JP7479668B2 - 触媒パッド、その製造方法および製造装置 - Google Patents
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Description
図1には触媒基準の加工(触媒基準平坦加工や触媒基準クリーニング)装置で使用する触媒パッド1の一例を示す。触媒パッド1のパッド基体11は平面視で長方形の板体で、パッド基体11はバイトンゴム、ウレタン、エポキシなどのゴム、樹脂あるいはエラストマー等で構成されている。パッド基体11の表面には平坦加工時に処理流体を供給するための長手方向へ延びる多数の流体供給凹所の一例としての流体供給溝2が平行に形成されている。
バイトンゴム:158×10**-6/K
ウレタンゴム:100~120×10**-6/K
エポキシ樹脂:62.0×10**-6/K
ここで、**は累乗を示し、Kは絶対温度である(以下、同じ)。
クロム:4.9×10**-6/K
チタン:8.4×10**-6/K
白金:8.8×10**-6/K
ルテニウム:8.2×10**-6/K
金:14.2~14.3×10**-6/K
図6に示すように、触媒基準の加工(触媒基準平坦加工や触媒基準クリーニング)を促進するための紫外線を通過させる貫通穴5を触媒パッド1に設けて、触媒パッド1に接触する被加工物Wの加工面に紫外線を照射するようにしたものがあり、このような貫通穴5の開口縁を、第1実施形態と同様の外方へ八の字に開く所定の曲率の曲面とすれば、開口縁部分での触媒膜の剥がれを防止ないし低減することができる。
大型の触媒パッドを回転させ、その周面に自転する被加工物(基板)を接触させて触媒基準の加工(触媒基準平坦加工や触媒基準クリーニング)を行う装置が従来から提案されており(例えば特開2006-114632)、この場合には、図8に示すように、流体供給溝2は触媒パッド1の回転中心に対して同心円状に形成されることが多い。
流体供給溝2の形状や貫通穴5の形状は開口縁のみを曲面とするのみならず全体を曲面に成形しても良い。
ウエット洗浄は、水を媒体とする洗浄である。ウエット洗浄の代表的なものとして、例えば、RCA洗浄がある。被加工物との相性で被加工物に潜傷やピットが発生しないRCA洗浄などの洗浄が好ましい。
スクラブ洗浄は、被加工物(基板など)の表面に付着した汚染物質に物理的衝撃を与えて、被加工物(基板など)の表面から汚染物質を除去する洗浄である。
また、触媒基準クリーニング後に一般的なクリーニングを行うことで、触媒基準クリーニングの際に付着した洗浄用物質を容易に除去できる。
Claims (14)
- 触媒基準の加工に使用する触媒パッドであって、パッド基体の表面に形成された開口の、少なくとも開口縁の断面が曲面に形成されており、このようなパッド基体の表面に触媒膜が形成されていることで、前記パッド基体と触媒膜の熱膨張係数の相違により前記開口縁に生じる応力が緩和されていることを特徴とする触媒パッド。
- 触媒基準平坦加工に使用する触媒パッドであって、パッド基体の表面に形成された開口の、少なくとも開口縁の断面が曲面に形成されており、このようなパッド基体の表面に触媒膜が形成されていることで、前記パッド基体と触媒膜の熱膨張係数の相違により前記開口縁に生じる応力が緩和されていることを特徴とする触媒パッド。
- 前記開口縁は、処理流体を供給する流体供給凹所の開口縁である請求項1又は2に記載の触媒パッド。
- 前記開口縁は、紫外線を通過させる貫通穴の開口縁である請求項1又は2に記載の触媒パッド。
- 前記開口縁を、パッド表面に接触する被加工物の移動方向にある被加工物周縁が通過しない領域にのみ形成した請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の触媒パッド。
- 前記開口を形成する工具の刃部に、前記開口縁の断面形状に倣った曲面が形成されており、前記工具を前記パッド基体の表面に所定量進入させて前記パッド基体の表面に沿って移動させ、ないし前記工具を自転させつつ前記パッド基体の表面に進入させることによって前記開口を形成することを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の触媒パッドの製造方法。
- 刃部に前記開口縁の断面形状に倣った曲面が形成された工具を前記流体供給凹所の間隔に等しい間隔で複数設け、これら工具を前記パッド基体の表面に所定量進入させて前記パッド基体の表面に沿って移動させる移動手段を設けた請求項3に記載の触媒パッドの製造装置。
- 前記開口を形成した前記パッド基体の表面に前記触媒膜を形成するのに先立って、前記表面に生じたバリを除去することを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の触媒パッドの製造方法。
- 前記開口を形成した前記パッド基体の表面に前記触媒膜を形成する際に少なくとも一つ以上の成分を用いて前記触媒膜を形成することを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の触媒パッドの製造方法。
- 前記開口を形成した前記パッド基体の表面に前記触媒膜を形成する際に少なくとも一つ以上の層で前記触媒膜を形成することを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の触媒パッドの製造方法。
- 前記開口を形成した前記パッド基体の表面に前記触媒膜を形成する際に前記触媒膜の一部が少なくとも金属結合になっていることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の触媒パッドの製造方法。
- 前記流体供給凹所は直線溝である請求項3に記載の触媒パッド。
- 前記開口を、化学的加工によって形成した請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の触媒パッドの製造方法。
- 前記パッド基体の所定領域以外の他領域に前記パッド基体の構成材を積層して前記他領域を相対的に高くすることによって、前記所定領域に前記開口を形成する請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の触媒パッドの製造方法。
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