JP7468925B2

JP7468925B2 - 伸縮可能収納機構及び伸縮可能収納機構を収納可能な収納箱

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Publication number: JP7468925B2
Application number: JP2022108645A
Authority: JP
Inventors: 世峰潘
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Publication date: 2024-04-16
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（関連出願の相互参照）
本願は２０２１年７月６日付けで出願された台湾特許出願第１１０１２４８３２号及び２０２２年５月２３日付けで出願された米国特許出願第１７／７５１，１０４号に対する優先権を主張するものであり、これら特許文献の内容は、それらの全体が参照により本明細書に援用される。

本発明は収納装置に関し、特に伸縮可能収納機構、及び伸縮可能収納機構を収納可能な収納箱に関する。

半導体製造プロセスにおいて、ウェハの収納及び搬送は重要な技術である。なぜならば、シリコンやガラス状材料からなる可能性のあるウェハは、不適切な搬送工程や搬送ツールによって破損しやすく、また、ウェハの破損は、ウェハの製造にかかるコスト及び時間の大幅な増加を招くことがあるからである。従来のウェハ収納箱は、省スペースでありながら一度に多くのウェハを搬送することを可能にするため、ウェハを積み重ねる形で収納する構成のものが多かった。しかしながら、このようなウェハ収納箱は、ウェハ同士が固定の距離を置いて保管されることから、やはり一定の体積を有しており、嵩張りがちであった。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その一つの目的は、一度に複数の板体（例えば半導体ウェハ又はディスプレイ基板のような板状のもの）を載置可能であり、且つ伸縮機能を有することによりコンパクト化が可能である伸縮可能収納機構を提供することにある。本発明のもう一つの目的は、伸縮可能収納機構を収納可能な収納箱を提供することにある。

上記一つの目的を達成するために、本発明の伸縮可能収納機構は、縦方向において配列される複数のトレー部と、隣接する二つのトレー部を互いに連結させる少なくとも二つの伸縮ユニットと、を備え、前記伸縮ユニットは各前記トレー部間の距離を変更させるために伸縮可能であることを特徴としている。

上記もう一つの目的を達成するために、本発明の収納箱は、伸縮可能収納機構を収納するための収納箱であって、前記伸縮可能収納機構の最上層のトレー部と連結可能な上蓋と、前記上蓋に設けられた取手と、前記上蓋の下方に位置し、当該上蓋が移動可能なように覆設されている下蓋であって、前記伸縮可能収納機構の最下層のトレー部と連結可能な下蓋と、前記上蓋と前記下蓋とによって囲まれて形成された、前記伸縮可能収納機構を収納するための収納空間と、を備え、前記上蓋が前記下蓋に対して上方へ移動すると、前記伸縮可能収納機構の伸縮ユニットは収縮状態から展開状態に移行し、これにより各前記トレー部の間の距離が広がることを特徴としている。

伸縮ユニットの伸縮により隣接する二つのトレー部間の距離が広がると、載置物品の載置及び取り出しが容易になり、一方、伸縮ユニットの伸縮により隣接する二つのトレー部間の距離が縮まると、伸縮可能収納機構全体の体積が確実に小さくなり、省スペース化を図ることが可能になる。

本発明の第１の好適実施形態に係る伸縮可能収納機構を示す斜視図である。本発明の第１の好適実施形態におけるトレー部にウェハが載置された状態を示す模式図である。本発明の第１の好適実施形態におけるトレー部にウェハが載置された状態を示す模式図である。本発明の第１の好適実施形態に係る伸縮可能収納機構の部分拡大図である。本発明の第１の好適実施形態における側壁連結装置を示す斜視図である。本発明の第１の好適実施形態における側壁連結装置を示す斜視図である。本発明の第２の好適実施形態に係る伸縮可能収納機構を示す斜視図である。本発明の第２の好適実施形態に係る伸縮可能収納機構の部分拡大図である。本発明の第２の好適実施形態における第１の側壁及び第２の側壁を示す分解斜視図である。本発明の第２の好適実施形態における伸縮ユニットの収縮状態を示す模式図である。本発明の第３の好適実施形態に係る伸縮可能収納機構を示す斜視図である。本発明の第３の好適実施形態に係る伸縮可能収納機構を示す部分拡大図である。本発明の第４の好適実施形態に係る伸縮可能収納機構を示す斜視図である。本発明の第４の好適実施形態に係る伸縮可能収納機構を示す部分拡大図である。伸縮ユニットが収縮状態にある時の本発明に係る収納箱を示す斜視図である。伸縮ユニットが展開状態にある時の本発明に係る収納箱を示す斜視図である。本発明に係る収納箱の上蓋を示す斜視図である。本発明に係る収納箱の下蓋を示す斜視図である。本発明に係る収納箱の下蓋が最下層のトレー部に直接的に掛合した状態を示す模式図である。本発明に係る収納箱の上蓋が最上層のトレー部に間接的に掛合した状態を示す模式図である。本発明の他の実施形態に係る伸縮可能収納機構を示す模式図である。図２１における伸縮ユニットの構造を示す分解斜視図である。本発明の他の実施形態に係る伸縮可能収納機構を示す模式図である。本発明の他の実施形態に係る伸縮可能収納機構を示す模式図である。

以下、図面を参照しながら、幾つかの実施形態を用いて本発明の技術的思想及び特徴について説明する。図１から図６に示されている本発明の第１の好適実施形態に係る伸縮可能収納機構１０Ａは、複数のトレー部２０と、隣接する二つのトレー部２０を互いに連結させる少なくとも二つの伸縮ユニット３０と、を備えている。伸縮ユニット３０は、トレー部２０間の距離を変更させるために伸縮可能である。伸縮ユニット３０が展開状態にある時に、隣接する二つのトレー部２０間の距離は最大となり、伸縮ユニット３０が収縮状態にある時に、隣接する二つのトレー部２０間の距離は最小になる。伸縮ユニット３０の伸縮により隣接する二つのトレー部２０間の距離が広がると、載置物品の載置及び取り出しが容易になり、一方、伸縮ユニット３０の伸縮により隣接する二つのトレー部２０間の距離が縮まると、伸縮可能収納機構１０全体の体積が確実に小さくなり、省スペース化を図ることが可能になる。各トレー部２０の形状は例えば正方形や正八角形などの正多角形であってよいが、この限りではない。トレー部２０の形状は必要に応じて変えることができる。また、各トレー部２０に載置される板体は、ウェハ、液晶パネル用ガラス基板又はディスクレコードなどであるが、この限りではない。

図２、３に示すように、トレー部２０は、マニピュレータ又は作業員が板体の一例としてのウェハ１００をトレー部２０上に載置させたり、トレー部２０からウェハ１００を取り出したりするための側方開口２２及び底部開口２４を有している。底部開口２４は円形又は他の形状であってよく、実際の製造プロセスに応じて調整すればよい。トレー部２０は、ウェハ１００をより安定的にトレー部２０内に載置させるための階段構造２５を更に有してもよい。階段構造２５は、ウェハ１００が搬送又は製造プロセス中に滑り出して破損することのないように、ウェハ１００の水平方向における移動を規制するためのものであり、階段側壁２５１及び階段底部２５３を有している。階段側壁２５１とトレー部２０との間の角度は、９１～１７９度の範囲内であってよく、階段底部２５３と階段側壁２５１との間の角度は１８０度未満であることが好ましい。

トレー部２０にウェハ１００が配置されている時、階段構造２５は、水平方向において容易に移動しないようにウェハ１００を確実に規制できる。階段構造２５の階段側壁２５１は、ウェハ１００の載置及び取り出しを容易にするために設けられたものであり、階段側壁２５１の最外縁の投影面積はウェハ１００の投影面積よりも若干大きくなっている。ウェハ１００の外縁を、階段底部２５３に触れることなく階段側壁２５１に実質的に当接させることで、階段構造２５との衝突によるウェハ１００の外縁の損傷が回避される。また、階段底部２５３の内縁の投影面積は、マニピュレータによる配置又は取り出しが容易となるように、ウェハ１００に対して大きすぎず小さすぎない大きさであることが望ましい。

図１及び図４から図６に、本発明の第１の好適実施形態に係る伸縮可能収納機構１０Ａが示されている。その側壁連結装置３４Ａは、第１の側壁３１に設けられている第１の連結部３４１と、第２の側壁３２に設けられている第２の連結部３４５とを有している。図５、６に示すように、第１の連結部３４１は、二つの第１の本体部３４２と、各々が第１の本体部３４２に設けられた二つの枢支孔３４３と、二つの第１の本体部３４２の間に位置する収容空間３４４とを有している。第２の連結部３４５は、収容空間３４４内に収容された第２の本体部３４６と、各々が第２の本体部３４６から延出して二つの枢支孔３４３内に挿入された二本の樞接柱３４７とを有している。このようにして、第１の側壁３１及び第２の側壁３２が側壁連結装置３４Ａによって連結されている。また、第１の連結部３４１の二つの第１の本体部３４２は各々弧状部３４２ａを有し、第２の連結部３４５は第２の本体部３４６の両側に凹設された凹入溝３４５ｂを更に有する。二つの凹入溝３４５ｂと、これらの凹入溝３４５ｂの夫々に当接する二つの弧状部３４２ａとによって、各伸縮ユニット３０の伸縮方向を規制する移動規制装置３６Ａが構成される。第１の側壁３１及び第２の側壁３２は、図４で見られる「＞」のような外凸形状に従って変位し得る。なお、各々の隣接する二つのトレー部２０に対し、そのトレー部２０の互いに対称な二つの辺部の夫々に二つの伸縮ユニット３０が配置されている。他の実施形態において、第１の連結部３４１の構造と第２の連結部３４５の構造とは交換可能である。

図７に、本発明の第２の好適実施形態に係る伸縮可能収納機構１０Ｂが示されている。その構造は、伸縮可能収納機構１０Ａと概ね同一である。但し、相違点として、伸縮可能収納機構１０Ｂの各伸縮ユニット３０Ｂは、第１の側壁３１Ｂと、同一のトレー部２０に第１の側壁３１Ｂと共に枢結された第２の側壁３２Ｂと、第２の側壁３２Ｂを、他のトレー部２０に枢結された第１の側壁３１Ｂに対して枢結させる側壁連結装置３４Ｂとを有している。これらの伸縮ユニット３０Ｂが収縮状態にある時に、図１０に示すように、第１の側壁３１Ｂ同士は互いに近接して重なり合い、第２の側壁３２Ｂ同士は互いに近接して重なり合う。本実施形態において、図８に示すように、第１の側壁３１Ｂの下端部３１Ｂ’’は、当該第１の側壁３１Ｂと共に同一のトレー部２０に枢結された第２の側壁３２Ｂの上端部３２Ｂ’と枢結しており、当該第２の側壁３２Ｂの下端部３２Ｂ’’は、他のトレー部２０に枢結された第１の側壁３１Ｂの上端部３１Ｂ’と枢結している。また、図９に示すように、第１の側壁３１Ｂの上端部３１Ｂ’には規制軌道３１０が設けられ、第２の側壁３２Ｂの下端部３２Ｂ’’には、規制軌道３１０に挿入可能な規制柱状突起３２０が設けられている。規制軌道３１０と、当該規制軌道３１０に挿入された規制柱状突起３２０とにより、第１の側壁３１Ｂ及び第２の側壁３２Ｂを互いに連結させる側壁連結装置３４Ｂが構成される。規制軌道３１０に内に挿入された規制柱状突起３２０は、規制軌道３１０内でしか変位できないので、規制柱状突起３２０及び規制軌道３１０により、伸縮ユニット３０Ｂの伸縮方向を規制する移動規制装置３６Ｂが更に構成される。また、本実施形態においては、図７に示すように、各々の隣接する二つのトレー部２０に対し、そのトレー部２０の互いに対称な二つの辺部の夫々に二つの（つまり合計で四つの）伸縮ユニット３０が配置され、且つ、トレー部２０において第１の側壁３１Ｂと第２の側壁３２Ｂとが枢結される延伸方向Ｌ１は、トレー部２０の辺長の延伸方向Ｌ０に対して平行となる。

図１１、１２に、本発明の第３の好適実施形態に係る伸縮可能収納機構１０Ｃが示されている。その構造は伸縮可能収納機構１０Ｂと概ね同一である。但し、相違点として、トレー部２０の二つの辺部における伸縮ユニット３０は、トレー部２０において第１の側壁３１と第２の側壁３２とが枢結される延伸方向Ｌ２が、トレー部２０の辺長の延伸方向Ｌ０に対して直交となるように配置されている。

図１３、１４に、本発明の第４の好適実施形態に係る伸縮可能収納機構１０Ｄが示されている。その構造は伸縮可能収納機構１０Ｃと概ね同一である。但し、相違点として、トレー部２０の二つの辺部における伸縮ユニット３０は、トレー部２０において第１の側壁３１と第２の側壁３２とが枢結される延伸方向Ｌ３が、トレー部２０の辺長の延伸方向Ｌ０に対して非直交且つ非平行となるように配置されている。

図１５、１６に示すように、本発明に係る各実施形態の伸縮可能収納機構１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１０Ｅ、１０Ｆ、１０Ｇ（以降、これらの符号をまとめて１０という）を収納するための本発明に係る収納箱５０は、上蓋６０と、上蓋６０の下方に位置する下蓋７０と、上蓋６０及び下蓋７０の間に位置する収納空間８０とを有している。上蓋６０は、上下移動可能なように下蓋７０に覆設されている。収納空間８０には、伸縮可能収納機構１０が収納されている。図１５に、伸縮ユニット３０が収縮状態にある時の収納箱５０の状態が示されており、この状態において、上蓋６０は下蓋７０に覆設されている。図１６に、伸縮ユニット３０が展開状態にある時の収納箱５０の状態が示されており、この状態において、上蓋６０は下蓋７０から離間している。上蓋６０及び下蓋７０の形状は、トレー部２０の形状に応じて異なっていてもよく、例えば上蓋６０をただの平板状のものとすることさえもできる。また、収納箱５０の上蓋６０には、人または機械が上蓋６０を持ち上げるための取手が更に設けられていてもよい。

上蓋６０は、伸縮可能収納機構１０の最上層のトレー部２０と連結可能であり、下蓋７０は伸縮可能収納機構１０の最下層のトレー部２０と連結可能である。図１７、１８に示すように、本実施形態において、上蓋６０は、その八つの辺部の内側面に夫々設けられた八つの上部規制部材６２を有し、同じように、下蓋７０は、その八つの辺部の内側面に夫々設けられた八つの下部規制部材７２を有している。上部規制部材６２は、伸縮可能収納機構１０の最上層のトレー部２０に直接又は間接的に掛合可能であり、下部規制部材７２は、伸縮可能収納機構１０の最下層のトレー部２０に直接又は間接的に掛合可能である。本実施形態において、各上部規制部材６２は、最上層のトレー部２０に直接的に掛合する上限部６２１を有し、各下部規制部材７２は最下層のトレー部２０に直接的に掛合する下限部７２１を有している。他の可能な実施形態において、これらの上部規制部材６２及び下部規制部材７２の数は必要に応じて異なっていてもよく、また、これらの上部規制部材６２及び下部規制部材７２の構造は上蓋６０及び下蓋７０に夫々連結することができればよく、上述した実施形態の構造に限定されない。

図１９に示すように、最上層及び最下層を除くこれらのトレー部２０はいずれも、下部規制部材７２の下限部７２１を通過させるための側方通過口２１を有している。上蓋６０が下蓋７０に対して上方へ移動すると、上蓋６０の上部規制部材６２における上限部６２１により最上層のトレー部２０が持ち上げられ、伸縮可能収納機構１０の伸縮ユニット３０が収縮状態から展開状態に移行する。これにより、各トレー部２０は、最下層のトレー部２０が下蓋７０の下部規制部材７２における下限部７２１と係合して上方へ移動できなくなるまで、隣接するトレー部２０との距離を広げながら次々と上方へ移動する。なお、トレー部２０が上方へ移動する間に、下部規制部材７２は側方通過口２１を通過する。このようにして、伸縮可能収納機構１０を、伸縮ユニット３０が展開状態にあり且つ隣接する二つのトレー部２０間の距離が最大となる状態にすることで、トレー部２０に対する物品の載置及び取り出しが容易になる。一方、上蓋６０が下蓋７０に対して下方へ移動すると、上蓋６０によって最上層のトレー部２０が下方へ押され、これにより、各トレー部２０は、伸縮ユニット３０が収縮状態となって隣接する二つのトレー部２０間の距離が最小となるまで、隣接するトレー部２０との距離を縮めながら次々と下方へ移動する。このようにして、伸縮可能収納機構１０全体の体積を的確に小さくすることで、省スペース化が可能になる。

物品の載置や取り出しを行う手段は特に限定されず、人であってもよく、マニピュレータであってもよい。また、上蓋６０を上下に移動させるためには、取手又は上蓋６０それ自体を把持して上下させればよい。最上層のトレー部２０及び最下層のトレー部２０には、必要に応じて物品を載置させなくてもよい。

図２０に示す他の実施形態において、上部規制部材６２は、伸縮可能収納機構１０の最上層のトレー部２０に間接的に連結され、具体的には伸縮ユニット３０の第１の側壁３１に枢結されている。この場合でも、上蓋６０が上方に移動すると、これにつれて第１の側壁３１が上方に移動し、これにより伸縮ユニット３０が展開することになる。同様に、下部規制部材７２は、伸縮可能収納機構１０の最下層のトレー部２０に間接的に連結され、具体的には伸縮ユニット３０の第２の側壁３２に枢結されている（図示せず）。更なる他の可能な実施形態において、上部規制部材６２は第２の側壁３２に枢結されていてもよく、下部規制部材７２は第１の側壁３１に枢結されていてもよい。このような構成要素の単純な変更、置換又は省略は、すべて本発明の請求の範囲に含まれるものである。

図２１に、本発明の他の実施形態に係る伸縮可能収納機構１０Ｅが示されている。その構造は伸縮可能収納機構１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄと概ね同一であるが、本実施形態において、伸縮ユニット９０は、トレー部２０に枢結された第１の側壁９１及び第２の側壁９２を有し、伸縮ユニット９０’は、トレー部２０’に枢結された第１の側壁９１’及び第２の側壁９２’を有している。第１の側壁９１は、第２の側壁９２’に連結されている。この実施形態において、伸縮ユニット９０、９０’が収縮状態にある時、第１の側壁９１及び第１の側壁９１'は互いに近接して重なり合い、且つ第２の側壁９２及び第２の側壁９２’は互いに近接して重なり合う。

図２２は、第１の側壁９１、第２の側壁９２及び第２の側壁９２’の細部を示す模式図である。ここで、第１の側壁９１は、第１の側壁右部９１１と、第１の側壁左部９１５と、これらに連結する連結部９１０とを有する。そのうち、第１の側壁右部９１１は、右部上枢支孔９１２と、右部下枢支孔９１４と、右部下枢支孔９１４に隣設された右部規制軌道９１３とを有している。第１の側壁左部９１５は、左部上枢支孔９１６と、左部下枢支孔９１８と、左部下枢支孔９１８に隣設された左部規制軌道９１７とを有している。右部規制軌道９１３は右部下枢支孔９１４と連通しており、右部規制軌道９１３及び右部下枢支孔９１４が、第１の側壁右部９１１を貫通する貫通孔を構成する。左部規制軌道９１７は左部下枢支孔９１８と連通しており、左部規制軌道９１７及び左部下枢支孔９１８が、第１の側壁左部９１５を貫通する貫通孔を構成する。連結部９１０は、右部上枢支孔９１２と右部下枢支孔９１４との間の中央部と、左部上枢支孔９１６と左部下枢支孔９１８との間の中央部と、を連結する。一方、第２の側壁９２は、上枢支孔９２１と、下枢支孔９２２と、下枢支孔９２２に隣設された規制柱状突起９２０とを有している。同様に、第２の側壁９２’は、上枢支孔９２１’と、下枢支孔９２２’と、上枢支孔９２１’に隣設された規制柱状突起９２０’とを有している。

図２１、２２に示すように、第２の側壁９２における下枢支孔９２２と、第１の側壁９１における左部上枢支孔９１６及び右部上枢支孔９１２とに枢軸（図示せず）を挿通させてトレー部２０上に枢結させることができる。同じように、第２の側壁９２’における上枢支孔９２１’と、第１の側壁９１における右部下枢支孔９１４及び左部下枢支孔９１８とに枢軸（図示せず）を挿通させてこれらを互いに対して枢結させることができる。これに伴い、規制柱状突起９２０’を、右部規制軌道９１３及び左部規制軌道９１７内に挿入させることができる。右部規制軌道９１３及び左部規制軌道９１７内に挿入された規制柱状突起９２０’は、右部規制軌道９１３及び左部規制軌道９１７内でしか変位できないので、これにより伸縮ユニット９０’の伸縮方向が規制される。

図２３に、本発明のもう一つの実施形態に係る伸縮可能収納機構１０Ｆが示されている。その構造は伸縮可能収納機構１０Ｅと類似している。但し、図２２に示す伸縮可能収納機構１０Ｅの右部規制軌道９１３及び左部規制軌道９１７が貫通孔となっているのに対し、伸縮可能収納機構１０Ｆの第１の側壁８１における規制軌道８１３は、開放式の切欠き（第１の側壁８１の外縁部から陥凹した凹部）によって構成されている。すなわち、規制軌道８１３は、枢支孔と共に貫通孔を構成するのではなく、第１の側壁８１の左右部の外縁部に形成されている。規制軌道８１３には、第２の側壁８２’の規制柱状突起８２０が直接的に配置されている。このように構成された伸縮可能収納機構１０Ｆは、組み立てが比較的に容易になる。

図２４に、本発明のもう一つの実施形態に係る伸縮可能収納機構１０Ｇが示されている。その構造は伸縮可能収納機構１０Ｆと類似している。但し、相違点として、第１の側壁８１の右部下枢支孔８１４及び左部下枢支孔８１８の夫々に配置され、且つ第２の側壁８２’の上枢支孔８２１’内に延在している枢結バネ８１９が設けられている。伸縮可能収納機構１０Ｇは、枢結バネ８１９の弾性力によって展開状態又は収縮状態に維持される。このように構成された伸縮可能収納機構１０Ｇは、上蓋に片方向の力を加えれば操作可能であるので、板体の收納がより容易になる。

１０伸縮可能収納箱
１０Ａ伸縮可能収納箱
１０Ｂ伸縮可能収納箱
１０Ｃ伸縮可能収納箱
１０Ｄ伸縮可能収納箱
１０Ｅ伸縮可能収納箱
２０トレー部
２１側方通過口
２２側方開口
２４底部開口
２５階段構造
２５１階段側壁
２５３階段底部
３０伸縮ユニット
３１第１の側壁
３１Ｂ第１の側壁
３１Ｂ’ 上端部
３１Ｂ’’ 下端部
３１０規制軌道
３２第２の側壁
３２Ｂ第２の側壁
３２Ｂ’ 上端部
３２Ｂ’’ 下端部
３２０規制柱状突起
３４側壁連結装置
３４Ａ側壁連結装置
３４Ｂ側壁連結装置
３４１第１の連結部
３４２第１の本体部
３４２ａ弧状部
３４３枢支孔
３４４収容空間
３４５第２の連結部
３４５ｂ凹入溝
３４６第２の本体部
３４７枢結柱部材
３６移動規制装置
３６Ａ移動規制装置
３６Ｂ移動規制装置
５０収納箱
６０上蓋
６２上部規制部材
６２１上限部
７０下蓋
７２下部規制部材
７２１下限部
８０収納空間
８１３規制軌道
８２第２の側壁
８２’ 第２の側壁
８１４右部下枢支孔
８１８左部下枢支孔
８２１’ 上枢支孔
８１９バネ
１００ウェハ
Ｌ０延伸方向
Ｌ１延伸方向
Ｌ２延伸方向
Ｌ３延伸方向
９０伸縮ユニット
９１第１の側壁
９１１第１の側壁右部
９１２右部上枢支孔
９１３右部規制軌道
９１４右部下枢支孔
９１５第１の側壁左部
９１６左部上枢支孔
９１７左部規制軌道
９１８左部下枢支孔
９２第２の側壁
９２０規制柱状突起
９２１上枢支孔
９２２下枢支孔
９２’ 第２の側壁
９２０’ 規制柱状突起
９２１’ 上枢支孔
９２２’ 下枢支孔

Claims

縦方向において配列される複数のトレー部と、
隣接する二つのトレー部を互いに連結させる少なくとも二つの伸縮ユニットと、を備え、
各前記伸縮ユニットは、一つの前記トレー部に枢結された第１の側壁と、他の一つの前記トレー部に枢結された第２の側壁と、前記第１の側壁及び前記第２の側壁を互いに連結させる側壁連結装置と、前記第１の側壁及び前記第２の側壁に設けられている移動規制装置とを有し、
前記移動規制装置は、各前記伸縮ユニットの伸縮方向を規制するためのものであり、前記伸縮ユニットは各前記トレー部間の距離を変更させるために伸縮可能であり、前記伸縮ユニットが収縮状態にある時、前記第１の側壁及び前記第２の側壁は互いに近接して重なり合う、ウェハを収納するための伸縮可能収納機構。
前記側壁連結装置は、前記第１の側壁に設けられている第１の連結部と、前記第２の側壁に設けられている第２の連結部とを有し、
前記第１の連結部は、二つの第１の本体部と、各々が前記第１の本体部に設けられた二つの枢支孔と、二つの前記第１の本体部の間に位置する収容空間とを有し、
前記第２の連結部は、前記収容空間内に収容された第２の本体部と、各々が前記第２の本体部から延出して二つの前記枢支孔内に挿入された二本の樞接柱とを有している、請求項１に記載の伸縮可能収納機構。
前記第１の連結部の二つの前記第１の本体部は各々弧状部を有し、
前記第２の連結部は、前記第２の本体部の両側に凹設された凹入溝を更に有し、
二つの前記凹入溝と、二つの前記凹入溝の夫々に当接する二つの前記弧状部とによって、各伸縮ユニットの伸縮方向を規制する移動規制装置が構成されている、請求項２に記載の伸縮可能収納機構。
縦方向において配列される複数のトレー部と、
隣接する二つのトレー部を互いに連結させる少なくとも二つの伸縮ユニットと、を備え、
各前記伸縮ユニットは、第１の側壁と、同一のトレー部に当該第１の側壁と共に枢結された第２の側壁と、当該第２の側壁を、他のトレー部に枢結された第１の側壁に対して枢結させる側壁連結装置とを有し、
前記伸縮ユニットが収縮状態にある時、前記伸縮ユニットの第１の側壁同士は互いに近接して重なり合い、前記伸縮ユニットの第２の側壁同士は互いに近接して重なり合う、ウェハを収納するための伸縮可能収納機構。
前記第１の側壁の下端部は、当該第１の側壁と共に同一のトレー部に枢結された前記第２の側壁の上端部と枢結し、当該第２の側壁の下端部は、他のトレー部に枢結された前記第１の側壁の上端部と枢結している、請求項４に記載の伸縮可能収納機構。
前記第１の側壁の上端部に規制軌道が設けられ、前記第２の側壁の下端部に規制柱状突起が設けられ、
前記規制軌道と、前記規制軌道に挿入された前記規制柱状突起とよって移動規制装置が構成されている、請求項５に記載の伸縮可能収納機構。
前記第１の側壁の上端部に規制軌道が設けられ、前記第２の側壁の下端部に規制柱状突起が設けられ、
前記規制軌道と、前記規制軌道に挿入された前記規制柱状突起とよって前記側壁連結装置が構成されている、請求項５に記載の伸縮可能収納機構。
前記トレー部は正多角形であり、
前記トレー部の二つの辺部の夫々に、前記二つの伸縮ユニットが配置されている、請求項４に記載の伸縮可能収納機構。
前記トレー部の一つの辺部における伸縮ユニットは、第１の側壁と第２の側壁とが枢結される延伸方向が、当該辺部の延伸方向に対して直交となるように配置されている、請求項８に記載の伸縮可能収納機構。
前記トレー部の一つの辺部における伸縮ユニットは、第１の側壁と第２の側壁とが枢結される延伸方向が、当該辺部の延伸方向に対して非直交となるように配置されている、請求項８に記載の伸縮可能収納機構。
複数の板体を収納するための複数のトレー部と、
互いに隣接する第１のトレー部と第２のトレー部とを連結させるためのものであって、各前記トレー部間の距離を変更させるために伸縮可能である少なくとも二つの伸縮ユニットと、を備え、
各前記伸縮ユニットは、
第１の側壁であって、
右部上枢支孔と、右部下枢支孔と、当該右部下枢支孔に隣設された右部規制軌道とを有する右部と、
左部上枢支孔と、左部下枢支孔と、当該左部下枢支孔に隣設された左部規制軌道とを有する左部と、
前記右部及び前記左部を連結する連結部と、を有する第１の側壁と、
二つの第２の側壁であって、各々が、
上枢支孔と、
下枢支孔と、
前記上枢支孔に隣設され且つ各前記第２の側壁の両側に配置された少なくとも二つの規制柱状突起と、を有する二つの第２の側壁と、を有し、
前記二つの第２の側壁のうちの一方における前記下枢支孔と、前記第１の側壁における前記右部上枢支孔及び前記左部上枢支孔とが、枢軸によって前記第１のトレー部に枢結され、
前記二つの第２の側壁のうちの他方における両側の規制柱状突起が、前記第１の側壁における前記右部規制軌道及び前記左部規制軌道に夫々挿入され、
前記伸縮ユニットが収縮状態にある時、前記二つの第２の側壁は互いに近接して重なり合う、ウェハを収納するための伸縮可能収納機構。
前記二つの第２の側壁のうちの他方における前記上枢支孔と、前記第１の側壁における前記右部下枢支孔及び前記左部下枢支孔とが、他の枢軸によって枢結されている、請求項１１に記載の伸縮可能収納機構。
前記右部下枢支孔に前記右部規制軌道が連通しており、前記右部下枢支孔及び前記右部規制軌道が貫通孔を構成し、
前記左部下枢支孔に前記左部規制軌道が連通しており、前記左部下枢支孔及び前記左部規制軌道が貫通孔を構成している、請求項１１に記載の伸縮可能収納機構。
前記右部規制軌道及び前記左部規制軌道は開放式切欠きによって構成されている、請求項１１に記載の伸縮可能収納機構。
前記第１の側壁の前記連結部は、前記右部上枢支孔と前記右部下枢支孔との間の中央部と、前記左部上枢支孔と前記左部下枢支孔との間の中央部とを連結する、請求項１１に記載の伸縮可能収納機構。
前記伸縮可能収納機構を収縮状態から展開状態に移行させるための弾性力を供給するための二つのバネを更に備え、前記二つのバネは、前記第１の側壁における前記右部下枢支孔及び前記左部下枢支孔に夫々挿入され、且つ前記二つの第２の側壁の他方における前記上枢支孔内に延在している、請求項１１に記載の伸縮可能収納機構。
請求項１から１６のいずれか一項に記載の伸縮可能収納機構を収納するための収納箱であって、
前記伸縮可能収納機構の最上層のトレー部と連結可能な上蓋と、
前記上蓋の下方に位置し、当該上蓋が移動可能なように覆設されている下蓋であって、前記伸縮可能収納機構の最下層のトレー部と連結可能な下蓋と、
前記上蓋と前記下蓋とによって囲まれて形成された、前記伸縮可能収納機構を収納するための収納空間と、を備え、
前記上蓋が前記下蓋に対して上方へ移動すると、前記伸縮可能収納機構の伸縮ユニットは収縮状態から展開状態に移行し、これにより各前記トレー部の間の距離が広がる、収納箱。
前記上蓋は、前記伸縮可能収納機構の最上層のトレー部と直接又は間接的に連結可能な少なくとも一つの上部規制部材を有し、
前記下蓋は、前記伸縮可能収納機構の最下層のトレー部と直接又は間接的に連結可能な少なくとも一つの下部規制部材を有している、請求項１７に記載の収納箱。
前記伸縮可能収納機構の最下層を除くトレー部は、前記下部規制部材を通過させるための側方通過口を有している、請求項１８に記載の収納箱。