JP2005274507A - レーザ分光分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 波長可変レーザを用いて波長を掃引し、分光分析を行うレーザ分光分析装置において、
波長参照用エタロンと、波長参照用フォトダイオードと、予めエタロン信号のパターンを記憶するエタロン信号パターン記憶装置と、前記波長参照用エタロンを透過し、前記波長参照用フォトダイオードで検出されたエタロン信号パターンと前記エタロン信号パターン記憶装置に記憶された信号パターンとを比較するエタロン信号パターン比較装置と、前記波長可変レーザの波長を掃引するレーザ波長掃引制御装置とからなり、
前記波長可変レーザから出射したレーザ光の一部を分岐して前記参照用エタロンを透過させ、透過した光を前記参照用フォトダイオードで受光したエタロン信号と、前記エタロン信号パターン記憶装置に記憶した信号パターとを前記エタロンパターン比較装置で比較した結果を基にレーザ波長掃引範囲を制御する。
【選択図】 図1
Description
従って、本発明の目的は、
Reference cellを用いず波長掃引を行うことで、安価で、安定なレーザガス分光分析計を実現することにある。
波長可変レーザを用いて波長を掃引し、分光分析を行うレーザ分光分析装置において、
波長参照用エタロンと、波長参照用フォトダイオードと、予めエタロン信号のパターンを記憶するエタロン信号パターン記憶装置と、前記波長参照用エタロンを透過し、前記波長参照用フォトダイオードで検出されたエタロン信号パターンと前記エタロン信号パターン記憶装置に記憶された信号パターンとを比較するエタロン信号パターン比較装置と、前記波長可変レーザの波長を掃引するレーザ波長掃引制御装置とからなり、
前記波長可変レーザから出射したレーザ光の一部を分岐して前記参照用エタロンを透過させ、透過した光を前記参照用フォトダイオードで受光したエタロン信号と、前記エタロン信号パターン記憶装置に記憶した信号パターとを前記エタロンパターン比較装置で比較した結果を基にレーザ波長掃引範囲を制御することを特徴とする。
エタロン信号微分装置を有し、エタロン信号を微分した信号またはエタロン信号と微分信号を基にレーザ波長掃引範囲を制御するよう構成したことを特徴とする。
エタロンとして、FSR(Free Spectral Range)の異なる複数のエタロンを用い、その複数のエタロンからのエタロン信号パターンをエタロン信号パターン記憶装置に記憶し、複数のエタロン信号とエタロン信号パターン記憶装置に記憶した信号パターンとを比較した結果を基にレーザ波長掃引範囲を制御するように構成したことを特徴とする。
請求項1に記載の発明によれば、 波長可変レーザを用いて波長を掃引し、分光分析を行うレーザ分光分析装置において、
波長参照用エタロンと、波長参照用フォトダイオードと、予めエタロン信号のパターンを記憶するエタロン信号パターン記憶装置と、前記波長参照用エタロンを透過し、前記波長参照用フォトダイオードで検出されたエタロン信号パターンと前記エタロン信号パターン記憶装置に記憶された信号パターンとを比較するエタロン信号パターン比較装置と、前記波長可変レーザの波長を掃引するレーザ波長掃引制御装置とからなり、前記波長可変レーザから出射したレーザ光の一部を分岐して前記参照用エタロンを透過させ、透過した光を前記参照用フォトダイオードで受光したエタロン信号と、前記エタロン信号パターン記憶装置に記憶した信号パターとを前記エタロンパターン比較装置で比較した結果を基にレーザ波長掃引範囲を制御するようにしたので、
掃引波長範囲をコントローする基準としてRefarence Cellを用いる必要がない。その結果、安価で、安定なレーザ分光分析装置を実現することができる。
レーザ波長に対して周期的で、かつ、周期の異なる複数のエタロン信号が得られるため、その組み合わせにより、レーザ波長の絶対値を得ることが出来、波長掃引範囲を正確に制御することが出来る。また、一つのエタロン信号では、信号の頂点や谷となる波長では十分な感度(分解能)で波長を検出できない場合があるが、複数の周期の異なるエタロン信号により、補間しあえるため、全ての波長に対して、掃引波長範囲を正確にコントロールすることが出来るようになる。
図1は本発明に係るレーザ分光分析装置の要部構成図である。
図において、1は本発明に係る分光分析装置の光源部であり、レーザ制御装置2、レーザ駆動装置7、波長可変レーザ8、レンズ9、ビームスプリッタ10、エタロン11、フォトダイオード(PD)12などで構成されている。
なお、レーザ制御装置2にはレーザ波長掃引制御装置3、エタロンパターン比較装置4、エタロン信号パターン記憶装置5、エタロン信号微分装置6が設けられている。
可変波長レーザ8より出射され、ビームスプリッタ10a,ビームスプリッタ10bを透過した光はサンプル16に照射され、透過した光がレンズ9dで集光されて検出器PD12cで検出される。その検出された光を解析することでサンプル内の測定対象成分の濃度が測定される。
図2はエタロンの透過波長特性を示すものである。図に示すように、一つのエタロンで制御しようとすると、エタロン信号は波長に対して周期的な信号となるため、自分が何周期目にいるかを最初に粗調する必要がある。
即ち、一つのエタロンでは波長に対して周期的な信号となるため、その信号だけでは波長の絶対値は分からない。波長に対する周期の異なる複数のエタロンを組み合わせて使うとバーニアのような効果を得ることができ波長を特定できるようになる。
以上図面と共に詳細に説明したように本発明によれば、波長掃引範囲をコントロールする基準にReference cellを用いず、エタロンを用い行うように構成したので、安価で、安定なレーザガス分光分析計を実現することが出来る。
2 レーザ制御装置
3 レーザ波長掃引制御装置
4 エタロン信号パターン比較装置
5 エタロン信号パターン記憶装置
6 エタロン信号微分装置
7 レーザ駆動装置
8 波長可変レーザ
9 レンズ
10 ビームスプリッタ
11 エタロン
12 検出器(PD)
16 サンプル
Claims (3)
- 波長可変レーザを用いて波長を掃引し、分光分析を行うレーザ分光分析装置において、
波長参照用エタロンと、波長参照用フォトダイオードと、予めエタロン信号のパターンを記憶するエタロン信号パターン記憶装置と、前記波長参照用エタロンを透過し、前記波長参照用フォトダイオードで検出されたエタロン信号パターンと前記エタロン信号パターン記憶装置に記憶された信号パターンとを比較するエタロン信号パターン比較装置と、前記波長可変レーザの波長を掃引するレーザ波長掃引制御装置とからなり、
前記波長可変レーザから出射したレーザ光の一部を分岐して前記参照用エタロンを透過させ、透過した光を前記参照用フォトダイオードで受光したエタロン信号と、前記エタロン信号パターン記憶装置に記憶した信号パターとを前記エタロンパターン比較装置で比較した結果を基にレーザ波長掃引範囲を制御することを特徴とするレーザ分光分析装置。 - エタロン信号微分装置を有し、エタロン信号を微分した信号またはエタロン信号と微分信号を基にレーザ波長掃引範囲を制御するよう構成したことを特徴とする請求項1記載のレーザ分光分析装置
- エタロンとして、FSR(Free Spectral Range)の異なる複数のエタロンを用い、その複数のエタロンからのエタロン信号パターンをエタロン信号パターン記憶装置に記憶し、複数のエタロン信号とエタロン信号パターン記憶装置に記憶した信号パターンとを比較した結果を基にレーザ波長掃引範囲を制御するよう構成したことを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ分光分析装置。
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