JP4211528B2 - 導電性流体の供給装置及び供給方法 - Google Patents

Description

本発明は、情報・精密機器、ＦＡ、ディスプレイ、表面実装、半導体などの様々な分野の生産工程で利用価値の高いはんだなどの導電性流体の供給装置及び供給方法に関するものである。

ＭＨＤポンプ（Ｍａｇｎｅｔｏ−Ｈｙｄｒｏｄｙｎａｍｉｃ Ｐｕｍｐ、磁気流体力学ポンプ、電磁ポンプ）とは、液体金属などの導電性流体を輸送流体として用いて、電気エネルギを機械エネルギに変換するポンプの総称である。このＭＨＤポンプは、Ｎａ、Ｋの混合金属流体を輸送する原子炉、プラズマ流体による超伝導発電、アルミ亜鉛合金の鋳造工程など、主に重工業の分野で開発され実用化されてきた技術である。

ＭＨＤポンプは、基本的には「誘導型」と「伝導型」に分類できる。誘導型ＭＨＤポンプは、その動作原理から非同期発電機に類似しており、誘導型は伝導型と比べて、１）無電極であること、２）商用電源がそのまま使えること、３）低圧直流変換機が不要であることなどの利点を有する。

三相誘導型の電磁ポンプは、三相交流巻線を電磁ポンプの流れの方向に各相の順に分布させて配置し、この三相交流巻線に三相交流電流を流して、この電流の流れの方向に進行磁界を発生させ、この進行磁界を導電性流体の存在するダクトの中を通すように構成されている。フレミングの右手の法則により導電性流体中に電圧が誘起され、これによって誘導電流が流れる。この誘導電流と進行磁界の一部の成分とが作用して電磁力となり、導電性流体を流すように力を受けることからポンプとして作用する。この電磁力は誘導電動機におけるトルク、リニアモータにおける推力と同一である。

この三相誘導型の電磁ポンプは、構造上大別してアニュラ（円筒形状）・リニア型電磁ポンプと、フラット・リニア型電磁ポンプとの２種類に分けられる。

アニュラ・リニア型電磁ポンプは、例えば、特許文献１に開示されているものが知られており、導電性流体の流路断面が環状であることから、ＡＬＩＰ（Ａｎｎｕｌａｒ Ｌｉｎｅａｒ Ｉｎｄｕｃｔｉｏｎ Ｐｕｍｐ）と呼ばれ、ダクト構造の信頼性、安全性の高いことから、大容量ポンプ、高い信頼性が要求される導電性流体のポンプとして採用されている。

このＡＬＩＰの基本的な従来構造を図３１、図３２に示す。

この電磁ポンプ１は矢印で示す例えば液体金属ナトリウムなどの導電性流体２を吸込口から吐出口へ圧送するために、外側ダクト３および内側ダクト４により同心状の二重管構造の二重ダクト５を構成して、この外内ダクト３、４により画成された環状のアニュラス流路６を形成し、このアニュラス流路６に導電性流体２を通すようになっている。

外側ダクト３の外側には複数枚の電気鉄板を周方向に積み重ねた外側積層鉄心７を直径方向に間隙８を置いて配置すると共に、この複数の積層鉄心７を周方向に等配し、各外側積層鉄心７に形成した複数のスロット９内には環状の外側固定子コイル（ステータ）１０を嵌合固定し、交流磁場の磁気回路を形成している。この場合、外側積層鉄心７は、そのスロット９と外側固定子コイル１０とが内側（外側ダクト３側）に位置するように全体が放射状に設けられている。この外側固定子コイル１０は外側ダクト３の軸方向に所定のピッチで多数配置され、三相交流電流が進行磁場を作るように結線されている。

そして、内側ダクト４の内部には磁気回路を形成するための内側積層鉄心１１が収納されている。これにより、導電性流体２が吸込口である流体入口１２からアニュラス流路６を流れながら進行磁界を受けて電圧が誘起されて吐出口である流体出口１３から外部へ圧送される。

また、この電磁ポンプ１の大容量化とコンパクト化とを図る場合はこの内側鉄心１１にも内側固定子コイル１５を配置し、外側固定子コイル１０と内側固定子コイル１５により励磁することで、進行磁界を増強してポンプ力を増強させている。
特開平９−０６５６４１号公報

近年、環境を考慮した技術の導入と開発が重要視されており、なかでも鉛フリー化技術が環境と資源を守る技術として注目されている。鉛フリーの定義は「それぞれの区分において、鉛フリー化すべき所定部位のＰｂ含有量が０．１％未満とする」とされている。

例えば、プリント回路基板のはんだ付け工程では、溶融はんだを基板に吹き付ける噴流式はんだ付け装置が広く用いられているが、鉛フリーはんだへの移行に伴い、不純物溶け込みによる液組成変化が量産時の大きな課題となっている。はんだ液に組成変化が生じた場合、剥離、クラックが発生して、接合部の信頼性を低下させる。また、ブリッジ、赤目の発生により品質を著しく低下させる等のトラブルが発生した。従って、溶液はんだを用いる量産現場では、はんだ槽の液組成状態をいかにしてきめ細かく管理できるかが大きな課題となった。

その有力な方策が、はんだ槽の状態をリアルタイムで把握するインライン型の不純物センシングシステムの実現である。この不純物センシングシステムをはんだフロー装置と組み合わせて用いる場合、はんだ槽から少量のはんだを溶融状態のままで抽出するために、少量の溶融はんだを精度良く輸送できる、信頼性の高い輸送ポンプが必要となった。

また、多品種少量生産への推移に伴い、従来の量産工程ではんだフロー装置によりなされていたような基板全体を一挙にはんだ付けするのではなく、必要な箇所のみに局所的にはんだ付けをする要望も多い。

これらの要望を満足するはんだ輸送ポンプの仕様は以下のようであった。

１）高温３００℃以上の雰囲気で使用できる。

２）高耐久性…酸化物が発生しても流路の詰まりなどのトラブルがない。

３）微少流量制御ができ、かつ高い流量精度が得られる。

４）シンプル構造でメンテナンスが容易。

しかしながら、従来の機械的摺動を伴い、それ故に摺動部の潤滑を必要とするポンプ、例えば、スクリュ式、スクロール式、ピストン式、ギヤ式、ベーン式等々、数多くある従来ポンプの形態の中からいずれを選択しても、上記１）〜４）を同時に満足できるポンプの実現は困難であった。

主に、重工業の分野で開発され実用化されてきたＭＨＤポンプ（電磁ポンプ）を、情報・通信機器、ディスプレイ、電気商品などの民生機器を対象とする回路基板のはんだ付け装置に適用するための開発が既になされている。

図３３は、フラット・リニア型電磁ポンプを用いたはんだ付け装置３２を示すもので、特開２００１−３４６３７４号公報に開示されているものである。フラット・リニア型電磁ポンプは、平板状導管の長さ方向に進行磁界を形成して、導電性流体を輸送するものである。ステンレス鋼板などの非磁性板で形成したはんだ槽３３に、導電性流体としての溶融はんだ３４が収容され、電磁ポンプ３１は、はんだ槽３３を形成する非磁性板としての縦方向の側板３５に沿って、この側板３５の外面に、冷却用ヨーク１５及び各巻線ユニット１６が装着された１次側鉄心１２が当接されている。

この１次側鉄心１２に沿って側板３５の内部に、２次側導体としての導電性流体である溶融はんだ３４ａの通路３６が形成され、この通路３６を介してはんだ槽３３の内部にバックアイアン３７が平行に設置されている。通路３６の下端には吸込口３８が、上端には吐出口３９がそれぞれ開口されている。

この電磁ポンプ３１の吐出口３９に、溶融はんだ３４ａをはんだ面より上方へ噴流するノズル４１が連通されて、はんだ付け装置が構成されている。ノズル４１内には、多数の小孔を穿設して形成した整流板４２が設けられている。

このはんだ付け装置３２の電磁ポンプ３１は、１次側鉄心１２、冷却用ヨーク１５、溶融はんだ３４ａの通路３６およびバックアイアン３７が、はんだ槽３３の縦方向の側板３５に沿って縦方向に設けられ、また、冷却用ヨーク１５は、内部に冷却流体の流路２１が縦方向に設けられ、１次側鉄心１２とは反対側面に開口部２２が設けられ、１次側鉄心１２と背中合せに密着され、流路２１の下端および上端は開口されている。

そして、前記冷却用ヨーク１５が組込まれた１次側鉄心１２の歯１４は、はんだ槽３３の側板３５の外面に当接され、この側板３５の内側に溶融はんだ３４ａの通路３６を介してバックアイアン３７が配置されている。

各巻線ユニット１６のコイルに３相交流を供給して、１次側鉄心１２の各歯１４、溶融はんだ３４ａの通路３６及びバックアイアン３７を経た移動磁界を発生させると、通路３６内の溶融はんだ３４ａに上向きの推力が生じ、通路３６内を汲み上げられた溶融はんだ３４ａは、ノズル４１より噴流して、部品実装基板などのワーク４３にはんだ付けされる。

はんだ付け装置に適用されたフラット・リニア型電磁ポンプ、或いは重工業の分野で開発されたアニュラ・リニア型電磁ポンプは、何れも大流量の導電性流体輸送を目的として開発されたものである。したがって、前述した不純物センシングシステム、或いは局所はんだ付け装置等への適用を考えたとき、
１）ポンプ構造、制御系共に複雑な構成になってしまう。

２）微少量の溶融はんだを高精度で輸送でき、かつきめ細かな流量制御を必用とするポンプとしてはギャップが大きい。

従って、従来電磁ポンプの適用は容易でなく、新たな構想による導電性流体ポンプの開発が必要となった。

本発明の第１発明に係る導電性流体の供給装置は、輸送面を隔てて覆うハウジングと、前記輸送面と前記ハウジングで形成されるポンプ室と、このポンプ室と外部を連絡する吸入口及び吐出口と、前記ポンプ室と間隙を保って円周上に配置された複数個の電極部材と、この複数個の電極部材に回転磁界を与える電源と、前記回転磁界で導電性流体内に誘起される電流と前記回転磁界の電磁誘導作用によって、前記導電性流体に円周方向流動作用を与えるように構成される導電性流体の供給装置であって、前記輸送面の外表面或いは前記ハウジングの内面にねじ溝が前記ポンプ室内に形成されており、かつ、前記ねじ溝はリッジと輸送溝の複数組で形成され、前記電極部材のひとつの磁極は複数の輸送溝を覆うように形成され、ひとつの磁極が輸送溝ａを覆う面積をＳａ，隣合う輸送溝ｂを覆う面積をＳｂとして、評価指数をφ＝｜Ｓａ−Ｓｂ｜／（Ｓａ＋Ｓｂ）と定義したとき、φ＜０．３であることを特徴とする。

また、輸送溝の溝深さδＧは、０．５ｍｍ＜δＧ＜４．５ｍｍの範囲であると好適である。

本発明により、次の特徴を持つ導電性流体の輸送ポンプが実現できる。

１）高温３００℃以上の雰囲気で使用できる。

２）高耐久性を有し、酸化物が発生しても流路の詰まりなどのトラブルがない。

３）微少流量を高速応答で制御ができ、かつ高い流量精度が得られる。

４）シンプル構造でメンテナンスが容易。

本発明の輸送ポンプを、例えば溶融はんだを微少流量制御できるフローはんだ付け装置に適用すれば、はんだ槽の液組成状態を常に高品位に保つと共に、従来は困難だった超微小領域の局所はんだ付けなどが可能となる。その効果は絶大である。

図１は、本発明の第１実施例を説明するモデル図である。図２はその側面図である。

図１及び図２において、１００はロータ部鉄心、１０１はポンプ軸、１０２はポンプ軸１０１の外表面（輸送面）を覆う筒状ハウジング、１０３はフロンントカバー、１０４はリアカバー、１０５はポンプ軸１０１の内部に形成された流通路（鎖線で示す）、１０６はポンプ軸１０１の外表面と筒状ハウジング１０２の内面の間に形成されたポンプ室、１０７は導電性流体、１０８はポンプ軸１０１の外表面に形成されたねじ溝（スパイラル溝）である。

ねじ溝１０８は、リッジ（峰）１０９とグルーブ（輸送溝）１１０から構成される。
１１１及び１１２は、ロータ部鉄心１００に形成された導電性流体１０７の吸入口及び吐出口である。上記部材１００〜１１２により、導電性流体供給ユニットのロータ部１１３（但し機械的に回転はしない）を構成している。

１１４ａ〜１１４ｄは、電磁石の固定子磁極、１１５ａ〜１１５ｄは前記固定子磁極のそれぞれに巻かれた電磁コイル、１１６は磁気回路のヨークを兼ねた外部ケースである。上記部材１１４ａ〜１１４ｄ、１１５ａ〜１１５ｄ、１１６により回転磁界を発生するためのステータ部１１７を構成している。

ポンプ軸１０１と筒状ハウジング１０２は、本実施例では、何れも非磁性かつ非導電性材料であるセラミクスを用いており、渦電流の発生はなく、磁気回路に与える影響もない。筒状のポンプ軸１０１の内部には、磁性材料であるロータ部鉄心１００が挿入されており、２つの対極する固定子磁極を繋ぐ磁気回路の一部を構成している。

電磁コイル１１５ａ〜１１５ｄに交流電流を流して回転磁界が形成されると、充填された導電性流体１０７の一部に渦電流が発生する。この渦電流と磁界の作用によるフレミングの左手の法則により、導電性流体は円周方向に力を受けて、ねじ溝１０８が形成されたポンプ軸１０１の回りを回転する。更に導電性流体の円周方向流動を、ねじ溝１０８により軸方向流動に変換する。その結果、導電性流体は吸入側１１１から吐出側１１２へ輸送される。

本実施例では、吸入口１１１及び吐出口１１２はロータ部鉄心１００に形成したが、例えば、フロンントカバー１０３、リアカバー１０４に形成してもよい。

図３は本発明の第２実施例を示すモデル図で、スラスト円盤上にスパイラル溝（ねじ溝）を形成し、かつこの円盤上で回転磁界を発生させることにより、導電性流体の供給装置を構成したものである。

同図において、１５０はスラスト円盤、１５１はこのスラスト円盤に形成されたスパイラル溝（ねじ溝）、１５２はこのスパイラル溝を構成するリッジ（峰）、１５３はグルーブ（輸送溝）である。１５４はスラスト円盤１５０の表面を狭い隙間を隔てて覆うハウジング、１５５はハウジング１５４の中心部に形成された吸入口、１５５はスラスト円盤１５０の外周部に形成された吐出口、１５６ａ、１５６ｂは磁極を構成する電磁石の固定子磁極、１５７ａ、１５７ｂは上記スロットのそれぞれに巻かれた電磁コイルである。電磁石の固定子磁極と電磁コイルは円周上に複数個設けているが、図３ではそれぞれ２個のみ記している。

本実施例のポンプの動作原理は、第１実施例の場合と同様である。電磁コイル１５７ａ、１５７ｂに交流電流を流して回転磁界が形成されると、充填された導電性流体の一部に渦電流が発生する。この渦電流と磁界の作用によるフレミングの左手の法則により、導電性流体はスパイラル溝が形成されたスラスト円盤１５０上の回りを回転する力を受ける。この導電性流体の円周方向流動を、スパイラル溝により径方向流動に変換する。

その結果、導電性流体はスラスト円盤１５０の中心部（吸入口１５５）から外周部（吐出口１５５）へ輸送される。なお、スパイラル溝の角度を逆にするか、或いは回転磁界の方向を逆にすれば導電性流体の流動方向も逆（外周部→中心部へ流動）となる。

図４は本発明の第３実施例を示すモデル図で、回転磁界により円周方向に流動する導電性流体の流通路に仕切り板を設けることにより、導電性流体の供給装置を構成したものである。

同図において、２００はロータ部鉄心、２０１はポンプ軸、２０２は筒状のハウジング、２０３及び２０４は側板、２０５はポンプ軸２０１の外表面とハウジング２０２の内面の間に形成された円弧状のポンプ室、２０６は前記ポンプ室の流路を円周方向で遮蔽する仕切り板、２０７はベース台、２０８及び２０９は仕切り板２０６を隔ててベース台２０６に形成された導電性流体の吸入口及び吐出口である。

また、２１０ａ〜２１０ｃは、電磁石の固定子磁極、２１１はこの固定子磁極を固定しポンプ全体を収納すると共に、磁気回路のヨークを兼ねた外部ケース、２１２ａ〜２１２ｃは前記固定子磁極のそれぞれに巻かれた電磁コイルである。

また、ポンプ軸２０１とハウジング２０２は、何れも非磁性かつ非導電性材料であるセラミクスを用いており、渦電流の発生はなく、磁気回路に与える影響もない。

ポンプ軸２０１の内部には、磁性材料であるロータ部鉄心２００が挿入されており、隣り合う固定子磁極を繋ぐ磁気回路の一部を構成している。

電磁コイル２１２ａ〜２１２ｃに交流電流を流して回転磁界が形成されると、充填された導電性流体の一部に渦電流（図４）が発生する。この渦電流と磁界の作用によるフレミングの左手の法則により、導電性流体は円周方向に力を受けて、ポンプ軸２０１の回りを回転する。

なお、ポンプ室の一部に仕切り板を設けて、導電性流体がポンプ室と外部と出入りするポンプ作用を与える方法は、第２実施例で示したようなスラスト円盤の場合でも適用できる。また、後述するポンプの効率アップを図る方法、ポンプを流量センサとして用いる方法等も本構造が適用できる。何れの場合でも、ねじ溝を輸送面に形成する必要がないため、構成はより簡素になる。

以上の実施例は何れも導体の表面に発生する渦電流を利用して、導電性流体を輸送させる方法であった。

以下、ポンプの効率を向上させる方法について、誘導モータの基本原理として知られる「アラゴの円盤」（図６（イ）（ロ））に立ち返り考察する。

同図において、７００は導体円盤、７０１は永久磁石、７０２及び７０３は磁極の固定子磁極である。導体円盤７００が図の矢印のごとく時計方向に回転すると、例えば、固定子磁極７０２の両端部７０３、７０４近傍の導体円盤７００上で、渦電流７０５、７０６が生じる。すなわち、磁界Ｈの変化を妨げる向きに新たな磁界が発生するように、渦電流が発生する。端部７０３近傍では、永久磁石７０１による磁束の減少を補う磁界が発生するように、右ねじの法則により右旋回する渦電流が発生する。逆に端部７０４近傍では、永久磁石に７０１よる磁束の増加を妨げる磁界が発生するように、左旋回する渦電流が発生する。ここで２つの渦電流７０５、７０６を、
１）スロット７０２の対向面上で導体円盤７００上に発生する電流
（７０５ａ、７０６ａとする）
２）スロット７０２の対向面上から外れた箇所で発生する電流
（７０５ｂ、７０６ｂとする）
とすると、磁界Ｈと上記１）の２つの電流７０５ａ、７０６ａの電磁誘導作用により、導体円盤７００には半時計方向の制動トルクが作用する。上記２）の２つの電流７０５ｂ、７０６ｂについては、磁界が作用しないため、トルクには影響を与えない。

要約すれば、永久磁石を固定した状態で導体円盤が回転する場合、導体円盤には、導体円盤を静止させるような制動トルクが発生する。逆に導体円盤が静止した状態で磁界が回転する場合は、導体円盤には回転磁界に追従するように同方向の回転トルクが作用する。電磁ポンプでは、この回転トルクが導電性流体を圧送するポンプ作用となる。

以上がアラゴの円盤を用いた誘導形モータ、誘導形電磁ポンプの駆動原理であるが、実際は、以下示す理由によって誘導形では大きな効率が得られない。

ここで、導体（導電性流体）上に発生する渦電流７０６（図７（イ））に注目する。理解を容易にするために、この渦電流を図７（ロ）の等価回路に置換えてみる。図７（ハ）は電流ループの各位置における電圧を示す。図７（ロ）から直感的にわかるように、導体面内にはリーク電流が発生するため、渦電流は導体表面に図６で示したような、明確な閉ループを持つ理想的な状態では発生できない。

図８は本発明の第４実施例を示すモデル図であり、磁気回路に閉ループを形成すると共に、ポンプ流路をかご形形状にして電流の閉ループを形成することにより、ポンプの高効率化を図ったものである。また、図９は図８の側面図で磁束がＢ→Ｂ’の方向に流れる場合、図１０は磁束がＡ→Ａ’の方向に流れる場合、図１１はかご形流路だけを抽出したモデル図である。

３００はロータ部鉄心、３０１はポンプ軸、３０２はポンプ軸３０１の外周部（輸送面）を覆う筒状ハウジング、３０３はポンプ軸３０１の外周部と筒状ハウジング３０２の内面の間に形成されたポンプ室、３０４は導電性流体、３０５ａはポンプ軸の外表面に形成されたねじ溝ポンプのリッジ（峰）である。

同様なリッジ３０５ｂ、３０５ｃ、３０５ｄがポンプ軸３０１円周方向で対称に形成されている。３０６ａはリッジ３０５ａと３０５ｂの間に形成されたグルーブ（輸送溝）である。同様な輸送溝３０６ｂ、３０６ｃ、３０６ｄが各リッジの間に形成されている。各輸送溝は軸芯に対して角度αの傾斜角を有する。輸送溝の角度α＞０ならば、後述する原理によって、流体は軸方向に流動する作用が得られる。

３０７は輸送溝とリッジの右端部に形成された吸入側環状流通路（吸入側共通流通路）、３０８は左端部に形成された吐出側環状流通路（吐出側共通流通路）、３０９及び３１０は、ロータ部鉄心３００に形成された導電性流体３０４の吸入口及び吐出口である。

本実施例では、リッジ３０５ａ〜３０５ｄの外表面と筒状ハウジング３０２の内面間の隙間は小さく、この部分での導電性流体３０４の出入りが無いように充分なシールがなされている。したがって各輸送溝は、吸入口と吐出口を除いて、外界と遮断された閉空間となるために、フレミング左手の法則により円周方向に流動する作用を受けても、隣り合う輸送溝間の流体リークは無い。その効果により、本実施例のポンプは高い輸送効率が得られる。

上記部材３００〜３１０により、導電性流体供給ユニットのロータ部３１１（但し機械的に回転はしない）を構成している。

３１２ａ〜３１２ｄは、電磁石の固定子磁極、３１３ａ〜３１３ｄは前記固定子磁極のそれぞれに巻かれた電磁コイル、３１４は磁気回路のヨークを兼ねた外部ケースである。上記部材３１２ａ〜３１２ｄ、３１３ａ〜３１３ｄ、３１４により回転磁界を発生するためのステータ部３１５を構成している。ポンプ軸３０１と筒状ハウジング３０２は何れも非磁性かつ非導電性材料であるセラミクスを用いており、渦電流の発生はなく、電磁誘導作用で誘起される電流と磁気回路に与える影響がない。

筒状のポンプ軸３０１の内部には、磁性材料であるロータ部鉄心３００が挿入されており、２つの対極する固定子磁極を繋ぐ磁気回路の一部を構成している。すなわち、図９の鎖線は回転磁界による磁束が、固定子磁極３１２ａ→磁極３１２ｃの方向（Ｂ→Ｂ’）だけに流れる場合を示す。この場合、磁気回路の閉ループ「固定子磁極３１２ａ→ロータ部鉄心３００→固定子磁極３１２ｃ→外部ケース３１４→固定子磁極３１２ａ」を形成している。

図１０に、回転磁界が丁度９０度進み、磁束が固定子磁極３１２ｂ→磁極３１２ｄの方向（Ａ→Ａ’）だけに流れる場合を示す。

本実施例の第１の実施例と異なる点のひとつは、ポンプ内部の導電性流体に流れる電流が明確な閉ループを形成しているという点である。

以下、その動作原理について、かご形流路だけを抽出したモデル図１１を用いて説明する。回転磁界によって形成される磁界Ｈが、図１１における矢印（図のＢ→Ｂ’の方向）に作用した時にスポットを当てる。

移動磁界が矢印Ａのごとく回転しているとする。この場合、磁界が静止していると仮定すれば、相対的には導体が矢印Ａとは逆方向に回転している場合と等価である。このとき、輸送溝３０６ａだけに注目すれば、溝３０６ａにはフレミング右手の法則により、吸入口（ＩＮ）近傍の導電性流体に起電力が誘導され、その結果、電流ｉが矢印（鎖線）のごとく、吸入口（ＩＮ）から吐出口（ＯＵＴ）の向きに流れる。

一方、ポンプ軸３０１の円周方向で１８０度異なる位置に形成された輸送溝３０６ｃだけに注目すれば、回転磁界の方向が逆になるために、電流ｉは吐出口（ＯＵＴ）から吸入口（ＩＮ）に向けて流れる。すなわち、電磁誘導作用によって誘起される電流ｉは、「輸送溝３０６ａ→吐出側環状流通路３０８→輸送溝３０６ｃ→吸入側環状流通路３０７→輸送溝３０６ａ」の明確な閉ループを描く。

更に、この電流ｉと磁界Ｈの作用により、フレミング左手の法則により、輸送溝内にある導電性流体は、円周方向の力ｆを受ける。輸送溝は、ポンプ軸３０１の軸芯に対してαだけ傾斜しているために、円周方向の力ｆの輸送溝方向成分（＝ｆｓｉｎα）が溝内の流体を輸送する力となる。その結果、導電性流体は矢印（実線）のごとく、吸入口（ＩＮ）から吐出口（ＯＵＴ）に向けて流動する。

輸送溝３０６ａの流体に起電力を誘導させる固定子磁極３１２ａは、隣り合う輸送溝３０６ｄも覆っているため、この輸送溝３０６ｄ内の流体にも同時に流動作用を与える。また、円周方向で１８０度異なる位置に形成された固定子磁極３１２ｃも同様に、隣り合う輸送溝３０６ｂ内の流体にも流動作用を同時に与える。つまり、１対の磁極間だけに磁束が流れる場合でも、本ポンプではすべての輸送溝に流動作用が与えられるのである。この効果により、本ポンプは極めて高い効率を得ることができるが、この理由について、図１２、図１３を用いてもう少し詳しく説明する。

図１２は輸送溝が形成されたポンプ軸３０１を、点ａ、ｂを切り口として、円周方向に展開したモデル図である。リッジ（３０５ａ〜３０５ｄ）と輸送溝３０６ａ〜３０６ｄ）がそれぞれ４個づつ形成されている。図１２（イ）は、回転磁界による磁束が、固定子磁極３１２ａ→磁極３１２ｃの方向（Ｂ→Ｂ’）だけに流れる場合を示す。図２４を参考にすれば、メインコイル電流が正のピーク位置にあり、始動コイル電流がゼロの位置にある場合（同図２））である。

図中の矢印は、磁界によって流体の流動作用が与えられている状態を示している。図１２（ロ）は、磁束が固定子磁極３１２ｂ→磁極３１２ｄの方向（Ａ→Ａ’）だけに流れる場合を示す。図２４を参考にすれば、メインコイル電流がゼロの位置にあり、始動コイル電流が負のピーク位置にある場合（同図３））である。

流体の流動作用を示す矢印の分布から、回転磁界が図１２（イ）及び図１２（ロ）のいずれの場合も、各輸送溝の流体には流動作用が与えられることがわかる。回転磁界が図１２（イ）と図１２（ロ）の中間にある場合は、全磁極に電流が供給されるため、すべての輸送溝の流体に流動作用が与えられる。

図１３は、本実施例ポンプの等価電気回路である。本実施例ポンプは圧力発生源Ｐｇと輸送溝自身の流体抵抗Ｐｇを直列和した流路が４セット並列に接続した等価回路で表現できる。また、ポンプの吸入側３１０と吐出側３０９はポンプ外部の流体抵抗Ｒｐに連結されている。

本実施例のポンプでは、ひとつの固定子磁極が２つの輸送溝を均等に覆っているため、各溝の流体に与えられる流動作用（等価回路では圧力発生源Ｐｇの大きさ）は等しい値となる。

図１２（イ）において、固定子磁極３１２ａが２つの輸送溝３０６ａ、３０６ｄを覆う部分を３１６、３１７とすれば、３角形部分３１６と３１７の面積は概略等しい。すなわち、各輸送溝の圧力発生源Ｐｇの値が等しくなるように固定子磁極の配置方法、輸送溝の傾斜角度などを設定すれば、各輸送溝に与えられる流動作用は等しく、流体は一方向のみに流動する。

圧力発生源Ｐｇの大きさは、電磁コイルに流れる電流の大きさに比例して変化するが、ひとつの輸送溝に位相の異なる２つの圧力発生源（例えば、３１６と３１７）が常に存在するために、Ｐｇ＞０の状態を保つことができる。

本実施例では、磁極３１２ａが輸送溝３０６ａを覆う面積をＳａ（３１６の面積）、隣合う輸送溝３０６ｄを覆う面積をＳｂ（３１７の面積）として、評価指数φ＝｜Ｓａ−Ｓｂ｜／（Ｓａ＋Ｓｂ）を定義したとき、φ＜０．３となるように構成すれば、充分なポンプ効率が得られた。

更に、ひとつの輸送溝に注目し、脈動の無い流量を得る方法について述べる。その前提として、ひとつの磁極が輸送溝を覆う面積と隣合う輸送溝を覆う面積が等しく、φ＝０とする。

後述する図２５を参考にすれば、メインコイルに流れる電流をＩ１＝ｆ（ωｔ）、始動コイルに流す電流をＩ２＝ｆ（ωｔ＋π／２）としたとき、Ｉ＝Ｉ１＋Ｉ２が一定値になるような周期関数ｆ（ωｔ）を選択すれば、２つの圧力発生源の流動作用は常に一定値を保つ。全ての輸送溝でこの条件が成り立てば、本ポンプは脈動のない吐出流量が得られる。

更に、汎用性を向上させるならば、メインコイルに流れる電流をＩ１＝ｆ（ωｔ）、始動コイル（サブコイル）に流す電流をＩ２＝ｇ（ωｔ）として、Ｉ＝Ｉ１＋Ｉ２が一定値になるような周期関数ｆ（ωｔ）、ｇ（ωｔ）を選択すればよい。

電磁コイルが図９に示したような集中巻きではなく、分布巻きの場合も同様であり、輸送溝に傾斜角をもたせることにより、全輸送溝内の流体に流動作用を与えられるように、コイルに流す電流波形、各部材の形状と配置関係等を設定すればよい。

ここで、１つの固定子磁極が１つの輸送溝のみを受け持つ場合を想定する。例えば、輸送溝の傾斜角度αが小さい場合は、１つの固定子磁極の極歯は１つの輸送溝しか覆えない。この場合、回転磁界による磁束が、例えば、１対の対向する磁極間Ｂ→Ｂ’（例えば、固定子磁極３１２ａ→磁極３１２ｃの方向）だけに流れる場合を想定すると、この時点での等価回路は、図１４のようになる。

すなわち、圧力発生源Ｐｇと輸送溝自身の流体抵抗Ｒｇの直列和の流路が２セット、流体抵抗Ｒｇだけを有する流路が２セット、計４セットの流路を並列に接続した等価回路で表現できる。回転磁界の位相が丁度９０度進み、磁束がもう１対の対向する磁極間Ａ→Ａ’の方向だけに流れる場合は、各圧力発生源Ｐｇは隣の輸送溝へ移行する。

この等価回路から分かるように、回転磁界が上記いずれかのタイミングのとき、流体は吐出側から吸入側へ逆流する成分（鎖線）を有する。輸送溝の流体抵抗Ｒｇが充分に大きければ、逆流が効率に与える影響を減らすことができる。微少流量ポンプの場合は、輸送溝の溝深さを浅くできる。粘性流体の流体抵抗Ｒｇは隙間の３乗に逆比例するために、溝深さが浅いほど流体抵抗は顕著に増大する。

従って、微少流量ポンプの場合は逆流による効率低下の影響を小さくできる。しかし、ポンプに大きな流量が要求される場合は、溝深さは大きくせざるをえず、流体抵抗Ｒｇに大きな値は期待できない。

ひとつの固定子磁極が２つの輸送溝を均等に覆うことにより、ポンプ効率が向上できるという本発明の発想は、回転子のスロットが物理的に固定された従来の誘導モータの考え方にはなく、回転子の輸送溝内を流体が流動するという本発明の固有の構造に基づくものである。

以下示す第５実施例は、輸送溝間の逆流を防止するための第２案を示すもので、独立したステータ部を２セット配置し、かつ２つステータ部のそれぞれの極歯が傾斜した輸送溝の吸入側と吐出側を覆うように、２つステータ部を配置したものである。この構成により、本ポンプでは高いポンプ効率が得られる。

図１５において、９００はロータ部鉄心、９０１はポンプ軸、９０２はポンプ軸９０１の外周部（輸送面）を覆う筒状ハウジング、９０３はポンプ軸９０１の外周部と筒状ハウジング９０２の内面の間に形成されたポンプ室、９０４は導電性流体、９０５ａはポンプ軸の外表面に形成されたねじ溝ポンプのリッジ（峰）である。同様なリッジ９０５ｂ、９０５ｃ、９０５ｄがポンプ軸９０１円周方向で対称に形成されている。

９０６ａはリッジ９０５ａと９０５ｂの間に形成されたグルーブ（輸送溝）である。同様な輸送溝９０６ｂ、９０６ｃ、９０６ｄが各リッジの間に形成されている。９０７は輸送溝とリッジの右端部に形成された吸入側環状流通路（吸入側共通流通路）、９０８は左端部に形成された吐出側環状流通路（吐出側共通流通路）、９０９及び９１０は、ロータ部鉄心９００に形成された導電性流体９０４の吸入口及び吐出口である。上記部材９００〜９１０により、導電性流体供給ユニットのロータ部９１１（但し機械的に回転はしない）を構成している。

ステータ部は第１ステータ部９１２と、第２ステータ部９１３から構成される。９１４ａ〜９１４ｄは第１ステータ部９１２の電磁石の固定子磁極、９１５ａ〜９１５ｄは第２ステータ部９１３の電磁石の固定子磁極、９１６は磁気回路のヨークを兼ねた外部ケースである。

図１６は輸送溝が形成されたポンプ軸９００を、点ａ、ｂを切り口として、円周方向に展開した図であり、第１ステータ部９１２には磁束が対向する１対の固定子磁極間（９１４ｂ→９１４ｄ）だけに流れ、第２ステータ部９１３には磁束が対向する１対の固定子磁極間（９１５ｂ→９１５ｄ）だけに流れた場合に相当する。リッジ（９０５ａ〜９０５ｄ）と輸送溝（９０６ａ〜９０６ｄ）がそれぞれ４個づつ形成されている。また、第１ステータ部９１２と第２ステータ部９１３の相対位置は、２つステータ部のそれぞれの極歯が傾斜した輸送溝の吸入側と吐出側を覆うように配置されている。

図１６から明らかなように、磁束が対向する１対の固定子磁極間だけに流れる場合でも、全輸送溝（９０６ａ〜９０６ｄ）に電磁誘導による流動作用が働くため、回転磁界のいかなる段階でも輸送溝間に逆流が発生することはない。

第５実施例では、ねじ溝ポンプの輸送溝（グルーブ）とリッジ（峰）の形状がポンプ軸９０１の軸芯に対してαだけ傾斜しているのに対して、２つのステータ部共電磁石の固定子磁極は軸芯に平行な形状をしていた。この固定子磁極の極歯が輸送溝全体を覆うように、固定子磁極の形状に傾斜角をもたせた電磁石構造にすれば、磁束が流れる部分と輸送溝内で電流が流れる部分が一致すために、ポンプ効率は更に増加することができる。その結果、ポンプの圧力・流量特性の向上が図れる。

図１７は、１個のステータ部のみに注目し、輸送溝が形成されたポンプ軸４００を、点ａ、ｂを切り口として、円周方向に展開した図である。第５実施例では輸送溝が４セットであったのに対し、図１７の例は輸送溝を６セット形成した場合を示す。

リッジ（４０１ａ〜４０１ｆ）と輸送溝（黒く塗りつぶした部分４０２ａ〜４０２ｆ）がそれぞれ６個づつ形成されている。輸送溝４０２ｂに注目すると、輸送溝４０２ｂを覆うように固定子磁極４０３ｂ（鎖線で示す）の極歯が形成されている。同様に、各輸送溝にスロットが１対で形成されており、図１７の場合は６極の固定子磁極が形成されている。この６極の固定子磁極から構成される電磁石に、回転磁界を与えればよい。

或いは、１つの共通の固定子磁極が複数の輸送溝を覆うように固定子磁極の極歯を形成してもよい。例えば、１つの共通の固定子磁極が２つの輸送溝４０２ｂと４０２ｃを覆うように固定子磁極の極歯を形成した場合、３極の電磁石に回転磁界を与えればよい。

以上の実施例における電磁石の固定子磁極は、電磁コイルを巻く部分と極歯の部分は同一幅の形状をしていた。図１８に示す実施例は、輸送溝の対抗面である極歯の幅を円周方向で充分に大きく形成した場合を示す。

８００はロータ部鉄心、８０１はポンプ軸、８０２はポンプ軸８０１の外周部を覆う筒状ハウジング、８０３はポンプ軸８０１の外周部と筒状ハウジング８０２の内面の間に形成されたポンプ室、８０４は導電性流体、８０５ａはポンプ軸の外表面に形成されたねじ溝ポンプのリッジ（峰）である。同様なリッジ８０５ｂ、８０５ｃ、８０５ｄがポンプ軸８０１円周方向で対称に形成されている。８０６ａはリッジ８０５ａと８０５ｂの間に形成されたグルーブ（輸送溝）である。同様な輸送溝８０６ｂ、８０６ｃ、８０６ｄが各リッジの間に形成されている。

８０７は、ロータ部鉄心８００に形成された導電性流体８０４の吸入口である。８０８ａ〜８０８ｄは、電磁石の固定子磁極、８０９ａ〜８０９ｄは前記スロットのそれぞれに巻かれた電磁コイル、８１０ａ〜８１０ｄは前記固定子磁極の極歯、８１１は磁気回路のヨークを兼ねた外部ケースである。

ポンプ軸８０１と筒状ハウジング８０２は何れも非磁性かつ非導電性材料、或いは、弱磁性かつ弱導電性材料を用いており、渦電流の発生は小さく、電磁誘導作用で誘起される電流と磁気回路に与える影響が少ない。筒状のポンプ軸８０１の内部には、磁性材料であるロータ部鉄心８００が挿入されており、２つの対極する固定子磁極を繋ぐ磁気回路の一部を構成している。

本実施例では、固定子磁極の極歯の幅（θｐ）を電磁コイルが巻かれる部分（電磁コイルを除いた細首の部分）よりも大きく形成しているために、極歯の対向面はポンプ軸８０１上で輸送溝が占める部分を充分に広くカバーできる。通常の誘導モータの場合、極歯の幅を広くしても、磁束密度は極歯の面積に逆比例して低下するため、直接にはトルクアップ、効率アップに繋がらない。しかし、本発明の導電性流体輸送ポンプでは、軸方向に傾斜角を持つ輸送溝がポンプ軸（モータのロータに相当する部分）に形成されているため、極歯がポンプ軸上を広く覆う程、回転磁界のエネルギを有効に流体を輸送する動力に変換できるのである。

図１８を一例に本発明のポンプを構成する各部材の径方向寸法について、考察する。筒状ハウジング８０２の厚みをδＨとする。電磁石の固定子磁極８０８ａと筒状ハウジング８０２の外表面の間にエアーギャップを設けた場合（例えば、図１に示す第１の実施例参照）は、固定子磁極８０８ａ内面と筒状ハウジング８０２の内面間の距離をδＨと定義する。輸送溝８０６ａの溝深さをδＧとする。リッジ８０５ａの頂点と筒状ハウジング８０２の内面の間にギャップがある場合（図１参照）は、輸送溝の底面と筒状ハウジング８０２の内面間の距離を溝深さδＧと定義する。また、ポンプ軸８０１の最少厚み（前記輸送溝の底面とロータ部鉄心８００間の距離）をδＰとする。

従って、前記固定子磁極８０８ａ内面とロータ部鉄心８００の外表面間の距離は、δＴ＝δＨ＋δＧ＋δＰとなる。筒状ハウジング８０２、ポンプ軸８０１は何れも透磁率の小さな非磁性材料或いは弱磁性材料を用いるのが好ましいため、上記距離δＴは磁気回路における磁気抵抗となる。磁気回路における上記ギャップδＴは、ポンプの性能を確保する上で、小さいほうが好ましい。

以下、δＨ、δＧ、δＰに必要な寸法について考察する。

筒状ハウジング８０２によって収納される部分（図１の場合はロータ部１１３）と、前記電磁石スロットと外部ケース８１１で構成される部分（図１の場合はステータ部１１７）は、メンテナンスのために着脱自在であるほうが好ましい。そのために設定するエアーギャップの厚みと、筒状ハウジング８０２に必要な板厚強度を考慮すると、δＨ＞１．０ｍｍは必要であった。

例えば鉛フリー溶融はんだを輸送する場合、不純物溶け込みによる組成変化と酸化物発生により、流通路の溝深さδＧが狭いと流路の目詰まりによるトラブルが発生しやすい。実施例の場合、目詰まりなくポンプが機能するためには、輸送溝の溝深さδＧ＞０．５ｍｍは必要であった。また、ポンプ軸８０１内部は、ロータ部鉄心８００によって十分に補強されるために、δＰ＞０．５ｍｍあれば強度上十分であった。

従って、後述する鉛フリー溶融はんだにおける実施例を参考にすれば、磁気回路におけるギャップδＴ＝δＨ＋δＧ＋δＰ＞２．０ｍｍは必要であった。また、電磁誘導作用を利用した本ポンプが十分な性能を確保する上で、ギャップδＴの上限値が決まり、実用上、δＴ＜６．０ｍｍとするのが好ましかった。

δＨとδＰは、一定値以上の寸法を確保する必要がないため、輸送溝の溝深さδＧの推奨範囲は、０．５ｍｍ＜δＧ＜４．５ｍｍである。適用する装置に要求されるポンプ流量が、微小流量でよい場合は、輸送溝の溝深さδＧは、目詰まりが発生しない範囲で十分小さいほうが好ましく、０．５ｍｍ＜δＧ＜３．０ｍｍであった。この場合、ギャップδＴの範囲は、２．０ｍｍ＜δＴ＜４．５ｍｍである。

なお、図１の実施例では、磁極の数Ｎｐ＝４、図５ではＮｐ＝３、図１７ではＮｐ＝６であった。しかし固定子磁極の数は限定されるものではなく、通常の誘導モータのように数十個の固定子磁極を設けてもよい。また、輸送溝（およびリッジ）の数Ｎｇも同様に限定されるものではない。

図１９及び図２０は、不純物センシングシステムに本発明のポンプを適用した場合をした場合を示す。この不純物センシングシステムは、はんだ槽の液組成状態をリアルタイムで把握するインライン型のシステムである。

５００ははんだ槽、５０１は導電性流体の輸送ポンプ、５０２ははんだ液検出部、５０３ははんだ検出センサ、５０４は圧縮気体源、５０５はオリフィス、５０６はバルブＡ、５０７はバルブＢ、５０８は不純物センシングユニットである。５０９〜５１４は各ユニット同士を繋ぐパイプである。なお、各ユニットとパイプには、はんだを適温下で溶融状態に保つためのヒータが装備されているが、記載は省略する。

図１９は、不純物センシングユニット５０８に溶融はんだを供給している状態を示し、バルブＡ５０６は開放状態にあり、バルブＢ５０７は遮断されている。本発明の導電性流体輸送ポンプは、流量は回転磁界の周波数を変えることにより自在に制御でき、供給総流量も総回転数をカウントすることにより設定できる。また、供給の定常状態、過渡状態（終了時）の流量の微妙な制御も、あたかもモータの回転数制御を施すごとくできるため、極めて精度の高い導電性流体の流量制御が可能となる。

図２０は、装置を駆動するための準備段階の状態を示す。バルブＡは遮断されており、バルブＢは開放されている。圧縮気体源５０４から供給された気体がオリフィス５０５を通過すると、サイフオンの原理（細径部の動圧増加による静圧降下）によって負圧が発生し、各流通路、ポンプ５０１、はんだ液検出部５０２にははんだ槽から溶融はんだが緩やかに充填される。はんだ検出センサ５０３にはんだが充分に充填されたことを検出すると、準備段階は終了する。この準備段階において、ポンプ５０１に回転磁界を与えた状態にしておくと、溶融はんだがパイプ５０９を登りつめた段階で、ポンプ５０１が本来の導電性流体の輸送作用を発揮できるために、速やかに充填が完了する。

図２１は本発明のポンプを用いたスポットはんだ付け装置を示す。

同図において、６００ははんだ槽、６０１は導電性流体の輸送ポンプ、６０２ははんだ付けの対象となる基板、６０３は内側パイプ、６０４は外側パイプ、６０５はノズル先端部、６０６はオリフィス抵抗、６０７は溶融はんだ、６０８はポンプの吸入側流通路である。

ポンプ６０１によって、はんだ槽６００から供給された溶融はんだ６０７は内側パイプ６０３を通過して、ノズル先端部６０５から噴出する。ポンプ６０１の吸入側流通路６０８には、オリフィス抵抗６０６が設けられている。このオリフィス抵抗６０６とポンプ６０１吸入側間に、外側パイプ６０４が連結している。

なお、各ユニットとパイプには、はんだを適温下で溶融状態に保つためのヒータが装備されているが、記載は省略する。ポンプ６０１が溶融はんだをはんだ槽から吸引しているとき、外側パイプ６０４は負圧となるために、ノズル先端部６０５から噴出した溶融はんだはすみやかに外側パイプ６０４内に吸引される。その結果、ノズル先端部６０５から噴出した溶融はんだはノズル先端部６０５から外周部に拡散せず、限定された部分でのスポットはんだ付けが可能となる。

本発明の導電性流体輸送ポンプを用いれば、はんだの供給量を回転磁場の周波数で微妙に調節できるために、対象部品（電子部品）の条件に合わせて最適な条件を設定できる。上記実施例では、ノズル先端部６０５における溶融はんだの吐出と吸引は同一のポンプを用いたが、それぞれ個別のポンプを用いてもよい。

上述した不純物センシングシステム、スポットはんだ付け装置等、いずれの場合もポンプ内に導電性流体が充填されていない場合は、「呼び水」としてのポンプが最初の段階は必要である。この呼び水としてのポンプは、大きな流量は必要ないため、極力シンプルな構成のポンプを用いればよい。例えば、低電圧電源と電磁コイルから構成される伝導形ポンプを、本発明のポンプの吸入側に装着すればよい（図示せず）。

本発明のポンプは小型化が容易であり、例えば、はんだの微少量を自在に制御できることを利用して、「携帯用小型はんだ付けユニット」としても本発明を適用することができる。

本発明の導電性流体輸送装置は、ポンプではなく逆に発電機、或いは流量センサとしても用いることができる。その理由は、磁界中を導体（導電性流体）が移動すれば、フレミング右手の法則により電流が誘起されるからである。この電流を検出することにより、配管中を流動する導電性流体の流量をリアルタイムで計測することができる。

図２２はその原理モデルを示し、８５０はロータ部鉄心、８５１はポンプ軸、８５２はポンプ軸８５１の外周部を覆う筒状ハウジング、８５３はポンプ軸８５１の外周部と筒状ハウジング８５２の内面の間に形成されたポンプ室、８５４は導電性流体、８５５ａ〜８５５ｄは電磁石の固定子磁極、８５６ａ〜８５６ｄは前記固定子磁極のそれぞれに巻かれた電磁コイルである。

８５７と８６０は電磁コイルを繋ぐケーブル、８５８はバイアス電源、８５９は信号の出力端子である。対向する磁極には、バイアス電源により静磁界が形成されている。ポンプ室８５３内を導電性流体が、図２２の矢印のごとく円周方向に流れれば、バイアス電流ｉＯに加えて、電磁誘導作用による流量に比例した電流ｉＶが電磁コイル内を流れる。この電流iVを検出することにより、導電性流体の流量を計測することができる。

また、電磁コイルにバイアス電流を流して静磁界を形成する代わりに、永久磁石を用いてもよい。この場合、永久磁石が高温下に晒されないように断熱処理を施せばよい。ポンプを流量センサ、発電機として用いる場合、本実施例で示したポンプ構造以外に、第２実施例であるスラスト円盤型、第３実施例である円周流路に仕切り板を設ける構造などが適用できる。また、ポンプの効率を上げるための前述した方法もすべて適用できる。

図２３は、図２２で示した導電性流体の流量センサを組み込んだ不純物センシングシステムである。６５０ははんだ槽、６５１は導電性流体の輸送ポンプ、６５２ははんだ液検出部、６５３ははんだ位置検出センサ、６５４は圧縮気体源、６５５はオリフィス、６５６はバルブＡ、６５７はバルブＢ、６５８は不純物センシングユニット、６５９は流量センサである。

なお、各ユニットとパイプには、はんだを適温下で溶融状態に保つためのヒータが装備されているが、記載は省略する。不純物センシングユニット６５８へ供給される溶融はんだの流量は、流量センサ６５９によりハイレスポンスで検出できる。この情報をポンプ６５１へフィードバックすることにより、極めて精度の高い流量制御ができる。

以上説明したいずれの実施例の場合も、ポンプ軸と筒状ハウジングに非磁性かつ非導電性材料、或いは、弱磁性かつ弱導電性材料を用いれば、渦電流の発生を押さえて、電磁誘導作用で導電性流体に誘起される電流と磁気回路に与える影響を少なくできる。また、ロータ部鉄心と固定子磁極は薄板の電磁鋼板を積層させて用いれば、渦電流の発生を小さくできるため、ポンプ効率は更にアップする。

ポンプが輸送する導電性流体に酸化物などの発生がなく、かつ流量が微少量でよい場合は、前記輸送溝の溝深さδＧを極力浅く、例えば０．１ｍｍのオーダー、或いはそれ以下に設定して、筒状ハウジングの厚みδＨを薄くし、ロータ部鉄心の外表面と前記固定子磁極間のギャップδTを小さくすればよい。もし非磁性体の間隙δＴが誘導モータ並（例えばδＴ＜１ｍｍ）にできれば、本発明の導電性流体ポンプは誘導モータと同等の効率（８０％以上）を得ることができる。但し、微小流量であるため評価すべきはポンプ効率ではなく、高い発生圧力が得られるポンプ性能である。

しかし、ポンプの必要流量が大きく、溝深さδＧを小さく出来ない場合、或いは、筒状ハウジングの厚みδＨが小さくできない場合は、非磁性体の間隙δＴの増大により磁気抵抗を増加させ、閉ループ磁気回路（図９参照）における磁束密度を低下させてしまう。この場合は、ポンプ軸と筒状ハウジングには、適度な大きさの透磁率を有する磁性材料を用いた方がポンプ性能の点で好ましい場合もあるため、ポンプの要求される仕様に合わせて、両部品に用いる材料の磁気特性を選択すればよい。

本発明の導電性流体輸送ポンプは、液体だけではなく気体も扱うことができる。例えば、プラズマ流体の高精度な流量制御、圧力制御にも適用することができる。図２４は、ＥＣＲ（電子サイクロトロン共鳴型）スパッタに本発明を適用した場合の装置のモデル図である。ＥＣＲスパッタは、低エネルギ領域でイオンエネルギを制御し、イオン化率高く、金属および金属化合物の低温作成ができる。

９５０はポンプ軸、９５１は輸送溝、９５２は吸入側流通路、９５３は吐出側流通路、９５４は電磁コイル、９５５は冷却プレート、９５６はターゲット、９５７は基板、９５８はプラズマ流、９５９は排気口である。その他、プラズマ材料プロセシング技術の基幹ユニットとして、プラズマＣＶＤ、反応性イオンエッチング、イオンビームエッチング、難燃性材料のプラズマトーチ等に本発明を適用することができる。

何れの実施例の場合も輸送溝（グルーブ）とリッジは、ポンプ軸とこのポンプ軸を覆う筒状ハウジングのいずれの側に形成してもよい。本発明のポンプが適用できる導電性流体としては、溶融はんだ、プラズマ流体以外では、亜鉛、ナトリウム、水銀、アルミ電解液、導電性インクなど、各種材料を、さまざまな製造工程で用いることができる。

以下、図２５〜図３０を用いて、本発明のポンプを駆動する制御方法について補足説明をする。導電性流体に円周方向流動をさせるための回転磁界を与える方法は、誘導（インダクション）モータを駆動するための、よく知られた公知の技術が適用できる。すなわち、ステータ（固定子）側の巻線に交流電流を流して回転磁界を発生させ、ロータ（回転子）を回す方式が適用できるため、以下、その一例を参考に示す。

誘導モータの回転にはコンデンサの電気特性が利用されている。コンデンサに交流電流が流れるとき、電圧よりも９０°位相が進むために、コンデンサを交流につなぐと電圧変化よりも４分の１周期早く変化しながら交流電流が流れることになる。この電圧と電流間の位相のズレを利用して、誘導モータでは回転磁界を形成している。

４極の誘導モータが回転磁界が発生できる原理を図２５及び図２６に示す。

ロータを取り巻くステータ５５０にはＬ１／Ｌ４の４つのコイルが巻かれている。メインコイル５５１（Ｌ１とＬ２）と始動コイル５５２（Ｌ３とＬ４）は、それぞれ交流電源と並列に結ばれ、互いに垂直方向の磁界を発生する。２つの電磁石は直交するように置かれた構造となっており、メインコイル５５１を実線、始動コイル５５２を一点鎖線で示す。磁界が同時に発生すると回転磁界とはならないため、始動コイル側には位相をずらすためのコンデンサ５５３が直列に挿入される。

図２７において、交流電圧が１）の状態にあるときは、コンデンサ５５３によって位相が９０°進むため、始動コイルのほうに大きな電流が流れて、図２７の矢印Ｈのごとく磁界が発生する。次に交流電圧が２）の状態に進むと、今度はメインコイル側に大電流が流れ、発生磁界もメインコイル側に移るため、図２８の矢印Ｈごとく磁界が発生する。交流電圧が３）４）の場合を図２９及び図３０に示す。

このようにして、発生磁界は９０°ずつ変化するため、それに同期してモータの場合はロータが回転する。本発明の導電性ポンプの場合、導電性流体は円周方向に流動する力を受ける。

上述したように、本発明の導電性ポンプの制御駆動方法は、よく知られた公知の技術が適用できる。制御コントローラとドライバーに関しては、ソフト＆ハード共、既存の誘導モータのローコストな技術が適用できる。もたらされる効果の大きさを考慮したとき、本発明適用のコストパーホーマンスは極めて大きい。

本発明の導電性流体の供給装置及び供給方法は、情報・精密機器、ＦＡ、ディスプレイ、表面実装、半導体などの生産工程に適用できる。

本発明の第１実施例のモデル図であり導電性流体の輸送ポンプを示す図 本発明の第１実施例に係る輸送ポンプの側面図 本発明の第２実施例のモデル図でありスラスト円盤型導電性流体の輸送ポンプを示す図 本発明の第３実施例のモデル図であり導電性流体の輸送ポンプを示す図 本発明の第３実施例に係る輸送ポンプの側面図 （イ）誘導モータの原理であるアラゴの円盤の前面図（ロ）誘導モータの原理であるアラゴの円盤の側面図 （イ）導体円盤中に流れる渦電流を示す図（ロ）導体円盤中に流れる渦電流の等価回路を示す図（ハ）導体円盤中の電圧を示す図 本発明の第４実施例のモデル図であり導電性流体の輸送ポンプを示す図 本発明の第４実施例に係る輸送ポンプの側面図を示し磁束が流れる場合を示す図 本発明の第４実施例に係る輸送ポンプの側面図を示し磁極A→A'に磁束が流れる場合を示す図 本発明の第４実施例に係るかご形流路を示す図 （イ）輸送溝が形成されたポンプ軸を円周方向に展開した様子を示し磁極Ｂ→Ｂ’間に磁束が流れる場合を示す図（ロ）輸送溝が形成されたポンプ軸を円周方向に展開した様子を示し磁極Ａ→Ａ’に磁束が流れる場合を示す図 本発明の第４実施例に係る等価電気回路を示すモデル図 １つの磁極が１つの輸送溝だけ遮蔽する場合の等価電気回路モデル図 本発明の第５実施例に係るモデル図 本発明の第５実施例に係るポンプ軸を円周方向に展開した図 輸送溝が形成されたポンプ軸を円周方向に展開した図 極歯の幅を円周方向でに大きく形成した場合を示す図 不純物センシングシステムに本発明のポンプを適用した場合を示す図 不純物センシングシステムの準備段階を示す図 本発明のポンプを用いたスポットはんだ付け装置を示す図 本発明のポンプを流量センサに用いた場合の原理図 本発明の第５実施例に係るポンプ軸の流量センサを不純物センシングシステムに組み込んだ図 導電性流体にプラズマ流体を用いた場合のＥＣＲスパッタ装置を示す図 公知の誘導モータの電気回路と磁気回路を示す図 輸送溝が形成されたポンプ軸を円周方向に展開した様子を示し、誘導モータに流す始動コイル電流とメインコイル電流の関係を示す図 始動コイルに電流が流れた場合の電極に加わる磁界を示す図 メインコイルに電流が流れた場合の電極に加わる磁界を示す図 始動コイルに電流が流れた場合の電極に加わる磁界を示す図 メインコイルに電流が流れた場合の電極に加わる磁界を示す図 従来のアニュラ・リニア型電磁ポンプの正面図 従来のアニュラ・リニア型電磁ポンプの側面図 従来のフラット・リニア型電磁ポンプによるはんだ付け装置を示す図

符号の説明

１０１ 輸送面
１０２ ハウジング
１０６ ポンプ室
１１１ 吸入口
１１２ 吐出口
１０７ 導電性流体
１１４ａ、１１５ａ 電極部材
１０８ ねじ溝

Claims (2)

1. 輸送面を隔てて覆うハウジングと、前記輸送面と前記ハウジングで形成されるポンプ室と、このポンプ室と外部を連絡する吸入口及び吐出口と、前記ポンプ室と間隙を保って円周上に配置された複数個の電極部材と、この複数個の電極部材に回転磁界を与える電源と、前記回転磁界で導電性流体内に誘起される電流と前記回転磁界の電磁誘導作用によって、前記導電性流体に円周方向流動作用を与えるように構成される導電性流体の供給装置であって、前記輸送面の外表面或いは前記ハウジングの内面にねじ溝が前記ポンプ室内に形成されており、かつ、前記ねじ溝はリッジと輸送溝の複数組で形成され、前記電極部材のひとつの磁極は複数の輸送溝を覆うように形成され、ひとつの磁極が輸送溝ａを覆う面積をＳａ，隣合う輸送溝ｂを覆う面積をＳｂとして、評価指数をφ＝｜Ｓａ−Ｓｂ｜／（Ｓａ＋Ｓｂ）と定義したとき、φ＜０．３であること
   を特徴とする導電性流体の供給装置。
2. 輸送溝の溝深さδＧは、０．５ｍｍ＜δＧ＜４．５ｍｍの範囲であることを特徴とする請求項１記載の導電性流体の供給装置。

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