JP7454220B2 - ガス供給装置 - Google Patents
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Description
図1は第1の実施の形態にかかるガス供給装置1の概略構成を示す図である。
図示の例の排出管32Aは、逆U字管部32A1を有する。この場合、排出管32Aのタンク10側の開口が液体Wに浸された後、液体Wがさらに増加した際に、液体Wが逆U字管部32A1に次第に入り込んでいき、その後、逆U字管部32A1の上端を越えて排出される。この場合、排出管32Aのタンク10側の開口の上端又はタンク10の排出口14の上端が、所定高さHの位置に対応する。この構成では、排出管32Aのタンク10側の開口が液体Wに浸された状態で、タンク10内の液体Wを順次排出できるため、排出管32Aへのガスの流入を抑制できる。なお、排出管32Aは逆U字管部32A1を有していなくてもよい。また、排出管32Aは、タンク10を貫通するように設けられてもよく、この場合、排出管32Aの開口は、タンク10の内部で開口する。
また、液体排出部32は、排出流量調節弁32Cに加えて開閉弁をさらに備えてもよい。
次に、第2の実施の形態にかかるガス供給装置2について図2を参照しつつ説明する。図2はガス供給装置2の概略構成を示す図である。本実施の形態における構成のうちの第1の実施の形態と同一のものには同一の符号を付し、説明は省略する。
Claims (4)
- 液体を貯留する液体容器と、
前記液体容器に貯留された前記液体を加熱する液体用ヒータと、
前記液体容器に貯留された前記液体の液面高さを所定高さに常時維持する液面高さ維持機構と、を備え、
前記液体は、超純水、純水、水道水、又は有機溶媒であり、
前記液体容器は、前記液体を流入させるための流入口と、前記液体用ヒータの加熱により前記液体から気化した処理用ガスに対するキャリアガスを流入させるためのキャリアガス入口と、前記処理用ガスと前記キャリアガスとの混合ガスを前記液体容器の外部に流出させるための流出口と、を有し、
前記流入口は、前記液体容器における前記所定高さに対応する位置よりも下方に設けられ、
前記キャリアガス入口及び前記流出口は、前記所定高さに対応する位置よりも上方に設けられ、
前記液面高さ維持機構は、前記流入口から前記液体容器の内部に前記液体を常時流入させる液体供給部と、前記液体容器に貯留された前記液体の液面高さが前記所定高さを越えないように前記液体を排出する液体排出部と、を有し、前記液面高さ維持機構が前記液体の液面高さが前記所定高さを越えないように動作しつつ、前記混合ガスは、供給対象空間又は供給対象物に供給される、ガス供給装置。 - 前記液体排出部は、前記液体容器における前記所定高さに対応する位置で前記液体容器の内部に開口する排出管を有する、請求項1に記載のガス供給装置。
- 前記液体用ヒータは、前記液体容器における前記所定高さに対応する位置よりも下方において前記液体容器の内部に設けられる、請求項1又は2に記載のガス供給装置。
- 前記液体容器における前記所定高さに対応する位置よりも上方において前記液体容器の内部に設けられるガス用ヒータをさらに備える、請求項1乃至3のいずれかに記載のガス供給装置。
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