JP7489894B2 - プラズマ生成装置、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 - Google Patents
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Description
図1及び図2を参照し、実施形態のプラズマ処理装置の一例について説明する。
図3を参照し、実施形態の整合器の一例について説明する。実施形態の整合器は、例えばプラズマ処理装置100のプラズマ生成装置30に適用される。ただし、実施形態の整合器は、例えばプラズマ処理装置100とは別の容量結合プラズマ(CCP:Capacitively Coupled Plasma)装置にも適用可能である。
実施形態のプラズマ処理装置100により実施されるプラズマ処理方法の一例について説明する。以下、ウエハ表面にシリコン窒化膜を形成する場合を例に挙げて説明する。
図4及び図5を参照し、実施形態のプリセット位置の更新方法の一例について説明する。実施形態のプリセット位置の更新方法は、例えばプラズマ処理装置100が稼働している期間、継続して実施される。
33 電極対
33a,33b プラズマ電極
35 RF電源
36 整合器
FC 固定コンデンサ
L コイル
VC1,VC2 可変コンデンサ
Claims (8)
- 対向して配置された第1のプラズマ電極及び第2のプラズマ電極を含む電極対と、
前記電極対にRF電力を供給するRF電源と、
前記RF電源と前記電極対との間に設けられた整合器と、
を有し、
前記整合器は、
前記電極対の間の負荷に対して並列に接続された第1の可変コンデンサ及び第2の可変コンデンサと、
前記第1のプラズマ電極に対して直列に接続されたコイルと、
前記第2のプラズマ電極に対して直列に接続されたコンデンサと、
を含み、
前記第1の可変コンデンサは、前記コイル及び前記コンデンサよりも前記電極対に対して遠い側の配線間に接続され、
前記第2の可変コンデンサは、前記コイル及び前記コンデンサよりも前記電極対に対して近い側の配線間に接続されている、
プラズマ生成装置。 - 基板に対してプラズマ処理を施すプラズマ処理装置であって、
前記基板を収容する処理容器と、
前記処理容器内でプラズマを生成するプラズマ生成装置と、
制御部と、
を備え、
前記プラズマ生成装置は、
対向して配置された第1のプラズマ電極及び第2のプラズマ電極を含む電極対と、
前記電極対にRF電力を供給するRF電源と、
前記RF電源と前記電極対との間に設けられた整合器と、
を有し、
前記整合器は、
前記電極対の間の負荷に対して並列に接続された第1の可変コンデンサ及び第2の可変コンデンサと、
前記第1のプラズマ電極に対して直列に接続されたコイルと、
前記第2のプラズマ電極に対して直列に接続されたコンデンサと、
を含み、
前記第1の可変コンデンサは、前記コイル及び前記コンデンサよりも前記電極対に対して遠い側の配線間に接続され、
前記第2の可変コンデンサは、前記コイル及び前記コンデンサよりも前記電極対に対して近い側の配線間に接続されている、
プラズマ処理装置。 - 前記制御部は、前記電極対にRF電力を供給する際、最初に第1の出力でRF電力を供給し、その後に前記第1の出力よりも低い第2の出力でRF電力を供給するように前記RF電源を制御する、
請求項2に記載のプラズマ処理装置。 - 前記制御部は、前記電極対にRF電力を供給する際、最初に第1の周波数でRF電力を供給し、その後に前記第1の周波数よりも低い第2の周波数でRF電力を供給するように前記RF電源を制御する、
請求項2又は3に記載のプラズマ処理装置。 - 前記プラズマ処理の条件と前記第1の可変コンデンサ及び前記第2の可変コンデンサのプリセット位置とが対応付けされた対応情報を記憶する記憶部を更に備え、
前記制御部は、前記RF電源から前記電極対にRF電力を供給する際、前記記憶部に記憶された前記対応情報に基づいて、前記第1の可変コンデンサ及び前記第2の可変コンデンサのプリセット位置を設定する、
請求項2乃至4のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記RF電源から前記電極対にRF電力を供給したときの反射波電力を検出するRFセンサを更に備え、
前記制御部は、前記RFセンサが検出する反射波電力に基づいて、前記記憶部に記憶された前記プリセット位置を更新するか否かを判定する、
請求項5に記載のプラズマ処理装置。 - 前記処理容器は、側壁に開口が形成された筒体状を有し、
前記処理容器の外壁に気密に設けられ、前記開口を覆うプラズマ区画壁を更に備え、
前記電極対は、前記プラズマ区画壁の両側の壁の外面に対向して配置されている、
請求項2乃至6のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。 - プラズマ処理装置により基板に対してプラズマ処理を施す方法であって、
前記プラズマ処理装置は、
前記基板を収容する処理容器と、
前記処理容器内でプラズマを生成するプラズマ生成装置と、
を備え、
前記プラズマ生成装置は、
対向して配置された第1のプラズマ電極及び第2のプラズマ電極を含む電極対と、
前記電極対にRF電力を供給するRF電源と、
前記RF電源と前記電極対との間に設けられた整合器と、
を有し、
前記整合器は、
前記電極対の間の負荷に対して並列に接続された第1の可変コンデンサ及び第2の可変コンデンサと、
前記第1のプラズマ電極に対して直列に接続されたコイルと、
前記第2のプラズマ電極に対して直列に接続されたコンデンサと、
を含み、
前記第1の可変コンデンサは、前記コイル及び前記コンデンサよりも前記電極対に対して遠い側の配線間に接続され、
前記第2の可変コンデンサは、前記コイル及び前記コンデンサよりも前記電極対に対して近い側の配線間に接続され、
前記プラズマ処理の条件と前記第1の可変コンデンサ及び前記第2の可変コンデンサのプリセット位置とが対応付けされた対応情報を記憶するステップと、
前記記憶するステップにて記憶された前記対応情報に基づいて、前記第1の可変コンデンサ及び前記第2の可変コンデンサのプリセット位置を設定するステップと、
前記設定するステップの後に前記RF電源から前記電極対にRF電力を供給するステップと、
前記RF電源から前記電極対にRF電力を供給したときの反射波電力に基づいて、前記記憶するステップにて記憶された前記プリセット位置を更新するか否かを判定するステップと、
を有する、
プラズマ処理方法。
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