JP7487771B2 - 光源装置、プロジェクタ、機械加工装置、光源ユニットおよび光源装置の調整方法 - Google Patents
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Description
前記複数の光源ユニットが配置される表面を有するベース基板と、
前記ベース基板に対して、前記支持板を着脱自在に固定する固定部材と、
を備える光源装置に関する。
本発明の態様は、上記の光源装置を備える機械加工装置に関する。
前記光源部を複数支持する支持板と、を有し、
前記支持板は、前記支持板を固定するための固定部材が通る貫通孔を有する光源ユニットに関する。
前記複数の光源ユニットは、それぞれ、複数の光源部と、該複数の光源部を支持する支持板とを有し、
前記ベース基板から前記支持板を取り外し、これにより、前記光源ユニットを交換する工程を有する光源装置の調整方法に関する。
各光源ユニット2は、配置箇所が異なること以外は、同じ構成であるため、1つの光源ユニット2について代表的に説明する。
発光素子23は、例えば、レーザダイオード(LD)を有し、レーザ光LBを発することができる。発光素子23は、外部電源等と電気的な接続がされる端子231を有する。端子231は、Z軸方向負側に突出する。
ベース基板31は、平板状をなし、その厚さ方向がZ軸方向と平行に配置される。これにより、ベース基板31は、Z軸方向正側に臨む表面311を有する。そして、表面311上には、複数の光源ユニット2が二次元アレイ状に配列される。また、隣り合う光源ユニット2同士は、ベース基板31上で密接して配置される。さらに、ベース基板31上の全光源部21は、ハニカム状に(つまり、六方稠密に)配列された状態となっている。このような配置(配列)により、光源装置1は、高出力のレーザ光照射装置となる。
以上のような着脱構成により、例えば発光素子23やコリメータ25、すなわち、光源部21を1つずつ交換する場合に比べて、交換作業を容易かつ迅速に行うことができる。
<適用例1>
光源装置1は、画像等をスクリーンに投影するプロジェクタに適用することができる。プロジェクタは、光源装置1を備える。この場合、光源装置1は、波長が互いに異なる赤系、緑系および青系のレーザ光LBをそれぞれ照射するよう構成されている。これにより、光源装置1は、カラー画像を投影することができる。
光源装置1は、レーザ加工を行う機械加工装置に適用することができる。機械加工装置は、光源装置1を備える。この場合、光源装置1は、波長が互いに異なる、例えば青系のレーザ光LBをそれぞれ照射するよう構成されている。これにより、光源装置1は、例えば、レーザ加工を行うことができる。
図6に示すように、本調整方法は、作動工程と、判定工程とを有し、これらの工程が順に行われる。
作動工程は、光源装置1を作動させて、使用する工程である。
上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
それぞれレーザ光を発する発光素子と、該発光素子を収納するパッケージとを有する複数の光源部と、該光源部を複数支持する支持板と、を有し、二次元アレイ状に配列した複数の光源ユニットと、
前記複数の光源ユニットが配置される表面を有するベース基板と、
前記ベース基板に対して、前記支持板を着脱自在に固定する固定部材と、
を備える。
前記複数の光源ユニットは、前記ベース基板上で密接して配置され、
前記光源部の光軸方向から見たときに、全ての前記光源部が稠密に配置されている。
前記光源部の光軸方向から見たときに、前記支持板は、矩形状であり、
前記複数の光源部は、前記支持板の平行な2辺に沿って稠密に配置されている。
前記固定部材は、隣接する前記光源部間に配置される締結部材である。
前記支持板は、前記ベース基板よりも薄い。
前記支持板は、金属材料で構成される。
前記パッケージは、CAN型パッケージである。
前記発光素子の光路中に配置されたコリメータを有する。
前記コリメータに対して、光軸方向下流側に配置され、前記各レーザ光を集光する集光レンズと、
前記集光レンズに対して、前記光軸方向下流側に配置され、前記集光レンズによって集光された前記各レーザ光を導光して出射する光ファイバと、
を備える。
第1項~第9項のいずれか1項に記載の光源装置を備える。
第1項~第9項のいずれか1項に記載の光源装置を備える。
レーザ光を発する発光素子と、該発光素子を収納するパッケージとを有する光源部と、
前記光源部を複数支持する支持板と、を有し、
前記支持板は、前記支持板を固定するための固定部材が通る貫通孔を有する。
レーザ光を出射する複数の光源ユニットと、前記複数の光源ユニットが配置される表面を有するベース基板と、前記光源ユニットから出射したレーザ光を整形する光学系と、を備えた光源装置を調整する方法であって、
前記複数の光源ユニットは、それぞれ、複数の光源部と、該複数の光源部を支持する支持板とを有し、
前記ベース基板から前記支持板を取り外し、これにより、前記光源ユニットを交換する工程を有する。
前記光源ユニットの故障または劣化を判定する工程をさらに有し、
前記光源ユニットの故障または劣化を判定する工程は、前記光源ユニットの故障または劣化していると判定されたときに、前記光源ユニットを交換する工程を含む。
2 光源ユニット
21 光源部
22 支持板
221 長辺
222 短辺
223 貫通孔
23 発光素子
231 端子
24 パッケージ
25 コリメータ
26 連結部
3 ハウジング
31 ベース基板
311 表面
32 側壁部
4 固定部材
41 六角穴付きボルト(ボルト)
42 頭部(ねじ頭)
43 ねじ部(雄ねじ部)
10 装置本体
20 光学系
201 集光レンズ
201a 入射面
201b 出射面
202 光ファイバ
202a 入射面
202b 出射面
LB レーザ光
Claims (11)
- 複数の光源ユニットであって、
各光源ユニットは、複数の光源部と、該複数の光源部を支持する支持板とを有し、
各光源部は、それぞれレーザ光を発する発光素子と、該発光素子を収納するパッケージとを有する 複数の光源ユニットと、
前記複数の光源ユニットが互いに密接して配置される表面を有するベース基板と、
前記ベース基板に対して、前記光源部と干渉しないよう、隣接する前記光源部間に配置され、各支持板を着脱自在に固定する締結部材からなる固定部材と、
を備えた光源装置 - 前記締結部材は、ボルトである請求項1に記載の光源装置。
- 前記支持板は、前記ベース基板よりも薄い請求項1に記載の光源装置。
- 前記支持板は、金属材料で構成される請求項1に記載の光源装置。
- 前記パッケージは、CAN型パッケージである請求項1に記載の光源装置。
- 前記発光素子の光路中に配置されたコリメータを有する請求項1に記載の光源装置。
- 前記コリメータに対して、光軸方向下流側に配置され、前記各レーザ光を集光する集光レンズと、
前記集光レンズに対して、前記光軸方向下流側に配置され、前記集光レンズによって集光された前記各レーザ光を導光して出射する光ファイバと、
を備える請求項6に記載の光源装置。 - 請求項1に記載の光源装置を備えるプロジェクタ。
- 請求項1に記載の光源装置を備える機械加工装置。
- 請求項1記載の光源装置を調整する方法であって、
前記ベース基板から前記支持板を取り外し、これにより、前記光源ユニットを交換する工程を有する光源装置の調整方法。 - 前記光源ユニットの故障または劣化を判定する工程をさらに有し、
前記光源ユニットの故障または劣化を判定する工程は、前記光源ユニットの故障または劣化していると判定されたときに、前記光源ユニットを交換する工程を含む請求項10に記載の光源装置の調整方法。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008299195A (ja) | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Ricoh Co Ltd | 画像照明装置、画像読取装置及び画像形成装置 |
JP2011096790A (ja) | 2009-10-28 | 2011-05-12 | Mitsubishi Electric Corp | 光源装置 |
JP2012174954A (ja) | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Panasonic Corp | 半導体発光装置及びそれを用いた光源装置 |
WO2013133147A1 (ja) | 2012-03-09 | 2013-09-12 | 株式会社小糸製作所 | 照明器具 |
JP2013251295A (ja) | 2012-05-30 | 2013-12-12 | Nichia Chem Ind Ltd | 光源装置 |
US20180095124A1 (en) | 2016-10-04 | 2018-04-05 | Vuereal Inc. | Micro device arrangement in donor substrate |
US20180301871A1 (en) | 2017-04-05 | 2018-10-18 | Vixar | Novel patterning of vcsels for displays, sensing, and imaging |
JP2019110291A (ja) | 2017-12-19 | 2019-07-04 | シャープ株式会社 | 光源モジュール |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05235479A (ja) | 1992-02-20 | 1993-09-10 | Rohm Co Ltd | 光源ユニット |
JP6720502B2 (ja) | 2015-10-30 | 2020-07-08 | 株式会社島津製作所 | レーザ装置の製造方法 |
EP3669430B1 (en) * | 2017-08-14 | 2022-11-09 | Lumentum Operations LLC | A surface-mount compatible vcsel array |
CN208752384U (zh) * | 2018-09-25 | 2019-04-16 | 中强光电股份有限公司 | 投影机及其激光模块 |
CN113273042B (zh) * | 2018-12-26 | 2024-06-21 | 广埸(厦门)科技有限公司 | 具有激光器阵列照明的系统和设备 |
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2021
- 2021-01-08 WO PCT/JP2021/000550 patent/WO2021210226A1/ja active Application Filing
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008299195A (ja) | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Ricoh Co Ltd | 画像照明装置、画像読取装置及び画像形成装置 |
JP2011096790A (ja) | 2009-10-28 | 2011-05-12 | Mitsubishi Electric Corp | 光源装置 |
JP2012174954A (ja) | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Panasonic Corp | 半導体発光装置及びそれを用いた光源装置 |
WO2013133147A1 (ja) | 2012-03-09 | 2013-09-12 | 株式会社小糸製作所 | 照明器具 |
JP2013251295A (ja) | 2012-05-30 | 2013-12-12 | Nichia Chem Ind Ltd | 光源装置 |
US20180095124A1 (en) | 2016-10-04 | 2018-04-05 | Vuereal Inc. | Micro device arrangement in donor substrate |
US20180301871A1 (en) | 2017-04-05 | 2018-10-18 | Vixar | Novel patterning of vcsels for displays, sensing, and imaging |
JP2019110291A (ja) | 2017-12-19 | 2019-07-04 | シャープ株式会社 | 光源モジュール |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20230151952A1 (en) | 2023-05-18 |
JPWO2021210226A1 (ja) | 2021-10-21 |
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