JP7490184B2 - 電子顕微観察用試料の作製システム、プラズマ処理装置、及び電子顕微観察用試料の作製方法 - Google Patents
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Description
樹脂テープをプラズマ照射領域内で走行させてプラズマ照射して連続的に親水化するプラズマ処理装置と、前記樹脂テープをスパッタリング領域内で走行させて連続的にスパッタリングして導電化するスパッタ装置の少なくとも一方と、
前記プラズマ処理装置またはスパッタ装置で処理された前記樹脂テープの被処理面上に、連続的に切削された前記試料の切片を順次回収する回収装置と、
を備えている。
(1)樹脂テープ
樹脂テープとしては、耐進展性(伸びない)、表面平坦性、耐薬品性、耐熱性を有する樹脂製のテープを使用することができる。樹脂テープは、耐薬品性を有することで、後述するウランや鉛を用いた電子染色に際しても、変形や変質を抑えられる。また、耐熱性を有することで、樹脂テープにプラズマ処理やスパッタリングを施した際にも変形や変質が抑えられる。
(2)テープ前処理(S1)
まず、テープ前処理工程(S1)で、樹脂テープ表面を清浄化する。このテープの前処理工程では、エタノール等で樹脂テープ表面をふき取り、主に樹脂テープ表面に付着した大きなゴミや汚れを除去する。
(3)プラズマ処理(S2)
図1Bにおいて、工程S2は、プラズマ処理工程である。プラズマ処理工程では、樹脂テープ表面にプラズマを照射して、樹脂テープ表面を親水化する。また、プラズマ処理によって樹脂テープ表面の微細な汚染物を除去することができる。
(4)スパッタリング
図1Bに戻って、工程S3は、スパッタリング工程であり、スパッリングにより樹脂テープ表面に導電性の重金属を付着させて導電化する。工程S3では、まず、工程S2において親水化された樹脂テープを巻き取ったリールを、スパッタ装置120にセットする。リールを回転させて、スパッタ装置120のチャンバ内のスパッタ電極の間(スパッタリング領域)に樹脂テープを搬送し、スパッタリングを行う。
ばよい。
(5)切片作製
図1Bに戻って、工程S4では、切片を作製する工程である。本実施形態では、樹脂に包埋させた生体組織を薄く連続的に切り出して、切片を連続的に作製する。生体組織としては、動物の組織であれば特に限定されず、一例として実験動物であるマウスやマーモセットなどの脳を用いる。
(樹脂テープの親水化)
樹脂テープとしてカプトン(登録商標)テープ(ポリイミド製、厚み40μm、幅約8mm)を用い、樹脂テープの両表面をエタノールでふき取り清浄化した。
(樹脂テープの導電化)
上記で親水化した樹脂テープ表面に、次のように導電性膜を形成した。図5に示すのと同様のスパッタ装置120を用い、樹脂テープをチャンバ内で走行させて、樹脂テープの一方の面に導電性膜を形成した。処理条件は装置の設定として、電流値が10mA、テープ搬送速度が10-20分程度/200mmの範囲の所定の値で、樹脂テープをチャンバ内に2回走行させた。これは、いったんリールに巻き取ったテープをスパッタ装置120に再度セットして、2回目は1回目とはテープの反対の端からチャンバ内に走行させて行った。チャンバ内は真空排気した。スパッタリングターゲットとしては、金ターゲットを用いた。スパッタ装置においては入口側のリールと出口側のリールをそれぞれ3つずつ配置し、スパッタ電極の対向面に対してテープ表面が平行となるように3本のテープを搬送してスパッタリングした。スパッタ装置のリールの内径は40mm、外径は75mmであって、テープの巻かれた状態では、テープの巻き径はテープの厚みの分だけ増加し、テープの搬送速度も、巻き径が大きい分速くなる。
(切片の作製)
マーモセットから採取した脳を、適当なサイズに切り出し、2.5wt%グルタルアルデヒドと1wt%オスミニウム酸とで順に固定化した後、エポキシ樹脂で包埋して72時間以上の重合を行った。このようにして、樹脂包埋ブロックを作製した。
(切片の回収)
水ボート付ダイヤモンドナイフを用いて、上記で得た樹脂包埋ブロックから厚さ50nmの組織切片を連続的に切り出し、切り出された組織切片を、水ボートの水の浮力によって上記で形成された樹脂テープの導電化された表面上に順に採取した。
(比較例)
図15の(B)を参照して述べたように、樹脂テープに導電性膜を付着させない以外は、上記実施例と同様に、マウスの脳を用いて組織切片付樹脂テープを作製し、ウェハー上に固定した。次いで、組織切片付樹脂テープを載置したウェハー表面に、組織切片上から重金属カーボンコーティングを施し、マルチビーム走査電子顕微鏡観察、撮影を行った。図15の(B)に示されたとおり、この撮影画像では解析に十分なコントラストが得られなかった。
(その他の実施例)
図16は、ポリカーボネート製のテープを使用して、搭載した切片の電子顕微鏡観察した結果を示す。テープの材料を除いて、テープの幅、厚さ、用いた組織切片は、図15の(A)のポリイミドのテープを用いた実施例と同じである。図13Bに示したように連続的に撮影された電子顕微観察画像を一枚の画像につなぎ合わせた中の一部分の拡大図である。図15の(A)と同様に、良好なコントラストが得られている。試料切片搭載用のテープとして、ポリカーボネートだけではなく、上述したPEN、PET、PEEKを用いるときも、図15の(A)、及び、図16と同様に良好なコントラストが得られた。
3、13:テープ
5-1、5-2、15-1、15-2:リール
6、16:筐体
7、17:駆動装置
11、31、32:ガイド軸
12、33:センサ
14:導電性膜
18-1,18-2:回転軸
19:排気機構
20:ブレーキ機構
23:ニードルバルブ
51:組織ブロック
52:ダイヤモンドナイフ
53:回収される切片
54:連続切片
100 試料作製システム
110 プラズマ処理装置
115 制御装置
120 スパッタ装置
125 制御装置
130 回収装置
Claims (12)
- テープ上に試料の切片を配置した電子顕微観察用の試料作製システムであって、
樹脂テープをプラズマ照射領域内で走行させてプラズマ照射して連続的に親水化するプラズマ処理装置と、
前記プラズマ処理装置で処理された前記樹脂テープの被処理面上に、連続的に切削された前記試料の切片を順次回収する回収装置と、
を備え、
前記プラズマ処理装置は、互いに対向する一対のプラズマ電極を有し、前記樹脂テープは、前記樹脂テープの表面が前記一対のプラズマ電極の対向する電極面に対して垂直となるように搬送されることを特徴とする電子顕微観察用の試料作製システム。 - 前記樹脂テープをスパッタリング領域内で走行させて連続的にスパッタリングして導電化するスパッタ装置、
をさらに備え、前記樹脂テープの上に順次回収された前記切片は、当該切片の上から導電性コーティングなしに電子顕微鏡観察が可能であることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微観察用の試料作製システム。 - 前記樹脂テープは、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリエーテル・エーテルケトン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートから選択されることを特徴とする請求項1または2に記載の電子顕微観察用の試料作製システム。
- 前記スパッタ装置は、
スパッタリングチャンバと、
前記スパッタリングチャンバ内に対向して配置された一対のスパッタ電極と、
前記樹脂テープをその長手方向に、前記スパッタリングチャンバ内の前記一対のスパッタ電極の間の前記スパッタリング領域内で搬送する第2の搬送手段と、
前記第2の搬送手段によるテープ搬送速度を調整する第2の駆動装置と、
を備え、
前記第2の搬送手段は、前記樹脂テープを前記スパッタリング領域に送り出す第3のリールと、前記スパッタリング領域から前記樹脂テープを巻きとる第4のリールとを備え、
前記第3のリールおよび前記第4のリールは前記スパッタリングチャンバ内に設置され、前記第2の駆動装置は前記第4のリールに回転力を与え、所定の回転速度で回転させることを特徴とする、請求項2に記載の電子顕微観察用の試料作製システム。 - 前記第2の搬送手段は、前記一対のスパッタ電極の対向面に対して、前記樹脂テープの表面が水平方向となるように前記樹脂テープを搬送させることを特徴とする請求項4に記載の電子顕微観察用の試料作製システム。
- 前記一対のスパッタ電極の陰極にスパッタリングターゲットが配置され、
前記スパッタリングターゲットは、Au、Ag,Pt,Pdのうち1種又はこれらの2種以上の合金としたことを特徴とする請求項4に記載の電子顕微観察用の試料作製システム。 - 前記樹脂テープを、前記プラズマ処理装置又は前記スパッタ装置内に走行させるテープ搬送機構、
をさらに有し、前記テープ搬送機構は、
前記樹脂テープを送り出す送り出しリールと、前記樹脂テープを巻き取る巻き取りリールと、
前記巻き取りリールを固定することで前記巻き取りリールと一体となって回転する回転軸と、
前記回転軸を回転させるモーターと、
前記回転軸に摺接する長尺板からなり、前記回転軸が回転することで前記回転軸に摩擦力を与えて前記回転軸の回転速度を制御するブレーキ機構と
を有することを特徴とする請求項2に記載の電子顕微観察用の試料作製システム。 - プラズマ処理チャンバと、
前記プラズマ処理チャンバ内に対向して配置された一対のプラズマ電極と、
前記一対のプラズマ電極の間に電流を印加する第1の電源装置と、
樹脂テープをその長手方向に、前記一対のプラズマ電極の間のプラズマ照射領域内に搬送する第1の搬送手段と、
前記第1の搬送手段によるテープ搬送速度を調整する第1の駆動装置と、
を備え、
前記第1の搬送手段は、前記樹脂テープを前記プラズマ照射領域に送り出す第1のリールと、前記プラズマ照射領域から前記樹脂テープを搬巻き取る第2のリールとを備え、前記樹脂テープの表面が前記一対のプラズマ電極の対向面に対して垂直となるように前記樹脂テープを搬送させることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記第1のリール及び前記第2のリールは、前記一対のプラズマ電極の前記対向面と平行になるように前記プラズマ処理チャンバ内に配置され、前記樹脂テープの前記表面が前記一対のプラズマ電極の対向面に対して垂直となるように前記樹脂テープを搬送させることを特徴とする請求項8に記載のプラズマ処理装置。
- テープ上に試料の切片を配置した電子顕微観察用の試料作製方法であって、
樹脂テープをプラズマ照射領域内で走行させて前記樹脂テープの表面にプラズマ照射して親水化処理するステップと、
前記親水化処理を施した前記樹脂テープの上に、連続的に切削された切片を順次回収する回収ステップと、
を有し、前記親水化処理するステップでは、前記樹脂テープの前記表面が互いに対向する一対のプラズマ電極の対向面に対して垂直となるように前記樹脂テープを搬送することを特徴とする電子顕微観察用の試料作製方法。 - 前記樹脂テープをスパッタリング領域内で走行させて前記樹脂テープの前記表面に導電性材料をスパッタリングして導電化処理するステップ、
をさらに有し、
前記親水化処理と前記導電化処理を施した前記樹脂テープの上に、前記切片を順次回収する、請求項10に記載の電子顕微観察用の試料作製方法。 - 前記切片が配置された前記樹脂テープを1以上の前記切片を含む長さにカットして得られるテープストリップを基板上に固定し、
該基板上に固定された各切片への導電性コーティングなしに電子顕微鏡観察、または画像を取得することを特徴とする請求項11に記載の電子顕微観察用の試料作製方法。
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