極１５２が第１の導管セクション１０２から離れるように軸方向に面した状態で配置されている第１の磁界発生器１４８を備える。第２の磁界発生器１５０は、第１の導管セクション１０２の出口側１１３及び第２の導管セクション１０４の入口側１１５に配置され、ここにおいて、第２の磁界発生器１５０は、タイプ２の磁極１５４が第１の導管セクション１０２に向かって軸方向に面し、タイプ１の磁極１５２が第２の導管セクション１０４に向かって軸方向に面した状態で配置され、タイプ１の磁極１５２及びタイプ２の磁極１５４は反対の磁極である。「軸方向」という用語は、ここでは主軸Ａを指す。更に、第１の磁界発生器１４８は、ここでは、第１の直径１６０が第１の導管セクション１０２のコイルの第１のコイル径１６１より小さい円筒である。同様に、第２の磁界発生器１５０は、第２の直径１６３が第２の導管セクション１０４のコイルの第２のコイル径１６５より小さい円筒である。
第１の磁界発生器１４８は、磁界の方向が液体の流れ及び電流Ｉの方向に実質的に垂直であるように第１の導管セクション１０２内の液体を通過する磁界を提供するように配置される。第２の磁界発生器１５０は、磁界の方向が液体の流れ及び電流Ｉの方向に実質的に垂直であるように第２の導管セクション１０４内の液体及び第１の導管セクション１０２内の液体を通過する磁界を提供するように配置される。
例示された断面では、第１の導管セクション１０２内の液体の流れは、流れ方向１４４及び１４６で示され、第２の導管セクション１０４における流れ方向は、流れ方向１４５及び１４７で示され、流れは、例示されている平面から外へ伝搬する（点で示される）か、又は例示されている平面内に伝播する（×印で示される）。
磁界回路線が図４に例示されており、それぞれの磁界発生器１４８、１５０によって提供される磁界は、磁界の方向が液体の流れ及び電流Ｉの方向に実質的に垂直であるようにそれぞれ第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４内の液体を通過する。
中間導電要素１６２、例えば導電性カフが、第１の導管セクション１０２と第２の導管セクション１０４との間に配置される。中間導電要素１６２は、ここでは、第１の導管セクション１０２の前にも配置される。中間導電要素１６２は、主軸Ａの周りに延在し得、従って、中間導電要素１６２と第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４それぞれとの間の接触面積を増大させる。
第１の導管セクション１０２の出口１１２は、図３に関連して説明されるように中間リザーバによって、及び／又は中間導管（図示せず）によって、第２の導管セクション１０４の入口１１４に流体接続され得る。中間導管は、第１及び第２の導管セクションと実質的に同じ距離だけ主軸Ａから延在し得る。
ここで図５ａ及び５ｂを参照すると、第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４の更なる実施形態が例示されている。明確にするために、電磁ポンプのいくつかの部分は、ここでは図では省略されている。例示された図は単に概略的なものであり、必ずしも縮尺通りではないことに留意されたい。
最初に図５ａを参照すると、断面図は、いくつかの導管セクション１０２、１０４、１０６、１０８を例示している。相互接続配置１５８は、導管セクション１０２、１０４、１０６、１０８の各々内で、導管セクションの各々の入口から出口まで、液体経路よりも短い距離を電流Ｉが移動することを可能にするように配置される。第１の導管セクション１０２の液体経路は、ここでは経路Ｐで例示されており、第１の導管セクション１０２の入口から出口までの電流の移動距離は、距離Ｄで示されている。例示される実施形態における各導管セクションは、蛇行形状を有し得る。
第１の導管セクション１０２内の液体の流れは、ここでは流れ方向１４４で示されている。明確にするために（＋）符号を有する矢印で正方向も示されている。従って、第１の導管セクション１０２内の液体の流れが実質的に正方向に従うことが見て取れる。第２の導管セクション１０４内の液体の流れは、流れ方向１４５で示される。第２の導管セクション１０４内の流れの向きは、第１の導管セクション１０２内の流れの向きとは反対であり、すなわち、第２の導管セクション１０４における流れ方向１４５は、示された正方向と実質的に反対である。この配置及び結果として生じる流れは、図５ｂに関連して更に説明される磁界発生装置の配置によって部分的に可能になる。
次に図５ｂを参照すると、第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４の更なる実施形態の断面図が例示されている。断面図は、図５ａに関連して例示される断面図に対して垂直である。
ここでは、いくつかの導管セクションが例示されている。各導管セクションは、それぞれの磁界発生器に関連付けられる。例えば、第１の磁界発生器１４８は、第１の導管セクション１０２を少なくとも部分的に囲むように配置される。第１の磁界発生器１４８は、磁界回路が導管を通過し、導管内の液体が電流Ｉの方向に実質的に垂直になるようにタイプ１の磁極１５２及びタイプ２の磁極１５４とともに配置される。更に、磁界発生器１４８、１５０の配置は、２つの磁界発生器間の磁界回路を閉じるように働き得る。
ここで図６を参照すると、第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４の更なる実施形態が例示されている。明確にするために、電磁ポンプのいくつかの部分は、ここでは図では省略されている。例示された図は単に概略的なものであり、必ずしも縮尺通りではないことに留意されたい。
例示される実施形態における各導管セクションは、単一平面においてスパイラル形状として形成され得る。例えば、第１の導管セクション１０２は、単一平面Ｓ１におけるスパイラル形状として形成され得、第２の導管セクション１０４は、単一平面Ｓ２におけるスパイラル形状として形成され得る。第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４は、同じ向きを有する、すなわち、両方とも時計回り又は反時計回りのいずれかの旋回スパイラルであることが好ましい。しかしながら、それぞれ第１の導管セクション１０２及び第２の導管セクション１０４内の液体の流れの向きは、それが第１の導管セクション１０２の外側部分から第１の導管セクション１０２の内側部分に向かって半径方向に流れ、第２の導管セクション１０４の内側部分から第２の導管セクション１０４の外側部分に向かって半径方向に流れるという点で反対である。
更に、ここでは、外側電流導体１６４及び内側電流導体１６６が設けられている。電流Ｉは、外側電流導体１６４から、導管セクション及び任意選択で、電流が各導管セクション内を移動することを可能にするように構成された相互接続配置を介して、内側電流導体１６６に向けられる。これによって、電流は、導管の一方の側から導電性液体を介して導管の反対側に流れ、更に、任意選択的に相互接続配置を介して導管の近くの部分に流れる。
磁界発生装置は、第１の導管セクション１０２の入口側１１１に配置された第１の磁界発生器１４８であって、タイプ２の磁極１５４が第１の導管セクション１０２に向かって軸方向に面し、タイプ１の磁極１５２が第１の導管セクション１０２から離れるように軸方向に面した状態で配置された第１の磁界発生器１４８と、第１の導管セクション１０２の出口側１１３及び第２の導管セクション１０４の入口側１１５に配置された第２の磁界発生器１５０であって、タイプ２の磁極１５４が第２の導管セクション１０４に向かって軸方向に面し、タイプ１の磁極１５２が第１の導管セクション１０２に向かって軸方向に面した状態で配置された第２の磁界発生器１５０とを備え、タイプ１の磁極及びタイプ２の磁極は、反対の磁極である。
中間導管１５７は、ここでは、第１の導管セクション１０２と第２の導管セクション１０４との間に配置され、中間導管１５７は、第１の導管セクション１０２の出口１１２と第２の導管セクション１０４の入口１１４との間の流体接続を提供する。
ここで図７を参照すると、導電性液体の液体ターゲット１７４を形成するように構成されたノズルを備える液体ターゲット発生器１７２と、Ｘ線放射１７７を発生させるために液体ターゲット１７４と相互作用する電子ビームを提供するように構成された電子源１７６と、本発明の概念による電磁ポンプ１００とを備えるＸ線源１７０が例示されている。液体ターゲット１７４は、液体ジェットであり得る。従って、本発明の概念の電磁ポンプ１００は、液体ジェットを提供するように構成され得、及び／又は、液体ジェットを提供するのに適しているであろう。Ｘ線源１７０は、低圧チャンバ１７８又は真空チャンバ１７８を更に備え得る。再循環経路１８０はまた、液体ターゲット発生器１７２から排出される液体を収集するための収集リザーバ１８２と液体接続し、かつ液体ターゲット発生器１７２と液体接続するように配置され得る。発生したＸ線放射１７７は、Ｘ線透過窓１８４を通る透過によりＸ線源１７０から出ることができる。
図７に例示されるように、電磁ポンプ１００は、電子源１７６に比較的近接して真空チャンバ１７８内に配置され得る。従って、ポンプが電子ビームと磁気的に干渉しないように対策を講じることが有利であり得る。これを考慮した実施形態について、図８を参照して説明する。
本開示による電磁ポンプの２つのセクションの概略断面図が図８に示されている。図８は図３と同様であり、この説明では同じ参照番号が使用される。しかしながら、図を煩雑にしないために、図８ではいくつかの参照番号が省略されている。液体金属は、中心コアの周りに巻かれた管、例えば薄壁ステンレス鋼管内で輸送される。管内の液体金属の流れ方向は、点（図の平面から外に出る流れ）及び×印（図の平面内に入る流れ）で示される。
いくつかの実施形態では、液体を管の外側に流すこともでき、それによって、管壁の両側間の圧力差を低減させることができる。より一般的には、管（すなわち、液体金属用の導管）は、非圧縮性媒体中に浸漬又は埋設され得る。そのような非圧縮性媒体は、管の内側と同じ液体金属の並流であり得か、又は管の内側の液体金属から分離された別の液体であり得る。非圧縮性媒体が、例えば、エポキシのような非圧縮性ポッティング化合物であることも考えられる。非圧縮性媒体はまた、隣接する管壁間の電気的接続を提供し得る。
液体金属を通る磁界を最大にし、それによって、ポンプ力を最大にするために、内側コアＣ及び外側ヨークＹは、強磁性材料から作られることが好ましい。従って、コア及び外側ヨークは両方とも、鉄、磁性鋼などを含むことができる。図８の実施形態では、磁界発生器は、コアとヨークとの間に配置された永久磁石である。永久磁石は、磁界の発生のために電気的なフィードスルーが必要ではなく、それにより、より複雑でない設計を可能にするため、有利であり得る。
１つのセクションの長さは、図８において矢印ｂで示されている。図に示すように、各セクションには永久磁石がある。１つのセグメントの長さｂは、（鉄）コアの飽和磁化によって制限される。円対称を仮定すると（これは典型例であり得る）、この条件は次のように書き表すことができる：
これは、次のように書き換えることができる：
ここで、Ｂは、磁石によって提供される磁界強度であり、Ｂｓは、（鉄）コアの飽和磁化であり、φCはコアの直径である。
外側ヨークＹの対応する議論から、磁界を封じ込めるためのヨークの最小の厚さが得られる。この場合も同様に、ヨークの内径をφ１とし、ヨークの外径をφ２とする円対称の場合、以下の条件が適用される、
これは、次のように書き換えることができる：
コアにおいて可能な限り多くの磁束を利用することに相当する上限を上記ｂに挿入すると、この式は、次のように変換される：
そして、ヨークの内径がコアの直径に近づく極限の場合では、これは更に、次のように変換される：
従って、ヨークの厚さは、同じ極限では、次のように書き表すことができる：
ヨークの厚さがコア直径の少なくとも２０％であるべきであることは理解され得る。多くの実施形態では、磁石は、無視できない厚さを有し、液体金属を運ぶ管のための空間を作るためにコアとヨークとの間にはギャップが必要である。コアの外側からヨークの内側までの半径方向距離をｔで示すと、以下が適用される：
従って
であり、これは、次のように書き換えることができる：
ｔが小さい極限（すなわち、薄い磁石及び狭いギャップ）では、この最後の不等式は、次のように近似することができる：
従って、この極限では、ヨークの厚さは、次のように書き表すことができる：
従って、好ましい実施形態では、外側ヨークは、コアの厚さの少なくとも２０％にコアの外側とヨークの内側との間の半径方向距離の６％を足した厚さを有する。
従って、上で説明したように、外側ヨークの厚さが、コア直径の少なくとも２０％、又は好ましくはコア直径の少なくとも２０％にコアとヨークとの間の半径方向距離の６％を足したものである実施形態は、磁気漏れが防止されるか又は少なくとも大幅に低減され、それによって、電子ビームとの干渉が排除されるか、又は少なくとも大幅に低減されるという利点を有する。厚い外側ヨークはまた、液体金属を運ぶ管内及び管の周りの圧力を高く維持することができるという追加の利点を有する。
本発明のいくつかの実施形態では、磁気回路内のギャップの寸法を考慮することも好まれ得る。高温での性能の劣化を回避するために、磁気回路内のギャップは、可能な限り小さくされるべきである。しかしながら、ギャップを小さくすると、ポンプ容量が減少し得る。この点についての考察を以下で説明する。
永久磁石に基づいて電磁ポンプを設計するとき、磁石材料の特性を考慮する必要がある。希土類永久磁石、特にネオジム系のものは、少なくともいくつかのパラメータ範囲にわたって可逆的な線形挙動を示す。これにより、それらは、この種のデバイスに特に適したものになる。しかしながら、温度が上昇すると、高い減磁界では線形関係が崩れる。この欠点は、作用点が十分に高い誘導磁界に対応する場合、回避され得る。ネオジム磁石のような希土類磁石の場合、誘導磁界の大きさは、一般に、減磁界の大きさよりも大きく、すなわち、Ｂｍ＞－μ０Ｈｍである。
図９を参照すると、円筒形状の場合で、磁界（field）が周囲に漏れないと仮定すると、以下の式を設定することができる：
ここで、Ｂｍは誘導磁界であり、Ｈｍは減磁界であり、Ｌｍは磁石内の経路の平均長であり、Ａｍは磁石の平均面積であり、Ｐは外部パーミアンス、この場合は円筒磁石とコアとの間のアニュラス、である。アニュラスにおける相対浸透率を１、磁石長をＬ、磁石の外径をＤｙ、磁石の内径をＤ０、コアの直径をＤｉとすると、次式が得られる：
ここで、Ｄｍは、平均磁石直径を表す。従って、上述の条件Ｂｍ＞－μ０Ｈｍを、次のように書き表すことができる：
コアと磁石との間のギャップをδ／２に設定することで、上記不等式を、次のように書き換えることができる：
ギャップがコアの直径と比較して小さいと仮定すると、以下のように近似することができる：
これらは、次のように並び替えられ得る、
図９は、上記の式で使用される尺度（measures）を例示しており、また、磁石とコアとの間の環状空間内に設けられた螺旋導管を示している。理解されるように、実際の実施形態はまた、磁気回路を完成するためにヨークも含むが、このようなヨークは、明確さのために、図９には示されていない。交互の磁石の極性及び導管の巻き方向を持つ複数のセクションを有する実施形態を使用して、所望のポンプ性能を達成することができる。図９では、磁石は、半径方向に磁化された単一の中空円筒として示されているが、代替的に、円筒形状を得るように組み立てられた複数の弧状磁石から構成され得る。
導管にわたる圧力降下は、導管の直径が増大するにつれて急速に（４乗に（to the fourth power））減少する。これは、導管の直径、ひいては磁気回路内のギャップを大きく作る実装形態を助長する。しかしながら、ギャップが大きくなるにつれて有効磁界も減少するため、ポンプの効率が低下する。磁界の減少は、ギャップサイズの比較的弱い関数である。好ましい実施形態は、ギャップサイズが上記で導出された限界値δ／２に近い。
本発明の概念は、主に、いくつかの実施形態を参照して上で説明されている。しかしながら、当業者には容易に理解されるように、上で開示されたもの以外の他の実施形態も、添付の特許請求の範囲によって定義される本発明の概念の範囲内で等しく可能である。
以下に、出願当初の特許請求の範囲に記載の事項を、そのまま、付記しておく。
［１］ 液体金属ジェットを提供するためのノズルと、
Ｘ線放射が発生するように前記液体金属ジェットと相互作用する電子ビームを提供するための電子源と
前記ノズルに液体金属を提供するための電磁ポンプと、
を備え、
前記電磁ポンプは、第１の直径と、前記第１の直径の少なくとも２０％の厚さを有する外側ヨークとを有するコアを備える、
液体金属ジェットＸ線源。
［２］ 前記コアの外周と前記外側ヨークの内周との間に距離が存在し、前記外側ヨークの前記厚さは、前記第１の直径の少なくとも２０％に前記距離の６％を足したものである、［１］に記載の液体金属ジェットＸ線源。
［３］ 前記コア及び前記外側ヨークは、鉄又は磁性鋼を含む、［１］又は［２］に記載の液体金属ジェットＸ線源。
［４］ 前記液体金属ジェットを形成する材料を収集し、前記電磁ポンプの入口に輸送するためのコレクタを更に備える、［１］～［３］のいずれか一項に記載の液体金属ジェットＸ線源。
［５］ 前記電磁ポンプは、
入口から出口に前記液体金属を輸送するための、前記コアの周りに巻線状に配置された導管と、
前記導管を通る半径方向の磁界を提供する、前記コアと同心円状に配置された永久磁石と、
前記磁界に実質的に垂直に及び前記コアに沿って軸方向に前記導管を通る電流を提供するための電流源と
を備える、［１］～［４］のいずれか一項に記載の液体金属ジェットＸ線源。
［６］ 少なくとも、前記コアの軸方向に沿った第１のセグメント及び第２のセグメントを備え、第１の永久磁石は前記第１のセグメントに配置され、第２の永久磁石は前記第２のセグメントに配置され、前記第１の永久磁石及び第２の永久磁石は、反対の磁界の向きで配置され、前記第１のセグメントにおける前記導管の巻き方向は、前記第２のセグメントにおける前記導管の巻き方向と反対である、［５］に記載の液体金属ジェットＸ線源。
［７］ 液体金属を、前記導管の壁の内側及び外側の両方に流すことができる、［５］又は［６］に記載の液体金属ジェットＸ線源。
［８］ 前記導管は、非圧縮性媒体中に浸漬されている、［５］又は［６］に記載の液体金属ジェットＸ線源。
［９］ 前記導管は、非磁性材料から作られる、［５］～［８］のいずれか一項に記載の液体金属ジェットＸ線源。
［１０］ 前記電磁ポンプは、少なくとも１００バールの圧力で前記ノズルに液体金属を提供するように構成されている、［１］～［９］のいずれか一項に記載の液体金属ジェットＸ線源。
［１１］ 前記液体金属ジェットＸ線源は、前記ノズルから自由伝播ジェットとして前記液体金属ジェットを提供するように配置されている、［１］～［１０］のいずれか一項に記載の液体金属ジェットＸ線源。
［１２］ 真空チャンバを更に備え、前記ノズル、前記電子源、及び前記電磁ポンプは、前記真空チャンバ内に含まれている、［１］～［１１］のいずれか一項に記載の液体金属ジェットＸ線源。
［参照符号のリスト］
Ａ 主軸
ｂ セグメント長
Ｃ コア
Ｉ 電流
Ｍ 主流方向
Ｎ 磁北極
Ｓ 磁南極
Ｓ１ 単一平面
Ｓ２ 単一平面
ｔ コアとヨークとの間の半径方向距離
Ｙ ヨーク
φｃ コア直径
φ１ ヨークの内径
φ２ ヨークの外径
１００ 電磁ポンプ
１０２ 第１の導管セクション
１０４ 第２の導管セクション
１０６ 導管セクション
１０８ 導管セクション
１１０ 入口
１１１ 入口側
１１２ 出口
１１３ 出口側
１１４ 入口
１１５ 入口側
１１６ 出口
１２０ 電流発生器
１２２ 磁界発生装置
１２４ 主入口
１２６ 主出口
１２８ ヨーク
１２９ コア
１３０ エンドピース
１３２ エンドピース
１３６ 蓋
１３８ 蓋
１４０ 第１のコイル
１４２ 第２のコイル
１４４ 流れ方向
１４５ 流れ方向
１４６ 流れ方向
１４７ 流れ方向
１４８ 第１の磁界発生器
１５０ 第２の磁界発生器
１５２ タイプ１の磁極
１５４ タイプ２の磁極
１５６ 中間リザーバ
１５８ 外壁
１６０ 第１の直径
１６１ 第１のコイル径
１６２ 中間導電要素
１６３ 第２の直径
１６４ 外側電流導体
１６５ 第２のコイル径
１６６ 内側電流導体
１７０ Ｘ線源
１７２ 液体ターゲット発生器
１７４ 液体ターゲット
１７６ 電子源
１７７ Ｘ線放射
１７８ 低圧チャンバ／真空チャンバ
１８０ 再循環経路
１８２ 収集リザーバ
１８４ Ｘ線透過窓

Claims (9)

  1. 液体金属ジェットを提供するためのノズルと、
    Ｘ線放射が発生するように前記液体金属ジェットと相互作用する電子ビームを提供するための電子源と
    前記ノズルに液体金属を提供するための電磁ポンプと、
    を備える液体金属ジェットＸ線源であって、
    前記電磁ポンプは、第１の直径を有するコアと、前記第１の直径の少なくとも２０％の厚さを有する外側ヨークとを備え、
    前記電磁ポンプは、
    入口から出口に前記液体金属を輸送するための、前記コアの周りに巻線状に配置された導管と、
    前記導管を通る半径方向の磁界を提供する、前記コアと同心円状に配置された永久磁石と、
    前記磁界に実質的に垂直に及び前記コアに沿って軸方向に前記導管を通る電流を提供するための電流源と、
    を備える、液体金属ジェットＸ線源。
  2. 前記コアの外周と前記外側ヨークの内周との間に距離が存在し、前記外側ヨークの前記厚さは、前記第１の直径の少なくとも２０％に前記距離の６％を足したものである、請求項１に記載の液体金属ジェットＸ線源。
  3. 前記コア及び前記外側ヨークは、鉄又は磁性鋼を含む、請求項１又は２に記載の液体金属ジェットＸ線源。
  4. 前記液体金属ジェットを形成する材料を収集し、前記電磁ポンプの入口に輸送するためのコレクタを更に備える、請求項１～３のいずれか一項に記載の液体金属ジェットＸ線源。
  5. 少なくとも、前記コアの軸方向に沿った第１のセグメント及び第２のセグメントを備え、第１の永久磁石は前記第１のセグメントに配置され、第２の永久磁石は前記第２のセグメントに配置され、前記第１の永久磁石及び第２の永久磁石は、反対の磁界の向きで配置され、前記第１のセグメントにおける前記導管の巻き方向は、前記第２のセグメントにおける前記導管の巻き方向と反対である、請求項１～４のいずれか一項に記載の液体金属ジェットＸ線源。
  6. 前記導管は、非磁性材料から作られる、請求項１～５のいずれか一項に記載の液体金属ジェットＸ線源。
  7. 前記電磁ポンプは、少なくとも１００バールの圧力で前記ノズルに液体金属を提供するように構成されている、請求項５に記載の液体金属ジェットＸ線源。
  8. 前記液体金属ジェットＸ線源は、前記ノズルから自由伝播ジェットとして前記液体金属ジェットを提供するように配置されている、請求項１～７のいずれか一項に記載の液体金属ジェットＸ線源。
  9. 真空チャンバを更に備え、前記ノズル、前記電子源、及び前記電磁ポンプは、前記真空チャンバ内に含まれている、請求項１～８のいずれか一項に記載の液体金属ジェットＸ線源。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4102070A1 (en) 2021-06-11 2022-12-14 Excillum AB Electromagnetic pump
EP4380021A1 (en) * 2022-12-01 2024-06-05 Excillum AB Current-protected electromagnetic pump arrangement and method

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007533093A (ja) 2004-04-13 2007-11-15 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 液体金属アノードを有するｘ線発生装置
WO2010112048A1 (en) 2009-04-03 2010-10-07 Excillum Ab Supply of a liquid-metal target in x-ray generation
WO2012087238A1 (en) 2010-12-22 2012-06-28 Excillum Ab Aligning and focusing an electron beam in an x-ray source
WO2013185829A1 (en) 2012-06-14 2013-12-19 Excillum Ab Limiting migration of target material
JP2017224490A (ja) 2016-06-15 2017-12-21 ウシオ電機株式会社 Ｘ線発生装置
JP2019515623A (ja) 2016-05-03 2019-06-06 タタ、スティール、ネダーランド、テクノロジー、ベスローテン、フェンノートシャップＴａｔａ Ｓｔｅｅｌ Ｎｅｄｅｒｌａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｂｖ 電磁ポンプの温度制御方法
JP2019525386A (ja) 2016-06-21 2019-09-05 エクシルム・エービー イオン化ツールを有するｘ線源
JP2020516033A (ja) 2017-04-05 2020-05-28 エクシルム・エービー 蒸気の監視

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB885774A (en) * 1957-05-24 1961-12-28 English Electric Co Ltd Improvements in and relating to linear electro-magnetic induction liquid pumps
US2905089A (en) * 1957-10-15 1959-09-22 British Thomson Houston Co Ltd Dynamo-electric machines
FR90258E (fr) * 1963-09-04 1967-11-18 Pompe électro-magnétique
US3198119A (en) 1963-09-04 1965-08-03 George N J Mead Electro-magnetic pump
US3302573A (en) * 1964-06-05 1967-02-07 Ledeen Julian Louis Apparatus for pumping liquid metals
GB1114979A (en) * 1966-02-05 1968-05-22 George Nathaniel Jackson Mead Electro-magnetic pump
GB1174961A (en) * 1967-01-03 1969-12-17 Mine Safety Appliances Co Apparatus for Pumping Liquid Metals
DE3681653D1 (de) 1985-08-08 1991-10-31 Interatom Elektromagnetische schraubenkanalpumpe fuer fluessigmetalle mit innenliegenden mehrphasenspulen.
JPS63174555A (ja) 1987-01-12 1988-07-19 Power Reactor & Nuclear Fuel Dev Corp 導電式電磁ポンプ
US4953191A (en) * 1989-07-24 1990-08-28 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy High intensity x-ray source using liquid gallium target
US5209646A (en) 1991-10-16 1993-05-11 The University Of Chicago Electromagnetic induction pump for pumping liquid metals and other conductive liquids
JP4570342B2 (ja) * 2003-08-01 2010-10-27 シナノケンシ株式会社 電磁ポンプの固定子
JP4211528B2 (ja) * 2003-08-01 2009-01-21 パナソニック株式会社 導電性流体の供給装置及び供給方法
JP2007090379A (ja) * 2005-09-28 2007-04-12 Nihon Dennetsu Keiki Co Ltd はんだ付け装置及びはんだ付け装置の始動方法
US20070269322A1 (en) * 2006-05-19 2007-11-22 Falk Theodore J Low power electromagnetic pump
CN102484938B (zh) * 2009-09-01 2014-12-10 株式会社Ihi 等离子体光源
CN202017197U (zh) 2011-03-09 2011-10-26 上海城地建设发展有限公司 多节h型钢筋砼板桩焊接结构
CN102611276B (zh) * 2012-03-30 2014-03-12 中国科学院合肥物质科学研究院 一种高温液态金属磁力驱动泵
EP2952743B1 (en) * 2013-01-31 2022-05-11 Edwards Japan Limited Vacuum pump
DE102014006063A1 (de) * 2014-04-25 2015-10-29 Microliquids GmbH Strahlerzeugungsvorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Flüssigkeitsstrahls
CN205017197U (zh) * 2015-10-16 2016-02-03 北京依米康科技发展有限公司 一种新型液态金属电磁泵

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007533093A (ja) 2004-04-13 2007-11-15 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 液体金属アノードを有するｘ線発生装置
WO2010112048A1 (en) 2009-04-03 2010-10-07 Excillum Ab Supply of a liquid-metal target in x-ray generation
WO2012087238A1 (en) 2010-12-22 2012-06-28 Excillum Ab Aligning and focusing an electron beam in an x-ray source
WO2013185829A1 (en) 2012-06-14 2013-12-19 Excillum Ab Limiting migration of target material
JP2019515623A (ja) 2016-05-03 2019-06-06 タタ、スティール、ネダーランド、テクノロジー、ベスローテン、フェンノートシャップＴａｔａ Ｓｔｅｅｌ Ｎｅｄｅｒｌａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｂｖ 電磁ポンプの温度制御方法
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