JP7464442B2 - 検査データ作成装置および検査データ作成方法 - Google Patents

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Description

本発明は、配線基板に形成された複数の配線についての絶縁検査および導通検査を実行する検査装置で使用される検査データを作成する検査データ作成装置および検査データ作成方法に関するものである。
この種の検査データ作成装置および検査データ作成方法として、下記の特許文献１に開示された検査データ作成装置（検査データ作製機）および検査データ作成方法（検査データ作製方法）が知られている。この検査データ作成装置および検査データ作成方法は、異なる布線検査手段（スプリングプローブを使った検査治具を搭載する検査装置（一括検査機）や、フライングプローバと呼ばれる検査装置（上記のような検査治具を搭載しない検査装置））を組み合わせて配線基板（ベアボード）に形成されている配線（配線パターン）にオープン故障が生じているか否か（言い換えれば、各配線がそれぞれ導通状態（正常状態）であるか断線状態（故障状態）であるか）の検査と、各配線間にショート故障が生じているか否か（言い換えれば、各配線間が絶縁状態（正常状態）であるかショート状態（故障状態）であるか）の検査とを実行する検査装置（布線検査機）において使用される検査データを作成するものである。
なお、上記の一括検査機は、具体的には、複数のスプリングプローブが、各配線上に規定された検査ポイント（通常は、各配線に含まれるパッドおよびランドのようにレジストから露出する部位）のうちの対応する１つに接触可能にプレス治具型のピンボードに立設されている。また、上記のフライングプローバは、具体的には、ＸＹＺ方向（配線基板における配線の形成面と平行な仮想平面内でのＸＹ方向と、この仮想平面と直交するＺ方向）に移動可能に配置されたプローブ（フライングプローブ）を備えて、フライングプローブの接触可能領域内の任意のパッドおよびランドに接触可能に構成されている。
さらに具体的には、この検査データ作成装置および検査データ作成方法では、配線基板に形成される配線のＣＡＤ設計データであるガーバーデータにより検査部位ごとに適した布線検査手段を選択して振り分ける工程と、それぞれの検査部位ごとに検査にかかる時間、コストのデータから配線基板の検査全体にかかる時間、コストをそれぞれの布線検査手段について求める工程とを実行する。
これにより、この検査データ作成装置および検査データ作成方法では、例えば、一括検査機とフライングプローバという異なる検査技術の検査装置（布線検査機）に対して、配線基板における配線の種別、配線基板における検査ポイントの間隔（ピッチ）、検査治具作製費および検査装置の処理能力等を考慮して、配線基板についての適切な検査データを作製することが可能となっている。また、このようにして作成された検査データを検査装置で使用することで、全体として、配線基板の布線検査（導通および絶縁に関する検査）を効率的な検査スピードと低いランニングコストで行うことが可能となっている。
特開２００６－３２９８５１号公報（第３－４頁）
ところで、配線基板（ベアボード）の表面（一方の基板面）側を１つの検査部位として、この検査部位に適した布線検査手段としてフライングプローバを選択し、また配線基板の裏面（他方の基板面）側を他の１つの検査部位として、この検査部位に適した布線検査手段として一括検査機を選択したときの検査データについては、フライングプローバで使用する検査データ（以下、区別のため、フライング用検査データ）と、一括検査機で使用する検査データ（以下、区別のため、一括検査用検査データ）とに振り分けて作成する必要がある。この種の検査データについては、検査装置（この検査データを使用して配線基板を検査する装置）の製造メーカ（以下では、装置メーカともいう）が、配線基板の設計メーカや製造メーカ（以下では、基板メーカともいう）からこの配線基板のガーバーデータ自体を入手して、このガーバーデータから作成することもある。
しかしながら、検査データの作成のためにはガーバーデータ自体を取り扱う機材を用意する必要がある。このため、通常、多くの装置メーカでは、ガーバーデータから検査データを作成することはせずに、ガーバーデータから各配線についてのネットリストを作成する作業までを基板メーカに依頼し、基板メーカから提供された各配線についてのネットリストから、フライング用検査データと一括検査用検査データとを作成する。
また、装置メーカによっては、基板メーカにネットリストの作成を依頼する際に、自社の検査装置（具体的には、配線基板の表面側における任意の検査ポイントに接触可能なフライングプローブを有するフライングプローバと、配線基板の裏面側における予め規定された検査ポイントに接触可能な多数のスプリングプローブを有する一括検査機とを備えて、表面および裏面に亘って形成された配線についても検査可能な検査装置）についてのハードウェア上での制限条件（具体的には、フライングプローバのフライングプローブは、接触可能領域（配線基板の全域よりも狭い領域）内にある検査ポイントにしか接触できないとの条件（以下では、第１制限条件ともいう）、および一括検査機のスプリングプローブは、最小配置間隔（例えば、スプリングプローブの太さを考慮して決定される間隔）よりも近づけてプローブ配置面（配線基板の裏面と対向する面）に配置することができないとの条件（以下では、第２制限条件ともいう））を基板メーカ側に提供すると共に、この制限条件を考慮したネットリストの作成を依頼する場合がある。
なお、一括検査機では、検査位置に配置される配線基板に対して検査治具（スプリングプローブを使った検査治具）を接離動させる駆動機構は、検査治具における裏面（プローブ配置面の反対側の面）側に配置させることが可能なため、検査治具の外形を検査基板の外形とほぼ同等にすること（上記の第２制限条件を満たした上で、配線基板の全域にスプリングプローブを接触し得るように構成すること）が可能である。これに対して、フライングプローバでは、検査位置に配置される配線基板に対して２つ（場合によっては３つ以上）のフライングプローブのそれぞれを独立して、配線基板が配置される検査位置を含む仮想平面と平行なＸＹ平面内で任意の方向に、かつこのＸＹ平面と直交するＺ方向に移動させる駆動機構（つまり、各フライングプローブを独立してＸＹＺ方向に移動させる駆動機構）を検査位置の周縁に配置する必要がある。この構成により、各フライングプローブのＸＹ平面内での接触可能領域を配線基板の全域とするためには、配線基板の縁部から駆動機構を十分に離して配置する必要が生じ、この結果として検査装置の外形（Ｚ方向から見たときのＸＹ平面での外形）が大型化する。したがって、検査装置のこの外形（ＸＹ平面での外形）に制限があるときには、各フライングプローブの駆動機構を配線基板の縁部から十分に離して配置することができないため、各フライングプローブのＸＹ平面内での接触可能領域は配線基板の全域よりも狭くなる（言い換えれば、フライングプローブを接触させることができない領域が配線基板の周縁部に存在することになる）。
この制限条件の提供を受けた基板メーカでは、まず、ガーバーデータから各配線についてのネットリストを作成し、次いで、この作成した各ネットリスト（以下、区別のため、当初ネットリストともいう）に基づき、当初ネットリストに含まれるすべての端点（配線の始点、終点および連結点のいずれかとなるパッド（配線基板に実装される電子部品の電極や端子が半田付けされる部位）やスルーホールやビアホール（配線基板の表裏を貫通するスルーホールビア、配線基板の表面または裏面と内層とを接続するブラインドビア、および内層と別の内層とを接続するベリッドビアを含む））のうちの配線基板の表面または裏面においてレジストから露出する端点（上記のパッドや、スルーホールおよびビアホールの周囲に形成されるランドであり、これらがフライングプローブやスプリングプローブを接触させる検査ポイントとして使用される）のみで構成される新ネットリストを当初ネットリスト毎に作成する。続いて、基板メーカでは、作成した各新ネットリストに含まれる端点（検査ポイント）に関して、提供された第１制限条件を考慮して、配線基板の表面側（フライングプローバ側）に位置し、かつ上記の接触可能領域外に位置する端点についてはフライングプローブを接触させることができない旨を示すフラグを付加する。また、基板メーカでは、作成した各当初ネットリストに含まれる端点に関して、提供された第２制限条件を考慮して、配線基板の裏面側（一括検査機側）に位置し、かつ対応するスプリングプローブが配置されている端点との間隔が上記の最小配置間隔未満となる端点についてはスプリングプローブを配置できない（つまり、スプリングプローブを接触させることができない）旨を示すフラグを付加する。基板メーカは、このように各新ネットリストに含まれる端点のうちのプローブ（フライングプローブやスプリングプローブ）を接触させることができない端点については上記のフラグが付加されたネットリスト（第１制限条件および第２制限条件が考慮されたネットリスト）を、最終的なネットリストとして装置メーカに提供する。
この各制限条件が考慮されたネットリスト（上記の最終的なネットリスト）を受領した装置メーカでは、各ネットリストのうちの端点に上記のフラグが付加されたネットリストに対応する配線については、フライングプローブやスプリングプローブを接触させることができない端点（検査ポイント）を含むものであることから、完全な導通検査および完全な絶縁検査を行えない虞がある。このため、現状は、このような配線については検査対象から外している。したがって、装置メーカでは、フラグが付加された端点を含まないネットリストの配線だけを検査対象として、このネットリストだけを用いて、検査装置用の検査データを作成している。なお、この検査装置で検査できない配線（ネットリストがフラグの付加された端点を含む配線）については、この検査装置とは異なる別の検査装置（例えば、配線基板の表面および裏面の双方に、接触可能領域のより広い（配線基板の表面全域や裏面全域をカバーする接触可能領域の）フライングプローバが配置された検査装置。区別のため、この検査装置を第２検査装置といい、先の検査装置を第１検査装置というものとする）を用いて導通検査および絶縁検査を行っている。
しかしながら、配線基板の導通検査および絶縁検査に要する時間をなるべく短くするためには、一括検査機よりも検査スピードの遅いフライングプローバで表面および裏面を検査する構成の第２検査装置で検査する配線の数をなるべく少なくして、より多くの配線の検査を第１検査装置で行うようにすること、具体的には、第１検査装置において一括検査機を使用して検査する配線（フライングプローバを併用して検査する配線も含まれるものとする）の数を多くすることが望まれている。
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、プロービング不可を示すフラグが付加されたネットリストに基づき、フライングプローバおよび一括検査機を備えた検査装置において検査し得る配線の数を多くし得る検査データを作成する検査データ作成装置および検査データ作成方法を提供することを主目的とする。
上記目的を達成すべく請求項１記載の検査データ作成装置は、第１検査位置に配置された配線基板の一方の基板面側においてＸＹＺ方向に移動可能に配置されると共に当該一方の基板面に形成された各配線に含まれる検査ポイントのうちの当該一方の基板面の平面視形状よりも狭い接触可能領域内の当該検査ポイントに接触可能な第１プローブと、プレス治具型のピンボードに複数立設されると共に前記配線基板の他方の基板面側に当該他方の基板面に対して接離動可能に配置されて、それぞれが当該他方の基板面に形成された各配線に含まれる検査ポイントのうちの対応する１つに接触可能な第２プローブとを有し、いずれかの前記第２プローブに近接させて他のいずれかの前記第２プローブを立設可能であると予め規定された最小配置間隔以上の間隔を開けて複数の前記第２プローブが前記ピンボードに立設されると共に、前記配線基板に形成された前記各配線に対する導通検査および前記各配線間の絶縁検査を実行する第１検査装置で使用される第１検査装置用データと、前記第１検査装置と別体に構成されて、前記第１検査位置とは異なる第２検査位置に配設された前記配線基板の前記一方の基板面側においてＸＹＺ方向に移動可能に配置されると共に当該一方の基板面内の前記検査ポイントに接触可能な第３プローブと、前記配線基板の前記他方の基板面側においてＸＹＺ方向に移動可能に配置されると共に当該他方の基板面内の前記検査ポイントに接触可能な第４プローブとを有して、前記配線基板に形成された前記各配線に対する導通検査および前記各配線間の絶縁検査を前記第１検査装置に続いて実行する第２検査装置で使用される第２検査装置用データとを作成する検査データ作成装置であって、前記一方の基板面における前記接触可能領域外に位置する前記検査ポイントと、前記他方の基板面内の前記検査ポイントのうちの対応する前記第２プローブを立設可能な前記検査ポイントとの間隔が前記最小配置間隔未満であることで前記第２プローブを立設不可能な前記検査ポイントとにそれぞれ付加されてプロービング不可であることを示すフラグを含むと共に前記検査ポイントのネットの情報を示すネットリスト、並びに前記検査ポイントの前記配線基板上の位置の情報を示す位置リストが入力される入力部と、前記入力部から入力される前記ネットリストおよび前記位置リストに基づいて前記第１検査装置用データおよび前記第２検査装置用データを作成する検査データ作成処理を実行する処理部とを備え、前記処理部は、前記検査データ作成処理において、前記ネットリストで示されるすべての前記配線を、前記一方の基板面にのみ配置され、かつ含まれる前記検査ポイントに前記フラグが付加されていない第１配線群と、含まれる前記検査ポイントに前記フラグが付加されておらず、かつ少なくとも一部が前記他方の基板面に配置されている第２配線群と、含まれる前記検査ポイントのすべてに前記フラグが付加されている第３配線群と、前記フラグが付加されている前記検査ポイントを含み、かつ前記他方の基板面に配置されている一部に前記フラグが付加されていない前記検査ポイントを含む第４配線群と、前記フラグが付加されている前記検査ポイントを含み、かつ前記フラグが付加されていない前記検査ポイントを含む一部が前記一方の基板面にのみ配置されている第５配線群と、にグループ分けするグループ分け処理と、前記第２配線群に含まれる前記配線における前記他方の基板面に配置されている前記一部に含まれる前記検査ポイントのすべてのそれぞれに対応する前記第２プローブ、並びに前記第４配線群に含まれる前記配線における前記他方の基板面に配置されている前記一部に含まれる前記検査ポイントのうちの前記フラグが付加されていない前記検査ポイントのうちの１つに対応する前記第２プローブを選定第２プローブとして選定する選定処理と、前記第１配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第１プローブを用いて実行させるための第１導通検査データと、前記第２配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第１プローブおよび前記選定第２プローブを用いて実行させるための第２導通検査データと、前記第１配線群、前記第２配線群、前記第４配線群および前記第５配線群に含まれているすべての前記配線同士についての絶縁検査を前記第１プローブおよび前記選定第２プローブを用いて実行させるための第１絶縁検査データとを前記第１検査装置用データとして作成する第１装置用データ作成処理と、前記第３配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第３プローブおよび前記第４プローブを用いて実行させるための第３導通検査データと、前記第４配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第３プローブおよび前記第４プローブを用いて実行させるための第４導通検査データと、前記第５配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第３プローブおよび前記第４プローブを用いて実行させるための第５導通検査データと、前記第３配線群に含まれているすべての前記配線について当該第３配線群以外の他の配線群に含まれているすべての前記配線との間での絶縁検査および当該第３配線群に含まれているすべての前記配線同士についての絶縁検査を前記第３プローブおよび前記第４プローブを用いて実行させるための第２絶縁検査データとを前記第２検査装置用データとして作成する第２装置用データ作成処理とを実行する。
また、請求項２記載の検査データ作成方法は、第１検査位置に配置された配線基板の一方の基板面側においてＸＹＺ方向に移動可能に配置されると共に当該一方の基板面に形成された各配線に含まれる検査ポイントのうちの当該一方の基板面の平面視形状よりも狭い接触可能領域内の当該検査ポイントに接触可能な第１プローブと、プレス治具型のピンボードに複数立設されると共に前記配線基板の他方の基板面側に当該他方の基板面に対して接離動可能に配置されて、それぞれが当該他方の基板面に形成された各配線に含まれる検査ポイントのうちの対応する１つに接触可能な第２プローブとを有し、いずれかの前記第２プローブに近接させて他のいずれかの前記第２プローブを立設可能であると予め規定された最小配置間隔以上の間隔を開けて複数の前記第２プローブが前記ピンボードに立設されると共に、前記配線基板に形成された前記各配線に対する導通検査および前記各配線間の絶縁検査を実行する第１検査装置で使用される第１検査装置用データと、
前記第１検査装置と別体に構成されて、前記第１検査位置とは異なる第２検査位置に配設された前記配線基板の前記一方の基板面側においてＸＹＺ方向に移動可能に配置されると共に当該一方の基板面内の前記検査ポイントに接触可能な第３プローブと、前記配線基板の前記他方の基板面側においてＸＹＺ方向に移動可能に配置されると共に当該他方の基板面内の前記検査ポイントに接触可能な第４プローブとを有して、前記配線基板に形成された前記各配線に対する導通検査および前記各配線間の絶縁検査を前記第１検査装置に続いて実行する第２検査装置で使用される第２検査装置用データとを作成する検査データ作成方法であって、前記一方の基板面における前記接触可能領域外に位置する前記検査ポイントと、前記他方の基板面内の前記検査ポイントのうちの対応する前記第２プローブを立設可能な前記検査ポイントとの間隔が前記最小配置間隔未満であることで前記第２プローブを立設不可能な前記検査ポイントとにそれぞれ付加されてプロービング不可であることを示すフラグを含むと共に前記検査ポイントのネットの情報を示すネットリスト、並びに前記検査ポイントの前記配線基板上の位置の情報を示す位置リストを入力すると共に、入力した前記ネットリストおよび前記位置リストに基づいて前記第１検査装置用データおよび前記第２検査装置用データを作成する際に、前記ネットリストで示されるすべての前記配線を、前記一方の基板面にのみ配置され、かつ含まれる前記検査ポイントに前記フラグが付加されていない第１配線群と、含まれる前記検査ポイントに前記フラグが付加されておらず、かつ少なくとも一部が前記他方の基板面に配置されている第２配線群と、含まれる前記検査ポイントのすべてに前記フラグが付加されている第３配線群と、前記フラグが付加されている前記検査ポイントを含み、かつ前記他方の基板面に配置されている一部に前記フラグが付加されていない前記検査ポイントを含む第４配線群と、前記フラグが付加されている前記検査ポイントを含み、かつ前記フラグが付加されていない前記検査ポイントを含む一部が前記一方の基板面にのみ配置されている第５配線群と、にグループ分けするグループ分け処理と、前記第２配線群に含まれる前記配線における前記他方の基板面に配置されている前記一部に含まれる前記検査ポイントのすべてのそれぞれに対応する前記第２プローブ、並びに前記第４配線群に含まれる前記配線における前記他方の基板面に配置されている前記一部に含まれる前記検査ポイントのうちの前記フラグが付加されていない前記検査ポイントのうちの１つに対応する前記第２プローブを選定第２プローブとして選定する選定処理と、前記第１配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第１プローブを用いて実行させるための第１導通検査データと、前記第２配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第１プローブおよび前記選定第２プローブを用いて実行させるための第２導通検査データと、前記第１配線群、前記第２配線群、前記第４配線群および前記第５配線群に含まれているすべての前記配線同士についての絶縁検査を前記第１プローブおよび前記選定第２プローブを用いて実行させるための第１絶縁検査データとを前記第１検査装置用データとして作成する第１装置用データ作成処理と、前記第３配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第３プローブおよび前記第４プローブを用いて実行させるための第３導通検査データと、前記第４配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第３プローブおよび前記第４プローブを用いて実行させるための第４導通検査データと、前記第５配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第３プローブおよび前記第４プローブを用いて実行させるための第５導通検査データと、前記第３配線群に含まれているすべての前記配線について当該第３配線群以外の他の配線群に含まれているすべての前記配線との間での絶縁検査および当該第３配線群に含まれているすべての前記配線同士についての絶縁検査を前記第３プローブおよび前記第４プローブを用いて実行させるための第２絶縁検査データとを前記第２検査装置用データとして作成する第２装置用データ作成処理とを実行する。
請求項１記載の検査データ作成装置および請求項２記載の検査データ作成方法によれば、フラグが付加された検査ポイント（第１検査装置ではプロービングできない検査ポイント）を一部に含んでいることを理由として従来では第１検査装置において何ら検査していなかった配線に関しても、対応する選定第２プローブが選定された検査ポイントを含む場合や接触可能領域内に第１プローブで接触し得る検査ポイントを含む場合には、この選定第２プローブやこの第１プローブを使用して他の配線との間で絶縁検査を第１検査装置において実行し得る第１検査装置用データを作成することができる。つまり、第１検査装置において検査し得る配線の数を多くし得る第１検査装置用データを、第２検査装置で使用される第２検査装置用データと共に作成することができる。
検査データ作成装置１、第１検査装置２および第２検査装置３を有する検査システムＥＸＳの構成図である。 検査データ作成装置１が実行する検査データ作成処理５０（検査データ作成方法）を説明するためのフローチャートである。 配線基板４に形成された第１配線群に含まれる配線Ｗａを説明するための配線基板４の断面図についての模式図である。 配線基板４に形成された第２配線群に含まれる配線Ｗｂを説明するための配線基板４の断面図についての模式図である。 配線基板４に形成された第３配線群に含まれる配線Ｗｃを説明するための配線基板４の断面図についての模式図である。 配線基板４に形成された第４配線群に含まれる配線Ｗｄを説明するための配線基板４の断面図についての模式図である。 配線基板４に形成された第５配線群に含まれる配線Ｗｅを説明するための配線基板４の断面図についての模式図である。 配線基板４に形成された第１配線群～第５配線群に含まれる配線Ｗ１～Ｗ７を説明するための配線基板４の平面図（一方の基板面ＢＦ１側から見た平面図）についての模式図である。 図８の各配線Ｗ１～Ｗ７についてのネットリストＬｎである。 図８の各配線Ｗ１～Ｗ７についての位置リストＬｐである。 図８の各配線Ｗ１～Ｗ７についての第１導通検査データＤｃｔ１である。 図８の各配線Ｗ１～Ｗ７についての第２導通検査データＤｃｔ２である。 図８の各配線Ｗ１～Ｗ７についての第１絶縁検査データＤｉｔ１である。 図８の各配線Ｗ１～Ｗ７についての第３導通検査データＤｃｔ３である。 図８の各配線Ｗ１～Ｗ７についての第４導通検査データＤｃｔ４である。 図８の各配線Ｗ１～Ｗ７についての第５導通検査データＤｃｔ５である。 図８の各配線Ｗ１～Ｗ７についての第２絶縁検査データＤｉｔ２である。
以下、検査データ作成装置および検査データ作成方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。この場合、一例として、検査装置と共に検査システムを構成してこの検査装置で使用される検査データを作成する検査データ作成装置を例に挙げて、この検査データ作成装置の構成と動作（検査データ作成装置で実行される検査データ作成方法）について説明する。なお、検査データ作成装置は単独で存在する構成であってもよいのはもちろんである。
まず、検査データ作成装置としての検査データ作成装置１を含む検査システムＥＸＳの構成について、図１を参照して説明する。
検査システムＥＸＳは、検査データ作成装置１、第１検査装置２および第２検査装置３を備えて、配線基板４に形成された各配線Ｗ（図３から図７に示す第１配線群から第５配線群の５種類の形態の配線Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃ，Ｗｄ，Ｗｅのうちのいずれか１つに必ず該当する配線）に対する検査（導通検査および絶縁検査）を実行する。この検査システムＥＸＳでは、検査データ作成装置１は、第１検査装置２が配線基板４の検査の際に使用する第１検査装置用データＤｅｘ１と、第２検査装置３が配線基板４の検査の際に使用する第２検査装置用データＤｅｘ２とを作成する。また、第１検査装置２は、この第１検査装置用データＤｅｘ１を使用して、配線基板４に形成された各配線Ｗに対する検査のうちの自装置に割り振られた検査を実行する。また、第２検査装置３は、この第２検査装置用データＤｅｘ２を使用して、配線基板４に形成された各配線Ｗに対する検査のうちの自装置に割り振られた検査（具体的には、第１検査装置２ではできなかった検査のすべて）を実行する。
まず、第１検査装置２および第２検査装置３について説明する。
第１検査装置２は、フライングプローバ２１（背景技術で説明したフライングプローバと同等の機能を備えたもの）、一括検査機２５（背景技術で説明した一括検査機と同等の機能を備えたもの）、不図示の入力部（以下、区別のため、第１検査側入力部ともいう）、不図示の測定部（以下、区別のため、第１検査側測定部ともいう）、不図示の処理部（以下、区別のため、第１検査側処理部ともいう）、および不図示の出力部（一例として表示部。以下、区別のため、第１検査側表示部ともいう）を備えて、第１検査位置（図１において実線で示される配線基板４が配置されている位置）に配置された配線基板４に形成された各配線Ｗ（図３～図７参照）に対する検査を実行する。
具体的には、フライングプローバ２１は、第１検査位置に配置された配線基板４の一方の基板面ＢＦ１側に配置された第１プローブとしての１または２以上のフライングプローブ（本例では一例として、２つのフライングプローブ２２，２３）と、各フライングプローブ２２，２３（以下、単にプローブ２２，２３ともいう）を一方の基板面ＢＦ１側においてＸＹＺ方向に移動させる不図示の移動機構（以下では、プローバ２１側の移動機構ともいう）とを備えて構成されている。また、フライングプローバ２１では、各プローブ２２，２３は、一方の基板面ＢＦ１に形成された各配線Ｗに含まれるパッドおよびランドのうちの一方の基板面ＢＦ１の平面視形状よりも狭い接触可能領域ＴＥ１（図３～図８参照）内のパッドおよびランドに接触可能に構成されている。
また、一括検査機２５は、第１検査位置に配置された配線基板４の他方の基板面ＢＦ２側に、他方の基板面ＢＦ２と対向する状態で配置されたプレス治具型のピンボード２６と、ピンボード２６における他方の基板面ＢＦ２との対向面に複数立設された第２プローブとしてのプローブ２７（例えば、スプリング内蔵式のプローブ（スプリングプローブ））と、ピンボード２６を他方の基板面ＢＦ２に対して直線的に接離動（Ｚ方向に移動）させる不図示の移動機構（以下では、検査機２５側の移動機構ともいう）とを備えて構成されている。また、ピンボード２６では、各プローブ２７は、最小配置間隔Ａ（図４～図７参照）以上の間隔を開けて、それぞれが他方の基板面ＢＦ２に形成された各配線Ｗに含まれるパッドおよびランドのうちの対応する１つに接触可能な位置に立設されている。なお、対応するプローブ２７が立設されているパッドまたはランドの近傍に位置する他のパッドまたはランドであって、仮にプローブ２７を立設しようとすると、上記の既に立設されているプローブ２７との配置間隔が最小配置間隔Ａ未満になるパッドまたはランドについてはプローブ２７の立設は不可能であることから、プローブ２７は立設されない。
また、第１検査側入力部は、通信用インターフェース回路や媒体用インターフェース回路などの種々のインターフェース回路で構成されて、検査データ作成装置１と接続された伝送路を介して、または装着された記憶媒体を介して第１検査装置用データＤｅｘ１を外部から入力すると共に処理部に出力する。
また、第１検査側測定部は、図示はしないが、一例として、スキャナ、測定信号源（例えば、定電圧源および定電流源）、および計測器（例えば、電流計）を備えて構成されている。この場合、スキャナは、プローブ２２，２３およびすべてのプローブ２７に接続されると共に、測定信号源および計測器に接続されている。また、スキャナは、第１検査側処理部によって内部の接続状態が切り替えられることで、プローブ２２，２３およびすべてのプローブ２７のうちの任意の２つのプローブ間に、測定信号源および計測器を直列状態で接続する。これにより、この２つのプローブが配線Ｗに含まれるパッドまたはランドに接触している状態では、２つのプローブのうちの一方のプローブと接触している配線Ｗ、この一方のプローブ、測定信号源と計測器の直列回路、および２つのプローブのうちの他方のプローブを経由して、この他方のプローブと接触している配線Ｗ（導通検査のときには、一方のプローブが接触している配線Ｗと同じ配線Ｗ、また絶縁検査のときには、一方のプローブが接触している配線Ｗとは異なる配線Ｗ）に至る電流経路が形成される。
また、測定信号源は、第１検査側処理部によって制御されて、上記の電流経路に第１検査側処理部によって選択された測定信号（定電圧源からの定電圧信号（既知の電圧値）または定電流源からの定電流信号（既知の電流値））を供給する。また、計測器は、上記の電流経路に流れる電流の電流値を計測して第１検査側処理部に出力する。
また、第１検査側処理部は、不図示のコンピュータで構成されて、第１検査装置用データＤｅｘ１を使用して、プローバ２１側の移動機構および検査機２５側の移動機構、並びに第１検査側測定部のスキャナおよび測定信号源に対する制御処理を実行して、検査の対象である配線Ｗにプローブ２２，２３を接触させるか、または検査の対象である配線Ｗに接触しているプローブ２７を選択するかして、検査の対象である配線Ｗに接触している２つのプローブ間に測定信号を供給する。また、第１検査側処理部は、この測定信号の供給状態において計測器で計測された電流値に基づいて、２つのプローブが接触している配線Ｗに対する導通検査、または２つのプローブが接触している２つ配線Ｗに対する絶縁検査を実行して、その検査結果を記憶する第１検査処理と、記憶した検査結果を第１検査側表示部に表示させる第１出力処理とを実行する。
第２検査装置３は、２つのフライングプローバ３１，３５（背景技術で説明したフライングプローバと同等の機能を備えたもの）、不図示の入力部（以下、区別のため、第２検査側入力部ともいう）、不図示の測定部（以下、区別のため、第２検査側測定部ともいう）、不図示の処理部（以下、区別のため、第２検査側処理部ともいう）、および不図示の出力部（一例として表示部。以下、区別のため、第２検査側表示部ともいう）を備えて、第２検査位置（図１において破線で示される配線基板４が配置されている位置であって、第１検査位置とは異なる位置）に配置された配線基板４（第１検査装置２において検査済みの配線基板４）に形成された各配線Ｗに対する検査を実行する。なお、第１検査装置２側の第１検査位置から第２検査装置３側の第２検査位置への配線基板４の搬送については、手動で行う構成であっても、搬送機構で自動で行う構成であってもよい。
具体的には、フライングプローバ３１は、第２検査位置に配置された配線基板４の一方の基板面ＢＦ１側に配置された第３プローブとしての１または２以上のフライングプローブ（本例では一例として、２つのフライングプローブ３２，３３）と、各フライングプローブ３２，３３（以下、単にプローブ３２，３３ともいう）を一方の基板面ＢＦ１側においてＸＹＺ方向に個別に移動させる不図示の移動機構（以下では、プローバ３１側の移動機構ともいう）とを備えて構成されている。また、フライングプローバ３１では、各プローブ３２，３３は、一方の基板面ＢＦ１のどのような位置に形成（配置）されたパッドおよびランドにも接触可能なように、その接触可能領域ＴＥ２が一方の基板面ＢＦ１の平面視形状と同等かまたは広く規定されている。また、フライングプローバ３１は、プロービング精度よりもプロービング速度を重視したフライングプローバ２１とは異なり、プロービング速度よりもプロービング精度を重視した構成となっている。このため、フライングプローバ３１では、プロービング完了までに要する時間はフライングプローバ２１よりも長くなるものの、各プローブ３２，３３は、どのような狭い間隔（例えば、最小配置間隔Ａ未満の間隔）で形成（配置）されたパッドおよびランドにも同時に接触可能となっている。
また、フライングプローバ３５は、第２検査位置に配置された配線基板４の他方の基板面ＢＦ２側に配置された第４プローブとしての１または２以上のフライングプローブ（本例では一例として、２つのフライングプローブ３６，３７）と、各フライングプローブ３６，３７（以下、単にプローブ３６，３７ともいう）を他方の基板面ＢＦ２側においてＸＹＺ方向に個別に移動させる不図示の移動機構（以下では、プローバ３５側の移動機構ともいう）とを備えて構成されている。また、フライングプローバ３５でも、各プローブ３６，３７は、他方の基板面ＢＦ２のどのような位置に形成（配置）されたパッドおよびランドにも接触可能なように、その接触可能領域ＴＥ３が他方の基板面ＢＦ２の平面視形状（一方の基板面ＢＦ１の平面視形状と同一形状）と同等かまたは広く規定されている。また、フライングプローバ３５もフライングプローバ３１と同様にしてプロービング精度を重視した構成を採用していることから、フライングプローバ３５では、各プローブ３６，３７は、どのような狭い間隔（例えば、最小配置間隔Ａ未満の間隔）で形成（配置）されたパッドおよびランドにも同時に接触可能に構成されている。
また、第２検査側入力部は、通信用インターフェース回路や媒体用インターフェース回路などの種々のインターフェース回路で構成されて、検査データ作成装置１と接続された伝送路を介して、または装着された記憶媒体を介して第２検査装置用データＤｅｘ２を外部から入力すると共に第２検査側処理部に出力する。
また、第２検査側測定部は、図示はしないが、一例として、スキャナ、測定信号源（例えば、定電圧源および定電流源）、および計測器（例えば、電流計）を備えて構成されている。この場合、スキャナは、プローブ３２，３３，３６，３７に接続されると共に、測定信号源および計測器に接続されている。また、スキャナは、第２検査側処理部によって内部の接続状態が切り替えられることで、プローブ３２，３３，３６，３７のうちの任意の２つのプローブ間に、測定信号源および計測器を直列状態で接続する。これにより、この２つのプローブが配線Ｗに含まれるパッドまたはランドに接触している状態では、２つのプローブのうちの一方のプローブと接触している配線Ｗ、この一方のプローブ、測定信号源と計測器の直列回路、および２つのプローブのうちの他方のプローブを経由して、この他方のプローブと接触している配線Ｗ（導通検査のときには、一方のプローブが接触している配線Ｗと同じ配線Ｗ、また絶縁検査のときには、一方のプローブが接触している配線Ｗとは異なる配線Ｗ）に至る電流経路が形成される。
また、測定信号源は、第２検査側処理部によって制御されて、上記の電流経路に第２検査側処理部によって選択された測定信号（定電圧源からの定電圧信号（既知の電圧値）または定電流源からの定電流信号（既知の電流値））を供給する。また、計測器は、上記の電流経路に流れる電流の電流値を計測して第２検査側処理部に出力する。
また、第２検査側処理部は、不図示のコンピュータで構成されて、第２検査装置用データＤｅｘ２を使用して、プローブ３２，３３のプローバ３１側の移動機構、プローブ３６，３７のプローバ３５側の移動機構、並びに第２検査側測定部のスキャナおよび測定信号源に対する制御処理を実行して、検査の対象である配線Ｗにプローブ３２，３３，３６，３７のうちのいずれか２つを接触させて、検査の対象である配線Ｗに接触しているこの２つのプローブ間に測定信号を供給する。また、第２検査側処理部は、この測定信号の供給状態において計測器で計測された電流値に基づいて、２つのプローブが接触している配線Ｗに対する導通検査、または２つのプローブが接触している２つ配線Ｗに対する絶縁検査を実行して、その検査結果を記憶する第２検査処理と、記憶した検査結果を第２検査側表示部に表示させる第２出力処理とを実行する。
次いで、検査データ作成装置１の構成について説明する。
検査データ作成装置１は、例えばコンピュータを用いて構成されて、入力部１１、処理部１２および出力部１３を備えている。この場合、入力部１１は、通信用インターフェース回路や媒体用インターフェース回路などの種々のインターフェース回路で構成されて、配線基板４に形成された各配線Ｗを構成するパッドおよびランドのネットの情報とフラグ（第１検査装置２においてプロービング不可なパッドおよびランドであることを示す符号）の付加の有無を示すネットリストＬｎ（図９参照）と、パッドおよびランドの配線基板４上の位置の情報を示す位置リストＬｐ（図１０参照）とを入力して、処理部１２に出力する。なお、パッドおよびランドの表面上には、後述する検査ポイントが規定されることから、パッドやランド自体を検査ポイントともいうことがある。
ネットリストＬｎおよび位置リストＬｐの一例について、図８に示すように、配線基板４に形成された配線Ｗ（一例として、６本の配線Ｗ１～Ｗ６）を挙げて説明する。同図は、配線基板４の一部を一方の基板面ＢＦ１側から見た平面図であり、一方の基板面ＢＦ１に位置する配線Ｗの部位と、ランドおよびパッド（同図ではランドＰ）とについては実線で示し、他方の基板面ＢＦ２に位置する配線Ｗの部位とランドＰとについては破線で示している。なお、一方の基板面ＢＦ１から他方の基板面ＢＦ２にかけて貫通するスルーホール（図示せず）の他方の基板面ＢＦ２に位置するランドＰについては、このスルーホールの一方の基板面ＢＦ１に位置するランドＰの直下に位置して平面図では見えないことから引出線および符号のみで示すものとする。
まず、ネットリストＬｎは、一例として図９に示すように、各配線Ｗ（ネット）に含まれる各ランドＰの識別情報が、各配線Ｗの識別情報（一例として、配線を示す記号Ｗと数値１から始まるシリアル番号とを組み合わせた符号）に対応付けられたものである。なお、ランドＰの識別情報は、一例として、含まれる配線Ｗのシリアル番号を十の桁とするシリアル番号と、配置されている基板面が一方の基板面ＢＦ１であるか他方の基板面ＢＦ２であるかを示す数値（一方の基板面ＢＦ１のときには「１」、他方の基板面ＢＦ２のときには「２」）からなる添え字と、フラグの付加の有無を示すカッコ内の数値（付加されているときには「１」が入り、付加されていないときには「０」が入る）とで構成される符号である。また、カンマで区切られて連続する複数のランドＰの列は、各ランドＰが、記載されている順番に導体パターンまたはスルーホールまたはビアホールを介して接続されることを示している。また、配線Ｗ１のように、１つの配線Ｗにおいて、ランドＰの列が複数存在しているときには、各ランドＰの列に共通して含まれているランドＰ（配線Ｗ１ではランドＰ１２２（０））において分岐していることを示している。また、以下では、ランドＰの識別情報については、シリアル番号のみで、またはシリアル番号と添え字のみで簡易に表記する場合もある（例えば、ランドＰ１１２（０）については、ランドＰ１１やランドＰ１１２と表記する場合もある）。また、ランドＰの識別情報の表記については、これに限定されるものではなく、種々の表記が採用できるのはもちろんである。
位置リストＬｐは、一例として図１０に示すように、ネットリストＬｎに対応させられた各配線Ｗに含まれる各ランドＰの配線基板４上での座標値（位置の情報）であり、ランドＰの識別情報と座標値とが組み合わされて表記される。なお、この座標値は、配線基板４上に予め規定された基準点を原点とするＸＹ座標（一例として、一方の基板面ＢＦ１側から見た直交座標）での座標値（ｘ，ｙ）である。
また、第１検査装置２においてプロービング不可なパッドおよびランドとは、配線基板４の一方の基板面ＢＦ１における接触可能領域ＴＥ１外に位置するとの条件（フライングプローバ２１側の条件）を満たすパッドおよびランドが該当する。例えば、図８のランドＰ４３１，Ｐ４４１，Ｐ５１１，Ｐ５２１，Ｐ５３１が該当する。
また、このプロービング不可なパッドおよびランドとは、配線基板４の他方の基板面ＢＦ２におけるパッドおよびランドのうちの、対応するプローブ２７を立設可能な（つまり、立設される）近接の他のパッドまたはランドとの間隔（具体的には、このパッドまたはランド上に規定された検査ポイント（本例では、パッドまたはランド全体ではなく、その中心とする。プロービングポイントとも呼称される場合もある）と自身に規定された検査ポイントとの間隔）が最小配置間隔Ａ未満であるとの条件（一括検査機２５側の条件）を満たすパッドおよびランド（つまり、自身には、対応するプローブ２７を立設不可能なパッドおよびランド）も該当する。具体的には、例えば、図８のランドＰ６４２のように、その検査ポイント（黒色のドットを付した点）が近接の他のランドＰ１１２の検査ポイントから最小配置間隔Ａ未満の距離にあるランドＰである。また、ランドＰ６３２のように、その検査ポイントが近接の他のランドＰ７２２の検査ポイントから最小配置間隔Ａ未満の距離にあるランドＰである。また、ランドＰ４１２のように、その検査ポイントが近接の他のランドＰ３３２の検査ポイントから最小配置間隔Ａ未満の距離にあるランドＰである。また、ランドＰ３４２のように、同じ配線Ｗ３内の他のランドＰ３３２から最小配置間隔Ａ未満の距離にあるランドＰである。
処理部１２は、入力部１１から入力されるネットリストＬｎおよび位置リストＬｐに基づいて、検査データ作成処理５０（図２参照）を実行して、第１検査装置用データＤｅｘ１および第２検査装置用データＤｅｘ２を作成する。また、処理部１２は、作成した第１検査装置用データＤｅｘ１および第２検査装置用データＤｅｘ２を出力部１３に出力する。
出力部１３は、通信用インターフェース回路や媒体用インターフェース回路などの種々のインターフェース回路で構成されて、処理部１２から入力した第１検査装置用データＤｅｘ１および第２検査装置用データＤｅｘ２を、通信用インターフェース回路で構成されているときには通信路を介して第１検査装置２および第２検査装置３に出力（送信）し、また媒体用インターフェース回路で構成されているときにはこの回路に装着された記録媒体（第１検査装置２および第２検査装置３へのデータ出力（移行）用の記録媒体）に記憶させる。
次に、検査システムＥＸＳの動作について、検査システムＥＸＳを構成する検査データ作成装置１、第１検査装置２および第２検査装置３の各動作と共に説明する。
まず、検査データ作成装置１の動作（検査データ作成装置１が実行する検査データ作成方法）について説明する。検査データ作成装置１では、入力部１１が、ネットリストＬｎおよび位置リストＬｐを入力して、処理部１２に出力する。処理部１２は、入力部１１から入力したネットリストＬｎおよび位置リストＬｐに基づいて、検査データ作成処理５０を実行する。
具体的には、処理部１２は、この検査データ作成処理５０では、図２に示すように、まず、グループ分け処理を実行する（ステップ５１）。この場合、配線基板４に形成されたすべての配線Ｗ（ネットリストＬｎで示されるすべての配線Ｗ）は、第１検査装置２における上記のプロービング不可なパッドおよびランドについての２つ条件（フライングプローバ２１側の条件および一括検査機２５側の条件）を考慮すると、次の第１配線群から第５配線群までの５つのグループ（配線群）のうちのいずれか１つに必ず含まれる。
第１配線群に含まれる配線Ｗ（区別のため、以下では配線Ｗａともいう）は、図３に示すように、配線基板４の一方の基板面ＢＦ１にのみ配置され、かつ含まれるパッドおよびランド（以下では、いずれも符号Ｐを付すものとする）にフラグが付加されていない配線Ｗａ（含まれるパッドＰおよびランドＰのすべてが接触可能領域ＴＥ１内に位置していてプロービング可能な配線Ｗ）である。また、この図３も含めて以下の図４～図７では、フラグが付加されていない（プロービング可能な）パッドＰおよびランドＰについては、黒塗りの丸印で表記し、フラグが付加されている（プロービング不可な）パッドＰおよびランドＰについては、白抜きの丸印で表記するものとする。
第２配線群に含まれる配線Ｗ（区別のため、以下では配線Ｗｂともいう）は、図４に示すように、含まれるパッドＰおよびランドＰにフラグが付加されておらず、かつ少なくとも一部が配線基板４の他方の基板面ＢＦ２に配置されている配線Ｗｂである。また、同図も含めて以下の図４から図８では、他方の基板面ＢＦ２側における最小配置間隔を符号Ａで表記するものとする。図４の他方の基板面ＢＦ２に位置するパッドＰおよびランドＰは、いずれも互いの間隔が最小配置間隔Ａ以上であることから、フラグは付加されていない。
第３配線群に含まれる配線Ｗ（区別のため、以下では配線Ｗｃともいう）は、図５に示すように、含まれるパッドＰおよびランドＰのすべてにフラグが付加されている配線Ｗｃである。つまり、同図において配線基板４の一方の基板面ＢＦ１に配置されている配線Ｗｃに含まれているパッドＰおよびランドＰは、すべて接触可能領域ＴＥ１外に位置している。また、同図において配線基板４の他方の基板面ＢＦ２に配置されている配線Ｗｃに含まれているパッドＰおよびランドＰは、すべて他方の基板面ＢＦ２に配置されている他の配線Ｗ（同図では、一例として配線Ｗｂ）に含まれているパッドＰまたはランドＰとの間隔が最小配置間隔Ａ未満となっている。
第４配線群に含まれる配線Ｗ（区別のため、以下では配線Ｗｄともいう）は、図６に示すように、フラグが付加されているパッドＰまたはランドＰを含み、かつ他方の基板面ＢＦ２に配置されている一部にフラグが付加されていないパッドＰまたはランドＰを含んでいる配線Ｗｄである。
第５配線群に含まれる配線Ｗ（区別のため、以下では配線Ｗｅともいう）は、図７に示すように、フラグが付加されているパッドＰまたはランドＰを含み、かつフラグが付加されていないパッドＰまたはランドＰを含む一部が一方の基板面ＢＦ１にのみ配置されている配線Ｗｅである。
処理部１２は、このグループ分け処理では、パッドＰおよびランドＰが配線基板４の一方の基板面ＢＦ１および他方の基板面ＢＦ２のいずれに配置されているかということと、パッドＰおよびランドＰへのフラグの付加の有無とを示すネットリストＬｎに基づいて、ネットリストＬｎで示されるすべての配線Ｗを第１配線群から第５配線群のうちの該当するいずれかの配線群にグループ分けする。
具体的に、図８に示す配線Ｗ１～Ｗ７を例に挙げて説明する。この場合、配線Ｗ２は、配線基板４の一方の基板面ＢＦ１にのみ配置され、かつ含まれるランドＰ２１，Ｐ２２，Ｐ２３は、いずれもフラグが付加されていない。このため、配線Ｗ２は、配線Ｗａとして第１配線群にグループ分けされる。配線Ｗ１，Ｗ７は、含まれるランドＰ１１～Ｐ１７およびランドＰ７１，Ｐ７２にフラグが付加されておらず、かつ少なくとも一部が配線基板４の他方の基板面ＢＦ２に配置されている。このため、配線Ｗ１，Ｗ７は、配線Ｗｂとして第２配線群にそれぞれグループ分けされる。
また、配線Ｗ５は、含まれるランドＰ５１～Ｐ５３のすべてにフラグが付加されている。このため、配線Ｗ５は、配線Ｗｃとして第３配線群にグループ分けされる。また、配線Ｗ３は、フラグが付加されているランドＰ３４を含み、かつ他方の基板面ＢＦ２に配置されている一部にフラグが付加されていないランドＰ３１～Ｐ３３を含んでいる。また、配線Ｗ４は、フラグが付加されているランドＰ４１，Ｐ４３，Ｐ４４を含み、かつ他方の基板面ＢＦ２に配置されている一部にフラグが付加されていないランドＰ４２を含んでいる。このため、配線Ｗ３，Ｗ４は、配線Ｗｄとして第４配線群にそれぞれグループ分けされる。また、配線Ｗ６は、フラグが付加されているランドＰ６３，Ｐ６４を含み、かつフラグが付加されていないランドＰ６１，Ｐ６２を含む一部が一方の基板面ＢＦ１にのみ配置されている。このため、配線Ｗ６は、配線Ｗｅとして第５配線群にグループ分けされる。
次いで、処理部１２は、選定処理を実行する（ステップ５２）。この選定処理では、処理部１２は、第２配線群に含まれる配線Ｗｂにおける他方の基板面ＢＦ２に配置されている一部に含まれるパッドＰおよびランドＰのすべてのそれぞれに対応するプローブ２７（第２プローブ）、並びに第４配線群に含まれる配線Ｗｄにおける他方の基板面ＢＦ２に配置されている一部に含まれるパッドＰおよびランドＰのうちのフラグが付加されていないパッドＰおよびランドＰのうちの１つに対応するプローブ２７（第２プローブ）を選定プローブ２７（選定第２プローブ）として選定する。
図８に示す配線Ｗ１～Ｗ７では、上記したように、配線Ｗ１，Ｗ７が、配線Ｗｂとして第２配線群にグループ分けされている。このため、配線Ｗ１については、他方の基板面ＢＦ２に配置されているランドＰのすべて（ランドＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３，Ｐ１６，Ｐ１７）のそれぞれに対応するプローブ２７を選定プローブ２７として選定する。また、配線Ｗ７については、他方の基板面ＢＦ２に配置されているランドＰのすべて（ランドＰ７１，Ｐ７２）のそれぞれに対応するプローブ２７を選定プローブ２７として選定する。また、配線Ｗ３が、配線Ｗｄとして第４配線群にグループ分けされている。このため、配線Ｗ３については、他方の基板面ＢＦ２に配置されている一部に含まれるランドＰ３１～Ｐ３４のうちのフラグが不可されていないランドＰ３１～Ｐ３３のうちの１つ（例えば、ランドＰ３１）に対応するプローブ２７を選定プローブ２７として選定する。
続いて、処理部１２は、第１装置用データ作成処理として、第１導通検査データ作成処理（ステップ５３）、第２導通検査データ作成処理（ステップ５４）、および第１絶縁検査データ作成処理（ステップ５５）を実行して、第１検査装置２が配線基板４の検査の際に使用する第１検査装置用データＤｅｘ１を作成する。
第１導通検査データ作成処理では、処理部１２は、第１配線群に含まれているすべての配線Ｗａについての導通検査を、プローブ２２，２３（第１プローブ）を用いて実行させるための第１導通検査データＤｃｔ１を作成する。この場合、処理部１２は、各配線Ｗａの１つずつについて、含まれているパッドＰまたはランドＰのうちの隣り合う２つのパッドＰまたはランドＰの組（つまり、配線Ｗａにおけるこの隣り合う２つのパッドＰまたはランドＰ間の部位（第１導通検査対象部位））に接触させる２つのプローブ（プローブ２２，２３）を特定するための第１導通検査リストを第１導通検査データＤｃｔ１として作成する。
例えば、図８に示す例では、第１配線群に含まれている配線Ｗａは配線Ｗ２だけであり、この配線Ｗ２には、ランドＰ２１１，Ｐ２２１，Ｐ２３１がこの順で含まれている。このため、処理部１２は、まず、隣り合う２つのランドＰ２１１，Ｐ２２１のうちのランドＰ２１１にプローブ２２を接触させると共にランドＰ２２１にプローブ２３を接触させ（配線Ｗ２のランドＰ２１１，Ｐ２２１間の部位にプローブ２２，２３を接触させ）、次いで、隣り合う２つのランドＰ２２１，Ｐ２３１のうちのランドＰ２２１にプローブ２２を接触させると共にランドＰ２３１にプローブ２３を接触させる（配線Ｗ２のランドＰ２２１，Ｐ２３１間の部位にプローブ２２，２３を接触させる）ようにプローブを特定するための第１導通検査リスト（図１１参照）を第１導通検査データＤｃｔ１として作成する。第１配線群に含まれている配線Ｗａが複数存在しているときには、上記した配線Ｗ２のときと同様にして、各配線Ｗａに含まれるすべてのパッドＰまたはランドＰについて、隣り合う２つのパッドＰまたはランドＰの組（第１導通検査対象部位）に接触させるプローブ２２，２３についての第１導通検査リストを第１導通検査データＤｃｔ１として作成する。
第２導通検査データ作成処理では、処理部１２は、第２配線群に含まれているすべての配線Ｗｂについての導通検査を、プローブ２２，２３（第１プローブ）および選定処理において選定された選定プローブ２７を用いて実行させるための第２導通検査データＤｃｔ２を作成する。この場合、処理部１２は、各配線Ｗｂの１つずつについて、含まれているパッドＰまたはランドＰのうちの隣り合う２つのパッドＰまたはランドＰの組（つまり、配線Ｗｂにおけるこの隣り合う２つのパッドＰまたはランドＰ間の部位（第２導通検査対象部位））に接触させる２つのプローブ（プローブ２２，２３および選定プローブ２７のうちの使用する２つのプローブ）を特定するための第２導通検査リストを第２導通検査データＤｃｔ２として作成する。
例えば、図８に示す例では、第２配線群に含まれている配線Ｗｂは配線Ｗ１，Ｗ７であり、この配線Ｗ１には、ランドＰ１１２，Ｐ１２２，Ｐ１３２と、ランドＰ１２２，Ｐ１４１，Ｐ１５１，Ｐ１６２，Ｐ１７２とがこの順で、かつランドＰ１２２で分岐する状態で含まれている。また、配線Ｗ７には、ランドＰ７１２，Ｐ７２２がこの順で含まれている。このため、処理部１２は、配線Ｗ１に関しては、隣り合う２つのランドＰ１１２，Ｐ１２２（配線Ｗ１のランドＰ１１２，Ｐ１２２間の部位）については、対応する選定プローブ２７がそれぞれ存在していることから、使用するプローブとしてこの２つの選定プローブ２７を特定でき、また隣り合う２つのランドＰ１２２，Ｐ１３２（配線Ｗ１のランドＰ１２２，Ｐ１３２間の部位）についても、対応する選定プローブ２７がそれぞれ存在していることから、使用するプローブとしてこの２つの選定プローブ２７を特定できる第２導通検査リスト（図１２参照）を第２導通検査データＤｃｔ２として作成する。また、隣り合う２つのランドＰ１２２，Ｐ１４１（配線Ｗ１のランドＰ１２２，Ｐ１４１間の部位）については、ランドＰ１２２には、対応する選定プローブ２７が存在しているが、ランドＰ１４１にはプローブ２２，２３のうちのいずれかを接触させる必要があることから、ランドＰ１２２には選定プローブ２７を、またランドＰ１４１にはプローブ２２，２３のうちのいずれか（一例としてプローブ２２）を、使用するプローブとして特定できる第２導通検査リストを第２導通検査データＤｃｔ２として作成する。また、隣り合う２つのランドＰ１４１，Ｐ１５１（配線Ｗ１のランドＰ１４１，Ｐ１５１間の部位）については、ランドＰ１４１にはプローブ２２を、またランドＰ１５１にはプローブ２３を使用する（接触させる）ようにプローブを特定できる第２導通検査リストを第２導通検査データＤｃｔ２として作成する。また、隣り合う２つのランドＰ１５１，Ｐ１６２（配線Ｗ１のランドＰ１５１，Ｐ１６２間の部位）については、ランドＰ１６２には、対応する選定プローブ２７が存在しているが、ランドＰ１５１にはプローブ２２，２３のうちのいずれかを接触させる必要があることから、ランドＰ１６２には選定プローブ２７を、またランドＰ１５１にはプローブ２２，２３のうちのいずれか（一例としてプローブ２３）を、使用するプローブとして特定できる第２導通検査リストを第２導通検査データＤｃｔ２として作成する。また、隣り合う２つのランドＰ１６２，Ｐ１７２（配線Ｗ１のランドＰ１６２，Ｐ１７２間の部位）については、対応する選定プローブ２７がそれぞれ存在していることから、使用するプローブとしてこの２つの選定プローブ２７を特定できる第２導通検査リストを第２導通検査データＤｃｔ２として作成する。
また、配線Ｗ７には、ランドＰ７１２，Ｐ７２２が含まれている。また、この隣り合う２つのランドＰ７１２，Ｐ７２２（配線Ｗ７のランドＰ７１２，Ｐ７２２間の部位）については、対応する選定プローブ２７がそれぞれ存在している。このため、処理部１２は、使用するプローブとしてこの２つの選定プローブ２７を特定できる第２導通検査リストを第２導通検査データＤｃｔ２として作成する。なお、処理部１２は、作成した第１導通検査データＤｃｔ１および第２導通検査データＤｃｔ２について、１つの導通検査データとして纏めてもよい。
以上の第１導通検査データ作成処理および第２導通検査データ作成処理により、第１検査装置２において導通検査可能なすべての部位を検査するための第１導通検査データＤｃｔ１および第２導通検査データＤｃｔ２が作成される。
第１絶縁検査データ作成処理では、処理部１２は、第１配線群、第２配線群、第４配線群および第５配線群に含まれているすべての配線Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｄ，Ｗｅ同士（つまり、配線Ｗａとして第１配線群にグループ分けされた配線Ｗ、配線Ｗｂとして第２配線群にグループ分けされた配線Ｗ、配線Ｗｄとして第４配線群にグループ分けされた配線Ｗ、および配線Ｗｅとして第５配線群にグループ分けされた配線Ｗのうちの２つの配線Ｗで構成されるすべての組み合わせ）についての絶縁検査を、プローブ２２，２３および選定プローブ２７を用いて実行させるための第１絶縁検査データＤｉｔ１を作成する。配線Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｄ，Ｗｅは、第３配線群に含まれている配線Ｗｃ（プローブを接触させることができないパッドＰやランドＰしか含まれていない配線Ｗ）とは異なり、プローブ２２，２３および選定プローブ２７のうちの１つと接触させ得るパッドＰやランドＰを少なくとも１つ以上含んでいる。したがって、各配線Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｄ，Ｗｅについては、このプローブと接触させ得るパッドＰやランドＰのうちの１つを使用して、相互間の絶縁検査が可能となっている。
このため、処理部１２は、第１絶縁検査データ作成処理では、まず、配線Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｄ，Ｗｅのいずれかとなるすべての配線Ｗのうちの２つの配線Ｗで構成されるすべての組み合わせ（第１絶縁検査対象部位）を特定する。次いで、処理部１２は、特定した配線Ｗの各組み合わせにおいて、２つの配線Ｗのそれぞれについてプローブと接触させ得るパッドＰやランドＰのうちの１つを特定する。続いて、処理部１２は、この２つの配線Ｗのそれぞれについて特定した１つのパッドＰやランドＰに接触させるプローブを絶縁検査において使用するプローブとして特定する。また、処理部１２は、配線Ｗの各組み合わせ（第１絶縁検査対象部位）について使用するプローブを、各組み合わせに対応付けてリスト化することで、第１絶縁検査データＤｉｔ１を作成する。
例えば、図８に示す例では、配線Ｗａとして配線Ｗ２が存在し、配線Ｗｂとして配線Ｗ１，Ｗ７が存在し、配線Ｗｄとして配線Ｗ３，Ｗ４が存在し、配線Ｗｅとして配線Ｗ６が存在する。そこで、処理部１２は、まず、これらの配線Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４，Ｗ６，Ｗ７のうちの２つの配線Ｗで構成されるすべての組み合わせ、つまり、１５個の組み合わせ（配線Ｗ１，配線Ｗ２）、（配線Ｗ１，配線Ｗ３）、（配線Ｗ１，配線Ｗ４）、（配線Ｗ１，配線Ｗ６）、（配線Ｗ１，配線Ｗ７）、（配線Ｗ２，配線Ｗ３）、（配線Ｗ２，配線Ｗ４）、（配線Ｗ２，配線Ｗ６）、（配線Ｗ２，配線Ｗ７）、（配線Ｗ３，配線Ｗ４）、（配線Ｗ３，配線Ｗ６）、（配線Ｗ３，配線Ｗ７）、（配線Ｗ４，配線Ｗ６）、（配線Ｗ４，配線Ｗ７）、および（配線Ｗ６，配線Ｗ７）を第１絶縁検査対象部位として特定する。次いで処理部１２は、各組み合わせにおいて、２つの配線Ｗのそれぞれについてプローブと接触させ得るパッドＰやランドＰのうちの１つを特定する。この場合、１つの配線Ｗに、プローブ２２，２３と接触し得るパッドＰやランドＰと、選定プローブ２７と接触し得るパッドＰやランドＰとが併存しているときには、フライングプローバ２１を使用した検査よりも一括検査機２５を使用した検査の方が検査速度が速いことから、選定プローブ２７と接触させ得るパッドＰやランドＰのうちの１つを特定するのが好ましい。
この配線Ｗ１には、プローブ２２，２３と接触し得るランドＰ１４，Ｐ１５も含まれているが、選定プローブ２７と接触し得るランドＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３，Ｐ１６，Ｐ１７が含まれている。このため、配線Ｗ１では、ランドＰ１１，Ｐ１２，Ｐ１３，Ｐ１６，Ｐ１７のうちの１つ（例えば、ランドＰ１１）を特定すると共に、この１つのランドＰ（ランドＰ１１）に接触させる選定プローブ２７（ランドＰ１１に対応する選定プローブ２７）を絶縁検査において使用するプローブとして特定する。また、配線Ｗ２には、プローブ２２，２３と接触し得るランドＰ２１，Ｐ２２，Ｐ２３のみが含まれている。このため、配線Ｗ２では、ランドＰ２１，Ｐ２２，Ｐ２３のうちの１つ（例えば、ランドＰ２１）を特定すると共に、この１つのランドＰ（ランドＰ２１）に接触させるプローブ（プローブ２２，２３のうちの１つ。例えば、プローブ２２）を絶縁検査において使用するプローブとして特定する。また、配線Ｗ３には、プローブ２２，２３と接触し得るランドＰは含まれておらず、選定プローブ２７と接触し得るランドＰ３１，Ｐ３２，Ｐ３３（なお、ランドＰ３４は、対応する選定プローブ２７が存在していない）が含まれている。このため、配線Ｗ３では、ランドＰ３１，Ｐ３２，Ｐ３３のうちの１つ（例えば、ランドＰ３２）を特定すると共に、この１つのランドＰ（ランドＰ３２）に接触させる選定プローブ２７（ランドＰ３２に対応する選定プローブ２７）を絶縁検査において使用するプローブとして特定する。また、配線Ｗ４には、プローブ２２，２３および選定プローブ２７と接触し得るランドＰとして、選定プローブ２７と接触し得るランドＰ４２のみが含まれている。このため、配線Ｗ４では、ランドＰ４２を特定すると共に、このランドＰ４２に接触させる選定プローブ２７（ランドＰ４２に対応する選定プローブ２７）を絶縁検査において使用するプローブとして特定する。
また、配線Ｗ６には、他方の基板面ＢＦ２側にランドＰ６３，Ｐ６４が配置されているが、いずれも対応する選定プローブ２７が存在していない。このため、配線Ｗ６では、一方の基板面ＢＦ１側に位置してプローブ２２，２３と接触し得るランドＰ６１，Ｐ６２のうちの１つ（例えば、ランドＰ６２）を特定すると共に、この１つのランドＰ（ランドＰ６２）に接触させるプローブ（プローブ２２，２３のうちの１つ。例えば、プローブ２３）を絶縁検査において使用するプローブとして特定する。また、配線Ｗ７には、選定プローブ２７と接触し得るランドＰ７１，Ｐ７２のみが含まれている。このため、配線Ｗ７では、ランドＰ７１，Ｐ７２のうちの１つ（例えば、ランドＰ７１）を特定すると共に、この１つのランドＰ（ランドＰ７１）に対応する選定プローブ２７を絶縁検査において使用するプローブとして特定する。
また、処理部１２は、配線Ｗの各組み合わせ（第１絶縁検査対象部位）について使用するプローブを、各組み合わせに対応付けてリスト化することで、図１３に示す第１絶縁検査データＤｉｔ１を作成する。これにより、第１絶縁検査データ作成処理が完了すると共に、第１導通検査データＤｃｔ１、第２導通検査データＤｃｔ２および第１絶縁検査データＤｉｔ１と、位置リストＬｐとから成る第１検査装置用データＤｅｘ１の作成が完了する結果、第１装置用データ作成処理が完了する。なお、位置リストＬｐに含まれている各ランドＰの座標値については、第１導通検査データＤｃｔ１、第２導通検査データＤｃｔ２および第１絶縁検査データＤｉｔ１に含める構成を採用することもできる。
次いで、処理部１２は、第２装置用データ作成処理として、第３導通検査データ作成処理（ステップ５６）、第４導通検査データ作成処理（ステップ５７）、第５導通検査データ作成処理（ステップ５８）、および第２絶縁検査データ作成処理（ステップ５９）を実行して、第２検査装置３が配線基板４の検査の際に使用する第２検査装置用データＤｅｘ２を作成する。
第３導通検査データ作成処理では、処理部１２は、第３配線群に含まれているすべての配線Ｗｃについての導通検査を、プローブ３２，３３（第３プローブ）およびプローブ３６，３７（第４プローブ）を用いて実行させるための第３導通検査データＤｃｔ３を作成する。この場合、処理部１２は、各配線Ｗｃの１つずつについて、含まれているパッドＰまたはランドＰのうちの隣り合う２つのパッドＰまたはランドＰの組（つまり、配線Ｗｃにおけるこの隣り合う２つのパッドＰまたはランドＰ間の部位（第３導通検査対象部位））に接触させる２つのプローブ（プローブ３２，３３，３６，３７のうちの２つ）を特定するための第３導通検査リストを第３導通検査データＤｃｔ３として作成する。
例えば、図８に示す例では、第３配線群に含まれている配線Ｗｃは配線Ｗ５であり、配線Ｗ５には、ランドＰ５１１，Ｐ５２１，Ｐ５３１がこの順で含まれている。このため、処理部１２は、配線Ｗ５については、隣り合う２つのランドＰ５１１，Ｐ５２１のうちのランドＰ５１１にプローブ３２を接触させると共にランドＰ５２１にプローブ３３を接触させ（配線Ｗ５のランドＰ５１１，Ｐ５２１間の部位にプローブ３２，３３を接触させ）、次いで、隣り合う２つのランドＰ５２１，Ｐ５３１のうちのランドＰ５２１にプローブ３３を接触させると共にランドＰ５３１にプローブ３２を接触させる（配線Ｗ５のランドＰ５２１，Ｐ５３１間の部位にプローブ３３，３２を接触させる）ようにプローブを特定し得る第３導通検査リスト（図１４参照）を第３導通検査データＤｃｔ３として作成する。この場合、第３配線群に含まれている配線Ｗｃが複数存在しているときには、上記した配線Ｗ５のときと同様にして、各配線Ｗｃに含まれるすべてのパッドＰまたはランドＰについて、隣り合う２つのパッドＰまたはランドＰの組（第３導通検査対象部位）に接触させるプローブ３２，３３，３６，３７についての第３導通検査リストを第３導通検査データＤｃｔ３として作成する。
第４導通検査データ作成処理では、処理部１２は、第４配線群に含まれているすべての配線Ｗｄについての導通検査を、プローブ３２，３３およびプローブ３６，３７を用いて実行させるための第４導通検査データＤｃｔ４を作成する。この場合、処理部１２は、各配線Ｗｄの１つずつについて、含まれているパッドＰまたはランドＰのうちの隣り合う２つのパッドＰまたはランドＰの組（つまり、配線Ｗｄにおけるこの隣り合う２つのパッドＰまたはランドＰ間の部位（第４導通検査対象部位））に接触させる２つのプローブ（プローブ３２，３３，３６，３７のうちの２つ）を特定するための第４導通検査リストを第４導通検査データＤｃｔ４として作成する。
例えば、図８に示す例では、第４配線群に含まれている配線Ｗｄは配線Ｗ３，Ｗ４であり、配線Ｗ３には、ランドＰ３１２，Ｐ３２２，Ｐ３３２，Ｐ３４２がこの順で含まれ、配線Ｗ４には、ランドＰ４１２，Ｐ４２２，Ｐ４３１，Ｐ４４１がこの順で含まれている。このため、処理部１２は、配線Ｗ３については、隣り合う２つのランドＰ３１２，Ｐ３２２のうちのランドＰ３１２にプローブ３６を接触させると共にランドＰ３２２にプローブ３７を接触させ（配線Ｗ３のランドＰ３１２，Ｐ３２２間の部位にプローブ３６，３７を接触させ）、次いで、隣り合う２つのランドＰ３２２，Ｐ３３２のうちのランドＰ３２２にプローブ３７を接触させると共にランドＰ３３２にプローブ３６を接触させ（配線Ｗ３のランドＰ３２２，Ｐ３３２間の部位にプローブ３７，３６を接触させ）、続いて、隣り合う２つのランドＰ３３２，Ｐ３４２のうちのランドＰ３３２にプローブ３６を接触させると共にランドＰ３４２にプローブ３７を接触させる（配線Ｗ３のランドＰ３３２，Ｐ３４２間の部位にプローブ３６，３７を接触させる）ようにプローブを特定し得る第４導通検査リスト（図１５参照）を第４導通検査データＤｃｔ４として作成する。
また、処理部１２は、配線Ｗ４については、隣り合う２つのランドＰ４１２，Ｐ４２２のうちのランドＰ４１２にプローブ３６を接触させると共にランドＰ４２２にプローブ３７を接触させ（配線Ｗ４のランドＰ４１２，Ｐ４２２間の部位にプローブ３６，３７を接触させ）、次いで、隣り合う２つのランドＰ４２２，Ｐ４３１のうちのランドＰ４２２にプローブ３７を接触させると共にランドＰ４３１にプローブ３２を接触させ（配線Ｗ４のランドＰ４２２，Ｐ４３１間の部位にプローブ３７，３２を接触させ）、続いて、隣り合う２つのランドＰ４３１，Ｐ４４１のうちのランドＰ４３１にプローブ３２を接触させると共にランドＰ４４１にプローブ３３を接触させる（配線Ｗ４のランドＰ４３１，Ｐ４４１間の部位にプローブ３２，３３を接触させる）ようにプローブを特定し得る第４導通検査リスト（図１５参照）を第４導通検査データＤｃｔ４として作成する。
第５導通検査データ作成処理では、処理部１２は、第５配線群に含まれているすべての配線Ｗｅについての導通検査を、プローブ３２，３３およびプローブ３６，３７を用いて実行させるための第５導通検査データＤｃｔ５を作成する。この場合、処理部１２は、各配線Ｗｅの１つずつについて、含まれているパッドＰまたはランドＰのうちの隣り合う２つのパッドＰまたはランドＰの組（つまり、配線Ｗｅにおけるこの隣り合う２つのパッドＰまたはランドＰ間の部位（第５導通検査対象部位））に接触させる２つのプローブ（プローブ３２，３３，３６，３７のうちの２つ）を特定するための第５導通検査リストを第５導通検査データＤｃｔ５として作成する。
例えば、図８に示す例では、第５配線群に含まれている配線Ｗｅは配線Ｗ６であり、配線Ｗ６には、ランドＰ６１１，Ｐ６２１，Ｐ６３２，Ｐ６４２がこの順で含まれている。このため、処理部１２は、配線Ｗ６については、隣り合う２つのランドＰ６１１，Ｐ６２１のうちのランドＰ６１１にプローブ３２を接触させると共にランドＰ６２１にプローブ３３を接触させ（配線Ｗ６のランドＰ６１１，Ｐ６２１間の部位にプローブ３２，３３を接触させ）、次いで、隣り合う２つのランドＰ６２１，Ｐ６３２のうちのランドＰ６２１にプローブ３３を接触させると共にランドＰ６３２にプローブ３６を接触させ（配線Ｗ６のランドＰ６２１，Ｐ６３２間の部位にプローブ３３，３６を接触させ）、続いて、隣り合う２つのランドＰ６３２，Ｐ６４２のうちのランドＰ６３２にプローブ３６を接触させると共にランドＰ６４２にプローブ３７を接触させる（配線Ｗ６のランドＰ６３２，Ｐ６４２間の部位にプローブ３６，３７を接触させる）ようにプローブを特定し得る第５導通検査リスト（図１６参照）を第５導通検査データＤｃｔ５として作成する。第５配線群に含まれている配線Ｗｅが複数存在しているときには、上記した配線Ｗ６のときと同様にして、各配線Ｗｅに含まれるすべてのパッドＰまたはランドＰについて、隣り合う２つのパッドＰまたはランドＰの組（第５導通検査対象部位）に接触させるプローブ３２，３３，３６，３７についての第３導通検査リストを第３導通検査データＤｃｔ３として作成する。
第２絶縁検査データ作成処理では、処理部１２は、第３配線群に含まれているすべての配線Ｗｃについて、この第３配線群以外の他の配線群に含まれているすべての配線Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｄ，Ｗｅとの間での絶縁検査、および第３配線群に含まれているすべての配線Ｗｃ同士についての絶縁検査を、プローブ３２，３３およびプローブ３６，３７を用いて実行させるための第２絶縁検査データＤｉｔ２を作成する。
例えば、図８に示す例では、第３配線群に含まれている配線Ｗｃは配線Ｗ５だけである。そこで、処理部１２は、まず、配線Ｗ５と、第３配線群以外の他の配線群に含まれているすべての配線Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｄ，Ｗｅ（本例では、配線Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４，Ｗ６，Ｗ７）のうちのいずれか１つの配線Ｗとで構成される２つの配線Ｗの組み合わせ（第２絶縁検査対象部位）のすべて、つまり、６個の組み合わせ（配線Ｗ５，配線Ｗ１）、（配線Ｗ５，配線Ｗ２）、（配線Ｗ５，配線Ｗ３）、（配線Ｗ５，配線Ｗ４）、（配線Ｗ５，配線Ｗ６）、および（配線Ｗ５，配線Ｗ７）を特定する。次いで処理部１２は、各組み合わせにおいて、２つの配線Ｗのそれぞれについてプローブと接触させ得るパッドＰやランドＰのうちの１つを特定する。
この配線Ｗ５には、３つのランドＰ５１，Ｐ５２，Ｐ５３が含まれているが、各ランドＰはいずれもプローブ３２，３３のうちのいずれかのプローブと接触させることが可能となっている。処理部１２は、このうちの１つのランドＰ（一例として、ランドＰ５３）を特定する。また、処理部１２は、この特定した１つのランドＰ（一例として、ランドＰ５３）に接触させるプローブ（一例として、プローブ３３）を絶縁検査において使用するプローブとして特定する。また、配線Ｗ５と組み合わされる他の配線Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｄ，Ｗｅ（本例では、配線Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４，Ｗ６，Ｗ７）については、処理部１２は、一例として、配線Ｗ１では、プローブと接触させるランドＰとしてランドＰ１１を特定すると共にプローブ３７をこのランドＰ１１に接触させるプローブとして特定する。また、配線Ｗ２では、プローブと接触させるランドＰとしてランドＰ２１を特定すると共にプローブ３２をこのランドＰ２１に接触させるプローブとして特定する。また、配線Ｗ３では、プローブと接触させるランドＰとしてランドＰ３２を特定すると共にプローブ３７をこのランドＰ３２に接触させるプローブとして特定する。また、配線Ｗ４では、プローブと接触させるランドＰとしてランドＰ４１を特定すると共にプローブ３７をこのランドＰ４１に接触させるプローブとして特定する。また、配線Ｗ６では、プローブと接触させるランドＰとしてランドＰ６２を特定すると共にプローブ３２をこのランドＰ６２に接触させるプローブとして特定する。また、配線Ｗ７では、プローブと接触させるランドＰとしてランドＰ７１を特定すると共にプローブ３７をこのランドＰ７１に接触させるプローブとして特定する。処理部１２は、配線Ｗの各組み合わせ（第２絶縁検査対象部位）において使用するプローブを、各組み合わせに対応付けてリスト化することで、図１７に示す第２絶縁検査データＤｉｔ２を作成する。
また、図８に示す例では、第３配線群に含まれている配線Ｗｃは配線Ｗ５だけであるため、処理部１２は、第３配線群に含まれているすべての配線Ｗｃ同士についての絶縁検査を、プローブ３２，３３およびプローブ３６，３７を用いて実行させるための第２絶縁検査データＤｉｔ２を作成しないが、第３配線群に含まれている配線Ｗｃが複数存在するときには、すべての配線Ｗｃ同士についての絶縁検査を実行させるための第２絶縁検査データＤｉｔ２を作成する。
図１７に示す第２絶縁検査データＤｉｔ２の作成により、第２絶縁検査データ作成処理が完了する。また、第３導通検査データＤｃｔ３、第４導通検査データＤｃｔ４、第５導通検査データＤｃｔ５、および第２絶縁検査データＤｉｔ２と、位置リストＬｐとから成る第２検査装置用データＤｅｘ２の作成が完了する結果、第２装置用データ作成処理が完了し、これにより、検査データ作成処理５０も完了する。なお、位置リストＬｐに含まれている各ランドＰの座標値については、第３導通検査データＤｃｔ３、第４導通検査データＤｃｔ４、第５導通検査データＤｃｔ５および第２絶縁検査データＤｉｔ２に含める構成を採用することもできる。
処理部１２は、このようにして作成した第１検査装置用データＤｅｘ１および第２検査装置用データＤｅｘ２を出力部１３に出力する。これにより、第１検査装置用データＤｅｘ１については第１検査装置２に、第２検査装置用データＤｅｘ２については第２検査装置３に出力部１３を介してそれぞれ出力される。
次いで、第１検査装置２および第２検査装置３の動作について説明する。
第１検査装置２では、第１検査側処理部が、第１検査装置用データＤｅｘ１（第１導通検査データＤｃｔ１、第２導通検査データＤｃｔ２および第１絶縁検査データＤｉｔ１と、位置リストＬｐ）を入力する。また、第１検査側処理部は、配線基板４が第１検査位置に配置されている状態において、検査機２５側の移動機構に対する制御処理を実行して、ピンボード２６を他方の基板面ＢＦ２に対して接近させて、ピンボード２６に複数立設されたプローブ２７を、対応するランドＰ（他方の基板面ＢＦ２側のランドＰ）に接触させる。これにより、他方の基板面ＢＦ２側のランドＰのうちのフラグの付加されているランドＰを除くすべてのランドＰにプローブ２７が一対一で接触する。図８に示す例では、他方の基板面ＢＦ２側のランドＰのうちのフラグの付加されているランドＰは、ランドＰ３４，Ｐ４１，Ｐ４４，Ｐ６３，Ｐ６４であるため、他方の基板面ＢＦ２側の他のランドＰ（配線Ｗ１のランドＰ１１～Ｐ１３，Ｐ１６，Ｐ１７、配線Ｗ３のランドＰ３１～Ｐ３３、配線Ｗ４のランドＰ４２、および配線Ｗ７のランドＰ７１，Ｐ７２）に、対応するプローブ２７が接触する。
まず、第１検査側処理部は、第１導通検査データＤｃｔ１および第２導通検査データＤｃｔ２と、位置リストＬｐとに基づいて、第１導通検査データＤｃｔ１および第２導通検査データＤｃｔ２に含まれている配線基板４内の第１導通検査対象部位および第２導通検査対象部位について、１つずつ導通検査を実行する。
この導通検査では、第１検査側処理部は、各導通検査データＤｃｔ１，Ｄｃｔ２に含まれる各導通検査対象部位について、１つずつ、第１検査側測定部に対する制御処理を実行して、測定信号（定電流信号）の供給状態における電流値を計測する。この場合、使用するプローブ（各導通検査データＤｃｔ１，Ｄｃｔ２において導通検査対象部位に対応付けられたプローブ）がプローブ２２，２３のときには、第１検査側処理部は、位置リストＬｐから導通検査対象部位の各ランドＰの座標値を取得すると共にフライングプローバ２１におけるプローバ２１側の移動機構に対する制御を実行して、この各ランドＰにプローブ２２，２３を接触させる。また、第１検査側測定部に対してこのプローブ２２，２３を介して導通検査対象部位に流れる電流の電流値を計測させる。また、使用するプローブがプローブ２２，２３のうちの一方のプローブ、およびプローブ２７のときには、第１検査側処理部は、位置リストＬｐから導通検査対象部位の各ランドＰのうちのこの一方のプローブを接触させる一方のランドＰの座標値を取得すると共にフライングプローバ２１におけるプローバ２１側の移動機構に対する制御を実行して、このランドＰにこの一方のプローブを接触させる。また、第１検査側測定部に対してこの一方のプローブおよび導通検査対象部位の各ランドＰのうちの他方のランドＰに接触しているプローブ２７を介して導通検査対象部位に流れる電流の電流値を計測させる。また、使用するプローブがプローブ２７のみのときには、第１検査側処理部は、第１検査側測定部に対して導通検査対象部位の各ランドＰに接触している２つのプローブ２７を介して導通検査対象部位に流れる電流の電流値を計測させる。
また、第１検査側処理部は、計測された電流値と測定信号である定電流信号の既知の電流値とを比較して、一致しているときには導通検査対象部位は正常である（導通状態にある）と判別し、一致していないとき（既知の電流値未満のとき）には導通検査対象部位は異常である（断線状態などの非導通状態にある）と判別して、この検査結果を各導通検査対象部位に対応させて記憶する。
次いで、第１検査側処理部は、第１絶縁検査データＤｉｔ１と位置リストＬｐとに基づいて、第１絶縁検査データＤｉｔ１に含まれている配線基板４内の第１絶縁検査対象部位（２つの配線Ｗ）について、１つずつ絶縁検査を実行する。
この絶縁検査では、第１検査側処理部は、第１絶縁検査データＤｉｔ１に含まれている各絶縁検査対象部位について、１つずつ、第１検査側測定部に対する制御処理を実行して、測定信号（定電圧信号）の供給状態において２つの配線Ｗ間に流れる電流の電流値を計測すると共に、計測した電流値と定電圧信号の既知の電圧値とに基づいて、絶縁検査対象部位としての２つの配線Ｗ間の抵抗値（絶縁抵抗値）を測定する。なお、この絶縁検査の際にも、第１検査側処理部は、上記した導通検査のときと同様にして、第１絶縁検査データＤｉｔ１において第１絶縁検査対象部位（２つの配線Ｗ）に対応付けられたプローブを使用して電流値を計測する。
また、第１検査側処理部は、第１絶縁検査対象部位を構成する２つの配線間について測定した抵抗値と、予め規定された絶縁抵抗基準値とを比較して、測定した抵抗値が絶縁抵抗基準値以上のときには、第１絶縁検査対象部位は良好な絶縁状態にあると判別し、測定した抵抗値が絶縁抵抗基準値未満のときには、第１絶縁検査対象部位は良好な絶縁状態にはないと判別して、この検査結果を各絶縁検査対象部位に対応させて記憶する。これにより、第１検査装置２による配線基板４に対する検査が完了する。
このように、第１検査装置２は、検査データ作成装置１で作成された第１検査装置用データＤｅｘ１を使用して配線基板４の検査を実行することで、フラグが付加されたランドＰ（第１検査装置２ではプロービングできないランドＰ）を一部に含んでいることを理由として従来では何ら検査していなかった配線Ｗ（つまり、第２検査装置３がすべての検査を行っていた配線Ｗ。図８の例では、配線Ｗｄとしての配線Ｗ３，Ｗ４および配線Ｗｅとしての配線Ｗ６）に関しても、対応する選定プローブ２７が選定されたランドＰを含む場合や接触可能領域ＴＥ１内にプローブ２２，２３で接触し得るランドＰを含む場合には、第１検査装置用データＤｅｘ１を構成する第１絶縁検査データＤｉｔ１に基づき、この選定プローブ２７やこのプローブ２２，２３を使用して他の配線Ｗとの間で絶縁検査をすることが可能となっている。
第１検査装置２での検査が完了した配線基板４は、第１検査装置２側の第１検査位置から第２検査装置３側の第２検査位置に移される。
第２検査装置３では、第２検査側処理部が、まず、第２検査装置用データＤｅｘ２（第３導通検査データＤｃｔ３、第４導通検査データＤｃｔ４、第５導通検査データＤｃｔ５、および第２絶縁検査データＤｉｔ２と、位置リストＬｐ）を入力する。
次いで、第２検査側処理部は、第３導通検査データＤｃｔ３、第４導通検査データＤｃｔ４および第５導通検査データＤｃｔ５と、位置リストＬｐとに基づいて、各導通検査データＤｃｔ３，Ｄｃｔ４，Ｄｃｔ５に含まれている配線基板４内の第３導通検査対象部位、第４導通検査対象部位および第５導通検査対象部位について、１つずつ導通検査を実行する。
この導通検査では、第２検査側処理部は、各導通検査データＤｃｔ３，Ｄｃｔ４，Ｄｃｔ５に含まれる各導通検査対象部位について、１つずつ、第２検査側測定部に対する制御処理を実行して、測定信号（定電流信号）の供給状態における電流値を計測する。この場合、使用するプローブ（各導通検査データＤｃｔ３，Ｄｃｔ４，Ｄｃｔ５において導通検査対象部位に対応付けられたプローブ）がプローブ３２，３３のうちの少なくとも一方のときには、第２検査側処理部は、位置リストＬｐから導通検査対象部位のランドＰの座標値を取得すると共にフライングプローバ３１におけるプローバ３１側の移動機構に対する制御を実行して、このランドＰにプローブ３２，３３を接触させる。また、使用するプローブがプローブ３６，３７のうちの少なくとも一方のときには、第２検査側処理部は、位置リストＬｐから導通検査対象部位のランドＰの座標値を取得すると共にフライングプローバ３５におけるプローバ３５側の移動機構に対する制御を実行して、このランドＰにプローブ３６，３７を接触させる。また、第２検査側処理部は、第２検査側測定部に対してこの導通検査対象部位の各ランドＰに接触しているプローブ（プローブ３２，３３，３６，３７のうちのいずれか２つ）を介して導通検査対象部位に流れる電流の電流値を計測させる。
また、第２検査側処理部は、計測された電流値と測定信号である定電流信号の既知の電流値とを比較して、一致しているときには導通検査対象部位は正常である（導通状態にある）と判別し、一致していないとき（既知の電流値未満のとき）には導通検査対象部位は異常である（断線状態などの非導通状態にある）と判別して、この検査結果を各導通検査対象部位に対応させて記憶する。
次いで、第２検査側処理部は、第２絶縁検査データＤｉｔ２と位置リストＬｐとに基づいて、第２絶縁検査データＤｉｔ２に含まれている配線基板４内の第２絶縁検査対象部位（２つの配線Ｗ）について、１つずつ絶縁検査を実行する。
この絶縁検査では、第２検査側処理部は、第２絶縁検査データＤｉｔ１に含まれている各絶縁検査対象部位について、１つずつ、第２検査側測定部に対する制御処理を実行して、測定信号（定電圧信号）の供給状態における電流値を計測すると共に、計測した電流値と定電圧信号の既知の電圧値とに基づいて、絶縁検査対象部位としての２つの配線Ｗ間の抵抗値（絶縁抵抗値）を測定する。なお、この絶縁検査の際にも、第２検査側処理部は、上記した導通検査のときと同様にして、第２絶縁検査データＤｉｔ２において第２絶縁検査対象部位（２つの配線Ｗ）に対応付けられたプローブを使用して電流値を計測する。
また、第２検査側処理部は、第２絶縁検査対象部位を構成する２つの配線間について測定した抵抗値と、予め規定された絶縁抵抗基準値とを比較して、測定した抵抗値が絶縁抵抗基準値以上のときには、第２絶縁検査対象部位は良好な絶縁状態にあると判別し、測定した抵抗値が絶縁抵抗基準値未満のときには、第２絶縁検査対象部位は良好な絶縁状態にはないと判別して、この検査結果を各絶縁検査対象部位に対応させて記憶する。これにより、第２検査装置３による配線基板４に対する検査が完了する。また、配線基板４に形成されたすべての配線Ｗについてのすべての検査（導通検査および絶縁検査）が完了する。
このように、この検査データ作成装置１、および検査データ作成装置１が実行する検査データ作成方法では、プローブ２２，２３を有するフライングプローバ２１と、複数のプローブ２７を有する一括検査機２５とを備えた第１検査装置２が配線基板４に形成された各配線Ｗに対する導通検査および各配線間の絶縁検査を実行するために使用する第１検査装置用データＤｅｘ１を作成する際に、各配線Ｗを第１配線群～第５配線群にグループ分けするグループ分け処理と、第２配線群に含まれる配線Ｗｂにおける他方の基板面ＢＦ２に配置されているランドＰのすべてのそれぞれに対応するプローブ２７、並びに第４配線群に含まれる配線Ｗｄにおける他方の基板面ＢＦ２に配置されているランドＰのうちのフラグが付加されていないランドＰのうちの１つに対応するプローブ２７を選定プローブ２７として選定する選定処理と、第１配線群に含まれているすべての配線Ｗａについての導通検査をプローブ２２，２３を用いて実行させるための第１導通検査データＤｃｔ１と、第２配線群に含まれているすべての配線Ｗｂについての導通検査をプローブ２２，２３および選定プローブ２７を用いて実行させるための第２導通検査データＤｃｔ２と、第１配線群、第２配線群、第４配線群および第５配線群に含まれているすべての配線Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｄ，Ｗｅ同士についての絶縁検査をプローブ２２，２３および選定プローブ２７を用いて実行させるための第１絶縁検査データＤｉｔ１とを第１検査装置用データＤｅｘ１として作成する第１装置用データ作成処理を、第２検査装置３で使用される第２検査装置用データＤｅｘ２を作成する第２装置用データ作成処理と共に実行する。
したがって、第１検査装置２は、このようにして検査データ作成装置１および検査データ作成方法で作成された第１検査装置用データＤｅｘ１を使用して配線基板４の検査を実行することで、フラグが付加されたランドＰ（第１検査装置２ではプロービングできないランドＰ）を一部に含んでいることを理由として従来では何ら検査していなかった配線Ｗ（つまり、第２検査装置３がすべての検査を行っていた配線Ｗ。図８の例では、配線Ｗｄとしての配線Ｗ３，Ｗ４および配線Ｗｅとしての配線Ｗ６）に関しても、対応する選定プローブ２７が選定されたランドＰを含む場合や接触可能領域ＴＥ１内にプローブ２２，２３で接触し得るランドＰを含む場合には、第１検査装置用データＤｅｘ１を構成する第１絶縁検査データＤｉｔ１に基づき、この選定プローブ２７やこのプローブ２２，２３を使用して他の配線Ｗとの間で絶縁検査をすることができる。つまり、この検査データ作成装置１およびこの検査データ作成方法によれば、第１検査装置２において検査し得る配線Ｗの数を多くし得る第１検査装置用データＤｅｘ１を、第２検査装置３で使用される第２検査装置用データＤｅｘ２と共に作成することができる。
１ 検査データ作成装置
２ 第１検査装置
３ 第２検査装置
４ 配線基板
１１ 入力部
１２ 処理部
２２，２３ プローブ（第１プローブとしてのフライングプローブ）
２６ ピンボード
２７ プローブ（第２プローブとしてのスプリングプローブ）
３２，３３ プローブ（第３プローブとしてのフライングプローブ）
３６，３７ プローブ（第４プローブとしてのフライングプローブ）
ＢＦ１ 一方の基板面
ＢＦ２ 他方の基板面
Ｄｃｔ１ 第１導通検査データ
Ｄｃｔ２ 第２導通検査データ
Ｄｃｔ３ 第３導通検査データ
Ｄｃｔ４ 第４導通検査データ
Ｄｃｔ５ 第５導通検査データ
Ｄｅｘ１ 第１検査装置用データ
Ｄｅｘ２ 第２検査装置用データ
Ｄｉｔ１ 第１絶縁検査データ
Ｄｉｔ２ 第２絶縁検査データ
Ｌｎ ネットリスト
Ｌｐ 位置リスト
ＴＥ１ 接触可能領域

Claims (2)

  1. 第１検査位置に配置された配線基板の一方の基板面側においてＸＹＺ方向に移動可能に配置されると共に当該一方の基板面に形成された各配線に含まれる検査ポイントのうちの当該一方の基板面の平面視形状よりも狭い接触可能領域内の当該検査ポイントに接触可能な第１プローブと、プレス治具型のピンボードに複数立設されると共に前記配線基板の他方の基板面側に当該他方の基板面に対して接離動可能に配置されて、それぞれが当該他方の基板面に形成された各配線に含まれる検査ポイントのうちの対応する１つに接触可能な第２プローブとを有し、いずれかの前記第２プローブに近接させて他のいずれかの前記第２プローブを立設可能であると予め規定された最小配置間隔以上の間隔を開けて複数の前記第２プローブが前記ピンボードに立設されると共に、前記配線基板に形成された前記各配線に対する導通検査および前記各配線間の絶縁検査を実行する第１検査装置で使用される第１検査装置用データと、
    前記第１検査装置と別体に構成されて、前記第１検査位置とは異なる第２検査位置に配設された前記配線基板の前記一方の基板面側においてＸＹＺ方向に移動可能に配置されると共に当該一方の基板面内の前記検査ポイントに接触可能な第３プローブと、前記配線基板の前記他方の基板面側においてＸＹＺ方向に移動可能に配置されると共に当該他方の基板面内の前記検査ポイントに接触可能な第４プローブとを有して、前記配線基板に形成された前記各配線に対する導通検査および前記各配線間の絶縁検査を前記第１検査装置に続いて実行する第２検査装置で使用される第２検査装置用データとを作成する検査データ作成装置であって、
    前記一方の基板面における前記接触可能領域外に位置する前記検査ポイントと、前記他方の基板面内の前記検査ポイントのうちの対応する前記第２プローブを立設可能な前記検査ポイントとの間隔が前記最小配置間隔未満であることで前記第２プローブを立設不可能な前記検査ポイントとにそれぞれ付加されてプロービング不可であることを示すフラグを含むと共に前記検査ポイントのネットの情報を示すネットリスト、並びに前記検査ポイントの前記配線基板上の位置の情報を示す位置リストが入力される入力部と、
    前記入力部から入力される前記ネットリストおよび前記位置リストに基づいて前記第１検査装置用データおよび前記第２検査装置用データを作成する検査データ作成処理を実行する処理部とを備え、
    前記処理部は、前記検査データ作成処理において、
    前記ネットリストで示されるすべての前記配線を、前記一方の基板面にのみ配置され、かつ含まれる前記検査ポイントに前記フラグが付加されていない第１配線群と、含まれる前記検査ポイントに前記フラグが付加されておらず、かつ少なくとも一部が前記他方の基板面に配置されている第２配線群と、含まれる前記検査ポイントのすべてに前記フラグが付加されている第３配線群と、前記フラグが付加されている前記検査ポイントを含み、かつ前記他方の基板面に配置されている一部に前記フラグが付加されていない前記検査ポイントを含む第４配線群と、前記フラグが付加されている前記検査ポイントを含み、かつ前記フラグが付加されていない前記検査ポイントを含む一部が前記一方の基板面にのみ配置されている第５配線群と、にグループ分けするグループ分け処理と、
    前記第２配線群に含まれる前記配線における前記他方の基板面に配置されている前記一部に含まれる前記検査ポイントのすべてのそれぞれに対応する前記第２プローブ、並びに前記第４配線群に含まれる前記配線における前記他方の基板面に配置されている前記一部に含まれる前記検査ポイントのうちの前記フラグが付加されていない前記検査ポイントのうちの１つに対応する前記第２プローブを選定第２プローブとして選定する選定処理と、
    前記第１配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第１プローブを用いて実行させるための第１導通検査データと、前記第２配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第１プローブおよび前記選定第２プローブを用いて実行させるための第２導通検査データと、前記第１配線群、前記第２配線群、前記第４配線群および前記第５配線群に含まれているすべての前記配線同士についての絶縁検査を前記第１プローブおよび前記選定第２プローブを用いて実行させるための第１絶縁検査データとを前記第１検査装置用データとして作成する第１装置用データ作成処理と、
    前記第３配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第３プローブおよび前記第４プローブを用いて実行させるための第３導通検査データと、前記第４配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第３プローブおよび前記第４プローブを用いて実行させるための第４導通検査データと、前記第５配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第３プローブおよび前記第４プローブを用いて実行させるための第５導通検査データと、前記第３配線群に含まれているすべての前記配線について当該第３配線群以外の他の配線群に含まれているすべての前記配線との間での絶縁検査および当該第３配線群に含まれているすべての前記配線同士についての絶縁検査を前記第３プローブおよび前記第４プローブを用いて実行させるための第２絶縁検査データとを前記第２検査装置用データとして作成する第２装置用データ作成処理とを実行する検査データ作成装置。
  2. 第１検査位置に配置された配線基板の一方の基板面側においてＸＹＺ方向に移動可能に配置されると共に当該一方の基板面に形成された各配線に含まれる検査ポイントのうちの当該一方の基板面の平面視形状よりも狭い接触可能領域内の当該検査ポイントに接触可能な第１プローブと、プレス治具型のピンボードに複数立設されると共に前記配線基板の他方の基板面側に当該他方の基板面に対して接離動可能に配置されて、それぞれが当該他方の基板面に形成された各配線に含まれる検査ポイントのうちの対応する１つに接触可能な第２プローブとを有し、いずれかの前記第２プローブに近接させて他のいずれかの前記第２プローブを立設可能であると予め規定された最小配置間隔以上の間隔を開けて複数の前記第２プローブが前記ピンボードに立設されると共に、前記配線基板に形成された前記各配線に対する導通検査および前記各配線間の絶縁検査を実行する第１検査装置で使用される第１検査装置用データと、
    前記第１検査装置と別体に構成されて、前記第１検査位置とは異なる第２検査位置に配設された前記配線基板の前記一方の基板面側においてＸＹＺ方向に移動可能に配置されると共に当該一方の基板面内の前記検査ポイントに接触可能な第３プローブと、前記配線基板の前記他方の基板面側においてＸＹＺ方向に移動可能に配置されると共に当該他方の基板面内の前記検査ポイントに接触可能な第４プローブとを有して、前記配線基板に形成された前記各配線に対する導通検査および前記各配線間の絶縁検査を前記第１検査装置に続いて実行する第２検査装置で使用される第２検査装置用データとを作成する検査データ作成方法であって、
    前記一方の基板面における前記接触可能領域外に位置する前記検査ポイントと、前記他方の基板面内の前記検査ポイントのうちの対応する前記第２プローブを立設可能な前記検査ポイントとの間隔が前記最小配置間隔未満であることで前記第２プローブを立設不可能な前記検査ポイントとにそれぞれ付加されてプロービング不可であることを示すフラグを含むと共に前記検査ポイントのネットの情報を示すネットリスト、並びに前記検査ポイントの前記配線基板上の位置の情報を示す位置リストを入力すると共に、入力した前記ネットリストおよび前記位置リストに基づいて前記第１検査装置用データおよび前記第２検査装置用データを作成する際に、
    前記ネットリストで示されるすべての前記配線を、前記一方の基板面にのみ配置され、かつ含まれる前記検査ポイントに前記フラグが付加されていない第１配線群と、含まれる前記検査ポイントに前記フラグが付加されておらず、かつ少なくとも一部が前記他方の基板面に配置されている第２配線群と、含まれる前記検査ポイントのすべてに前記フラグが付加されている第３配線群と、前記フラグが付加されている前記検査ポイントを含み、かつ前記他方の基板面に配置されている一部に前記フラグが付加されていない前記検査ポイントを含む第４配線群と、前記フラグが付加されている前記検査ポイントを含み、かつ前記フラグが付加されていない前記検査ポイントを含む一部が前記一方の基板面にのみ配置されている第５配線群と、にグループ分けするグループ分け処理と、
    前記第２配線群に含まれる前記配線における前記他方の基板面に配置されている前記一部に含まれる前記検査ポイントのすべてのそれぞれに対応する前記第２プローブ、並びに前記第４配線群に含まれる前記配線における前記他方の基板面に配置されている前記一部に含まれる前記検査ポイントのうちの前記フラグが付加されていない前記検査ポイントのうちの１つに対応する前記第２プローブを選定第２プローブとして選定する選定処理と、
    前記第１配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第１プローブを用いて実行させるための第１導通検査データと、前記第２配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第１プローブおよび前記選定第２プローブを用いて実行させるための第２導通検査データと、前記第１配線群、前記第２配線群、前記第４配線群および前記第５配線群に含まれているすべての前記配線同士についての絶縁検査を前記第１プローブおよび前記選定第２プローブを用いて実行させるための第１絶縁検査データとを前記第１検査装置用データとして作成する第１装置用データ作成処理と、
    前記第３配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第３プローブおよび前記第４プローブを用いて実行させるための第３導通検査データと、前記第４配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第３プローブおよび前記第４プローブを用いて実行させるための第４導通検査データと、前記第５配線群に含まれているすべての前記配線についての導通検査を前記第３プローブおよび前記第４プローブを用いて実行させるための第５導通検査データと、前記第３配線群に含まれているすべての前記配線について当該第３配線群以外の他の配線群に含まれているすべての前記配線との間での絶縁検査および当該第３配線群に含まれているすべての前記配線同士についての絶縁検査を前記第３プローブおよび前記第４プローブを用いて実行させるための第２絶縁検査データとを前記第２検査装置用データとして作成する第２装置用データ作成処理とを実行する検査データ作成方法。
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