JP2020128940A - 測定装置、測定システムおよび測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
従来、半導体の洗浄液やエッチング液として、塩酸、硝酸、リン酸、水酸化アンモニウム、過酸化水素等の水溶液が用いられており、水溶液の吸光度に基づいて、水溶液の濃度を測定する技術が知られている。単純には、水溶液に照射する光の波長領域を狭くすることで、水溶液中における各種溶質の濃度を簡易な構成で精度良く測定できると考えられる。
以下、図1を用いて、実施形態における測定手法について説明する。図1は、実施形態における測定手法を説明する図である。図1に示す例では、水溶液等といった液体のサンプルに溶解する溶質の濃度を測定する測定システム1の構成を概念的に示した。
以下、サンプルの吸光度に基づいて、サンプルに含まれる溶質の濃度を測定する処理の一例について説明する。なお、以下の説明では、アンモニア(NH3)および過酸化水素(H2O2)の水溶液をサンプルとする例について説明するが、実施形態は、これに限定されるものではない。測定装置6は、任意の溶質を含むサンプルの吸光度から、溶質の濃度の算出を行ってよい。また、以下の説明では、溶質となる水のみの透過光の強度に対し、サンプルの透過光の強度との割合の対数を取り、符号を反転させた値をサンプルの吸光度とした。
続いて、吸光係数の一例について説明する。なお、以下の説明では、特定波長λ1と特定波長λ2との吸光度から吸光係数を算出する処理の一例について説明する。
なお、上述した例では、アンモニアと過酸化水素が溶解した水溶液をサンプルとしたが、実施形態は、これに限定されるものではない。例えば、測定装置6は、塩酸(HCl)と過酸化水素とが溶解したサンプルについて、上述した処理と同様の処理を実行することにより、サンプルの吸光度から塩酸および過酸化水素の濃度を算出してもよい。ここで、図10は、塩酸と過酸化水素水の吸収スペクトルを示すグラフである。
以下、上述した測定手法を用いてサンプルの濃度を測定する実施形態の一例について、図13を用いて説明する。図13は、実施形態における測定システムの概要を示す図である。図13に示す例では、測定システム10は、LED11、ファイバ12、16、投光部13、フローセル14、受光部15、分光装置17、および測定装置100を有する。
以下、図15を用いて、測定装置100が有する機能構成の一例について説明する。図15は、実施形態に係る測定装置が有する機能構成の一例を示す図である。図15に示すように、測定装置100は、光源制御部110、分光制御部120、受光制御部130、入力部140、出力部150、記憶部160、および制御部170を有する。
次に、図16を参照して、実施形態に係る測定システム10の動作タイミングの一例について説明する。図16は、実施形態に係る測定システムの動作タイミングの一例を示すフローチャートである。
上述したように、測定装置100は、ファブリペロー型の分光装置を用いて、サンプルを介して受光した光から測定対象と対応する特定波長の光を分光し、分光した特定波長の光の強度に基づいて、測定対象の濃度を測定する。このような構成により、測定装置100は、回折格子やカラーフィルタといった構成を有さずとも、測定対象の濃度を精度良く測定することができるので、簡易な構成で測定対象の濃度を精度良く測定することができる。
上記の説明では、サンプルに含まれる測定対象の濃度を測定する測定システム1、10について説明したが、実施形態は、これに限定されるものではない。以下の説明では、測定システム1、10が実行する測定手法のバリエーションについて説明する。
上述した測定システム1、10では、測定対象となるアンモニアや過酸化水素の吸光度のピークが存在する波長を特定波長として選択した。このように、吸光度のピークが存在する波長を特定波長とした場合、濃度の測定精度を向上させることができる。しかしながら、実施形態は、これに限定されるものではない。測定システム1、10は、少なくとも、サンプルに含まれる濃度の測定対象ごとに特定波長を選択し、選択した特定波長の強度から各測定対象の濃度を測定するのであれば、任意の波長を特定波長として選択してもよい。
また、測定システム1、10は、各種溶質が溶解した水溶液のみならず、例えば、各種溶質が溶解した有機溶剤等の溶液をサンプルとしてもよい。また、このような場合、測定システム1、10は、溶媒の吸光度と溶質の吸光度との割合から式(1)を用いて算出される吸光度を採用してもよい。また、測定システム1、10は、溶液のみならず、混合気体等、各種の気体をサンプルとし、サンプルに含まれる気体のうち任意の気体の濃度を測定してもよい。また、測定システム1、10は、溶質ではなく、溶媒となる物質の濃度を測定してもよい。
なお、測定システム1、10の装置構成は、上述した説明に限定されるものではない。例えば、測定装置6は、光源装置2、ファブリペロー分光用チューナブルフィルタ4、および受光素子5を有し、フローセル3内のサンプルにおける測定対象の濃度を測定する装置であってもよい。
2 光源装置
3、14 フローセル
4 ファブリペロー分光用チューナブルフィルタ
5、177 受光素子
6、100 測定装置
11 LED
12、16 ファイバ
13 投光部
15 受光部
17 分光装置
110 光源制御部
120 分光制御部
130 受光制御部
140 入力部
150 出力部
160 記憶部
170 制御部
171 取得部
172 演算部
173 提供部
Claims (10)
- 濃度の測定対象と対応する特定波長を含む光を出射する光源部と、
前記測定対象を介して前記光源部から出射された光を分光するファブリペロー型の分光部と、
前記分光部により分光された前記特定波長の光の強度に基づいて、前記測定対象の濃度を測定する測定部と
を有することを特徴とする測定装置。 - 前記光源部は、前記特定波長を含む光を出射可能な発光素子を1つ以上有する
ことを特徴とする請求項1に記載の測定装置。 - 前記光源部は、前記測定対象と対応する複数の特定波長の光を出射し、
前記分光部は、前記測定対象と対応する複数の特定波長の光をそれぞれ分光し、
前記測定部は、前記分光部により分光された複数の特定波長の光の強度に基づいて、前記測定対象の濃度を測定する
ことを特徴とする請求項1または2に記載の測定装置。 - 前記光源部は、複数の測定対象のそれぞれと対応する特定波長を含む光を出射し、
前記分光部は、複数の特定波長を含む光を分光し、
前記測定部は、前記分光部により分光された複数の特定波長の光の強度に基づいて、前記複数の測定対象の濃度を測定する
ことを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか1つに記載の測定装置。 - 前記光源部は、少なくとも、前記複数の測定対象と同数の特定波長を含む光を出射し、
前記分光部は、前記光源部が出射した複数の特定波長を含む光を分光し、
前記測定部は、前記分光部により分光された複数の特定波長の光の強度に基づいて、前記複数の測定対象の濃度を測定する
ことを特徴とする請求項4に記載の測定装置。 - 前記測定部は、各測定対象の濃度を特定波長における吸光度に変換する吸光係数に基づく行列と、前記分光部により分光された特定波長の光の強度に基づいた吸光度とに基づいて、各測定対象の濃度を算出する
ことを特徴とする請求項3〜5のうちいずれか1つに記載の測定装置。 - 前記光源部は、当該測定対象が吸収する光の波長を前記特定波長とした光を出射する
ことを特徴とする請求項1〜6のうちいずれか1つに記載の測定装置。 - 前記光源部は、所定の溶媒に溶解する測定対象と対応する特定波長を含む光を出射し、
前記分光部は、前記所定の溶媒に前記測定対象が溶解した溶液を介して前記光源部から出射された光を受光する
ことを特徴とする請求項1〜7のうちいずれか1つに記載の測定装置。 - 濃度の測定対象と対応する波長の光を出射する光源装置と、
前記測定対象を介して前記光源装置から出射された光を分光するファブリペロー型の分光装置と、
前記分光装置により分光された光の強度に基づいて、前記測定対象の濃度を測定する測定装置と
を有することを特徴とする測定システム。 - 測定装置が実行する測定方法であって、
光源から出射された濃度の測定対象と対応する波長の光を、濃度の測定対象を介して受光し、ファブリペロー型の分光器を用いて、受光した光を分光する分光工程と、
前記分光工程により分光された光の強度に基づいて、前記測定対象の濃度を測定する測定工程と
を含むことを特徴とする測定方法。
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