JPH10111243A - 分光分析装置 - Google Patents

分光分析装置

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JPH10111243A
JPH10111243A JP26681696A JP26681696A JPH10111243A JP H10111243 A JPH10111243 A JP H10111243A JP 26681696 A JP26681696 A JP 26681696A JP 26681696 A JP26681696 A JP 26681696A JP H10111243 A JPH10111243 A JP H10111243A
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semiconductor laser
light
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emission wavelength
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JP26681696A
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Masahiko Muto
雅彦 武藤
Nobuya Tsujikura
伸弥 辻倉
Hiroichi Ikeda
博一 池田
Satoshi Igawa
聖史 井川
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Kubota Corp
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Kubota Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 分光分析装置を可及的に小型化する。 【解決手段】 光源LSからの測定用光線を試料に照射
する照射部13と、前記試料を透過又は前記試料で反射
した光を受光する受光部14と、その受光部14が受光
した光に基づいて前記試料に含まれる成分を求める分光
分析手段SAとが設けられた分光分析装置において、前
記光源LSが、半導体レーザ素子LDにて構成され、前
記半導体レーザ素子LDの発光波長を連続的に変化させ
る波長変更手段WAが備えられ、前記分光分析手段SA
は、前記半導体レーザ素子LDの発光波長の変化に対す
る前記受光部14が受光した光の強度の変化に基づい
て、前記試料に含まれる成分を求めるように構成されて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光源からの測定用
光線を試料に照射する照射部と、前記試料を透過又は前
記試料で反射した光を受光する受光部と、その受光部が
受光した光に基づいて前記試料に含まれる成分を求める
分光分析手段とが設けられた分光分析装置に関する。
【0002】
【従来の技術】かかる分光分析装置は、照射部から、例
えば青果物等の試料に向けて測定用光線を照射し、その
試料の透過光又は反射光を受光部にて受光する。試料の
透過光又は反射光は、試料に含まれる成分によって特定
の波長の光が吸収される等して、試料に含まれる成分に
応じたスペクトルを有するものとなることが知られてい
る。そこで、分光分析手段にて、試料の透過光又は反射
光を分析することで、試料に含まれる成分を求めること
ができる。ところで、従来、この分光分析のために、ハ
ロゲンランプ等の白色光源を光源として用いて、試料を
透過又は試料で反射した光を分光器に導いて分光スペク
トルを得るのが一般的であった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来構成では、ハロゲンランプ等の光源や分光器の寸法自
体が大であること、更には、ハロゲンランプ等の光源で
発生する強い熱が試料に伝わらないようにする構成が必
要となること等により装置構成が大型化してしまう不都
合があり改善が望まれていた。本発明は、上記実情に鑑
みてなされたものであって、その目的は、装置を可及的
に小型化する点にある。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記請求項1記載の構成
を備えることにより、光源として半導体レーザ素子が用
いられ、半導体レーザ素子からの出射光が測定用光線と
して試料に照射される。半導体レーザ素子の発光スペク
トルは、一般に、極めて発光スペクトル幅の狭い単色性
に優れたものであり、しかも、波長変更手段によって電
流又は温度等の動作条件を変化させることで発光波長を
変化させることができる。波長変更手段によって、上記
のようにして連続的に発光波長を変化させた測定用光線
を照射部から試料に照射して、試料を透過した光又は試
料で反射した光を受光部にて受光すると、受光部にて受
光した光の強度は、半導体レーザ素子の発光波長の変化
に対応して変化して、結局分光スペクトルが得られるも
のとなる。これによって試料に含まれる成分を求めるこ
とができるのである。従って、必ずしも分光器も設けな
くても分光分析が可能となり、しかも、半導体レーザ素
子は極めて小型の半導体素子であり、更に、問題となる
ほどの熱も発生しないので、必ずしも熱が試料に伝わる
のを避けるための構成を必要しない。もって、分光分析
装置の装置構成を可及的に小型化することができる。
【0005】上記請求項2記載の構成を備えることによ
り、分光分析手段は、半導体レーザ素子の発光波長の変
化に対する受光部が受光した光の強度の変化の二次微分
値に基づいて、試料に含まれる成分を求める。従って、
分光スペクトルにおける波長に対する信号の変化が小さ
い場合でも、効果的に分光スペクトルの特徴を抽出でき
るので、成分を求める精度を向上させることができる。
【0006】上記請求項3記載の構成を備えることによ
り、照射部からは、発光波長の範囲が異なる複数個の半
導体レーザ素子からの光が試料に向けて照射され、分光
分析手段にて試料に含まれる成分が求められる。半導体
レーザ素子は単体でも分光分析装置の光源とすることが
可能であるが、求めたい試料の成分の種類又は成分の特
定の精度等との関係で、発光波長を変化させる範囲が十
分でない場合がある。このような場合に、上記のように
発光波長の範囲が異なる複数個の半導体レーザ素子を光
源とすることで、多様な測定が可能となり分光分析装置
を一層便利なものとすることができる。
【0007】上記請求項4記載の構成を備えることによ
り、半導体レーザ素子に対する注入電流を変化させて、
半導体レーザ素子の発光波長を変化させる。従って、半
導体レーザ素子の動作温度を変化させて発光波長を変化
させる場合に較べて、迅速に発光波長を変化させること
ができるので、分光分析を迅速に行うことができる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明を、測定対象の試料
Sである青果物に含まれる成分を求める場合に適用した
実施の形態を図面に基づいて説明する。図1に示すよう
に、分光分析装置1は、光源LSと、光源LSからの測
定用光線を集光する集光レンズ3と、その集光された測
定用光線を試料Sに照射する照射部13と、試料Sから
の透過光を受光する受光部14と、照射部13と受光部
14との間に位置する試料Sを支持する試料支持部15
と、受光部14が受光した透過光を検出する受光素子9
と、受光素子9にて検出した光の強度に基づいて試料S
に含まれる成分を求める分析部8とを備えている。
【0009】照射部13は、保持部13aと、試料Sに
密着して外部からの光を遮光する椀形状のゴム製パッド
13bにより構成してある。同様に、受光部14も、保
持部14aと椀形状のゴム製パッド14bにより構成し
てある。
【0010】光源LSは半導体レーザ素子LDを用いて
おり、具体的には、図2の部分断面図を含む斜視図に示
すように、InP基板2a上にInGaAsP活性層2
bを有するDBR半導体レーザ素子2を用いている。D
BR半導体レーザ素子2は、光伝播方向に、上記のIn
GaAsP活性層2bを有する発光領域10と、InG
aAsP活性層2bと一連に連なる光ガイド層2cを有
する位相制御領域11と、光ガイド層2cと一連に連な
り且つ回折格子2dを形成したDBR光ガイド層2eを
有するDBR領域12とが並ぶ状態で形成されている。
尚、InGaAsP活性層2bは室温での発光波長が1
380nm程度に設定されており、光ガイド層2c及び
DBR光ガイド層2eは、InGaAsP活性層2bに
て発生した光を低損失で通過させる組成比のInGaA
sP層にて形成されている。
【0011】これら発光領域10,位相制御領域11及
びDBR領域12は、基板側電極20は共通に設けられ
ているが、成長層側には、上記各領域の夫々に対応して
成長層側電極21a,21b,21cが形成され、上記
各領域に対して夫々独立に電流を注入することができ
る。発光領域10,位相制御領域11及びDBR領域1
2に注入する電流を変化させると、主としていわゆるプ
ラズマ効果によって各領域の屈折率が変化し、位相制御
領域11に注入する電流を変化させた場合では、DBR
半導体レーザ素子2の共振器全体としての発振モードが
変化し、DBR領域12に注入する電流を変化させた場
合では、DBR半導体レーザ素子2の共振器全体として
の発振モードが変化すると共に、DBR領域12におけ
るブラッグ波長が変化する。従って、発光領域10に注
入する電流によってDBR半導体レーザ素子2の出射光
強度を制御し、位相制御領域11及びDBR領域12に
注入する電流を変化させることで、図3に示すように数
十MHz程度のスペクトル幅を維持した状態で、DBR
半導体レーザ素子2の発光波長を変化させることができ
る。
【0012】DBR半導体レーザ素子2は、DBR半導
体レーザ素子2の冷却及び加熱を行うためのペルチェ素
子4上に実装されており、DBR半導体レーザ素子2
は、発光領域10,位相制御領域11及びDBR領域1
2の各領域に対する注入電流がLD駆動回路5によって
独立に供給され、ペルチェ素子4に対する駆動電流はペ
ルチェ駆動回路6から供給される。又、LD駆動回路5
のDBR半導体レーザ素子2に対する供給電流量、及
び、ペルチェ駆動回路6のペルチェ素子4に対する供給
電流量は、光源制御部7によって制御される。
【0013】分析部8は、マイクロコンピュータを利用
して構成してあり、受光素子9からの出力信号を処理し
て、吸光度スペクトル、及び、吸光度スペクトルの二次
微分値を得ると共に、その二次微分値に基づいて試料S
に含まれる成分を、その量(以下、「成分量」という)
を算出することによって求める。尚、吸光度は、光源L
Sの照射光量(基準光量)をI、透過光の光量をTとす
ると、 Log(I/T) で定義される。
【0014】試料Sに含まれる成分量は、一般的には、
下記(1) 式(以下、「成分量算出式」という)による重
回帰分析に基づいて算出される。 Y=K0 +K1 A(λ1 )+K2 A(λ2 )+K3 A(λ3 )+…… (1) 式 但し、Yは成分量、K0 ,K1 ,K2 ,K3 ……は係
数、A(λ1 ),A(λ 2 ),A(λ3 )……は波長λ
1 ,λ2 ,λ3 ……における吸光度スペクトルの二次微
分値である。上記のK0 ,K1 ,K2 ,K3 ……及び波
長λ1 ,λ2 ,λ3 ……は実験的に求められる。
【0015】上記の波長λ1 ,λ2 ,λ3 ……の具体例
について例示すると、求める成分がグルコースの場合
は、例えば、750nm,830nm,915nm,1
030nm,1080nm,1205nm,1260n
m及び1380nm等であり、クエン酸の場合は、例え
ば、775nm,900nm,1005nm,1060
nm,1170nm,1240nm及び1375nm等
であり、更に、アスコルビン酸の場合は、例えば、76
0nm,920nm,995nm,1200nm,12
65nm及び1355nm等である。
【0016】本実施形態では、上記の波長のうち、グル
コースについての1380nmを検出対象とし、試料S
中にグルコースが含まれているか否かを、その成分量を
推定することによって判定する。尚、成分量の検出精度
の観点からは、極力、検出対象となる波長は多いほど良
いが、上記のように1種類の波長でも簡易的に試料Sの
成分を求めることができる。従って、分析部8は、受光
部14が受光した光に基づいて試料Sに含まれる成分を
求める分光分析手段SAとして機能する。
【0017】次に、上記構成の分光分析装置1にて試料
Sの成分を求める過程を簡単に説明する。先ず、光源制
御部7は、ペルチェ駆動回路6を制御してDBR半導体
レーザ素子2の動作温度を一定に保った状態で、LD駆
動回路5を制御してDBR半導体レーザ素子2への供給
電流を変化させる。これによって、DBR半導体レーザ
素子2の発光波長を、約5nmの幅で連続的に変化させ
ることができる。従って、LD駆動回路5及び光源制御
部7は、DBR半導体レーザ素子2の発光波長を連続的
に変化させる波長変更手段WAとして機能する。
【0018】分析部8では、発光波長が連続的に変化す
る間の、受光部14の受光素子9が検出する光の強度を
記憶する。分析部8に対しては、受光素子9からの信号
入力に平行して、光源制御部7のLD駆動回路5に対す
る制御信号が入力される。分析部8には、そのLD駆動
回路5に対する制御信号とDBR半導体レーザ素子2の
発光波長との対応関係を示すデータが、予め実験的に求
められて記憶されており、光源制御部7からの入力信号
と受光素子9からの入力信号とによって、試料Sの透過
光の分光スペクトルを得ることができる。この分光スペ
クトルの二次微分値を求めることにより、上記(1) 式を
利用して、試料Sにおけるグルコースの成分量を求め
る。尚、LD駆動回路5に対する制御信号の態様は、D
BR半導体レーザ素子2の位相制御領域11及びDBR
領域12に対して供給される電流を、例えば、正弦波的
に変化させるもの、鋸歯状に変化させるもの、あるい
は、細かな階段状に変化させるもの等、種々の態様が可
能である。
【0019】上記のようにDBR半導体レーザ素子2の
発光波長を変化させることで、分光分析が行われるので
あるが、DBR半導体レーザ素子2の発光波長の変化幅
が十分ではない場合は、DBR半導体レーザ素子2の動
作温度を変化させることによっても発光波長を変化させ
ることができる。すなわち、上記のDBR半導体レーザ
素子2への注入電流の変化とDBR半導体レーザ素子2
の動作温度の変化とを併用することで、約10nmの幅
でDBR半導体レーザ素子2の発光波長を変化させるこ
とができるのである。この場合は、ペルチェ駆動回路6
も波長変更手段WAとして機能する。
【0020】〔別実施形態〕以下、別実施形態を列記す
る。 上記実施の形態では、光源LSを単一の半導体レー
ザ素子LDにて構成しているが、発光波長の範囲が異な
る複数個の半導体レーザ素子LDにて構成しても良い。
具体的には、図4に示すように、発光波長の範囲の異な
る複数個(具体的には3個)の半導体レーザ素子30
a,30b,30cを並べて配置する構成としても良
い。これら3個の発光ダイオード30a,30b,30
cは、基本的に図2に示すものと同一構成であり、夫々
発光波長が1205nm,1260nm,1380nm
となるように組成比を設定してある。これらの半導体レ
ーザ素子30a,30b,30cは、一つのサブマウン
ト31上に実装した状態で、ペルチェ素子4に取り付け
られている。
【0021】これらの半導体レーザ素子30a,30
b,30cの夫々について順次発光波長を変化させるこ
とによって、上記(1) 式における成分量を決定するため
の波長の数が多くなり、より精度良く成分を求めること
ができる。又、各半導体レーザ素子30a,30b,3
0cの発光波長を適宜他の波長に設定することによりク
エン酸又はアスコルビン酸等の他の成分を求めることが
できるのはもちろんである。
【0022】 上記実施の形態では、DBR半導体レ
ーザ素子2を光源として用いているが、単純なファブリ
ーペロー型の半導体レーザ素子を用いても良い。単純な
ファブリーペロー型の半導体レーザ素子も、発光波長の
変化の幅は小さくなるが、電流や温度等の動作条件によ
って発光波長を変化させることができる。
【0023】 上記実施の形態では、試料Sを透過し
た光を受光して分光分析を行っているが、試料Sにて反
射した光を受光して分光分析する構成としても良い。
【0024】 上記実施の形態では、分析部8は、L
D駆動回路5に対する制御信号とDBR半導体レーザ素
子2の発光波長との対応関係を示すデータを利用して、
半導体レーザ素子LDの発光波長を特定しているが、半
導体レーザ素子LDの発光波長を測定する分光器を備
え、その分光器の検出信号によって半導体レーザ素子L
Dの発光波長を特定する構成としても良い。
【0025】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構造に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態にかかる分光分析装置の概
略構成図
【図2】本発明の実施の形態にかかる半導体レーザ素子
の斜視図
【図3】本発明の実施の形態にかかる発光スペクトルの
説明図
【図4】本発明の別実施形態にかかる要部斜視図
【符号の説明】
13 照射部 14 受光部 LD 半導体レーザ素子 LS 光源 SA 分光分析手段 WA 波長変更手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井川 聖史 兵庫県尼崎市浜1丁目1番1号 株式会社 クボタ技術開発研究所内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源(LS)からの測定用光線を試料に
    照射する照射部(13)と、前記試料を透過又は前記試
    料で反射した光を受光する受光部(14)と、その受光
    部(14)が受光した光に基づいて前記試料に含まれる
    成分を求める分光分析手段(SA)とが設けられた分光
    分析装置であって、 前記光源(LS)が、半導体レーザ素子(LD)にて構
    成され、 前記半導体レーザ素子(LD)の発光波長を連続的に変
    化させる波長変更手段(WA)が備えられ、 前記分光分析手段(SA)は、前記半導体レーザ素子
    (LD)の発光波長の変化に対する前記受光部(14)
    が受光した光の強度の変化に基づいて、前記試料に含ま
    れる成分を求めるように構成されている分光分析装置。
  2. 【請求項2】 前記分光分析手段(SA)は、前記半導
    体レーザ素子(LD)の発光波長の変化に対する前記受
    光部(14)が受光した光の強度の変化の二次微分値に
    基づいて、前記試料に含まれる成分を求めるように構成
    されている請求項1記載の分光分析装置。
  3. 【請求項3】 前記光源(LS)が、発光波長の範囲が
    異なる複数個の半導体レーザ素子(LD)にて構成され
    ている請求項1又は2記載の分光分析装置。
  4. 【請求項4】 前記波長変更手段(WA)は、前記半導
    体レーザ素子(LD)に対する注入電流を変化させるこ
    とにより、発光波長を変化させるように構成されている
    請求項1〜3のいずれか1項に記載の分光分析装置。
JP26681696A 1996-10-08 1996-10-08 分光分析装置 Pending JPH10111243A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000013808A1 (en) * 1998-09-07 2000-03-16 Hamish Alexander Nigel Kennedy Produce identification system
JP2007502432A (ja) * 2003-05-06 2007-02-08 ベイカー ヒューズ インコーポレイテッド 炭化水素試料の分析用の波長可変ダイオードレーザ分光計を用いる方法及び装置
EP2214843A1 (en) * 2007-11-22 2010-08-11 Integrated Optoelectronics AS Method and system for measuring and determining/identifying different materials

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000013808A1 (en) * 1998-09-07 2000-03-16 Hamish Alexander Nigel Kennedy Produce identification system
JP2007502432A (ja) * 2003-05-06 2007-02-08 ベイカー ヒューズ インコーポレイテッド 炭化水素試料の分析用の波長可変ダイオードレーザ分光計を用いる方法及び装置
EP2214843A1 (en) * 2007-11-22 2010-08-11 Integrated Optoelectronics AS Method and system for measuring and determining/identifying different materials
EP2214843A4 (en) * 2007-11-22 2013-05-29 Integrated Optoelectronics As METHOD AND SYSTEM FOR MEASURING AN OBJECT AND DETERMINING / IDENTIFYING VARIOUS MATERIALS

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