JP7427543B2

JP7427543B2 - 配線割り振り装置および配線割り振り方法

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Publication number: JP7427543B2
Application number: JP2020103876A
Authority: JP
Inventors: 裕士田中; 和幸大兼; 和直寺沢
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2020-06-16
Filing date: 2020-06-16
Publication date: 2024-02-05
Anticipated expiration: 2040-06-16
Also published as: JP2021196296A

Description

本発明は、１つの配線基板に形成された複数の配線のすべてを、検査を分担する複数の検査装置に割り振る配線割り振り装置および配線割り振り方法に関するものである。

配線基板に形成された複数の配線については、下記の特許文献１に開示されているような検査装置（布線検査機）で自動的に検査される。この検査装置は、異なる布線検査手段（スプリングプローブを使用した検査治具（検査用フィクスチャ。以下、単にフィクスチャともいう））を有する一括検査機、およびフライングプローバ）を有して構成されて、検査データ作製機で作製された検査データを使用して、複数の配線に対する検査を実行する。この場合、一括検査機では、配線に含まれる検査ポイントに合わせて複数のプローブが検査治具に配置されていて、複数のプローブが対応する検査ポイントに一遍に接触し得る構成のため、一度の接触動作で複数の箇所（配線の検査部位）の検査が可能な結果、一括検査機には、検査スピードが速いという長所がある。その反面、一括検査機では、検査ポイントのピッチに下限値がある（この特許文献１では、１２０μｍ程度が下限値となる）ことから、配線基板の基板面内に配置可能なスプリングプローブの本数に上限がある。また、一括検査機では、検査治具に配置された複数のプローブから、フライングプローバを併用するときには１本（もう１本はフライングプローバ側の１本）を選択的に、またフライングプローバを併用しないときには２本を選択的に検査装置における例えば測定部（電流などの検査用信号の信号源、およびこの検査用信号を測定する測定回路を含む構成要素）に切替器（スキャナ）を介して接続する構成を通常は採用しているため、切替器（スキャナ）に設けられている切り替え回路の数によっても上限が規定されることがある。このため、一括検査機には、検査で使用する検査ポイントの数に上限があるという短所がある。これに対して、フライングプローバでは、プローブはＸＹＺ方向に高精度に駆動される構成のため、フライングプローバには、一括検査機では対応できない狭いピッチ（一括検査機での検査ポイントのピッチの下限値未満のピッチ。例えば、１２０μｍ未満のピッチ）の検査ポイントに対しても十分に対応できるという長所がある。その反面、フライングプローバでは、検査のための検査ポイントにその都度プローブを移動させて接触させる構成のため（つまり、１回の接触動作で一カ所ずつしか検査できたいため）、フライングプローバには、検査スピードが遅いという短所がある。

上記の検査データ作製機は、配線基板に形成される配線（配線パターン）のＣＡＤ設計データであるガーバーデータと、一括検査機およびフライングプローバについての上記の長所および短所とに基づき、検査部位ごと（配線の検査部位ごと）に適した布線検査手段（一括検査機またはフライングプローバ）を選択して振り分ける工程と、それぞれの検査部位ごとに検査にかかる時間、コストのデータから配線基板の検査全体にかかる時間、およびコストをそれぞれの布線検査手段について求める工程とを実行する。

これにより、この検査データ作製機では、ガーバーデータから、ほぼ自動的に配線（配線パターン）に適した布線検査手段（一括検査機またはフライングプローバ）を判定することができ、これに基づき、検査をそれぞれの布線検査手段に自動的に振り分ける（割り振る）ことが可能となっている。なお、下記の特許文献１には開示されていないが、ガーバーデータから作成される各配線についてのネットリスト（配線に規定された各検査ポイントの接続関係を示すリスト）と位置リスト（配線に規定された各検査ポイントの位置情報を示すリスト）とから、各配線に適した布線検査手段を判定して、各配線を検査に適した布線検査手段に自動的に振り分ける（割り振る）構成も可能である。

特開２００６－３２９８５１号公報（第２－６頁）

ところで、本願出願人は、検査位置に配置された配線基板の一方の基板面側に配置されて、この一方の基板面に形成された各配線に規定された検査ポイントにプローブを接触させるフライングプローバと、この配線基板の他方の基板面側に配置されて、この他方の基板面に形成された各配線に規定された複数の検査ポイントの各々にプローブを一斉に接触させる一括検査機とを備えた検査装置で使用される検査データ（フライングプローバ用検査データおよび一括検査機用検査データ）をこの配線基板についてのネットリストおよび位置リストに基づいて作成する検査データ作成装置を開発している。

この場合、配線基板の他方の基板面に形成された各配線に対応するネットリストに含まれる検査ポイントの総計が一括検査機に装着される検査治具（フィクスチャ）のスプリングプローブの本数についての上限数以下のときには、上記の開発中の検査データ作成装置において、上記の特許文献１に開示されている技術を採用することで、配線基板のすべての配線の検査部位を、それぞれの検査に適した布線検査手段（１台の検査装置を構成するフライングプローバおよび一括検査機のうちのいずれか）に自動的に振り分けること（割り振ること）が可能であり、これにより、上記のフライングプローバ用検査データおよび一括検査機用検査データを作成することが可能である。

しかしながら、配線基板の他方の基板面に形成された各配線に対応するネットリストに含まれる検査ポイントの総計が一括検査機に装着される検査治具（フィクスチャ）のスプリングプローブについての上限数を超えるときには、スプリングプローブを配置できない検査ポイントが生じる。したがって、上記の開発中の検査データ作成装置において上記の特許文献１に開示されている技術を採用したとしても、一括検査機のフィクスチャに割り振ることができない配線が残るという改善すべき課題が存在している。

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、フライングプローバおよび一括検査機を備えた検査装置の一括検査機を複数のフィクスチャを交換可能に装着し得る構成として、１つの配線基板に形成された複数の配線のすべてを各フィクスチャに自動的に割り振ることが可能な配線割り振り装置および配線割り振り方法を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の配線割り振り装置は、検査位置に配置された配線基板の一方の基板面側に配置されて当該一方の基板面における任意の位置に接触可能なプローブを有するフライングプローバと、前記配線基板の他方の基板面側に当該他方の基板面に対して接離動可能に配置されると共に当該他方の基板面における予め規定された位置に接触可能なプローブを最大でＧ個配置可能なフィクスチャを複数種類交換可能に装着されるプレス治具型の一括検査機とを備えて、当該複数種類のフィクスチャのうちの第１フィクスチャが装着された際には前記配線基板に形成されたすべての配線間の絶縁検査および当該すべての配線のうちから予め割り振られた配線を導通検査対象とする導通検査を実行し、当該複数種類のフィクスチャのうちの他の第２フィクスチャが装着された際には前記すべての配線のうちから予め割り振られた配線を導通検査対象とする導通検査を実行する検査装置における前記第１フィクスチャおよび前記第２フィクスチャとに、前記すべての配線を前記導通検査対象として割り振る割り振り処理を実行する処理部を備えている配線割り振り装置であって、前記処理部は、前記割り振り処理において、前記すべての配線のうちの前記他方の基板面に前記一括検査機の前記プローブを接触させる検査ポイントが存在する配線を１つの配線群に分類する分類処理と、前記第１フィクスチャに前記導通検査対象として割り振る前記配線を決定する第１配線決定処理と、前記第２フィクスチャに前記導通検査対象として割り振る前記配線を決定する第２配線決定処理とを実行すると共に、前記第１配線決定処理では、前記配線群に分類された前記配線の総数と前記すべての配線のうちから導通検査対象候補として選択された配線のうちの当該配線群に分類された各配線についての前記他方の基板面に存在する前記検査ポイントのそれぞれの数から１を減じた数の総計との合計数が前記Ｇ個未満となる条件下で、前記導通検査対象候補の配線の数がより多くなるように当該導通検査対象候補の配線を選択して、当該選択された導通検査対象候補の配線を前記導通検査対象として前記第１フィクスチャに割り振る前記配線として決定し、前記第２配線決定処理では、前記すべての配線のうちの前記導通検査対象として決定されていない配線のうちから導通検査対象候補として選択された配線のうちの前記配線群に分類された各配線についての前記他方の基板面に存在する前記検査ポイントのそれぞれの数の総計が前記Ｇ個未満となる条件下で、前記導通検査対象候補の配線の数がより多くなるように当該導通検査対象候補の配線を選択して、当該選択された導通検査対象候補の配線を前記導通検査対象として前記第２フィクスチャに割り振る前記配線として決定する。

また、請求項２記載の配線割り振り方法は、検査位置に配置された配線基板の一方の基板面側に配置されて当該一方の基板面における任意の位置に接触可能なプローブを有するフライングプローバと、前記配線基板の他方の基板面側に当該他方の基板面に対して接離動可能に配置されると共に当該他方の基板面における予め規定された位置に接触可能なプローブを最大でＧ個配置可能なフィクスチャを複数種類交換可能に装着されるプレス治具型の一括検査機とを備えて、当該複数種類のフィクスチャのうちの第１フィクスチャが装着された際には前記配線基板に形成されたすべての配線間の絶縁検査および当該すべての配線のうちから予め割り振られた配線を導通検査対象とする導通検査を実行し、当該複数種類のフィクスチャのうちの他の第２フィクスチャが装着された際には前記すべての配線のうちから予め割り振られた配線を導通検査対象とする導通検査を実行する検査装置における前記第１フィクスチャおよび前記第２フィクスチャとに、前記すべての配線を前記導通検査対象として割り振る割り振り処理を実行する配線割り振り方法であって、前記割り振り処理において、前記すべての配線のうちの前記他方の基板面に前記一括検査機の前記プローブを接触させる検査ポイントが存在する配線を１つの配線群に分類する分類処理と、前記第１フィクスチャに前記導通検査対象として割り振る前記配線を決定する第１配線決定処理と、前記第２フィクスチャに前記導通検査対象として割り振る前記配線を決定する第２配線決定処理とを実行すると共に、前記第１配線決定処理では、前記配線群に分類された前記配線の総数と前記すべての配線のうちから導通検査対象候補として選択された配線のうちの当該配線群に分類された各配線についての前記他方の基板面に存在する前記検査ポイントのそれぞれの数から１を減じた数の総計との合計数が前記Ｇ個未満となる条件下で、前記導通検査対象候補の配線の数がより多くなるように当該導通検査対象候補の配線を選択して、当該選択された導通検査対象候補の配線を前記導通検査対象として前記第１フィクスチャに割り振る前記配線として決定し、前記第２配線決定処理では、前記すべての配線のうちの前記導通検査対象として決定されていない配線のうちから導通検査対象候補として選択された配線のうちの前記配線群に分類された各配線についての前記他方の基板面に存在する前記検査ポイントのそれぞれの数の総計が前記Ｇ個未満となる条件下で、前記導通検査対象候補の配線の数がより多くなるように当該導通検査対象候補の配線を選択して、当該選択された導通検査対象候補の配線を前記導通検査対象として前記第２フィクスチャに割り振る前記配線として決定する。

請求項１記載の配線割り振り装置および請求項２記載の配線割り振り方法では、第１フィクスチャに割り振る配線については上記した第１配線決定処理を実行して決定し、この時点において第１フィクスチャに割り振られない配線が残存した状態となっているときには、第２フィクスチャに割り振る配線を決定する第２配線決定処理を実行する。したがって、この配線割り振り装置およびこの配線割り振り方法によれば、１つの配線基板に形成された複数の配線のすべてを、フライングプローバと、第１フィクスチャおよび第２フィクスチャが交換可能に装着される一括検査機とを備えた検査装置の第１フィクスチャと第２フィクスチャとに自動的に割り振ることができる。

配線割り振り装置１および検査データ作成装置２の各構成図である。検査装置３および検査装置３の一括検査機３５に装着可能な各フィクスチャＴＦ_１，ＴＦ_２，ＴＦ_３，・・・の各構成図である。割り振り処理５０を説明するためのフローチャート（配線割り振り方法を説明するためのフローチャート）のうちのフィクスチャＴＦ_１のための割り振り処理を主として説明するフローチャートである。割り振り処理５０を説明するためのフローチャートのうちのフィクスチャＴＦ_２，ＴＦ_３，・・・のための割り振り処理を主として説明するフローチャートである。配線基板４に形成されている第１態様の配線Ｗａ、第２態様の配線Ｗｂ、および第３態様の配線Ｗｃの各構成を模式的に示す配線基板４の断面図である。配線基板４に形成されている配線Ｗの一具体例（配線Ｗ_１～配線Ｗ_１５）の各構成を説明するための説明図である。

以下、配線割り振り装置および配線割り振り方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、図１に示す配線割り振り装置１の機能について、その概要を説明する。

まず、形成されている配線が配線割り振り装置１によって後述する検査装置３の一括検査機３５に装着可能な複数のフィクスチャＴＦに割り振られる配線基板４について、図２，図５を参照して説明する。配線基板４は、その一方の基板面ＢＦ１（単に「基板面ＢＦ１」ともいう）および他方の基板面ＢＦ２（単に「基板面ＢＦ２」ともいう）の双方に複数の配線（図２では図示せず）が形成されている。この配線としては、図５に示すように、配線Ｗａのように基板面ＢＦ１にのみ形成されていて、基板面ＢＦ１にのみ検査ポイントＰが存在する配線（以下、区別のため、第１態様の配線ともいう）と、配線Ｗｂのように基板面ＢＦ２にのみ形成されていて、基板面ＢＦ２にのみ検査ポイントＰが存在する配線（以下、区別のため、第２態様の配線ともいう）と、配線Ｗｃのように、基板面ＢＦ１に形成された部位と基板面ＢＦ２に形成された部位とが配線基板４を貫通するスルーホールまたはビアホールを介して接続されていて、基板面ＢＦ１および基板面ＢＦ２の双方に検査ポイントＰが存在する配線（以下、区別のため、第３態様の配線ともいう）とが存在している。

この配線基板４の各配線については、図２に示す構成の検査装置３によって絶縁検査および導通検査が自動的に実施される。この検査装置３は、後述するように、検査位置（図２において実線や破線で示される配線基板４が配置されている位置）に配置された配線基板４の基板面ＢＦ１に形成された配線に規定された任意の検査ポイントに接触可能なプローブ３２，３３を有するフライングプローバ３１と、この配線基板４の基板面ＢＦ２に形成された配線に規定された検査ポイントのうちの予め規定された検査ポイント（対応する検査ポイント）に一斉に接触可能なプローブ３７を最大でＧ個配置可能なフィクスチャＴＦが１つ装着（複数種類のフィクスチャＴＦが交換可能（選択的）に装着）される一括検査機３５とを備えて構成されている。

この場合、配線基板４の各配線には、上記のような検査ポイントが予め複数規定されている。この検査ポイントは、通常は、配線基板４に形成された各配線に含まれるパッドおよびランド上に規定される。そして、検査装置３は、一つの配線と他の一つの配線との間の絶縁性を検査する絶縁検査では、一つの配線に規定された複数の検査ポイントのうちの１つの検査ポイントに接触している１つのプローブ（プローブ３２，３３，３７のいずれか）と、他の一つの配線に規定された複数の検査ポイントのうちの１つの検査ポイントに接触している１つのプローブ（プローブ３２，３３，３７のいずれか）とを使用して、公知の検査方法（例えば、一つの配線と他の一つの配線との間に規定の電圧値の電圧を印加したときに流れる電流の電流値の多少や、この電圧値と電流値とから算出される絶縁抵抗の抵抗値の多少に基づく検査方法）により、この絶縁性を検査する。また、検査装置３は、一つの配線が全体に亘って良好に導通しているかを検査する導通検査では、この一つの配線に規定された複数の検査ポイントに接触しているすべてのプローブ（プローブ３２，３３，３７のいずれか）を使用して、公知の検査方法（例えば、この一つの配線に規定された複数の検査ポイントのうちの隣接する一対の検査ポイント間に検査電流を供給しようとしたときに、この検査電流が流れるか否かに基づく検査を、すべての隣接する一対の検査ポイント間に対して実行する検査方法）により、一つの配線が全体に亘って良好に導通しているか否か、また導通していない（つまり、断線している）ときにはどの検査ポイント間で断線しているかを検査（特定）する。

したがって、背景技術で述べたように、配線基板４の基板面ＢＦ２に形成された各配線に規定された検査ポイントの総計が一括検査機３５のフィクスチャＴＦ（具体的には、そのベース板３６）に配置可能なプローブ３７の最大数（Ｇ個。言い換えれば、上限数。以下、最大数Ｇともいう）を超えているときには、この基板面ＢＦ２に存在する検査ポイントの中に、プローブ３７を配置できない検査ポイントが生じることになる。一方、配線基板４の基板面ＢＦ１に形成された各配線に規定された検査ポイントについては、フライングプローバ３１の各プローブ３２，３３は基板面ＢＦ１上の任意の位置に高精度で移動して接触可能なため、プローブ３２，３３を接触させられない検査ポイントが生じることはない。以上のことから、配線割り振り装置１は、配線基板４の各配線間の絶縁検査については１つの検査装置３で実行しなければならないとの条件を考慮しつつ、１つの検査装置３の一括検査機３５において導通検査すべき各配線（基板面ＢＦ２に形成された各配線）の検査ポイントの総数が上記の最大数Ｇを超えないように、導通検査する配線を複数のフィクスチャＴＦに割り振る機能を備えている。

次に、配線割り振り装置１の構成について説明する。配線割り振り装置１は、図１に示すように、例えばコンピュータで構成された処理部１１を少なくとも備えている。この場合、処理部１１は、後述する割り振り処理５０（図３，図４参照）を実行する。この割り振り処理５０では、処理部１１は、配線基板４に形成された各配線に含まれるパッドおよびランド（検査ポイントとして規定される部位）のネットの情報を示すネットリストＬｎと、パッドおよびランドの配線基板４上の位置（つまり、検査ポイントの位置）の情報を示す位置リストＬｐとを入力する。また、処理部１１は、配線基板４に形成された各配線の導通検査を複数のフィクスチャＴＦ（フィクスチャＴＦ_１，ＴＦ_２，ＴＦ_３，・・・）に割り振る必要があるときには、入力したネットリストＬｎと位置リストＬｐとに基づき、各フィクスチャＴＦ_１，ＴＦ_２，ＴＦ_３，・・・用の個別の検査データＤｅｘ_１，Ｄｅｘ_２，Ｄｅｘ_３，・・・（以下、区別しないときには、「Ｄｅｘ」ともいう）を作成するための個別のネットリストＬｎおよび個別の位置リストＬｐ（フィクスチャＴＦ_１，ＴＦ_２，ＴＦ_３，・・・のためのネットリストＬｎ_１，位置リストＬｐ_１、ネットリストＬｎ_２，位置リストＬｐ_２、ネットリストＬｎ_３，位置リストＬｐ_３、・・・）を作成して出力する。

続いて、検査データ作成装置２の構成について説明する。検査データ作成装置２は、図１に示すように、例えばコンピュータで構成された処理部２１を少なくとも備えている。この場合、処理部２１は、配線割り振り装置１で作成された各フィクスチャＴＦ_１，ＴＦ_２，ＴＦ_３，・・・用の個別のネットリストＬｎ_１，Ｌｎ_２，Ｌｎ_３，・・・（以下、区別しないときには、「Ｌｎ」ともいう）および個別の位置リストＬｐ_１，Ｌｐ_２、Ｌｐ_３、・・・（以下、区別しないときには、「Ｌｐ」ともいう）を入力すると共に、これら個別のネットリストＬｎおよび個別の位置リストＬｐに基づいて、各フィクスチャＴＦ_１，ＴＦ_２，ＴＦ_３，・・・に割り振られた配線を検査するために、フィクスチャＴＦ_１，ＴＦ_２，ＴＦ_３，・・・のいずれか１つが一括検査機３５に選択的に装着された状態の検査装置３で使用される検査データＤｅｘ_１，Ｄｅｘ_２，Ｄｅｘ_３，・・・を作成して出力する。

本例では一例として、後述するように、複数のフィクスチャＴＦのうちの１番目のフィクスチャＴＦ_１が装着された検査装置３（配線基板４を最初に検査する検査装置３）は、配線基板４に形成されているすべての配線間での絶縁検査を実行すると共に、自装置に割り振られた配線についての導通検査を実行する。また、複数のフィクスチャＴＦのうちの２番目以降のフィクスチャＴＦ_２，ＴＦ_３，・・・のうちの１つが装着された検査装置３は、フィクスチャＴＦ_１に割り振られなかった配線のうちの自装置（装着されたフィクスチャＴＦ）に割り振られた配線についての導通検査を実行する。このため、検査データ作成装置２は、フィクスチャＴＦ_１が装着された検査装置３で使用される検査データＤｅｘ_１として、すべての配線についての絶縁検査（すべての配線同士間での絶縁性の検査）を実行し、かつフィクスチャＴＦ_１に割り振られた配線についての導通検査を実行するための検査データＤｅｘを作成する。また、検査データ作成装置２は、２番目以降のフィクスチャＴＦ_２，ＴＦ_３，・・・のうちの１つが装着された検査装置３で使用される検査データＤｅｘ_２，Ｄｅｘ_３，・・・として、装着されたフィクスチャＴＦに割り振られた配線についての導通検査を実行するための検査データＤｅｘを作成する。

次いで、検査装置３の構成について説明する。

検査装置３は、図２に示すように、フライングプローバ３１（背景技術で説明したフライングプローバと同等の機能を備えたもの）、一括検査機３５（背景技術で説明した一括検査機と同等の機能を備えたもの）、不図示の入力部、不図示の測定部、不図示の処理部、および不図示の出力部（一例として表示部）を備えて、検査位置に配置された配線基板４に形成された各配線に対する検査（絶縁検査や導通検査）を実行する。

具体的には、フライングプローバ３１は、検査位置に配置された配線基板４の基板面ＢＦ１側に配置された１または２以上のプローブ（本例では一例として、２つのフライングプローブ３２，３３）と、各フライングプローブ３２，３３（以下、単にプローブ３２，３３ともいう）を基板面ＢＦ１側においてＸＹＺ方向に高精度で移動させる不図示の移動機構（以下では、プローバ３１側の移動機構ともいう）とを備えて構成されている。また、フライングプローバ３１では、各プローブ３２，３３は、基板面ＢＦ１に存在するすべての検査ポイント（基板面ＢＦ１に形成された各配線に含まれるすべてのパッドおよびランド）に接触可能に構成されている。

また、一括検査機３５は、プレス治具型の一括検査機であって、検査位置に配置された配線基板４の基板面ＢＦ２側に、基板面ＢＦ２と対向する状態で配置されたベース板３６と、ベース板３６における基板面ＢＦ２との対向面に複数立設されたプローブ３７（例えば、スプリング内蔵式のスプリングプローブ）と、ベース板３６を基板面ＢＦ２に対して直線的に接離動（Ｚ方向に移動）させる不図示の移動機構（以下では、一括検査機３５側の移動機構ともいう）とを備えて構成されている。また、ベース板３６では、各プローブ３７は、隣同士が接触しないように最小配置間隔以上の間隔を開けて、それぞれが基板面ＢＦ２に形成された各配線Ｗに含まれるパッドおよびランドのうちの対応する１つ（各配線Ｗに含まれる複数の検査ポイントのうちの対応する１つの検査ポイント）に接触可能な位置に立設される。このように、プローブ３７には、立設する本数についての上限が存在することから、プローブ３７の最大の立設数（最大の配置数。例えば、数百本から数千本程度）は上記のようにＧ個に制限される。本例では、後述するスキャナ内部のスイッチ回路の数により、プローブ３７の本数がＧ個に制限される。

また、一括検査機３５では、ベース板３６およびこのベース板３６に立設された複数のプローブ３７は全体として１つのフィクスチャ（検査用フィクスチャ）ＴＦを構成する。また、一括検査機３５では、このフィクスチャＴＦは、一括検査機３５側の移動機構に対して着脱自在に装着される。なお、一括検査機３５に装着されたフィクスチャＴＦは、測定部に自動的に接続される。また、このフィクスチャＴＦは、導通検査のために配線割り振り装置１によって配線が割り振られたフィクスチャＴＦの数（種類）分だけ作製される。このため、このフィクスチャＴＦの数（配線の検査を分担するフィクスチャＴＦの数）については、配線基板４の基板面ＢＦ２に存在する検査ポイントの数に応じて増減する。

また、入力部は、通信用インターフェース回路や媒体用インターフェース回路などの種々のインターフェース回路で構成されて、検査データ作成装置２と接続された伝送路を介して、または装着された記憶媒体を介して検査データＤｅｘを入力すると共に処理部に出力する。

また、測定部は、図示はしないが、一例として、スキャナ、測定信号源（例えば、定電圧源および定電流源）、および計測器（例えば、電流計）を備えて構成されている。この場合、スキャナは、プローブ３２，３３およびすべてのプローブ３７に接続されると共に、測定信号源および計測器に接続されている。また、スキャナは、処理部によって内部に存在する複数のスイッチ回路の接続状態が切り替えられることで、プローブ３２，３３およびすべてのプローブ３７のうちの任意の２つのプローブ間に、測定信号源および計測器を直列状態で接続する。これにより、この２つのプローブが配線Ｗに含まれる検査ポイント（パッドまたはランド）に接触している状態では、２つのプローブのうちの一方のプローブと接触している配線Ｗ、この一方のプローブ、測定信号源と計測器の直列回路、および２つのプローブのうちの他方のプローブを経由して、この他方のプローブと接触している配線Ｗ（導通検査のときには、一方のプローブが接触している配線Ｗと同じ配線Ｗ、また絶縁検査のときには、一方のプローブが接触している配線Ｗとは異なる配線Ｗ）に至る電流経路が形成される。

また、測定信号源は、処理部によって制御されて、上記の電流経路に処理部によって選択された測定信号（定電圧源からの定電圧信号（既知の電圧値）または定電流源からの定電流信号（既知の電流値））を供給する。また、計測器は、上記の電流経路に流れる電流の電流値を計測して処理部に出力する。

また、処理部は、不図示のコンピュータで構成されて、検査データＤｅｘを使用して、プローバ３１側の移動機構および一括検査機３５側の移動機構、並びに測定部のスキャナおよび測定信号源に対する制御処理を実行して、検査の対象である配線Ｗにプローブ３２，３３を接触させるか、または検査の対象である配線Ｗに接触しているプローブ３７を選択するかして、検査の対象である配線Ｗに接触している２つのプローブ間に測定信号を供給する。また、処理部は、この測定信号の供給状態において計測器で計測された電流値に基づいて、２つのプローブが接触している配線Ｗに対する導通検査、または２つのプローブが接触している２つの配線Ｗに対する絶縁検査を実行して、その検査結果を記憶する検査処理と、記憶した検査結果を表示部に表示させる出力処理とを実行する。

次に、配線割り振り装置１、検査データ作成装置２および検査装置３の各動作について説明する。また、具体例については、図６に示す構成の配線Ｗが形成された配線基板４を例に挙げて説明する。この配線基板４には、理解の容易のため、本来の数よりも大幅に少ない１５個の配線Ｗが形成されているものとし、各配線Ｗにはシリアル番号（１，２，３，・・・，１４，１５）が付与されているものとする。これにより、以下では、各配線Ｗについて区別するときには、対応するシリアル番号を例えば下付文字として付加して、Ｗ_１，Ｗ_２，・・・，Ｗ_１４，Ｗ_１５のように表記するものとする。

また、図６に示す各配線Ｗについては、例えば配線Ｗ_１のように、基板面ＢＦ１および基板面ＢＦ２の双方に検査ポイントが存在している配線は、上記の第３態様の配線である。また、例えば配線Ｗ_２のように、基板面ＢＦ１にのみ検査ポイントが存在している配線Ｗは、上記の第１態様の配線である。また、例えば配線Ｗ_３のように、基板面ＢＦ２にのみ検査ポイントが存在している配線Ｗは、上記の第２態様の配線である。

まず、配線割り振り装置１の動作（配線割り振り装置１が実行する配線割り振り方法）について図１、図３、図４および図６を参照して説明する。なお、検査装置３の一括検査機３５についての各フィクスチャＴＦでのプローブ３７の最大数Ｇは、一例として４０００個（本）であるものとする。

配線割り振り装置１では、処理部１１が、配線基板４についてのネットリストＬｎおよび位置リストＬｐを入力したときには、このネットリストＬｎおよび位置リストＬｐに基づいて、割り振り処理５０を実行する。

この割り振り処理５０では、処理部１１は、まず、分類処理を実行する（ステップ５１）。この分類処理では、処理部１１は、入力した上記のネットリストＬｎおよび位置リストＬｐに基づいて、配線基板４に形成されているすべての配線（絶縁検査および導通検査の検査対象となるすべての配線）を、基板面ＢＦ１にのみ検査ポイント（プローブ３２，３３を接触させる検査ポイント）が存在する配線（図５に示す配線Ｗａのような第１態様の配線）だけで構成される第１配線群と、基板面ＢＦ２に検査ポイント（プローブ３７を接触させる検査ポイント）が存在する配線（図５に示す配線Ｗｂのような第２態様の配線と配線Ｗｃのような第３態様の配線）だけで構成される１つの配線群としての第２配線群とに分類する。

これにより、図６に示す各配線Ｗについては、配線Ｗ_２，Ｗ_７，Ｗ_９，Ｗ_１４の４個の配線Ｗが第１配線群に分類され、これ以外の１１個の配線Ｗ_１，Ｗ_３～Ｗ_６，Ｗ_８，Ｗ_１０～Ｗ_１３，Ｗ_１５が第２配線群に分類される。

次いで、処理部１１は、プローブ３７の最大数Ｇ（本例では４０００個（本））を取得して記憶する。また、処理部１１は、第２配線群に分類されている配線Ｗの総数Ａを取得して記憶する（ステップ５２）。図６に示す各配線Ｗについては、第２配線群に分類される配線Ｗの数は上記のように１１個であるため、処理部１１は、Ａ＝１１として記憶する。

続いて、処理部１１は、配線Ｗのシリアル番号をカウントするためのカウント値ｍに初期値「１」を代入し、フィクスチャＴＦのシリアル番号をカウントするためのカウント値ｊに初期値「１」を代入し、フィクスチャＴＦに割り振る配線Ｗの最初のシリアル番号ｋに初期値「１」を代入し、１番目のフィクスチャＴＦ_１に割り振る配線Ｗの検査ポイント総数Ｎの初期値として総数Ａを代入する（ステップ５３）。ここで、検査ポイント総数Ｎの初期値として総数Ａを代入する理由は、１番目のフィクスチャＴＦ_１が一括検査機３５に装着された検査装置３において、配線基板４に形成されたすべての配線Ｗについて、他の配線Ｗとの間での絶縁検査を実行する。このためには、基板面ＢＦ２にしか検査ポイント（プローブ３７を接触させる検査ポイント）が存在しない配線Ｗの存在を考慮すると、基板面ＢＦ２に検査ポイントが存在するすべての配線Ｗについて、最低でも１つの検査ポイント（本例では１つの検査ポイント）に対応させてフィクスチャＴＦ_１にプローブ３７を立設する必要があるからである。

次いで、処理部１１は、上記のようにフィクスチャＴＦのシリアル番号のカウント値ｊが初期値「１」であることから、１番目のフィクスチャＴＦ_１に対する配線Ｗの割り振り処理（第１配線決定処理）の実行を開始する。この割り振り処理では、処理部１１は、まず、カウント値ｍと同じシリアル番号の配線Ｗ（つまり、シリアル番号ｍの配線Ｗ_ｍ）が第２配線群に含まれているか否かを判別する（ステップ５４）。ここで、処理部１１は、この配線Ｗ_ｍが第２配線群に含まれていると判別したときには、この配線Ｗ_ｍをフィクスチャＴＦ_１に割り振るものとして選択したときに、この配線Ｗ_ｍについての基板面ＢＦ２に存在する検査ポイントを含む基板面ＢＦ２側の検査ポイント総数Ｎを再計算する（ステップ５５）。具体的には、処理部１１は、この配線Ｗ_ｍについての基板面ＢＦ２に存在する検査ポイント数から１を減算した値（この配線Ｗ_ｍのように基板面ＢＦ２に検査ポイントが存在する配線Ｗについては、この検査ポイントのうちの１つが上記したように既に総数Ａに含まれているから、その分を減算する）を、当初の検査ポイント総数Ｎに加算して新たな検査ポイント総数Ｎとする計算を実行する。

また、処理部１１は、ステップ５５において検査ポイント総数Ｎを再計算したときには、新たな検査ポイント総数Ｎが一括検査機３５のフィクスチャＴＦ_１（具体的には、そのベース板３６）に配置可能なプローブ３７の最大数Ｇを上回っているか否かを判別する（ステップ５６）。この判別の結果、上回っていないときには、処理部１１は、次のシリアル番号の配線Ｗに対して上記のステップ５４を実行するために、カウント値ｍをインクリメント（ｍ＝ｍ＋１）する（ステップ５７）と共に、インクリメント後の新たなカウント値ｍが配線基板４に形成されている配線Ｗの総数を上回っているか否かを判別する（ステップ５８）。この判別の結果、上回っていないときには、上記のステップ５４を実行すべき配線Ｗが存在していることから、処理部１１は、ステップ５４に移行して、新たなカウント値ｍと同じシリアル番号の配線Ｗ（つまり、シリアル番号ｍの配線Ｗ_ｍ）が第２配線群に含まれているか否かを判別する。

処理部１１は、カウント値ｍをインクリメントしつつ、上記のステップ５４～ステップ５８までの各処理を実行して、配線Ｗ_ｍが第２配線群に含まれているときには、この配線Ｗ_ｍの基板面ＢＦ２に存在するすべての検査ポイントを直前の検査ポイント総数Ｎに加算することで、新たな検査ポイント総数Ｎを再計算する。

処理部１１は、このステップ５４からステップ５８までの各処理を実行しているときのステップ５６において、新たな検査ポイント総数ＮがフィクスチャＴＦのプローブ３７についての最大数Ｇを上回っていると判別したときには、シリアル番号ｋ（この時点ではｋ＝１）の配線Ｗ（つまり、配線Ｗ_１）から１つ前のカウント値（ｍ－１）のシリアル番号（ｍ－１）の配線Ｗ（つまり、配線Ｗ_ｍ－１）までを１番目のフィクスチャＴＦ_１に割り振る配線Ｗ（導通検査対象の配線Ｗ）と決定する（ステップ５９）。これにより、１番目のフィクスチャＴＦ_１が一括検査機３５に装着された状態の検査装置３が、すべての配線Ｗに対する絶縁検査に加えて、配線Ｗ_１から配線Ｗ_ｍ－１までの導通検査を実行することになる。言い換えれば、この第１配線決定処理では、処理部１１は、第２配線群に分類された配線Ｗの総数Ａと配線基板４に形成されているすべての配線Ｗのうちから導通検査対象候補として選択された配線Ｗ（配線Ｗ_１から配線Ｗ_ｍ－１までの配線Ｗ）のうちの第２配線群に分類された各配線Ｗについての基板面ＢＦ２に存在する検査ポイントのそれぞれの数から１を減じた数の総計との合計数（初期値を上記の総数Ａとしたときの検査ポイント総数Ｎ）が最大数Ｇ未満となる条件下で、導通検査対象候補の配線Ｗの数がより多くなるようにこの導通検査対象候補の配線Ｗを選択して、この選択された導通検査対象候補の配線Ｗを導通検査対象として第１フィクスチャである１番目のフィクスチャＴＦ_１に割り振る配線Ｗとして決定する。

この場合、カウント値ｍが配線基板４に形成されている配線Ｗの総数を上回っていると処理部１１がステップ５８において判別する前の状態であることから、１番目のフィクスチャＴＦ_１に割り振られない配線Ｗが残存した状態となっている。

一方、処理部１１は、このステップ５４からステップ５８までの各処理を実行しているときのステップ５８において、インクリメント後の新たなカウント値ｍが配線基板４に形成されている配線Ｗの総数を上回っていると判別したときには、シリアル番号ｋ（＝１）の配線Ｗ（つまり、配線Ｗ_１）から１つ前のカウント値（ｍ－１）のシリアル番号（ｍ－１）の配線Ｗ（つまり、配線Ｗ_ｍ－１）までを１番目のフィクスチャＴＦ_１に割り振る配線Ｗ（導通検査対象の配線Ｗ）と決定する（ステップ６０）。これにより、１番目のフィクスチャＴＦ_１が一括検査機３５に装着された状態の検査装置３が、すべての配線Ｗに対する絶縁検査に加えて、配線Ｗ_１から配線Ｗ_ｍ－１までの導通検査を実行することになる。

この場合、新たな検査ポイント総数Ｎが１番目のフィクスチャＴＦ_１のベース板３６に配置可能なプローブ３７の最大数Ｇを上回っていると処理部１１がステップ５６において判別する前の状態であることから、配線基板４に形成されている配線Ｗのすべてが１番目のフィクスチャＴＦ_１に割り振られた状態となる。したがって、１番目のフィクスチャＴＦ_１に配線Ｗを割り振る割り振り処理（第１配線決定処理）が完了すると共に、割り振り処理５０が完了する。

図６に示す構成の配線Ｗが形成された配線基板４を具体例としたときには、処理部１１は、カウント値ｍが「１」のときには、シリアル番号ｍが「１」の配線Ｗ_１について第２配線群に含まれるか否かを判別して（ステップ５４）、この配線Ｗ_１は第２配線群に含まれると判別する。これにより、処理部１１は、図６に示す構成の配線基板４の上記の総数Ａは「１１」であって、この「１１」が検査ポイント総数Ｎの初期値として代入されていることから、この現時点での検査ポイント総数Ｎ（＝１１）に、配線Ｗ_１についての基板面ＢＦ２側に存在する検査ポイントの数「１０００」から１を減算した数「９９９」を加算して得られる数「１０１０」を新たな検査ポイント総数Ｎとして再計算する（ステップ５５）。次いで、処理部１１は、この新たな検査ポイント総数ＮがフィクスチャＴＦのプローブ３７についての最大数Ｇ（本例では４０００）を上回っているか否かを判別して（ステップ５６）、上回っていないことから、次のシリアル番号の配線Ｗに対して上記のステップ５４を実行するために、カウント値ｍをインクリメント（ｍ＝ｍ＋１）する（ステップ５７）。これにより、新たなカウント値ｍは「２」となる。続いて、処理部１１は、この新たなカウント値ｍが配線基板４に形成されている配線Ｗの総数（図６の配線基板４では「１５」）を上回っているか否かを判別して（ステップ５８）、上回っていないことから、ステップ５４に移行する。

その後、処理部１１は、シリアル番号ｍが「２」の配線Ｗ_２について第２配線群に含まれるか否かを判別して（ステップ５４）、この配線Ｗ_２は第２配線群に含まれないと判別する。これにより、処理部１１は、ステップ５５には移行せずに（つまり、新たな検査ポイント総数Ｎの再計算を行うことなく）、ステップ５７に移行して、カウント値ｍをインクリメント（ｍ＝ｍ＋１）する。これにより、新たなカウント値ｍは「３」となる。続いて、処理部１１は、この新たなカウント値ｍが配線基板４に形成されている配線Ｗの総数「１５」を上回っているか否かを判別して（ステップ５８）、上回っていないことから、ステップ５４に移行する。

その後、処理部１１は、シリアル番号ｍが「３」の配線Ｗ_３について第２配線群に含まれるか否かを判別して（ステップ５４）、この配線Ｗ_３は第２配線群に含まれると判別する。これにより、処理部１１は、現時点での検査ポイント総数Ｎ（＝１０１０）に、配線Ｗ_３についての基板面ＢＦ２側に存在する検査ポイントの数「１３００」から１を減算した数「１２９９」を加算して得られる数「２３０９」を新たな検査ポイント総数Ｎとして再計算する（ステップ５５）。次いで、処理部１１は、この新たな検査ポイント総数ＮがフィクスチャＴＦのプローブ３７についての最大数Ｇ（本例では４０００）を上回っているか否かを判別して（ステップ５６）、上回っていないことから、次のシリアル番号の配線Ｗに対して上記のステップ５４を実行するために、カウント値ｍをインクリメント（ｍ＝ｍ＋１）する（ステップ５７）。これにより、新たなカウント値ｍは「４」となる。続いて、処理部１１は、この新たなカウント値ｍが配線基板４に形成されている配線Ｗの総数「１５」を上回っているか否かを判別して（ステップ５８）、上回っていないことから、ステップ５４に移行する。

その後、処理部１１は、シリアル番号ｍが「４」の配線Ｗ_４について第２配線群に含まれるか否かを判別して（ステップ５４）、この配線Ｗ_４は第２配線群に含まれると判別する。これにより、処理部１１は、現時点での検査ポイント総数Ｎ（＝２３０９）に、配線Ｗ_４についての基板面ＢＦ２側に存在する検査ポイントの数「１０００」から１を減算した数「９９９」を加算して得られる数「３３０８」を新たな検査ポイント総数Ｎとして再計算する（ステップ５５）。次いで、処理部１１は、この新たな検査ポイント総数ＮがフィクスチャＴＦのプローブ３７についての最大数Ｇ（本例では４０００）を上回っているか否かを判別して（ステップ５６）、上回っていないことから、次のシリアル番号の配線Ｗに対して上記のステップ５４を実行するために、カウント値ｍをインクリメント（ｍ＝ｍ＋１）する（ステップ５７）。これにより、新たなカウント値ｍは「５」となる。続いて、処理部１１は、この新たなカウント値ｍが配線基板４に形成されている配線Ｗの総数「１５」を上回っているか否かを判別して（ステップ５８）、上回っていないことから、ステップ５４に移行する。

その後、処理部１１は、シリアル番号ｍが「５」の配線Ｗ_５について第２配線群に含まれるか否かを判別して（ステップ５４）、この配線Ｗ_５は第２配線群に含まれると判別する。これにより、処理部１１は、現時点での検査ポイント総数Ｎ（＝３３０８）に、配線Ｗ_５についての基板面ＢＦ２側に存在する検査ポイントの数「１５００」から１を減算した数「１４９９」を加算して得られる数「４８０７」を新たな検査ポイント総数Ｎとして再計算する（ステップ５５）。次いで、処理部１１は、この新たな検査ポイント総数ＮがフィクスチャＴＦのプローブ３７についての最大数Ｇ（本例では４０００）を上回っているか否かを判別して（ステップ５６）、上回っていることから、ステップ５９に移行する。そして、処理部１１は、シリアル番号ｋの配線Ｗ（この時点ではｋは数「１」であるため、配線Ｗ_１）から１つ前のカウント値（ｍ－１）のシリアル番号（ｍ－１）の配線Ｗ（この時点でのカウント値ｍは数「５」であるため、シリアル番号４（＝５－１）の配線Ｗ_４）までを１番目のフィクスチャＴＦ_１に割り振る（つまり、配線Ｗ_１から配線Ｗ_４までを１番目のフィクスチャＴＦ_１が一括検査機３５に装着された状態の検査装置３で導通検査する配線Ｗである）と決定して、この配線割り振り結果を記憶する。これにより、１番目のフィクスチャＴＦ_１に対する配線Ｗの割り振り処理（第１配線決定処理）が完了する。

次いで、処理部１１は、ステップ６１に移行して、第２フィクスチャとしての２番目以降のフィクスチャＴＦ_２，・・・に対する配線Ｗの割り振り処理（第２配線決定処理）の実行を開始する。

ステップ６１では、処理部１１は、フィクスチャＴＦのシリアル番号ｊをインクリメント（ｊ＝ｊ＋１）し、インクリメントされたシリアル番号ｊのフィクスチャＴＦ_ｊに割り振る配線Ｗの最初のシリアル番号ｋに現在のカウント値ｍを代入し、このフィクスチャＴＦ_ｊに割り振る配線Ｗの検査ポイント総数Ｎの初期値としてゼロを代入する（ステップ６１）。なお、２番目以降のフィクスチャＴＦでは、絶縁検査は行わないことから、上記した１番目のフィクスチャＴＦ_１のときのように、検査ポイント総数Ｎの初期値として総数Ａを代入する必要は無い。よって、検査ポイント総数Ｎの初期値としてゼロを代入する。

次いで、処理部１１は、カウント値ｍと同じシリアル番号の配線Ｗ（つまり、シリアル番号ｍの配線Ｗ_ｍ）が第２配線群に含まれているか否かを判別する（ステップ６２）。ここで、処理部１１は、この配線Ｗ_ｍが第２配線群に含まれていると判別したときには、この配線Ｗ_ｍをｊ番目のフィクスチャＴＦ_ｊに割り振るものとして選択したときに、この配線Ｗ_ｍについての基板面ＢＦ２に存在する検査ポイントを含む基板面ＢＦ２側の検査ポイント総数Ｎを再計算する（ステップ６３）。具体的には、処理部１１は、この配線Ｗ_ｍの基板面ＢＦ２に存在するすべての検査ポイント数を、当初の検査ポイント総数Ｎに加算して新たな検査ポイント総数Ｎとする計算を実行する。

また、処理部１１は、ステップ６３において検査ポイント総数Ｎを再計算したときには、新たな検査ポイント総数ＮがフィクスチャＴＦのプローブ３７についての最大数Ｇを上回っているか否かを判別する（ステップ６４）。この判別の結果、上回っていないときには、処理部１１は、次のシリアル番号の配線Ｗに対して上記のステップ６２を実行するために、カウント値ｍをインクリメント（ｍ＝ｍ＋１）する（ステップ６５）と共に、インクリメント後の新たなカウント値ｍが配線基板４に形成されている配線Ｗの総数を上回っているか否かを判別する（ステップ６６）。この判別の結果、上回っていないときには、上記のステップ６２を実行すべき配線Ｗが存在していることから、処理部１１は、ステップ６２に移行して、新たなカウント値ｍと同じシリアル番号の配線Ｗ（つまり、シリアル番号ｍの配線Ｗ_ｍ）が第２配線群に含まれているか否かを判別する。

処理部１１は、カウント値ｍをインクリメントしつつ、上記のステップ６２～ステップ６６までの各処理を実行して、配線Ｗ_ｍが第２配線群に含まれているときには、この配線Ｗ_ｍの基板面ＢＦ２に存在するすべての検査ポイントを直前の検査ポイント総数Ｎに加算することで、新たな検査ポイント総数Ｎを再計算する。

処理部１１は、このステップ６２からステップ６６までの各処理を実行しているときのステップ６４において、新たな検査ポイント総数ＮがフィクスチャＴＦのプローブ３７についての最大数Ｇを上回っていると判別したときには、シリアル番号ｋの配線Ｗから１つ前のカウント値（ｍ－１）のシリアル番号（ｍ－１）の配線Ｗまでをｊ番目のフィクスチャＴＦ_ｊに割り振る配線Ｗ（導通検査対象の配線Ｗ）と決定する（ステップ６７）。これにより、ｊ番目のフィクスチャＴＦ_ｊが一括検査機３５に装着された状態の検査装置３が、配線Ｗ_ｋから配線Ｗ_ｍ－１までの導通検査を実行することになる。言い換えれば、この第２配線決定処理では、配線基板４に形成されているすべての配線Ｗのうちの導通検査対象として決定されていない配線Ｗのうちから導通検査対象候補として選択された配線Ｗ（配線Ｗ_ｋから配線Ｗ_ｍ－１までの配線Ｗ）のうちの第２配線群に分類された各配線Ｗについての基板面ＢＦ２に存在する検査ポイントのそれぞれの数の総計（初期値をゼロとしたときの検査ポイント総数Ｎ）が最大値Ｇ未満となる条件下で、導通検査対象候補の配線Ｗの数がより多くなるようにこの導通検査対象候補の配線Ｗを選択して、この選択された導通検査対象候補の配線Ｗを導通検査対象として第２フィクスチャＴＦとしての２番目のフィクスチャＴＦ_２以降の各フィクスチャＴＦに割り振る配線Ｗとして決定する。

この場合、処理部１１が、カウント値ｍが配線基板４に形成されている配線Ｗの総数を上回っているとステップ６６において判別する前の状態であることから、ｊ番目までのフィクスチャＴＦに割り振られない配線Ｗが残存した状態となっている。

一方、処理部１１は、このステップ６２からステップ６６までの各処理を実行しているときのステップ６６において、インクリメント後の新たなカウント値ｍが配線基板４に形成されている配線Ｗの総数を上回っていると判別したときには、シリアル番号ｋの配線Ｗから１つ前のカウント値（ｍ－１）のシリアル番号（ｍ－１）の配線Ｗまで（この場合、配線Ｗ_ｋから最後の配線Ｗまで）をｊ番目のフィクスチャＴＦ_ｊに割り振る配線Ｗ（導通検査対象の配線Ｗ）と決定する（ステップ６８）。これにより、ｊ番目のフィクスチャＴＦ_ｊが一括検査機３５に装着された状態の検査装置３が、配線Ｗ_ｋから最後の配線Ｗまでの導通検査を実行することになる。この場合、２番目以降のフィクスチャＴＦ_２，・・・に配線Ｗを割り振る割り振り処理（第２配線決定処理）が完了することから、配線基板４に形成されているすべての配線Ｗの１番目のフィクスチャＴＦ_１からｊ番目のフィクスチャＴＦ_ｊへの割り振りが完了する。これにより、割り振り処理５０は完了する。

図６に示す構成の配線Ｗが形成された配線基板４を具体例としたときには、処理部１１は、上記したようにカウント値ｍが「５」のときに、１番目のフィクスチャＴＦ_１に対する配線Ｗの割り振り処理（第１配線決定処理）を完了させる。このため、処理部１１は、２番目以降のフィクスチャＴＦに対する配線Ｗの割り振り処理（第２配線決定処理）では、まず、ステップ６１において、フィクスチャＴＦのシリアル番号ｊをインクリメントして数「２」として、２番目のフィクスチャＴＦ_２を配線Ｗを割り振る対象とすると共に、このフィクスチャＴＦ_２に割り振る配線Ｗの最初のシリアル番号ｋに現在のカウント値ｍ（＝５）を代入する（つまり、シリアル番号ｋを、割り振られていない配線Ｗのうちの最も小さいシリアル番号ｍにする）。また、処理部１１は、上記したように、検査ポイント総数Ｎの初期値をゼロとする。

次いで、処理部１１は、シリアル番号ｍが「５」の配線Ｗ_５について第２配線群に含まれるか否かを判別して（ステップ６２）、この配線Ｗ_５は第２配線群に含まれると判別する。これにより、処理部１１は、現時点での検査ポイント総数Ｎ（＝０）に、配線Ｗ_５についての基板面ＢＦ２側に存在する検査ポイントの数「１５００」を加算して得られる数「１５００」を新たな検査ポイント総数Ｎとして再計算する（ステップ６３）。次いで、処理部１１は、この新たな検査ポイント総数ＮがフィクスチャＴＦのプローブ３７についての最大数Ｇ（本例では４０００）を上回っているか否かを判別して（ステップ６４）、上回っていないことから、次のシリアル番号の配線Ｗに対して上記のステップ６２を実行するために、カウント値ｍをインクリメント（ｍ＝ｍ＋１）する（ステップ６５）。これにより、新たなカウント値ｍは「６」となる。続いて、処理部１１は、この新たなカウント値ｍが配線基板４に形成されている配線Ｗの総数「１５」を上回っているか否かを判別して（ステップ６６）、上回っていないことから、ステップ６２に移行する。

その後、処理部１１は、シリアル番号ｍが「６」の配線Ｗ_６について第２配線群に含まれるか否かを判別して（ステップ６２）、この配線Ｗ_６は第２配線群に含まれると判別する。これにより、処理部１１は、現時点での検査ポイント総数Ｎ（＝１５００）に、配線Ｗ_６についての基板面ＢＦ２側に存在する検査ポイントの数「２００」を加算して得られる数「１７００」を新たな検査ポイント総数Ｎとして再計算する（ステップ６３）。次いで、処理部１１は、この新たな検査ポイント総数ＮがフィクスチャＴＦのプローブ３７についての最大数Ｇ（本例では４０００）を上回っているか否かを判別して（ステップ６４）、上回っていないことから、次のシリアル番号の配線Ｗに対して上記のステップ６２を実行するために、カウント値ｍをインクリメント（ｍ＝ｍ＋１）する（ステップ６５）。これにより、新たなカウント値ｍは「７」となる。続いて、処理部１１は、この新たなカウント値ｍが配線基板４に形成されている配線Ｗの総数「１５」を上回っているか否かを判別して（ステップ６６）、上回っていないことから、ステップ６２に移行する。

その後、処理部１１は、シリアル番号ｍが「７」の配線Ｗ_７について第２配線群に含まれるか否かを判別して（ステップ６２）、この配線Ｗ_７は第２配線群に含まれないと判別する。これにより、処理部１１は、ステップ６３には移行せずに（つまり、新たな検査ポイント総数Ｎの再計算を行うことなく）、ステップ６５に移行して、カウント値ｍをインクリメント（ｍ＝ｍ＋１）する。これにより、新たなカウント値ｍは「８」となる。続いて、処理部１１は、この新たなカウント値ｍが配線基板４に形成されている配線Ｗの総数「１５」を上回っているか否かを判別して（ステップ６６）、上回っていないことから、ステップ６２に移行する。

その後、処理部１１は、シリアル番号ｍが「８」の配線Ｗ_８について第２配線群に含まれるか否かを判別して（ステップ６２）、この配線Ｗ_８は第２配線群に含まれると判別する。これにより、処理部１１は、現時点での検査ポイント総数Ｎ（＝１７００）に、配線Ｗ_８についての基板面ＢＦ２側に存在する検査ポイントの数「１５００」を加算して得られる数「３２００」を新たな検査ポイント総数Ｎとして再計算する（ステップ６３）。次いで、処理部１１は、この新たな検査ポイント総数ＮがフィクスチャＴＦのプローブ３７についての最大数Ｇ（本例では４０００）を上回っているか否かを判別して（ステップ６４）、上回っていないことから、次のシリアル番号の配線Ｗに対して上記のステップ６２を実行するために、カウント値ｍをインクリメント（ｍ＝ｍ＋１）する（ステップ６５）。これにより、新たなカウント値ｍは「９」となる。続いて、処理部１１は、この新たなカウント値ｍが配線基板４に形成されている配線Ｗの総数「１５」を上回っているか否かを判別して（ステップ６６）、上回っていないことから、ステップ６２に移行する。

その後、処理部１１は、シリアル番号ｍが「９」の配線Ｗ_９について第２配線群に含まれるか否かを判別して（ステップ６２）、この配線Ｗ_９は第２配線群に含まれないと判別する。これにより、処理部１１は、ステップ６３には移行せずに（つまり、新たな検査ポイント総数Ｎの再計算を行うことなく）、ステップ６５に移行して、カウント値ｍをインクリメント（ｍ＝ｍ＋１）する。これにより、新たなカウント値ｍは「１０」となる。続いて、処理部１１は、この新たなカウント値ｍが配線基板４に形成されている配線Ｗの総数「１５」を上回っているか否かを判別して（ステップ６６）、上回っていないことから、ステップ６２に移行する。

その後、処理部１１は、シリアル番号ｍが「１０」の配線Ｗ_８について第２配線群に含まれるか否かを判別して（ステップ６２）、この配線Ｗ_１０は第２配線群に含まれると判別する。これにより、処理部１１は、現時点での検査ポイント総数Ｎ（＝３２００）に、配線Ｗ_１０についての基板面ＢＦ２側に存在する検査ポイントの数「５００」を加算して得られる数「３７００」を新たな検査ポイント総数Ｎとして再計算する（ステップ６３）。次いで、処理部１１は、この新たな検査ポイント総数ＮがフィクスチャＴＦのプローブ３７についての最大数Ｇ（本例では４０００）を上回っているか否かを判別して（ステップ６４）、上回っていないことから、次のシリアル番号の配線Ｗに対して上記のステップ６２を実行するために、カウント値ｍをインクリメント（ｍ＝ｍ＋１）する（ステップ６５）。これにより、新たなカウント値ｍは「１１」となる。続いて、処理部１１は、この新たなカウント値ｍが配線基板４に形成されている配線Ｗの総数「１５」を上回っているか否かを判別して（ステップ６６）、上回っていないことから、ステップ６２に移行する。

その後、処理部１１は、シリアル番号ｍが「１１」の配線Ｗ_１１について第２配線群に含まれるか否かを判別して（ステップ６２）、この配線Ｗ_１１は第２配線群に含まれると判別する。これにより、処理部１１は、現時点での検査ポイント総数Ｎ（＝３７００）に、配線Ｗ_１１についての基板面ＢＦ２側に存在する検査ポイントの数「７００」を加算して得られる数「４４００」を新たな検査ポイント総数Ｎとして再計算する（ステップ６３）。次いで、処理部１１は、この新たな検査ポイント総数ＮがフィクスチャＴＦのプローブ３７についての最大数Ｇ（本例では４０００）を上回っているか否かを判別して（ステップ６４）、上回っていることから、ステップ６７に移行する。そして、処理部１１は、シリアル番号ｋの配線Ｗ（この時点ではｋは数「５」であるため、配線Ｗ_５）から１つ前のカウント値（ｍ－１）のシリアル番号（ｍ－１）の配線Ｗ（この時点でのカウント値ｍは数「１１」であるため、シリアル番号１０（＝１１－１）の配線Ｗ_１０）までを現在のシリアル番号ｊ（＝２）のフィクスチャＴＦ_２に割り振る（つまり、配線Ｗ_５から配線Ｗ_１０までを２番目のフィクスチャＴＦ_２が一括検査機３５に装着された状態の検査装置３で導通検査する配線Ｗである）と決定して、この配線割り振り結果を記憶する。これにより、２番目のフィクスチャＴＦ_２に対する配線Ｗの割り振り処理が完了する。

また、この時点では、カウント値ｍが配線基板４に形成されている配線Ｗの総数「１５」を上回っていないことから、処理部１１は、ステップ６１に移行して、次の３番目のフィクスチャＴＦ_３に対する配線Ｗの割り振り処理を開始する。処理部１１は、まず、ステップ６１において、フィクスチャＴＦのシリアル番号ｊをインクリメントして数「３」として、３番目のフィクスチャＴＦ_３を配線Ｗを割り振る対象とすると共に、このフィクスチャＴＦ_３に割り振る配線Ｗの最初のシリアル番号ｋに現在のカウント値ｍ（＝１１）を代入する（つまり、シリアル番号ｋを、割り振られていない配線Ｗのうちの最も小さいシリアル番号ｍにする）。また、処理部１１は、上記したように、検査ポイント総数Ｎの初期値をゼロとする。

次いで、処理部１１は、上記したステップ６２からステップ６６までの処理を繰り返し実行する。この場合、シリアル番号１１の配線Ｗ_１１を、フィクスチャＴＦ_３に割り振る最初の配線Ｗとする割り振り処理では、処理部１１は、最後の配線Ｗであるシリアル番号ｍが「１５」の配線Ｗ_１５（第２配線群に含まれる配線Ｗ）についての基板面ＢＦ２側に存在する検査ポイントの数「１９００」を加算するという新たな検査ポイント総数Ｎの再計算をステップ６３において実行したときでも、この新たな検査ポイント総数Ｎ（＝３６００）はフィクスチャＴＦのプローブ３７についての最大数Ｇ（本例では４０００）を上回っていない。このため、処理部１１は、ステップ６５に移行してカウント値ｍをインクリメント（ｍ＝ｍ＋１）するが、これにより、新たなカウント値ｍは「１６」となって、配線基板４に形成されている配線Ｗの総数「１５」を上回る。このため、処理部１１は、ステップ６６において、カウント値ｍ（＝１６）が配線Ｗの総数「１５」を上回っていると判別して、ステップ６８に移行する。

このステップ６８では、処理部１１は、ステップ６７において、シリアル番号ｋの配線Ｗ（この時点ではｋは数「１１」であるため、配線Ｗ_１１）から１つ前のカウント値（ｍ－１）のシリアル番号（ｍ－１）の配線Ｗ（この時点でのカウント値ｍは数「１６」であるため、シリアル番号１５（＝１６－１）の配線Ｗ_１５）までをｊ（＝３）番目のフィクスチャＴＦ_３に割り振る（つまり、配線Ｗ_１１から配線Ｗ_１５までを３番目のフィクスチャＴＦ_３で導通検査する配線Ｗである）と決定して、この配線割り振り結果を記憶する。これにより、３番目のフィクスチャＴＦ_３に対する配線Ｗの割り振り処理が完了する（第２配線決定処理も完了する）と共に、配線基板４に形成されているすべての配線Ｗ_１～配線Ｗ_１５の各フィクスチャＴＦへの割り振り処理５０が完了する。したがって、図６に示す構成の配線Ｗ_１～配線Ｗ_１５が形成された配線基板４については、処理部１１が図３，４に示す割り振り処理５０を実行することで、図６に示すように、配線Ｗ_１～配線Ｗ_４が１番目のフィクスチャＴＦ_１に割り振られ、配線Ｗ_５～配線Ｗ_１０が２番目のフィクスチャＴＦ_２に割り振られ、配線Ｗ_１１～配線Ｗ_１５が３番目のフィクスチャＴＦ_３に割り振られる。

続いて、処理部１１は、この割り振り処理５０の完了後に、各フィクスチャＴＦへの上記の配線割り振り結果と、入力したネットリストＬｎおよび位置リストＬｐとに基づいて、各フィクスチャＴＦが一括検査機３５に装着された状態の検査装置３で使用される検査データＤｅｘを検査データ作成装置２に作成させるための個別のネットリストＬｎおよび個別の位置リストＬｐ（つまり、フィクスチャＴＦ毎のネットリストＬｎおよび位置リストＬｐ）を作成する。図６に示す配線基板４の具体例においては、処理部１１は、１番目のフィクスチャＴＦ_１が一括検査機３５に装着された状態の検査装置３で使用される検査データＤｅｘ_１を検査データ作成装置２に作成させるためのネットリストＬｎ_１および位置リストＬｐ_１、２番目のフィクスチャＴＦ_２が一括検査機３５に装着された状態の検査装置３で使用される検査データＤｅｘ_２を検査データ作成装置２に作成させるためのネットリストＬｎ_２および位置リストＬｐ_２、および３番目のフィクスチャＴＦ_３が一括検査機３５に装着された状態の検査装置３で使用される検査データＤｅｘ_３を検査データ作成装置２に作成させるためのネットリストＬｎ_３および位置リストＬｐ_３を作成する。

この場合、１番目のフィクスチャＴＦ_１が一括検査機３５に装着された状態の検査装置３では、割り振られた配線Ｗ_１～配線Ｗ_４の導通検査だけでなく、配線基板４に形成されているすべての配線Ｗ_１～配線Ｗ_１５についての絶縁検査も実行することから、処理部１１は、上記のネットリストＬｎ_１および位置リストＬｐ_１については、導通検査および絶縁検査を実行可能な検査データＤｅｘ_１を検査データ作成装置２に作成させる得るものとする。

ここで、絶縁検査を実行するために各配線Ｗ_５，Ｗ_６，Ｗ_８，Ｗ_１０～Ｗ_１３，Ｗ_１５のそれぞれに１つずつ立設するプローブ３７（なお、配線Ｗ_１～配線Ｗ_４については導通検査のために割り振り済みであって、これらに含まれる全ての検査ポイントにはプローブ３７が立設される）については、各配線Ｗ_５，Ｗ_６，Ｗ_８，Ｗ_１０～Ｗ_１３，Ｗ_１５の基板面ＢＦ２に存在する各検査ポイントのうちの任意の１つに対応する位置（接触し得る位置）に立設することになる。この場合、例えば、これらの検査ポイントのうちのネットリストＬｎにおいて最も小さい番号や最も大きい番号のような特定の番号が付与された検査ポイントとすることを予め規定しておくことで、配線割り振り装置１が配線Ｗ_５，Ｗ_６，Ｗ_８，Ｗ_１０～Ｗ_１３，Ｗ_１５毎にこの規定に基づいて自動的に決定することが可能となる。本例では一例として、この任意の１つの検査ポイントを、上記の最も小さい番号が付与された検査ポイントとすると予め規定する。これにより、本例の配線割り振り装置１は、上記の各配線Ｗ_５，Ｗ_６，Ｗ_８，Ｗ_１０～Ｗ_１３，Ｗ_１５について、それぞれのネットリストＬｎに含まれる検査ポイントのうちの最も小さい番号が付与された検査ポイントを絶縁検査のための検査ポイントとして、自動で決定する。

以上のことから、図６に示す構成の配線基板４については、処理部１１は、１番目のフィクスチャＴＦ_１が一括検査機３５に装着された状態の検査装置３で使用される上記の検査データＤｅｘ_１を作成させるためのネットリストＬｎ_１および位置リストＬｐ_１として、ネットリストＬｎおよび位置リストＬｐのうちのフィクスチャＴＦ_１に割り振られて導通検査が行われる各配線Ｗ_１～配線Ｗ_４に関するネットリストそのものおよび位置リストそのものを用いると共に、絶縁検査の際に使用されるこれらの配線Ｗ以外の配線Ｗであって第２配線群に含まれる配線Ｗ（配線Ｗ_５，Ｗ_６，Ｗ_８，Ｗ_１０～Ｗ_１３，Ｗ_１５）の基板面ＢＦ２に存在する検査ポイントのうちのネットリストＬｎにおいて最も小さい番号が付与された１つの検査ポイントだけで構成されるネットリストを生成して、この検査ポイントの位置リストと共に用いる。

また、処理部１１は、２番目のフィクスチャＴＦ_２が一括検査機３５に装着された状態の検査装置３で使用される上記の検査データＤｅｘ_２を作成させるためのネットリストＬｎ_２および位置リストＬｐ_２として、ネットリストＬｎおよび位置リストＬｐのうちのフィクスチャＴＦ_２に割り振られて導通検査が行われる各配線Ｗ_５～配線Ｗ_１０に関するネットリストそのものおよび位置リストそのものを用いる。同様にして、処理部１１は、３番目のフィクスチャＴＦ_３が一括検査機３５に装着された状態の検査装置３で使用される上記の検査データＤｅｘ_３を作成させるためのネットリストＬｎ_３および位置リストＬｐ_３として、ネットリストＬｎおよび位置リストＬｐのうちのフィクスチャＴＦ_３に割り振られて導通検査が行われる各配線Ｗ_１１～配線Ｗ_１５に関するネットリストそのものおよび位置リストそのものを用いる。

検査装置３の製造者は、この配線割り振り装置１による配線Ｗの各フィクスチャＴＦへの割り振り結果に基づき、配線基板４の各配線Ｗに対する検査に必要なフィクスチャＴＦの数（種類）を知得し得ると共に、各フィクスチャＴＦに配置する（具体的には、そのベース板３６に立設する）プローブ３７の数（本数）と、各プローブ３７の立設位置とをフィクスチャＴＦ毎に知得することが可能となる。したがって、検査装置３の製造者は、この知得した情報（フィクスチャＴＦの数（種類）、および各フィクスチャＴＦのベース板３６に立設するプローブ３７の数（本数）と位置）に基づき、配線基板４の検査に必要な数のフィクスチャＴＦを含む検査装置３を製造することが可能となる。

具体例としての図６に示す構成の配線Ｗ_１～配線Ｗ_１５が形成された配線基板４を検査するための検査装置３については、検査装置３の製造者は、配線割り振り装置１による配線Ｗ_１～配線Ｗ_１５のフィクスチャＴＦ_う～フィクスチャＴＦ_３への上記のような割り振り結果に基づき、必要なフィクスチャＴＦ３の数は３つであることを知得することができる。

また、検査装置３の製造者は、１番目のフィクスチャＴＦ_１については、割り振られた配線Ｗ_１～配線Ｗ_４についての導通検査を実行することから、ベース板３６に立設するプローブ３７の数（本数）は、配線Ｗ_１～配線Ｗ_４のうちの第２配線群に含まれる配線Ｗ（この例では、配線Ｗ_１，Ｗ_３，Ｗ_４）に含まれる検査ポイントのうちの基板面ＢＦ２に存在する検査ポイントの総計（この例では、３３００個（＝１０００＋１３００＋１０００））分だけ最低でも必要であることを知得することができる。また、検査装置３の製造者は、１番目のフィクスチャＴＦ_１については、すべての配線Ｗ_１～配線Ｗ_１５間での絶縁検査を実行することから、ベース板３６に立設するプローブ３７の数（本数）は、さらに、１番目のフィクスチャＴＦ_１に割り振られていない他の配線Ｗ（配線Ｗ_５から配線Ｗ_１５までの各配線Ｗ）のうちの第２配線群に含まれる配線Ｗ（この例では、配線Ｗ_５，Ｗ_６，Ｗ_８，Ｗ_１０～Ｗ_１３，Ｗ_１５）の数（８個）分だけ必要であることを知得することができる。

また、検査装置３の製造者は、フィクスチャＴＦ_１のベース板３６への各プローブ３７の立設位置に関しては、配線Ｗ_１～配線Ｗ_４についての導通検査を実行するための３３００個のプローブ３７については、配線Ｗ_１，Ｗ_３，Ｗ_４の基板面ＢＦ２に存在する各検査ポイントに対応する位置（接触し得る位置）とすることを知得することができる。また、絶縁検査を実行するために各配線Ｗ_５，Ｗ_６，Ｗ_８，Ｗ_１０～Ｗ_１３，Ｗ_１５のそれぞれに１つずつ立設するプローブ３７については、各配線Ｗ_５，Ｗ_６，Ｗ_８，Ｗ_１０～Ｗ_１３，Ｗ_１５の基板面ＢＦ２に存在する各検査ポイントのうちのネットリストＬｎにおいて最も小さい番号が付与された１つの検査ポイントに対応する位置（接触し得る位置）とすることを知得することができる。

また、検査装置３の製造者は、２番目以降のフィクスチャＴＦ_２，ＴＦ_３については、それぞれに割り振られた各配線Ｗ（フィクスチャＴＦ_２では配線Ｗ_５～配線Ｗ_１０、フィクスチャＴＦ_３では配線Ｗ_１１～配線Ｗ_１５）についての導通検査を実行することから、フィクスチャＴＦ_２のベース板３６に立設するプローブ３７の数（本数）は、配線Ｗ_５～配線Ｗ_１０のうちの第２配線群に含まれる配線Ｗ（この例では、配線Ｗ_５，Ｗ_６，Ｗ_８，Ｗ_１０）に含まれる検査ポイントのうちの基板面ＢＦ２に存在する検査ポイントの数の合計（この例では、３７００個（＝１５００＋２００＋１５００＋５００））分だけ必要であって、各プローブ３７の立設位置については、基板面ＢＦ２に存在するこれらの各検査ポイントに対応する位置（接触し得る位置）とすることを知得することができる。同様にして、検査装置３の製造者は、フィクスチャＴＦ_３のベース板３６に立設するプローブ３７の数（本数）は、配線Ｗ_１１～配線Ｗ_１５のうちの第２配線群に含まれる配線Ｗ（この例では、配線Ｗ_１１～Ｗ_１３，Ｗ_１５）に含まれる検査ポイントのうちの基板面ＢＦ２に存在する検査ポイントの数の合計（この例では、３６００個（＝７００＋２００＋８００＋１９００））分だけ必要であって、各プローブ３７の立設位置については、基板面ＢＦ２に存在するこれらの各検査ポイントに対応する位置（接触し得る位置）とすることを知得することができる。

検査データ作成装置２では、処理部２１が、配線割り振り装置１で作成されたフィクスチャＴＦ_１，ＴＦ_２，ＴＦ_３，・・・が一括検査機３５に装着された各状態の検査装置３のためのネットリストＬｎ_１および位置リストＬｐ_１、ネットリストＬｎ_２および位置リストＬｐ_２、ネットリストＬｎ_３および位置リストＬｐ_３、・・・に基づいて、フィクスチャＴＦ_１，ＴＦ_２，ＴＦ_３，・・・が一括検査機３５に装着された各状態の検査装置３で使用される検査データＤｅｘ_１，Ｄｅｘ_２，Ｄｅｘ_３，・・・を作成する。

この場合、処理部２１は、１番目のフィクスチャＴＦ_１が一括検査機３５に装着された状態の検査装置３のためのネットリストＬｎ_１および位置リストＬｐ_１に基づき、この検査装置３で使用される検査データＤｅｘ_１として、絶縁検査のための絶縁検査用データと、導通検査のための導通検査用データとを作成する。また、処理部２１は、２番目以降のフィクスチャＴＦ_２，ＴＦ_３，・・・が一括検査機３５に装着された各状態の検査装置３のためのネットリストＬｎ_２および位置リストＬｐ_２、ネットリストＬｎ_３および位置リストＬｐ_３、・・・に基づき、この各状態の検査装置３で使用される各検査データＤｅｘ_２，Ｄｅｘ_３，・・・として、導通検査のための導通検査用データとを作成する。

検査装置３では、検査位置に配線基板４が配置されたときには、処理部が、検査データＤｅｘ_１，Ｄｅｘ_２，Ｄｅｘ_３，・・・のうちの一括検査機３５に装着されたフィクスチャＴＦに対応する検査データＤｅｘを使用して、配線Ｗについての絶縁検査や導通検査を実行する。

このように、この配線割り振り装置１およびこの配線割り振り方法では、１番目のフィクスチャＴＦ_１に割り振る配線Ｗについては上記した第１配線決定処理を実行して決定し、この時点においてフィクスチャＴＦ_１に割り振られない配線Ｗが残存した状態となっているときには、２番目以降の各フィクスチャＴＦ_２，ＴＦ_３，・・・に割り振る配線Ｗを決定する第２配線決定処理を、フィクスチャＴＦに割り振られない配線Ｗがなくなるまで実行する。したがって、この配線割り振り装置１およびこの配線割り振り方法によれば、１つの配線基板４に形成された複数の配線Ｗのすべてを、フライングプローバ３１および一括検査機３５を備えた検査装置３の一括検査機３５に交換可能（選択的）に装着される各フィクスチャＴＦに自動的に割り振ることができる。

１配線割り振り装置
２検査データ作成装置
３検査装置
４配線基板
１１処理部
３１フライングプローバ
３２，３３プローブ
３５一括検査機
３６ベース板
３７プローブ
ＢＦ１一方の基板面
ＢＦ２他方の基板面
ＴＦ_１フィクスチャ（第１フィクスチャ）
ＴＦ_２，ＴＦ_３フィクスチャ（第２フィクスチャ）

Claims

検査位置に配置された配線基板の一方の基板面側に配置されて当該一方の基板面における任意の位置に接触可能なプローブを有するフライングプローバと、前記配線基板の他方の基板面側に当該他方の基板面に対して接離動可能に配置されると共に当該他方の基板面における予め規定された位置に接触可能なプローブを最大でＧ個配置可能なフィクスチャを複数種類交換可能に装着されるプレス治具型の一括検査機とを備えて、当該複数種類のフィクスチャのうちの第１フィクスチャが装着された際には前記配線基板に形成されたすべての配線間の絶縁検査および当該すべての配線のうちから予め割り振られた配線を導通検査対象とする導通検査を実行し、当該複数種類のフィクスチャのうちの他の第２フィクスチャが装着された際には前記すべての配線のうちから予め割り振られた配線を導通検査対象とする導通検査を実行する検査装置における前記第１フィクスチャおよび前記第２フィクスチャとに、前記すべての配線を前記導通検査対象として割り振る割り振り処理を実行する処理部を備えている配線割り振り装置であって、
前記処理部は、前記割り振り処理において、
前記すべての配線のうちの前記他方の基板面に前記一括検査機の前記プローブを接触させる検査ポイントが存在する配線を１つの配線群に分類する分類処理と、
前記第１フィクスチャに前記導通検査対象として割り振る前記配線を決定する第１配線決定処理と、
前記第２フィクスチャに前記導通検査対象として割り振る前記配線を決定する第２配線決定処理とを実行すると共に、
前記第１配線決定処理では、前記配線群に分類された前記配線の総数と前記すべての配線のうちから導通検査対象候補として選択された配線のうちの当該配線群に分類された各配線についての前記他方の基板面に存在する前記検査ポイントのそれぞれの数から１を減じた数の総計との合計数が前記Ｇ個未満となる条件下で、前記導通検査対象候補の配線の数がより多くなるように当該導通検査対象候補の配線を選択して、当該選択された導通検査対象候補の配線を前記導通検査対象として前記第１フィクスチャに割り振る前記配線として決定し、
前記第２配線決定処理では、前記すべての配線のうちの前記導通検査対象として決定されていない配線のうちから導通検査対象候補として選択された配線のうちの前記配線群に分類された各配線についての前記他方の基板面に存在する前記検査ポイントのそれぞれの数の総計が前記Ｇ個未満となる条件下で、前記導通検査対象候補の配線の数がより多くなるように当該導通検査対象候補の配線を選択して、当該選択された導通検査対象候補の配線を前記導通検査対象として前記第２フィクスチャに割り振る前記配線として決定する配線割り振り装置。
検査位置に配置された配線基板の一方の基板面側に配置されて当該一方の基板面における任意の位置に接触可能なプローブを有するフライングプローバと、前記配線基板の他方の基板面側に当該他方の基板面に対して接離動可能に配置されると共に当該他方の基板面における予め規定された位置に接触可能なプローブを最大でＧ個配置可能なフィクスチャを複数種類交換可能に装着されるプレス治具型の一括検査機とを備えて、当該複数種類のフィクスチャのうちの第１フィクスチャが装着された際には前記配線基板に形成されたすべての配線間の絶縁検査および当該すべての配線のうちから予め割り振られた配線を導通検査対象とする導通検査を実行し、当該複数種類のフィクスチャのうちの他の第２フィクスチャが装着された際には前記すべての配線のうちから予め割り振られた配線を導通検査対象とする導通検査を実行する検査装置における前記第１フィクスチャおよび前記第２フィクスチャとに、前記すべての配線を前記導通検査対象として割り振る割り振り処理を実行する配線割り振り方法であって、
前記割り振り処理において、
前記すべての配線のうちの前記他方の基板面に前記一括検査機の前記プローブを接触させる検査ポイントが存在する配線を１つの配線群に分類する分類処理と、
前記第１フィクスチャに前記導通検査対象として割り振る前記配線を決定する第１配線決定処理と、
前記第２フィクスチャに前記導通検査対象として割り振る前記配線を決定する第２配線決定処理とを実行すると共に、
前記第１配線決定処理では、前記配線群に分類された前記配線の総数と前記すべての配線のうちから導通検査対象候補として選択された配線のうちの当該配線群に分類された各配線についての前記他方の基板面に存在する前記検査ポイントのそれぞれの数から１を減じた数の総計との合計数が前記Ｇ個未満となる条件下で、前記導通検査対象候補の配線の数がより多くなるように当該導通検査対象候補の配線を選択して、当該選択された導通検査対象候補の配線を前記導通検査対象として前記第１フィクスチャに割り振る前記配線として決定し、
前記第２配線決定処理では、前記すべての配線のうちの前記導通検査対象として決定されていない配線のうちから導通検査対象候補として選択された配線のうちの前記配線群に分類された各配線についての前記他方の基板面に存在する前記検査ポイントのそれぞれの数の総計が前記Ｇ個未満となる条件下で、前記導通検査対象候補の配線の数がより多くなるように当該導通検査対象候補の配線を選択して、当該選択された導通検査対象候補の配線を前記導通検査対象として前記第２フィクスチャに割り振る前記配線として決定する配線割り振り方法。