JP7475151B2 - 測定装置、および測定方法 - Google Patents
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Description
従来、半導体の洗浄液やエッチング液として、塩酸、硝酸、リン酸、水酸化アンモニウム、過酸化水素等の水溶液が用いられており、水溶液の吸光度に基づいて、水溶液の濃度を測定する技術が知られている。単純には、水溶液に照射する光の波長領域を狭くすることで、水溶液中における各種溶質の濃度を簡易な構成で精度良く測定できると考えられる。
以下、図1を用いて、実施形態における測定手法について説明する。図1は、実施形態における測定手法を説明する図である。図1に示す例では、水溶液等といった液体のサンプルに溶解する溶質の濃度を測定する測定システム1の構成を概念的に示した。
以下、サンプルの吸光度に基づいて、サンプルに含まれる溶質の濃度を測定する処理の一例について説明する。なお、以下の説明では、アンモニア(NH3)および過酸化水素(H2O2)の水溶液をサンプルとする例について説明するが、実施形態は、これに限定されるものではない。測定装置6は、任意の溶質を含むサンプルの吸光度から、溶質の濃度の算出を行ってよい。また、以下の説明では、溶質となる水のみの透過光の強度に対し、サンプルの透過光の強度との割合の対数を取り、符号を反転させた値をサンプルの吸光度とした。
続いて、測定装置6がスペクトルの生成を行う処理の原理について説明する。例えば、測定対象が水溶液等の液体である場合、溶質や溶媒の種別や比率により、測定対象が吸収しやすい光の波長が変化する。また、溶質や溶媒が変化した場合や濃度が変化した場合は、測定対象の濃度を精度良く測定するため、新たな特定波長の選択を要する場合がある。このような問題は、測定対象が水蒸気や混合気体である場合も同様に存在する。このため、濃度の測定精度を向上させるには、測定対象の濃度に応じて吸光度が変化しやすい光の波長を特定波長として選択することが重要となる。
ここで、測定装置6は、λ(1)~λ(n)までの光の強度を、異なるパルス点灯のタイミングで測定することとなる。このため、サンプルに気泡が混入した場合や、受光素子5から送信されるデータのエラーが生じた場合、合成スペクトルの精度が低下する恐れがある。そこで、測定装置6は、発光素子が前回点灯した際に分光した波長のうちいずれかの波長を再測定波長として再測定波長の光を再度分光させ、再測定波長の光の強度の差に基づいて、各波長の光の強度を補正したスペクトルを生成してもよい。
上述した例では、測定装置6は、第1のタイミングで測定した波長のうち最後に測定した波長を第1のタイミングの次の第2のタイミングで再測定波長とし、再測定波長の光の強度が大きく変化した場合は、第2のタイミングにおける測定結果を合成対象から除外した。しかしながら、実施形態は、これに限定されるものではない。
上述した例では、測定装置6は、λ(1)~λ(36)の波長の光を、波長が短い方から順に、所定の数づつ分光し、光の強度を測定した。しかしながら、実施形態は、これに限定されるものではない。例えば、測定装置6は、波長の長い方から順に分光および測定を行ってもよい。また、測定装置6は、ランダムな順番で、分光および測定を行ってもよい。また、測定装置6は、光源装置2をパルス点灯させる時間の長さに応じた数の波長の分光を行ってもよい。
以下、上述した測定手法を用いてサンプルの濃度を測定する実施形態の一例について、図6を用いて説明する。図6は、実施形態における測定システムの概要を示す図である。図6に示す例では、測定システム10は、LED11、ファイバ12、16、投光部13、フローセル14、受光部15、分光装置17、および測定装置100を有する。
以下、図8を用いて、測定装置100が有する機能構成の一例について説明する。図8は、実施形態に係る測定装置が有する機能構成の一例を示す図である。図8に示すように、測定装置100は、光源制御部110、分光制御部120、受光制御部130、入力部140、出力部150、記憶部160、および制御部170を有する。
次に、図9を参照して、実施形態に係る測定システム10がスペクトルを取得する処理の動作タイミングの一例について説明する。図9は、実施形態に係る測定システムがスペクトルを取得する処理の動作タイミングの一例を示すフローチャートである。
上述したように、測定装置100は、ファブリペロー型の分光装置を用いて、サンプルを介して受光した光から測定対象と対応する特定波長の光を分光し、分光した特定波長の光の強度に基づいて、測定対象の濃度を測定する。このような構成により、測定装置100は、回折格子やカラーフィルタといった構成を有さずとも、測定対象の濃度を精度良く測定することができるので、簡易な構成で測定対象の濃度を精度良く測定することができる。
上記の説明では、サンプルに含まれる測定対象の濃度を測定したり、サンプルのスペクトルを取得する測定システム1、10について説明したが、実施形態は、これに限定されるものではない。以下の説明では、測定システム1、10が実行する処理のバリエーションについて説明する。
上述した例では、測定システム1、10は、複数の波長であって、差分が所定値(若しくは、所定の範囲内)となる複数の波長の光を分光し、分光した光の強度を測定した。しかしながら、実施形態は、これに限定されるものではない。例えば、測定システム1、10が分光および測定する波長は、波長帯ごとに粗密を有するものであってもよい。換言すると、測定装置6が分光対象とする複数の波長は、間隔が一定値であってもよく、間隔に粗密を有する者であってもよい。
上述した例では、測定システム1、10は、サンプルを透過した光を分光し、分光した光の強度を測定した。しかしながら、実施形態は、これに限定されるものではない。例えば、測定システム1、10は、サンプルの反射光から光を分光し、分光した光の強度から、スペクトルの生成や、濃度の測定を行ってもよい。すなわち、測定対象を介して受光された光とは、透過光のみならず、反射光をも含む概念であってもよい。
測定システム1、10は、各種溶質が溶解した水溶液のみならず、例えば、各種溶質が溶解した有機溶剤等の溶液をサンプルとし、スペクトルの取得や濃度の測定を行ってもよい。また、このような場合、測定システム1、10は、溶媒の吸光度と溶質の吸光度との割合から式(1)を用いて算出される吸光度を採用してもよい。また、測定システム1、10は、溶液のみならず、混合気体等、各種の気体をサンプルとし、サンプルに含まれる気体のうち任意の気体の濃度を測定したり、サンプルのスペクトルを取得してもよい。また、測定システム1、10は、溶質ではなく、溶媒となる物質の濃度を測定してもよい。
なお、測定システム1、10の装置構成は、上述した説明に限定されるものではない。例えば、測定装置6は、光源装置2、ファブリペロー分光用チューナブルフィルタ4、および受光素子5を有し、フローセル3内のサンプルにおける測定対象の濃度を測定したり、スペクトルを取得する装置であってもよい。
2 光源装置
3、14 フローセル
4 ファブリペロー分光用チューナブルフィルタ
5、177 受光素子
6、100 測定装置
11 LED
12、16 ファイバ
13 投光部
15 受光部
17 分光装置
110 光源制御部
120 分光制御部
130 受光制御部
140 入力部
150 出力部
160 記憶部
170 制御部
171 取得部
172 生成部
173 演算部
174 提供部
Claims (16)
- 発光素子を断続的に点灯させることで、濃度の測定対象と対応する特定波長を含む光を出射する光源部と、
前記測定対象を介して受光した光から、前記発光素子が点灯する度に異なる波長帯の光を分光するファブリペロー型の分光部と、
前記分光部により分光された異なる波長の光の強度をそれぞれ測定する測定部と、
前記分光部により分光された光の波長と、測定部により測定された各波長の光の強度との関係性を示すスペクトルを生成する生成部と
を有し、
前記生成部は、前記分光部により分光された所定の波長であって、複数回分光された所定の波長の光の強度に基づいて、各波長の光の強度を補正したスペクトルを生成する
ことを特徴とする測定装置。 - 前記分光部は、前記発光素子が前回点灯した際に分光した波長のうちいずれかの波長を再測定波長として当該再測定波長の光を再度分光し、
前記生成部は、再測定波長の光の強度の差に基づいて、各波長の光の強度を補正したスペクトルを生成する
ことを特徴とする請求項1に記載の測定装置。 - 前記分光部は、前記発光素子が点灯する度に、所定の再測定波長を含む複数の波長の光を分光し、
前記生成部は、前記再測定波長の光の強度の差に基づいて、各波長の光の強度を補正したスペクトルを生成する
ことを特徴とする請求項1に記載の測定装置。 - 前記生成部は、前記発光素子を点灯させた際に測定された前記再測定波長の光の強度と、当該点灯させた際よりも前の点灯の際に測定された前記再測定波長の光の強度との差が所定の閾値を超える場合は、当該発光素子を点灯させた際に測定された光の強度が異常値であると判定し、当該発光素子を点灯させた際に測定された光の強度を、スペクトルの生成に用いる対象から除外する
ことを特徴とする請求項2または3に記載の測定装置。 - 前記分光部は、前記発光素子が点灯する度に、所定の数の波長の光を分光する
ことを特徴とする請求項1~4のうちいずれか1つに記載の測定装置。 - 前記分光部は、前記発光素子を点灯させる時間に応じた数の波長の光を分光する
ことを特徴とする請求項1~5のうちいずれか1つに記載の測定装置。 - 前記分光部は、所定の範囲に含まれる複数の波長の光を、所定の順序で分光する
ことを特徴とする請求項1~6のうちいずれか1つに記載の測定装置。 - 前記分光部は、一定の間隔を有する複数の波長の光を所定の順序で分光する
ことを特徴とする請求項7に記載の測定装置。 - 前記分光部は、前記所定の範囲のうち第1の範囲に含まれる複数の波長と、前記所定の範囲のうち第2の範囲に含まれる複数の波長とで、異なる間隔を有する複数の波長の光を所定の順序で分光する
ことを特徴とする請求項7に記載の測定装置。 - 前記分光部は、前記所定の範囲のうち前記特定波長を含む第1の範囲に含まれる複数の波長の間隔を、前記所定の範囲のうち前記特定波長を含まない第2の範囲に含まれる複数の波長の間隔よりも短くする
ことを特徴とする請求項9に記載の測定装置。 - 前記分光部は、前記所定の範囲のうち前記特定波長を含む第1の範囲に含まれる複数の波長を連続的に分光し、他の範囲に含まれる波長を非連続的に分光する
ことを特徴とする請求項7~10のうちいずれか1つに記載の測定装置。 - 前記分光部は、前記複数の波長の光を、波長が短い方から順に分光する
ことを特徴とする請求項7~11のうちいずれか1つに記載の測定装置。 - 前記分光部は、前記複数の波長を波長が短い方から順に所定の数ずつ含む複数の組に組み分けし、前記発光素子が点灯する度に、各組から1つづつ選択された波長の光を分光する
ことを特徴とする請求項7~11のうちいずれか1つに記載の測定装置。 - 前記生成部により生成されたスペクトルに基づいて前記特定波長として選択された波長の光の強度に基づいて、前記測定対象の濃度を測定する濃度測定部
を有することを特徴とする請求項1~13のうちいずれか1つに記載の測定装置。 - 前記生成部により生成されたスペクトルに基づいて、前記発光素子が出射した特定波長の光の強度を推定し、推定した強度と、前記測定部により測定された特定波長の光の強度とに基づいて、前記測定対象の濃度を測定する濃度測定部
を有することを特徴とする請求項1~13のうちいずれか1つに記載の測定装置。 - 測定装置が実行する測定方法であって、
濃度の測定対象と対応する特定波長を含む光を出射する発光素子を断続的に点灯させる点灯工程と、
前記測定対象を介して受光した光から、ファブリペロー型の分光装置を用いて、前記発光素子が点灯する度に異なる波長帯の光を分光する分光工程と、
前記分光工程により分光された異なる波長の光の強度をそれぞれ測定する測定工程と、
前記分光工程により分光された光の波長と、測定工程により測定された各波長の光の強度との関係性を示すスペクトルを生成する生成工程と
を含み、
前記生成工程は、前記分光工程により分光された所定の波長であって、複数回分光された所定の波長の光の強度に基づいて、各波長の光の強度を補正したスペクトルを生成する
ことを特徴とする測定方法。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006132986A (ja) | 2004-11-02 | 2006-05-25 | Olympus Corp | 光学式生体情報測定装置および測定方法 |
JP2013142657A (ja) | 2012-01-12 | 2013-07-22 | Seiko Epson Corp | 分光計測方法、分光計測器、および変換行列の生成方法 |
JP2013205113A (ja) | 2012-03-27 | 2013-10-07 | National Institute Of Information & Communication Technology | 多波長測定装置 |
US20170089830A1 (en) | 2015-09-25 | 2017-03-30 | Drägerwerk AG & Co. KGaA | Method for signal detection in a gas analysis system |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2543137B2 (ja) * | 1988-06-06 | 1996-10-16 | 株式会社豊田中央研究所 | 粉塵濃度測定装置 |
JPH0829336A (ja) * | 1994-07-15 | 1996-02-02 | Kubota Corp | 食味値測定装置 |
JPH1137936A (ja) * | 1996-05-31 | 1999-02-12 | Norihiro Kiuchi | 液濃度検出装置 |
JP2004108808A (ja) * | 2002-09-13 | 2004-04-08 | Canon Inc | 分光器の波長校正方法 |
FR2847670B1 (fr) * | 2002-11-26 | 2005-06-10 | Sc2N Sa | Detecteur par voie optique de la presence de bulles de gaz dans un liquide |
JP4722513B2 (ja) * | 2005-03-15 | 2011-07-13 | 倉敷紡績株式会社 | 過酢酸を含む酸溶液の濃度測定のための装置および方法 |
DE102011116367A1 (de) * | 2011-10-19 | 2013-04-25 | Bluepoint Medical Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zur hoch aufgelösten Bestimmung der Konzentration von Substanzen in fluiden Medien |
JP2016050965A (ja) * | 2014-08-28 | 2016-04-11 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール及び電子機器 |
JP2017146257A (ja) * | 2016-02-19 | 2017-08-24 | トヨタ自動車株式会社 | ガス濃度検出方法 |
-
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-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006132986A (ja) | 2004-11-02 | 2006-05-25 | Olympus Corp | 光学式生体情報測定装置および測定方法 |
JP2013142657A (ja) | 2012-01-12 | 2013-07-22 | Seiko Epson Corp | 分光計測方法、分光計測器、および変換行列の生成方法 |
JP2013205113A (ja) | 2012-03-27 | 2013-10-07 | National Institute Of Information & Communication Technology | 多波長測定装置 |
US20170089830A1 (en) | 2015-09-25 | 2017-03-30 | Drägerwerk AG & Co. KGaA | Method for signal detection in a gas analysis system |
Also Published As
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