JP7476247B2 - 相分析装置、試料分析装置、および分析方法 - Google Patents
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Description
試料上の位置と前記試料からの信号に基づくスペクトルを対応づけたスペクトルイメージングデータを複数取得するデータ取得部と、
前記複数のスペクトルイメージングデータの各々に対して多変量解析を行って、前記スペクトルイメージングデータごとに第1代表スペクトル群を取得する第1取得部と、
前記第1取得部で取得された複数の前記第1代表スペクトル群に対して多変量解析を行って、第2代表スペクトル群を取得する第2取得部と、
前記第2代表スペクトル群に含まれる複数の代表スペクトルを分類する分類部と、
前記分類部における分類結果に基づいて、前記複数のスペクトルイメージングデータの各々に対して相分析を行う相分析部と、
を含む。
試料上の位置と前記試料からの信号に基づくスペクトルを対応づけたスペクトルイメージングデータを複数取得する工程と、
前記複数のスペクトルイメージングデータの各々に対して多変量解析を行って、前記スペクトルイメージングデータごとに第1代表スペクトル群を取得する工程と、
取得された複数の前記第1代表スペクトル群に対して多変量解析を行って、第2代表スペクトル群を取得する工程と、
前記第2代表スペクトル群に含まれる複数の代表スペクトルを分類する工程と、
前記分類部における分類結果に基づいて、前記複数のスペクトルイメージングデータの各々に対して相分析を行う工程と、
を含む。
まず、本発明の一実施形態に係る相分析装置について図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る相分析装置80を含む試料分析装置100の構成を示す図である。
ペクトル群(全体代表スペクトル群)を取得する。
図3は、相分析装置80における分析方法を説明するための図である。図4は、相分析装置80の処理の流れの一例を示すフローチャートである。
データ取得部801は、試料分析装置100で試料Sを測定して得られた、複数のスペクトルイメージングデータを取得する。図3に示す例では、データ取得部801は、4つのスペクトルイメージングデータ(第1スペクトルイメージングデータD1、第2スペクトルイメージングデータD2、第3スペクトルイメージングデータD3、第4スペクトルイメージングデータD4)を取得する。
S上の座標)とX線スペクトルデータを関連付けて記憶することで、第1領域A1の第1スペクトルイメージングデータD1を得ることができる。データ取得部801は、試料分析装置100で第1領域A1を測定することで得られた第1スペクトルイメージングデータD1を取得する。第1スペクトルイメージングデータD1では、各ピクセルPに対応する試料S上の位置と、その試料S上の位置で得られたX線スペクトルが関連付けて記憶されている。
第1取得部802は、データ取得部801が取得した4つのスペクトルイメージングデータの各々に対して多変量解析を行って、スペクトルイメージングデータごとに部分代表スペクトル群を取得する。
第2取得部803は、部分代表スペクトル群G1、部分代表スペクトル群G2、部分代表スペクトル群G3、および部分代表スペクトル群G4に対して多変量解析を行って、全体代表スペクトル群Gを取得する。第2取得部803は、部分代表スペクトル群G1、部分代表スペクトル群G2、部分代表スペクトル群G3、および部分代表スペクトル群G4に含まれるすべての代表スペクトルを対象として、多変量解析を行う。
分類部804は、全体代表スペクトル群Gに含まれる複数の代表スペクトルを分類する。分類部804は、例えば、階層的クラスタリング法を用いて、複数の代表スペクトルを分類し、クラスターを作成する。
C7,C8,C9,C10間の距離(非類似度)およびクラスター間の距離(非類似度)を求め、その距離が短い組み合わせから順に併合する。併合の過程は、樹形図で表すことができる。併合に要する距離を結合距離という。
相分析部805は、全体代表スペクトル群Gを用いて、複数のスペクトルイメージングデータD1,D2,D3,D4の各々に対して相分析を行う。具体的には、相分析部805は、スペクトルイメージングデータごとに、全体代表スペクトル群Gを用いて各ピクセルのスペクトルを分類して、相マップを作成し、スペクトルイメージングデータごとに作成された相マップを結合して、1つの相マップ(結合相マップM)を作成する。
相分析部805は、相マップM1、相マップM2、相マップM3、および相マップM4を結合して1つの相マップMを作成する。
表示制御部806は、結合相マップMを表示部820に表示させる。
相分析装置80は、複数のスペクトルイメージングデータを取得するデータ取得部801と、複数のスペクトルイメージングデータの各々に対して多変量解析を行ってスペクトルイメージングデータごとに部分代表スペクトル群(第1代表スペクトル群)を取得する第1取得部802と、第1取得部802で取得された複数の部分代表スペクトル群に対し
て多変量解析を行って、全体代表スペクトル群(第2代表スペクトル群)を取得する第2取得部803と、全体代表スペクトル群を用いて複数のスペクトルイメージングデータの各々に対して相分析を行う相分析部805と、を含む。
次に、相分析装置80における分析方法の変形例について説明する。以下では、上述した相分析装置80の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
図12は、第1変形例に係る分析方法を説明するための図である。
て、第1取得部802は、複数のスペクトルイメージングデータの各々に対して多変量解析を行って、スペクトルイメージングデータごとに部分代表スペクトル群を取得した。
図13は、第2変形例に係る分析方法を説明するための図である。
いて、第2取得部803は、第1取得部802で取得された複数の部分代表スペクトル群に対して多変量解析を行って、全体代表スペクトル群Gを取得した。
上述した実施形態では、複数のイメージングデータは、図5に示すように、同一の試料Sの互いに異なる領域を測定して得られた複数のデータであったが、複数のイメージングデータはこれに限定されない。
上述した実施形態では、試料分析装置100が、X線検出器70を備えた走査電子顕微鏡である場合について説明したが、本発明に係る分析装置は、これに限定されない。例えば、本発明に係る分析装置は、試料Sからの信号(X線や、電子、イオン等)に基づくスペクトルを得ることができる装置であればよい。本発明に係る分析装置は、エネルギー分散型X線分光器や波長分散型X線分光器を備えた透過電子顕微鏡、電子プローブマイクロアナライザー、オージェマイクロプローブ、光電子分光装置、集束イオンビーム装置などであってもよい。
…試料分析装置、800…処理部、801…データ取得部、802…第1取得部、803…第2取得部、804…分類部、805…相分析部、806…表示制御部、810…操作部、820…表示部、830…記憶部
Claims (6)
- 試料上の位置と前記試料からの信号に基づくスペクトルを対応づけたスペクトルイメージングデータを複数取得するデータ取得部と、
前記複数のスペクトルイメージングデータの各々に対して多変量解析を行って、前記スペクトルイメージングデータごとに第1代表スペクトル群を取得する第1取得部と、
前記第1取得部で取得された複数の前記第1代表スペクトル群に対して多変量解析を行って、第2代表スペクトル群を取得する第2取得部と、
前記第2代表スペクトル群に含まれる複数の代表スペクトルを分類する分類部と、
前記分類部における分類結果に基づいて、前記複数のスペクトルイメージングデータの各々に対して相分析を行う相分析部と、
を含む、相分析装置。 - 請求項1において、
前記相分析部は、
前記スペクトルイメージングデータごとに、各ピクセルの相を特定して相マップを作成し、
前記スペクトルイメージングデータごとに作成された前記相マップを結合して、1つの相マップを作成する、相分析装置。 - 請求項1または2において、
前記第1取得部は、
前記複数のスペクトルイメージングデータを複数のグループに分け、
グループごとに多変量解析を行って、前記グループごとに前記第1代表スペクトル群を取得する、相分析装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記第2取得部は、
前記複数のスペクトルイメージングデータの各々において、前記第1代表スペクトル群を用いて各ピクセルのスペクトルを分類し、種類ごとに属するスペクトルを積算または平
均してスペクトル群を生成し、
複数の前記スペクトル群に対して多変量解析を行って、前記第2代表スペクトル群を取得する、相分析装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の相分析装置を含む、試料分析装置。
- 試料上の位置と前記試料からの信号に基づくスペクトルを対応づけたスペクトルイメージングデータを複数取得する工程と、
前記複数のスペクトルイメージングデータの各々に対して多変量解析を行って、前記スペクトルイメージングデータごとに第1代表スペクトル群を取得する工程と、
取得された複数の前記第1代表スペクトル群に対して多変量解析を行って、第2代表スペクトル群を取得する工程と、
前記第2代表スペクトル群に含まれる複数の代表スペクトルを分類する工程と、
前記分類部における分類結果に基づいて、前記複数のスペクトルイメージングデータの各々に対して相分析を行う工程と、
を含む、分析方法。
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