JP7443725B2 - 液体噴射装置、液体噴射装置のメンテナンス方法 - Google Patents

Description

本発明は、プリンターなどの液体噴射装置、液体噴射装置のメンテナンス方法に関する。

例えば特許文献１のように、インクジェットヘッドから液体の一例であるインクを吐出して印刷する液体噴射装置の一例であるインクジェットプリンターがある。インクジェットプリンターは、インクジェットヘッドへ供給するインクの圧力の設定を変更する圧力設定部を備える。圧力設定部は、インクジェットヘッドをクリーニングする時に、圧力可変室の圧力をインクジェットプリンターにおいて印刷が実行されるときよりも高くし、インクジェットヘッドのノズルからインクを排出させていた。

特開２００９－１７８８８９号公報

ノズルから液体を排出させるクリーニングを行うと、ノズル面には液体が付着した状態で滞留することがある。ノズル面に付着する液体の量が多い場合、ノズル面の払拭を良好に行うことができない虞があった。

上記課題を解決する液体噴射装置は、ノズル面に配置されるノズルから液体を噴射可能な液体噴射部と、前記ノズルから排出される前記液体を受ける液体受け部と、前記ノズル面を払拭可能な払拭部を有する払拭機構と、前記ノズル面に付着する前記液体に該ノズル面に沿う方向の外力を非接触で作用させるように構成される外力付与機構と、前記外力付与機構を駆動して前記ノズル面に付着する前記液体に前記外力を作用させた後に、前記払拭部で前記ノズル面を払拭する払拭動作を行わせる制御部と、を備える。

上記課題を解決する液体噴射装置のメンテナンス方法は、ノズル面に配置されるノズルから液体を噴射可能な液体噴射部と、前記ノズルから排出される前記液体を受ける液体受け部と、前記ノズル面を払拭可能な払拭部を有する払拭機構と、前記ノズル面に付着する前記液体に該ノズル面に沿う方向の外力を非接触で作用させるように構成される外力付与機構と、を備える液体噴射装置のメンテナンス方法であって、前記外力付与機構により前記ノズル面に付着する前記液体に前記外力を作用させた後に、前記払拭部で前記ノズル面を払拭する。

第１実施形態の液体噴射装置の模式図。 メンテナンスユニットの模式平面図。 払拭機構の模式側面図。 水平姿勢の液体噴射部の模式側面図。 傾斜姿勢の液体噴射部の模式側面図。 開閉弁が閉弁した状態の圧力調整機構と供給機構の模式図。 複数の圧力調整機構と圧力調整部の模式図。 クリーニングを行うために制御部が実行する処理内容を示すフローチャート。 開閉弁が開弁した状態の圧力調整機構と供給機構の模式図。 第２実施形態の圧力調整機構の分解斜視図。 圧力調整機構の斜視図。 図１１を別の角度から見たときの斜視図。 図１２の側面図。 図１３を反対側から見たときの側面図。 圧力調整部の模式図。 閉弁状態の圧力調整機構の断面図。 開弁状態の圧力調整機構の断面図。 第１の変形例に係る液体噴射装置の模式図。 第２の変形例に係る液体噴射装置の模式図。 第３の変形例に係る払拭機構の模式正面図。 第４の変更例に係る払拭機構の模式側面図。 第５の変更例に係る払拭機構の模式側面図。

（第１実施形態）
以下、液体噴射装置、液体噴射装置のメンテナンス方法の第１実施形態を図面に従って説明する。なお、本実施形態の液体噴射装置は、用紙などの媒体に液体の一例としてのインクを噴射することで、文字や画像を印刷するインクジェットプリンターである。

図面では、液体噴射装置１１が水平面上に置かれているものとして重力の方向をＺ軸で示し、水平面に沿う方向をＸ軸とＹ軸で示す。Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、互いに直交する。以下の説明では、Ｚ軸と平行な方向を鉛直方向Ｚともいう。

図１に示すように、液体噴射装置１１は、液体を噴射する液体噴射部１２と、液体供給源１３から液体噴射部１２に液体を供給する供給機構１４とを備えている。さらに、液体噴射装置１１は、液体噴射部１２と対向する位置に配置された支持台１１２と、媒体１１３を搬送方向Ｙｆに搬送する搬送部１１４と、液体噴射部１２を走査方向Ｘｓ及び走査方向Ｘｓとは反対の方向に往復移動可能な液体噴射部移動機構１１５と、を備える。液体噴射部１２は、ノズル面１８に配置される複数のノズル１９から液体を噴射する。液体噴射部１２は、液体噴射部移動機構１１５によって移動されながら媒体１１３に液体を噴射することで印刷を行う。

本実施形態の走査方向Ｘｓは、Ｘ軸に平行な方向である。支持台１１２は、印刷位置に位置する媒体１１３を支持する。搬送方向Ｙｆは、媒体１１３の搬送経路に沿う方向であり、支持台１１２において媒体１１３が接触する面に沿う方向である。本実施形態の搬送方向Ｙｆは、印刷位置においてＹ軸と平行である。

支持台１１２は、媒体１１３の幅方向でもある走査方向Ｘｓに延在している。支持台１１２、搬送部１１４、及び液体噴射部移動機構１１５は、ハウジングやフレームなどによって構成される本体１１６に組み付けられている。そして、本体１１６には、カバー１１７が開閉可能に設けられている。

搬送部１１４は、搬送方向Ｙｆにおける支持台１１２の上流及び下流にそれぞれ配置された第１搬送ローラー対１１８及び第２搬送ローラー対１１９と、第２搬送ローラー対１１９の下流に配置されて媒体１１３を案内する案内板１２０とを備えている。そして、第１搬送ローラー対１１８及び第２搬送ローラー対１１９が図示しない搬送モーターに駆動されて媒体１１３を挟持しながら回転すると、媒体１１３は、支持台１１２及び案内板１２０に支持されつつ、支持台１１２の表面及び案内板１２０の表面に沿って搬送される。

液体噴射部移動機構１１５は、走査方向Ｘｓに沿って延設されたガイド軸１２２と、そのガイド軸１２２に案内されて走査方向Ｘｓに往復移動可能なキャリッジ１２４とを備えている。キャリッジ１２４は、図示しないキャリッジモーターの駆動に伴って移動する。キャリッジ１２４の下端部には、液体噴射部１２が取り付けられている。液体噴射部１２は、例えば、複数種類のカラーインク、及びインクの定着を促進させる処理液を噴射する。

図２に示すように、ノズル面１８には、列方向Ｙｒに並ぶ複数のノズル１９によって形成されるノズル列Ｌが列方向Ｙｒとは異なる走査方向Ｘｓに一定の間隔で並ぶように複数設けられていてもよい。本実施形態の列方向Ｙｒは、Ｙ軸に平行なノズル面１８に沿う方向であり、印刷位置における搬送方向Ｙｆと一致する。

本実施形態の液体噴射部１２は、６つのノズル列Ｌを有する。１つのノズル列Ｌを構成する複数のノズル１９は、同じ種類の液体を噴射する。１つのノズル列Ｌを構成する複数のノズル１９のうち、搬送方向Ｙｆにおける上流に位置するノズル１９と、搬送方向Ｙｆにおける下流に位置するノズル１９は、走査方向Ｘｓに位置をずらして形成されている。

液体噴射装置１１は、液体噴射部１２のメンテナンスを行うメンテナンスユニット１３０を備える。メンテナンスユニット１３０は、走査方向Ｘｓにおいて液体噴射部１２が搬送中の媒体１１３と対峙しない領域である非印刷領域に設けられる。メンテナンスユニット１３０は、ノズル１９から排出される液体を受ける液体受け部１３１、払拭機構１３３、吸引機構１３４、及びキャッピング機構１３６を有する。メンテナンスユニット１３０は、液体噴射部１２が移動する領域である移動領域の鉛直下方に設けられる廃液パン１３８と、液体噴射部１２から排出された廃液を貯留する廃液貯留部１３９と、備えてもよい。

キャッピング機構１３６の上方の位置は、液体噴射部１２のホームポジションＨＰとなる。ホームポジションＨＰは、液体噴射部１２の移動の始点となる。払拭機構１３３の上方の領域は、払拭領域ＷＡとなる。

本実施形態では、液体受け部１３１の上方の位置が液体噴射部１２の加圧クリーニング位置ＣＰになる。液体噴射部１２が加圧クリーニング位置ＣＰに位置するとき、ノズル面１８が液体受け部１３１に対向する。液体受け部１３１は、走査方向Ｘｓ及び搬送方向Ｙｆにおいてノズル面１８より大きい。

液体噴射装置１１は、液体噴射部１２を加圧クリーニング位置ＣＰに位置させると共に、液体噴射部１２内の液体を加圧してノズル１９から液体を排出させる排出動作の一例である加圧クリーニングを行ってもよい。すなわち、液体受け部１３１は、加圧クリーニングにより排出される液体を受容してもよい。

液体受け部１３１は、液体噴射部１２のノズル１９からフラッシングによって噴射された液体を受容してもよい。フラッシングとは、ノズル１９の目詰まりなどを予防及び解消する目的で、後述する液体噴射部１２が備えるアクチュエーター２４を駆動することによりノズル１９から印刷とは無関係に液体を強制的に排出する動作のことである。

払拭機構１３３は、液体を吸収可能な帯状部材１４１を備える。払拭機構１３３は、帯状部材１４１を保持する保持部１４２と、保持部１４２を第１払拭方向Ｗ１及び第１払拭方向Ｗ１とは反対の第２払拭方向Ｗ２に移動可能に保持するベース部１４３と、Ｙ軸に沿って延びる一対のレール１４４と、を備える。払拭機構１３３は、払拭用モーター１４５と、巻取用モーター１４６と、巻取用モーター１４６の動力を伝達する動力伝達機構１４７と、を備えてもよい。保持部１４２は、帯状部材１４１を露出させる開口１４８を有する。帯状部材１４１は、走査方向Ｘｓにおいてノズル面１８以上の幅を有すると、液体噴射部１２を効率よくメンテナンスできる。

保持部１４２は、払拭用モーター１４５の動力によりレール１４４上をＹ軸に沿って往復移動する。具体的には、保持部１４２は、図２に二点鎖線で示す待機位置と、図２に実線で示す受容位置と、の間を移動する。保持部１４２は、払拭用モーター１４５が正転駆動すると、Ｙ軸に平行な第１払拭方向Ｗ１に移動し、待機位置から受容位置に向かう。保持部１４２は、払拭用モーター１４５が逆転駆動すると、第１払拭方向Ｗ１とは反対の第２払拭方向Ｗ２に移動し、受容位置から待機位置に向かう。本実施形態における第１払拭方向Ｗ１は、印刷位置における搬送方向Ｙｆと一致する。

払拭機構１３３は、保持部１４２が第１払拭方向Ｗ１に移動する過程と、保持部１４２が第２払拭方向Ｗ２に移動する過程と、のうち少なくとも一方の過程で液体噴射部１２をワイピングしてもよい。ワイピングとは、帯状部材１４１によってノズル面１８を払拭するメンテナンスである。

図２，図３に示すように、払拭機構１３３は、巻出軸１５１を有する巻出部１５２と、巻取軸１５３を有する巻取部１５４と、を備える。巻出部１５２は、帯状部材１４１をロール状に巻いた状態で保持する。巻出部１５２から巻き解かれて繰り出された帯状部材１４１は、搬送経路に沿って巻取部１５４まで搬送される。払拭機構１３３は、帯状部材１４１の搬送経路に沿って上流から順に設けられる上流ローラー１５５、テンションローラー１５６、押圧部１５７、規制ローラー１５８、第１水平ローラー１５９、及び第２水平ローラー１６０を備えてもよい。保持部１４２は、巻出軸１５１、上流ローラー１５５、テンションローラー１５６、押圧部１５７、規制ローラー１５８、第１水平ローラー１５９、第２水平ローラー１６０、及び巻取軸１５３をＸ軸を軸線方向として回転可能に支持する。

巻取軸１５３は、巻取用モーター１４６の駆動により回転する。巻取部１５４は、巻取軸１５３に帯状部材１４１をロール状に巻き取る。巻取用モーター１４６は、巻出軸１５１、上流ローラー１５５、テンションローラー１５６、押圧部１５７、規制ローラー１５８、第１水平ローラー１５９、及び第２水平ローラー１６０のうち少なくとも１つを巻取軸１５３と共に回転駆動してもよい。

本実施形態の押圧部１５７は、帯状部材１４１が巻き付けられるローラーである。押圧部１５７は、巻出部１５２から巻き出された帯状部材１４１を下方から上方に向かって押し、開口１４８から帯状部材１４１を突出させる。帯状部材１４１のうち、押圧部１５７に押される部分がノズル面１８を払拭可能な払拭部１６１となる。すなわち、払拭機構１３３は、払拭部１６１を有し、払拭部１６１は、保持部１４２に保持される。

払拭機構１３３は、帯状部材１４１をノズル面１８とは非接触で対向するように引き出して形成される引き出し部１６２を有する。本実施形態の引き出し部１６２は、第１水平ローラー１５９と、第２水平ローラー１６０と、の間の部分である。引き出し部１６２は、走査方向Ｘｓ及び搬送方向Ｙｆにおいてノズル面１８より大きい。図２に実線で示す保持部１４２の受容位置は、液体受け部１３１と引き出し部１６２とが走査方向Ｘｓに並ぶ位置である。

押圧部１５７は、保持部１４２が第１払拭方向Ｗ１もしくは第２払拭方向Ｗ２に移動する際に、ノズル面１８を払拭可能に、帯状部材１４１をノズル面１８に接触させる。払拭機構１３３は、払拭領域ＷＡに位置する液体噴射部１２のノズル面１８を払拭可能である。本実施形態の払拭機構１３３は、保持部１４２が第２払拭方向Ｗ２に移動する際にノズル面１８を払拭する。すなわち、払拭領域ＷＡに位置するノズル面１８は、受容位置に位置する払拭部１６１に近い側が払拭始め側になり、離れた方が払拭終わり側になる。換言すると、搬送方向Ｙｆの下流側が払拭始め側になり、上流側が払拭終わり側になる。

図２に示すように、吸引機構１３４は、吸引キャップ１６４と、吸引用保持体１６５と、吸引用保持体１６５をＺ軸に沿って往復移動させる吸引用モーター１６６と、吸引キャップ１６４内を減圧する減圧機構１６７と、を備える。吸引用モーター１６６は、吸引キャップ１６４を接触位置と退避位置との間で移動させる。接触位置は、吸引キャップ１６４が液体噴射部１２に接触してノズル１９を囲む位置である。退避位置は、吸引キャップ１６４が液体噴射部１２から離れる位置である。吸引キャップ１６４は、全てのノズル１９をまとめて囲む構成としてもよいし、一部のノズル１９を囲む構成としてもよい。

液体噴射装置１１は、液体噴射部１２を吸引機構１３４の上方に位置させると共に、吸引キャップ１６４を接触位置に位置させて１つのノズル列Ｌを囲み、吸引キャップ１６４内を減圧してノズル１９から液体を排出させる吸引クリーニングを行ってもよい。すなわち、吸引機構１３４は、吸引クリーニングにより排出される液体を受容してもよい。

キャッピング機構１３６は、放置キャップ１６９と、放置用保持体１７０と、放置用保持体１７０をＺ軸に沿って往復移動させる放置用モーター１７１と、を有する。放置用モーター１７１の駆動により放置用保持体１７０及び放置キャップ１６９が上方もしくは下方に移動する。放置キャップ１６９は、下方の位置である離隔位置から上方の位置であるキャッピング位置に移動し、ホームポジションＨＰで停止している液体噴射部１２に接触する。

キャッピング位置に位置する放置キャップ１６９は、ノズル１９の開口を囲う。このように、放置キャップ１６９がノズル１９の開口を囲うメンテナンスを放置キャッピングという。放置キャッピングは、キャッピングの一種である。放置キャッピングにより、ノズル１９の乾燥が抑制される。放置キャップ１６９は、全てのノズル１９をまとめて囲む構成としてもよいし、一部のノズル１９を囲む構成としてもよい。

図２，図４に示すように、液体噴射装置１１は、ノズル面１８に付着する液体にノズル面１８に沿う方向の外力を非接触で作用させるように構成される外力付与機構１７３を備える。外力付与機構１７３は、液体噴射部１２の姿勢を変化可能な液体噴射部移動機構１１５と、流体を噴射可能な流体噴射機構１７４と、を有してもよい。液体噴射部移動機構１１５と流体噴射機構１７４は、それぞれ独立してノズル面１８に付着する液体に外力を作用させてもよいし、共同して外力を作用させてもよい。

液体噴射部移動機構１１５は、ガイド軸１２２に沿って液体噴射部１２を往復移動させると共に、ガイド軸１２２を中心として回転するように液体噴射部１２を往復移動させる。液体噴射部移動機構１１５は、軸方向が水平面に沿うガイド軸１２２を中心として液体噴射部１２を回転させることにより、水平面に対するノズル面１８の傾斜を変更する。具体的には、液体噴射部１２は、図４に示す水平姿勢と、図５に示す傾斜姿勢と、をとる。

図４に示すように、水平姿勢は、傾斜姿勢よりも水平面に対するノズル面１８の傾斜が小さい姿勢である。水平姿勢のノズル面１８が略水平になる場合、ノズル面１８に形成されるノズル１９の開口の鉛直方向Ｚにおける位置が、複数のノズル１９同士でほぼ同じ位置になり、ノズル面１８に対して垂直な方向が鉛直方向Ｚとなる。したがって、水平姿勢のノズル面１８に付着する液体には、ノズル面１８に対して略垂直な方向に重力が作用し、重力をノズル面１８に沿う方向に分解した力は略ゼロである。本実施形態の液体噴射部１２は、媒体１１３に印刷するための液体の噴射と、メンテナンスのための液体の排出を水平姿勢で行う。

図５に示すように、傾斜姿勢は、水平姿勢よりも水平面に対するノズル面１８の傾斜が大きい姿勢である。水平面に対してノズル面１８が傾斜した状態では、ノズル面１８が水平な状態に比べ、重力をノズル面１８に沿う方向に分解した力が大きくなる。したがって、液体噴射部移動機構１１５は、液体噴射部１２を回転移動させて水平面に対するノズル面１８の傾斜を大きくすることにより、ノズル面１８に沿う方向に働く重力の成分を大きくし、ノズル面１８に付着する液体にノズル面１８に沿う方向の外力を作用させる。

液体噴射部移動機構１１５は、ノズル面１８を、払拭部１６１の払拭動作において払拭始め側である搬送方向Ｙｆの下流側が、払拭終わり側である搬送方向Ｙｆの上流側より高くなるように傾斜させてもよい。ノズル列Ｌの列方向Ｙｒは、搬送方向Ｙｆと一致する。そのため、１つのノズル列Ｌを構成する複数のノズル１９は、互いに鉛直方向Ｚにおける位置がずれる。換言すると、液体噴射部移動機構１１５は、ノズル面１８を、ノズル列Ｌ内で高低差が発生する方向に傾斜させる。液体噴射部移動機構１１５は、ノズル列Ｌを形成するノズル１９間での高低差によってノズル１９にかかる圧力が、ノズル１９に形成されるメニスカスが壊れるメニスカス耐圧未満となるようにノズル面１８を傾斜させてもよい。

液体噴射部移動機構１１５は、液体噴射部１２をガイド軸１２２に沿って移動させることにより、ノズル面１８に付着する液体にノズル面１８に沿う方向の外力を非接触で作用させてもよい。すなわち、液体噴射部移動機構１１５は、液体噴射部１２の移動を開始する場合の加速、及び液体噴射部１２を停止させる場合の減速に伴う慣性力をノズル面１８に付着する液体に作用させてもよい。

流体噴射機構１７４は、加圧クリーニング位置ＣＰに位置する液体噴射部１２に向かって流体を噴射し、ノズル面１８に付着した液体に流体を当てることでノズル面１８に付着する液体にノズル面１８に沿う方向の外力を作用させる。すなわち、流体噴射機構１７４は、装置自体は液体に非接触のまま、流体噴射機構１７４から噴射した流体によりノズル面１８に付着した液体を押す。流体噴射機構１７４が流体を噴射する方向は、流体噴射機構１７４が流体を噴射するときの液体噴射部１２の姿勢におけるノズル面１８に沿う方向である。流体噴射機構１７４は、流体を、払拭部１６１の払拭動作における払拭始め側から払拭終わり側に向けて噴射してもよい。流体噴射機構１７４は、走査方向Ｘｓに並んで形成される複数の噴射口１７５から流体を噴射してもよい。流体は、例えば、水などの液体、空気などの気体、もしくは液体と気体の混合物としてもよい。

次に、液体噴射部１２について詳しく説明する。
図６に示すように、液体噴射部１２は、液体中の気泡や異物を捕捉する噴射部フィルター１６と、噴射部フィルター１６を通過した液体を貯留する共通液室１７とを備えている。さらに、液体噴射部１２は、ノズル面１８に形成された複数のノズル１９と共通液室１７とを連通させる複数の圧力室２０を備えている。この圧力室２０の壁面の一部は振動板２１によって形成され、共通液室１７と圧力室２０とは第１連通孔２２を通じて連通している。さらに、振動板２１における圧力室２０と面する部分の反対側の面であって共通液室１７と異なる位置には、収容室２３に収容されたアクチュエーター２４が配設されている。

本実施形態のアクチュエーター２４は、駆動電圧が印加された場合に収縮する圧電素子によって構成されている。そして、液体噴射部１２は、駆動電圧の印加によるアクチュエーター２４の収縮に伴って振動板２１を変形させた後、アクチュエーター２４への駆動電圧の印加を解除すると、容積が変化した圧力室２０内の液体がノズル１９から液滴として噴射される。すなわち、液体噴射部１２は、アクチュエーター２４を駆動してノズル１９から液体を噴射する。

液体供給源１３は、例えば液体を収容可能な収容容器であり、収容容器を交換することで液体を補給するカートリッジであってもよいし、装着部２６に装着された状態で液体を補充可能な注入口を設けた収容タンクであってもよい。液体供給源１３がカートリッジである場合、装着部２６は液体供給源１３を着脱可能に保持する。なお、液体供給源１３及び供給機構１４は、液体噴射部１２から噴射する液体の種類ごとに少なくとも１組設けられている。

また、供給機構１４は、液体の供給方向Ａにおいて上流側となる液体供給源１３から下流側となる液体噴射部１２に液体を供給可能な液体供給流路２７を備えている。液体供給流路２７の一部は、循環経路形成部２８と協働して循環経路としても機能する。すなわち、循環経路形成部２８は、共通液室１７と液体供給流路２７とを接続する。そして、循環経路形成部２８には、循環経路において液体を循環方向Ｂに循環させる循環ポンプ２９が設けられている。

液体供給流路２７における循環経路形成部２８が接続された位置よりも液体供給源１３側には、液体供給源１３から供給方向Ａに液体を流動させることにより、液体を液体噴射部１２に向けて加圧供給する加圧機構３１が設けられている。さらに、液体供給流路２７における循環経路形成部２８が接続された位置よりも下流側の循環経路としても機能する部分には、上流側から順にフィルターユニット３２、スタティックミキサー３３、液体貯留部３４、及び圧力調整装置４７が設けられている。

加圧機構３１は、可撓性を有する可撓性部材３７を往復運動させることにより所定量の液体を加圧可能な容積ポンプ３８と、液体供給流路２７における容積ポンプ３８より上流に設けられた第１一方向弁３９と、容積ポンプ３８より下流に設けられた第２一方向弁４０とを備えている。容積ポンプ３８は、可撓性部材３７によって区切られたポンプ室４１と負圧室４２とを有している。さらに、容積ポンプ３８は、負圧室４２を減圧するための減圧部４３と、負圧室４２内に設けられて可撓性部材３７をポンプ室４１側に向けて付勢する付勢部材４４とを備えている。

第１一方向弁３９及び第２一方向弁４０は、液体供給流路２７において上流から下流へ向かう液体の流動を許容し、且つ下流から上流へ向かう液体の流動を阻害する。すなわち、加圧機構３１は、付勢部材４４が可撓性部材３７を介してポンプ室４１内の液体を付勢することにより、圧力調整装置４７に供給される液体を加圧可能である。このため、加圧機構３１が液体を加圧する加圧力は、付勢部材４４の付勢力により設定される。また、こうした点で、本実施形態では、加圧機構３１は、液体供給流路２７の液体を加圧可能と言える。

フィルターユニット３２は、液体中の気泡や異物を捕捉し、交換可能に設けられている。スタティックミキサー３３は、液体の流れに方向転換や分割などの変化を起こし、液体中の濃度の偏りを低減させる。液体貯留部３４は、ばね４５により付勢された容積可変の空間に液体を貯留し、液体の圧力の変動を緩和する。

次に、圧力調整装置４７について詳しく説明する。
図６に示すように、圧力調整装置４７は、液体供給流路２７に設けられてこの液体供給流路２７の一部を構成する圧力調整機構３５と、圧力調整機構３５を押圧する押圧機構４８とを備えている。圧力調整機構３５は、液体供給源１３から液体供給流路２７を介して供給される液体が流入する液体流入部５０と、液体を内部に収容可能な液体流出部５１とが形成された本体部５２を備えている。

液体供給流路２７と液体流入部５０とは、壁部５３により仕切られており、壁部５３に形成された第２連通孔５４により連通している。第２連通孔５４は、フィルター部材５５により覆われている。したがって、液体供給流路２７の液体は、フィルター部材５５に濾過されて液体流入部５０に流入する。

液体流出部５１は、壁部の少なくとも一部がダイヤフラム５６により構成されている。このダイヤフラム５６は、液体流出部５１の内面となる第１の面５６ａで液体流出部５１内の液体の圧力を受ける一方、液体流出部５１の外面となる第２の面５６ｂで大気圧を受ける。このため、ダイヤフラム５６は、液体流出部５１内の圧力に応じて変位する。そして、液体流出部５１は、ダイヤフラム５６が変位することで容積が変化する。なお、液体流入部５０と液体流出部５１とは、連通経路５７により連通されている。

圧力調整機構３５は、連通経路５７において液体流入部５０と液体流出部５１とを非連通とする図６に示す閉弁状態と、液体流入部５０と液体流出部５１とを連通させる開弁状態とを切り替え可能な開閉弁５９を備えている。開閉弁５９は、連通経路５７を遮断可能な弁部６０と、ダイヤフラム５６から圧力を受ける受圧部６１とを有し、受圧部６１がダイヤフラム５６に押圧されることで移動する。すなわち、受圧部６１は、液体流出部５１の容積を小さくする方向へ変位するダイヤフラム５６に接触した状態で移動可能な移動部材としても機能している。

液体流入部５０内には上流側付勢部材６２が設けられ、液体流出部５１内には下流側付勢部材６３が設けられている。上流側付勢部材６２と下流側付勢部材６３とは、いずれも開閉弁５９を閉弁させる方向に付勢する。そして、開閉弁５９は、第１の面５６ａにかかる圧力が第２の面５６ｂにかかる圧力より低く且つ第１の面５６ａにかかる圧力と第２の面５６ｂにかかる圧力との差が所定値以上になると、閉弁状態から開弁状態になる。所定値は、例えば、１ｋＰａである。

この所定値は、上流側付勢部材６２の付勢力、下流側付勢部材６３の付勢力、ダイヤフラム５６を変位させるために必要な力、弁部６０によって連通経路５７を遮断するために必要な押圧力であるシール荷重、弁部６０の表面に作用する液体流入部５０内の圧力、及び液体流出部５１内の圧力に応じて決まる値である。すなわち、上流側付勢部材６２と下流側付勢部材６３の付勢力が大きいほど所定値も大きくなる。

上流側付勢部材６２と下流側付勢部材６３の付勢力は、液体流出部５１内の圧力がノズル１９における気液界面にメニスカスを形成可能な範囲の負圧状態となるように設定される。第２の面５６ｂにかかる圧力が大気圧の場合、液体流出部５１内の圧力は、例えば－１ｋＰａになるように設定されている。この場合、気液界面とは液体と気体とが接する境界であり、メニスカスとは液体がノズル１９と接してできる湾曲した液体表面である。そして、ノズル１９には、液体の噴射に適した凹状のメニスカスが形成されることが好ましい。

こうして、本実施形態では、圧力調整機構３５において開閉弁５９が閉弁状態にある場合、圧力調整機構３５より上流、詳しくは、液体流入部５０及び液体流入部５０よりも上流における液体の圧力は、加圧機構３１によって通常正圧とされる。一方、圧力調整機構３５より下流、詳しくは、液体流出部５１及び液体流出部５１よりも下流における液体の圧力は、ダイヤフラム５６によって通常負圧とされる。よって、液体流出部５１よりも下流側の液体噴射部１２内の圧力は通常負圧とされる。

そして、図６に示す状態において、液体噴射部１２が液体を噴射すると、液体流出部５１に収容された液体が液体供給流路２７を介して液体噴射部１２に供給される。すると、液体流出部５１内の圧力が低下し、ダイヤフラム５６における第１の面５６ａにかかる圧力と第２の面５６ｂにかかる圧力との差が所定値以上になると、ダイヤフラム５６が液体流出部５１の容積を小さくする方向へ撓み変形する。このダイヤフラム５６の変形に伴って受圧部６１が押圧されて移動すると、開閉弁５９が開弁状態となる。

すると、液体流入部５０内の液体は加圧機構３１により加圧されているため、液体流入部５０から液体流出部５１に液体が供給されて液体流出部５１内の圧力が上昇する。これにより、ダイヤフラム５６は、液体流出部５１の容積を増大させるように変形する。そして、ダイヤフラム５６における第１の面５６ａにかかる圧力と第２の面５６ｂにかかる圧力との差が所定値よりも小さくなると、開閉弁５９は開弁状態から閉弁状態になって液体の流動を阻害する。

このようにして、圧力調整機構３５は、ダイヤフラム５６を変位させて液体噴射部１２に供給される液体の圧力を調整することで、ノズル１９の背圧となる液体噴射部１２内の圧力を調整する。

図６に示すように、押圧機構４８は、ダイヤフラム５６の第２の面５６ｂ側に圧力調整室６６を形成する膨張収縮部６７と、膨張収縮部６７を押さえる押さえ部材６８と、圧力調整室６６内の圧力を調整可能な圧力調整部６９とを備えている。膨張収縮部６７は、例えばゴムや樹脂により風船状に形成され、圧力調整部６９による圧力調整室６６の圧力の調整に伴って膨張したり収縮したりする。押さえ部材６８は、有底円筒形状をなしており、底部に形成された挿通孔７０に膨張収縮部６７の一部が挿通されている。

押さえ部材６８における内側面の開口部７１側の端縁部は、Ｒ面取りされて丸みが付けられている。押さえ部材６８は、開口部７１が圧力調整機構３５に塞がれるようにして圧力調整機構３５に取り付けられることにより、ダイヤフラム５６の第２の面５６ｂを覆う空気室７２を形成する。空気室７２内の圧力は大気圧にされ、ダイヤフラム５６の第２の面５６ｂには大気圧が作用する。

すなわち、圧力調整部６９は、圧力調整室６６内の圧力を空気室７２の圧力である大気圧よりも高い圧力に調整することで膨張収縮部６７を膨張させる。そして、押圧機構４８は、圧力調整部６９が膨張収縮部６７を膨張させることで、ダイヤフラム５６を液体流出部５１の容積が小さくなる方向に押圧する。このとき、押圧機構４８の膨張収縮部６７は、ダイヤフラム５６における受圧部６１が接触する領域を押圧する。なお、ダイヤフラム５６における受圧部６１が接触する領域の面積は、連通経路５７の断面積よりも大きくなっている。

図７に示すように、圧力調整部６９は、例えば空気や水などの流体を加圧する加圧ポンプ７４と、加圧ポンプ７４と膨張収縮部６７とを接続する接続経路７５と、接続経路７５に設けられた検出部７６及び流体圧調整部７７とを備えている。接続経路７５の下流側は、複数に分岐し、複数設けられた圧力調整装置４７の膨張収縮部６７にそれぞれ接続されていてもよい。なお、接続経路７５の複数に分岐した流路に該流路の連通状態と非連通状態とを切替える切替弁をそれぞれ設けることにより、加圧された流体を複数の膨張収縮部６７に選択的に供給することも可能である。

すなわち、加圧ポンプ７４により加圧された流体は、接続経路７５を介してそれぞれの膨張収縮部６７に供給される。検出部７６は接続経路７５内の流体の圧力を検出し、流体圧調整部７７は例えば安全弁によって構成される。そして、流体圧調整部７７は、接続経路７５内の流体の圧力が所定の圧力よりも高くなった場合に自動的に開弁して接続経路７５内の流体を外部へ放出することにより接続経路７５内の流体の圧力を低下させる。

また、図７に示すように、液体噴射装置１１は、液体噴射装置１１の各種の構成部材の駆動を制御する制御部１８０を備えている。制御部１８０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭなどを有するマイクロコンピューターである。制御部１８０は、ＲＯＭに記憶されたプログラムに従って、液体噴射装置１１で実行される各種動作を制御する。

制御部１８０は、搬送部１１４を駆動して媒体１１３を単位搬送量だけ搬送する搬送動作と、キャリッジ１２４を走査方向Ｘｓに移動させつつ液体噴射部１２から媒体１１３に向けて液体を噴射する噴射動作とを交互に行わせることで、媒体１１３に文字や画像を形成する印刷動作を行わせる。

また、制御部１８０は、押圧機構４８において、加圧ポンプ７４を駆動することで、膨張収縮部６７に加圧された流体を供給させる。こうして、膨張収縮部６７が膨張する結果、ダイヤフラム５６が液体流出部５１の容積を減少させる方向に変位し、開閉弁５９が開弁状態となる。このように、制御部１８０は、押圧機構４８の駆動に基づいて、開閉弁５９の開閉制御を行う。

また、制御部１８０は、液体噴射部１２内の液体の圧力を液体噴射部１２の外部の圧力である例えば大気圧よりも大きくすることで、ノズル１９から加圧機構３１により加圧した液体を液体受け部１３１に排出させる排出動作を行わせる。この動作は、加圧クリーニングとも言われる。制御部１８０は、排出動作を行わせる際に、押圧機構４８によりダイヤフラム５６を押圧させることにより開閉弁５９を開弁させ、加圧機構３１により加圧された液体を圧力調整機構３５及び液体噴射部１２に供給させる。

また、排出動作を長期間に亘って行う場合には、液体噴射部１２のノズル１９から排出される液体の消費量が、加圧機構３１が液体噴射部１２に向けて供給する液体の供給量に対して過多となることで、液体供給流路２７を流れる液体の流速が次第に低下することがある。この場合には、液体噴射部１２及び液体供給流路２７内に存在する気泡などの異物を効率よく排出できないおそれがある。

そこで、本実施形態において、制御部１８０は、排出動作と、該排出動作を停止する排出停止動作とを短い周期で繰り返し行わせる。これにより、液体供給流路２７を流れる液体の流速が次第に低下することが抑制され、液体供給流路２７内に存在する気泡などの異物を排出する作用が弱まることが抑制される。

次に、図８に示すフローチャートを参照して、本実施形態の制御部１８０が排出動作を含むクリーニングを行うときに実行する処理の流れについて説明する。この一連の処理は、予め設定された制御サイクル毎に実行させてもよいし、ノズル１９において液体の噴射不良が発生していると予想される場合に限って実行させてもよいし、液体噴射装置１１のユーザーもしくはオペレーターが手動で実行させてもよい。

図８に示すように、制御部１８０は、計数用の変数であるカウンターＣｎｔを「０（零）」にリセットし（ステップＳ１１）、排出動作を行わせる（ステップＳ１２）。詳しくは、制御部１８０は、押圧機構４８の駆動を制御し、液体流出部５１の容積が減少する方向にダイヤフラム５６を変位させることで、開閉弁５９を開弁状態とする。こうして、液体流出部５１、液体供給流路２７、共通液室１７、圧力室２０及びノズル１９の内部に、加圧された液体が流れることで、ノズル１９から液体が排出される。

続いて、制御部１８０は、排出動作を停止すべく排出停止動作を行う（ステップＳ１３）。詳しくは、制御部１８０は、押圧機構４８の駆動を制御し、液体流出部５１の容積が増大する方向にダイヤフラム５６を変位させることで、開閉弁５９を閉弁状態とする。こうして、圧力調整機構３５よりも下流側に加圧された液体が供給されなくなる。なお、排出動作を終了してから排出停止動作を開始するまでの期間は、例えば、０．１秒～１秒程度の期間とすればよい。

そして、制御部１８０は、カウンターＣｎｔを「１」だけインクリメントし（ステップＳ１４）、カウンターＣｎｔが判定回数ＣｎｔＴｈ以上となったか否かを判定する（ステップＳ１５）。ここで、判定回数ＣｎｔＴｈとは、排出動作及び排出停止動作を何度繰り返して行うかを定める判定値である。このため、判定回数ＣｎｔＴｈは、液体噴射装置１１の仕様やユーザーの設定に基づいて決定すればよい。なお、液体噴射部１２の全てのノズル１９において液体の噴射不良が発生しているか否かの検出を行っている場合には、液体の噴射不良が発生している不良ノズルの数に応じて、判定回数ＣｎｔＴｈを決定してもよい。

カウンターＣｎｔが判定回数ＣｎｔＴｈ未満である場合（ステップＳ１５：ＮＯ）、制御部１８０は、その処理を先のステップＳ１２に移行する一方、カウンターＣｎｔが判定回数ＣｎｔＴｈ以上である場合（ステップＳ１５：ＹＥＳ）、傾斜動作を行わせる（ステップＳ１６）。傾斜動作によって液体噴射部１２は、水平姿勢から傾斜姿勢になる。続いて制御部１８０は、流体噴射動作を行わせ（ステップＳ１７）、傾斜姿勢のノズル面１８に向かって流体噴射機構１７４に流体を噴射させる。

制御部１８０は、水平動作を行わせ（ステップＳ１８）、傾斜動作により変更された液体噴射部１２の姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に戻す。制御部１８０は、移動動作を行わせ（ステップＳ１９）、加圧クリーニング位置ＣＰに位置する液体噴射部１２を払拭領域ＷＡに移動させる。

そして、制御部１８０は、払拭機構１３３によりノズル面１８を払拭する払拭動作を行わせる（ステップＳ２０）。この払拭動作によって、ノズル面１８に付着した液体や異物が除去されるとともに、液体を噴射するのに適したメニスカスがノズル１９内に形成される。その後、制御部１８０は、一連の処理を一旦終了する。こうして、本実施形態のメンテナンスは、排出動作、傾斜動作、流体噴射動作、及び払拭動作を含む動作であって、液体噴射部１２の液体噴射性能を回復させるための動作である。

本実施形態の作用について説明する。
さて、液体噴射装置１１が印刷動作を行っていると、液体噴射部１２に設けられる複数のノズル１９の一部のノズル１９が、液体の噴射不良が発生した不良ノズルとなることがある。この場合には、該不良ノズルの液体の噴射不良を回復するために、クリーニングが行われる。

図９に示すように、クリーニングを行う場合には、加圧ポンプ７４が駆動され、膨張収縮部６７に加圧された流体が供給される。すると、流体が供給された膨張収縮部６７は、膨張してダイヤフラム５６における受圧部６１が接触する領域を押圧することで、開閉弁５９を開弁状態にする。

すなわち、押圧機構４８は、上流側付勢部材６２及び下流側付勢部材６３の付勢力に抗して受圧部６１を移動させることにより、開閉弁５９を開弁状態にする。この場合、圧力調整部６９は、複数の圧力調整装置４７の膨張収縮部６７に接続されているため、全ての圧力調整装置４７の開閉弁５９を開弁状態にする。

このとき、ダイヤフラム５６は液体流出部５１の容積を小さくする方向に変形するため、液体流出部５１に収容されていた液体は液体噴射部１２に向かって押し出される。すなわち、ダイヤフラム５６が液体流出部５１を押圧した圧力が液体噴射部１２に伝わることにより、メニスカスが壊れてノズル１９から液体が溢れる。つまり、押圧機構４８は、液体流出部５１内の圧力が、少なくとも１つのメニスカスが壊れる圧力よりも高くなるように、ダイヤフラム５６を押圧する。例えば、メニスカスが壊れる圧力は、気液界面における液体側の圧力が気体側の圧力よりも１ｋＰａ高くなる圧力である。

また、押圧機構４８は、ダイヤフラム５６を押圧することによって、液体流入部５０内の圧力に関わらず開閉弁５９を開弁状態とする。この場合、押圧機構４８は、加圧機構３１が液体を加圧する圧力に前述の所定値を加えた圧力がダイヤフラム５６に加わった場合に発生する押圧力よりも大きな押圧力でダイヤフラム５６を押圧する。

そして、開閉弁５９が開弁状態とされる状態において、減圧部４３を定期的に駆動することにより、加圧機構３１により加圧された液体が液体噴射部１２に供給される。すなわち、減圧部４３の駆動に伴って負圧室４２が減圧されると、可撓性部材３７はポンプ室４１の容積を増大させる方向に移動する。

すると、液体供給源１３からポンプ室４１に液体が流入する。そして、減圧部４３による減圧が解除されると、可撓性部材３７は付勢部材４４の付勢力によりポンプ室４１の容積を減少させる方向に付勢される。すなわち、ポンプ室４１内の液体は、可撓性部材３７を介して付勢部材４４の付勢力により加圧され、第２一方向弁４０を通過して液体供給流路２７の下流に向かって供給される。

押圧機構４８がダイヤフラム５６を押圧している間は開閉弁５９の開弁状態が維持されるため、この状態で加圧機構３１が液体を加圧すると、その加圧力が液体流入部５０、連通経路５７、液体流出部５１を介して液体噴射部１２に伝わり、ノズル１９から液体が排出される排出動作である加圧クリーニングが行われる。なお、図９に示すように、排出動作が行われる場合には、制御部１８０は、予め液体噴射部１２が液体受け部１３１と対向するようにキャリッジ１２４を移動させる。すなわち、制御部１８０は、液体噴射部１２を加圧クリーニング位置ＣＰにおいて停止させた状態で排出動作を行わせる。これにより、液体受け部１３１は、液体噴射部１２のノズル１９から排出される液体を受ける。

続いて、排出動作を停止する排出停止動作が行われる。排出停止動作では、押圧機構４８によるダイヤフラム５６の押圧を解除して開閉弁５９を閉弁状態にする。これにより、圧力調整機構３５の上流側と下流側とが連通しなくなり、液体供給源１３から加圧された液体が液体噴射部１２に向かって供給されなくなる。また、本実施形態では、排出動作と排出停止動作とが短い周期で繰り返し行われる。これにより、排出動作において、液体供給流路２７及び液体噴射部１２内を流れる液体の流速が低下することが抑制され、液体供給流路２７及び液体噴射部１２内から気泡などの異物を除去しやすくなる。

加圧クリーニングによりノズル１９から排出された液体は、ノズル面１８に沿って濡れ拡がる。ノズル面１８に付着する液体の量が、ノズル面１８が保持可能な液体の量より多くなると、液体はノズル面１８から滴下する。そのため、排出動作を行った後のノズル面１８には、多量の液体が付着している。例えば、排出動作を行わせた後に、そのまま払拭動作を行わせる場合には、ノズル面１８に付着した液体を払拭部１６１で拭き取ることができず、ノズル面１８に液体が残ってしまうおそれがある。

図４，図５に示すように、制御部１８０は、排出動作を行わせた場合、外力付与機構１７３を駆動して傾斜動作、流体噴射動作、及び移動動作のうち少なくとも１つを行わせ、ノズル面１８に付着する液体に外力を作用させる。その後、制御部１８０は、払拭部１６１でノズル面１８を払拭する払拭動作を行わせる。すなわち、制御部１８０は、液体噴射部移動機構１１５を駆動し、水平面に対するノズル面１８の傾斜を液体噴射時より大きくし、流体噴射機構１７４を駆動してノズル面１８に沿う方向に流体を噴射させた後に、払拭部１６１に払拭動作を行わせる。

具体的には、傾斜動作において、液体噴射部移動機構１１５は、水平面に対するノズル面１８の傾斜を液体噴射時より大きくしてノズル面１８に付着する液体に外力を作用させることで、ノズル面１８に付着した液体を移動させる。すなわち、ノズル面１８に付着した液体は、傾斜動作に伴ってノズル面１８を移動して集まることでノズル面１８から滴下しやすくなり、ノズル面１８に付着する液体の量が減少する。ノズル面１８から滴下した液体は、液体受け部１３１により受容される。このとき、液体噴射部移動機構１１５は、ノズル面１８における払拭始め側が払拭終わり側より高くなるように液体噴射部１２を傾斜させる。そのため、ノズル面１８に付着する液体は、払拭終わり側に集まりやすい。

図５に示すように、流体噴射機構１７４は、流体を払拭始め側から払拭終わり側に向けて噴射する。流体噴射機構１７４は、傾斜姿勢の液体噴射部１２に向けて流体を噴射してもよい。これにより、ノズル面１８に付着する液体は、払拭終わり側により集まりやすくなる。ノズル面１８から滴下した液体は液体受け部１３１に受容される。

移動動作は、加圧クリーニング位置ＣＰにて停止する液体噴射部１２を、走査方向Ｘｓに移動させることで、液体噴射部１２を払拭領域ＷＡに移動せる動作である。移動動作に伴う加速度、及び負の加速度である減速度は、印刷動作時の加速度及び減速度より大きくしてもよい。

保持部１４２が受容位置に位置するとき、引き出し部１６２は、液体噴射部１２の移動領域の鉛直下方の位置に位置する。そのため、液体噴射部１２が払拭領域ＷＡにて停止すると、液体噴射部１２のノズル面１８は、引き出し部１６２に対向する。液体噴射部１２が停止する際にノズル面１８から滴下した液体は、引き出し部１６２により受容される。

図３に示すように、払拭動作では、受容位置に位置する保持部１４２を第２払拭方向Ｗ２に移動させる。払拭部１６１は、液体噴射部１２のノズル面１８に接触した状態で移動することにより液体噴射部１２をワイピングする。こうして、液体噴射部１２のノズル面１８に付着した液体が除去され、液体噴射部１２のノズル１９の内部に正常なメニスカスが形成される。

次に、本実施形態の圧力調整装置４７を製造する方法について説明する。
はじめに、本実施形態の本体部５２は、レーザー光を吸収して発熱する光吸収性樹脂や、光を吸収する色素で着色された樹脂により形成されている。光吸収性樹脂は、例えばポリプロピレンやポリブチレンテレフタレートがある。また、ダイヤフラム５６は、例えばポリプロピレンとポリエチレンテレフタレートなどの異なる材料を積層して形成され、レーザー光を透過させる透過性及び可撓性を有する。そして、押さえ部材６８は、レーザー光を透過する光透過性樹脂により形成されている。光透過性樹脂は、例えばポリスチレンやポリカーボネートがある。すなわち、ダイヤフラム５６の透明度は、本体部５２の透明度よりも高く、押さえ部材６８の透明度よりも低い。

さて、図６に示すように、まず製造方法は、挿通孔７０に膨張収縮部６７の一部を挿通させた押さえ部材６８と本体部５２とによりダイヤフラム５６を挟持させる挟持工程を含む。そして、製造方法は、押さえ部材６８を介してレーザー光を照射する照射工程を含む。すると、押さえ部材６８を透過したレーザー光を本体部５２が吸収して発熱する。このとき生じた熱により、本体部５２、ダイヤフラム５６、押さえ部材６８が溶着される。したがって、押さえ部材６８は、圧力調整装置４７を製造する際にダイヤフラム５６を押さえる治具としても機能する。

本実施形態の効果について説明する。
（１）制御部１８０は、払拭部１６１でノズル面１８を払拭する払拭動作の前に、外力付与機構１７３により液体噴射部１２に付着する液体に対して外力を付与する。外力が付与された液体は、ノズル面１８を移動したり、液滴同士が係合したりしてノズル面１８から滴下しやすくなり、ノズル面１８に付着する液体を減らすことができる。したがって、ノズル面１８に付着する液体に外力を作用させた後に払拭動作を行うことで、払拭動作を良好に行うことができる。

（２）液体噴射部移動機構１１５は、水平面に対するノズル面１８の傾斜を液体噴射時より大きくする。これにより、ノズル面１８に沿う方向における重力の成分が大きくなるため、ノズル面１８に付着した液体は、滴下しやすくなる。したがって、ノズル面１８に付着する液体を減らした後に行う払拭動作を良好に行うことができる。

（３）ノズル面１８を傾斜させると、ノズル面１８に付着する液体は、重力の作用により下方に集まりやすい。その点、液体噴射部移動機構１１５は、払拭始め側が払拭終わり側より高くなるようにノズル面１８を傾斜させる。すなわち、液体は、ノズル面１８において払拭終わり側に集まりやすいため、払拭部１６１が収集する液体が払拭動作の途中で増加しにくく、払拭動作を良好に行うことができる。

（４）液体噴射部移動機構１１５は、１つのノズル列Ｌを形成するノズル１９同士で高低差が生じるようにノズル面１８を傾斜させる。そのため、ノズル面１８に付着する液体は、ノズル列Ｌの列方向Ｙｒに移動しやすい。したがって、例えばノズル列Ｌごとに異なる種類の液体を噴射させる場合でも液体同士が混ざる虞を低減できる。

（５）液体噴射部移動機構１１５は、ノズル列Ｌを形成するノズル１９同士の高低差によってノズル１９にかかる圧力がメニスカス耐圧未満となるようにノズル面１８を傾斜させる。したがって、ノズル１９に形成されるメニスカスは、ノズル面１８を傾斜させた場合に壊れる虞が低減されノズル１９内に空気が侵入する虞を低減できる。

（６）流体噴射機構１７４は、ノズル面１８に沿う方向に流体を噴射する。これにより、ノズル面１８に付着した液体は、滴下しやすくなる。したがって、ノズル面１８に付着する液体を減らした後に行う払拭動作を良好に行うことができる。

（７）流体噴射機構１７４は、払拭始め側から払拭終わり側に向けて流体を噴射する。すなわち、液体は、ノズル面１８において払拭終わり側に集まりやすいため、払拭部１６１が収集する液体が払拭動作の途中で増加しにくく、払拭動作を良好に行うことができる。

（第２実施形態）
次に、液体噴射装置１１の第２実施形態を図面にしたがって説明する。
この第２実施形態は、上記第１実施形態における圧力調整装置４７を図１０及び図１１に示す圧力調整装置２００に変更したものであり、その他の点では第１実施形態とほぼ同じであるため、同一の部材については同一符号を付すことによって重複した説明は省略する。

図１０及び図１１に示すように、圧力調整装置２００は、空気室形成ユニット２０１と、圧力調整機構形成ユニット２０２と、底板部材２０３と、接続部形成ユニット２０４と、２つのレバーユニット２０５とを組み付けることによって形成される。

接続部形成ユニット２０４は、本体部２０６と、本体部２０６の外側面を覆うように取着された接続フィルム２０７とを備えている。本体部２０６の上面には、複数の液体供給流路２７のうちの２つがそれぞれ接続される第１液体接続部２０８及び第２液体接続部２０９と、圧力調整部２１０が接続される圧力接続部２１１とが突設されている。本体部２０６の内側面には、第１液体接続部２０８、第２液体接続部２０９、及び圧力接続部２１１とそれぞれ連通する第１液体導出部２１２、第２液体導出部２１３、及び圧力供給部２１４が突設されている。

接続部形成ユニット２０４の本体部２０６の外側面には図示しない３つの溝が形成されており、３つの溝と接続フィルム２０７とで３つの図示しない流路が形成されている。これら３つの図示しない流路は、第１液体接続部２０８、第２液体接続部２０９、及び圧力接続部２１１と、第１液体導出部２１２、第２液体導出部２１３、及び圧力供給部２１４とをそれぞれ接続している。

空気室形成ユニット２０１は、本体部２１５と、本体部２１５の両側面の全体を覆うように該両側面にそれぞれ取着される可撓性の空気室フィルム２１６とを備えている。本体部２１５における接続部形成ユニット２０４側の側面には、圧力供給部２１４が接続される空気導入部２１７が設けられている。本体部２１５の両側面における圧力調整機構形成ユニット２０２との境界近傍には、レバーユニット２０５が取り付けられる略Ｔ字状の取付部２１８がそれぞれ突設されている。

図１０及び図１２に示すように、空気室形成ユニット２０１の本体部２１５の両側面には、円形の凹部２１９がそれぞれ形成されている。そして、各凹部２１９と各空気室フィルム２１６とで囲まれた空間は、空気室である圧力調整室２２０とされている。各空気室フィルム２１６における凹部２１９と対応する円形の部分は、圧力調整室２２０の一部を形成する可撓壁２２１とされている。本実施形態では、可撓壁２２１によって「回動力付与部」が構成されている。

図１３及び図１４に示すように、空気室形成ユニット２０１の本体部２１５の両側面には溝２２２がそれぞれ形成され、これらの溝２２２同士は第３連通孔２２３によって連通している。２つの溝２２２はそれぞれ反対側に位置する凹部２１９の中央部に第４連通孔２２４を介して連通している。そして、これら２つの溝２２２と２つの空気室フィルム２１６とで囲まれた空間により空気流路２２５が形成されている。したがって、空気流路２２５は、本体部２１５の両側面にわたって延びている。なお、空気流路２２５は、空気導入部２１７と連通している。

図１０に示すように、圧力調整機構形成ユニット２０２は、本体部２２６と、本体部２２６の両側面の全体を覆うように該両側面にそれぞれ取着される可撓性の圧力フィルム２２７とを備えている。本体部２２６における接続部形成ユニット２０４側の側面には、第１液体導出部２１２及び第２液体導出部２１３がそれぞれ接続される第１液体導入部２２８及び第２液体導入部２２９が設けられている。

図１０及び図１２に示すように、圧力調整機構形成ユニット２０２の本体部２２６の両側面には、円形の凹部２３０がそれぞれ形成されている。そして、各凹部２３０と各圧力フィルム２２７とで囲まれた空間は、液体流出部２３１とされている。各圧力フィルム２２７における凹部２３０と対応する円形の部分は、液体流出部２３１の一部を形成するダイヤフラム２３２とされている。

図１０及び図１４に示すように、レバーユニット２０５は、矩形板状のレバー２３３と、レバー２３３の係止部２３４に係止されたねじりばね２３５とを備えている。レバー２３３における長手方向の中央部よりもやや一端側寄りの位置には、レバーユニット２０５を取付部２１８に取り付けるための取付孔２３６が貫通するように形成されている。レバー２３３は、その一方側の面における長手方向の一端部に略円板状の押付部２３７を有し、他端部に略半球状の被押圧部２３８を有している。

そして、レバーユニット２０５は、レバー２３３の取付孔２３６において取付部２１８に取り付けた場合に、レバー２３３における取付部２１８との接触部分である支点を回動中心として回動可能になっている。このとき、押付部２３７はダイヤフラム２３２の中央部と対向するとともに、被押圧部２３８は可撓壁２２１の中央部に接触している。

さらにこのとき、ねじりばね２３５の付勢力は、押付部２３７がダイヤフラム２３２に近づく方向にレバー２３３を回動させる際の抵抗力として作用するようになっている。したがって、押付部２３７は、通常、ダイヤフラム２３２から離れている。

図１５に示すように、圧力調整部２１０は、環状の環状管２４０と、環状管２４０の途中に設けられたポンプ２４１と、環状管２４０におけるポンプ２４１と反対側の位置に設けられて環状管２４０と圧力接続部２１１とを接続する接続管２４２とを備えている。環状管２４０における接続管２４２との接続位置とポンプ２４１との間には第２バルブＶ２が設けられ、環状管２４０における第２バルブＶ２と反対側の位置には第３バルブＶ３が設けられている。

環状管２４０における第２バルブＶ２とポンプ２４１との間には先端側が大気開放された第１分岐管２４３の基端側が接続され、第１分岐管２４３の途中位置には第１バルブＶ１が設けられている。環状管２４０における第３バルブＶ３とポンプ２４１との間には先端側が大気開放された第２分岐管２４４の基端側が接続され、第２分岐管２４４の途中位置には第４バルブＶ４が設けられている。

ポンプ２４１は、その駆動により環状管２４０内の空気を図１５の矢印で示す一方向に流動させる。そして、圧力調整部２１０は、第１バルブＶ１及び第３バルブＶ３を閉弁するとともに第２バルブＶ２及び第４バルブＶ４を開弁した状態でポンプ２４１を駆動することで、図１１及び図１２に示すように、圧力接続部２１１から空気を加圧供給して圧力調整室２２０を加圧する。

一方、圧力調整部２１０は、第１バルブＶ１及び第３バルブＶ３を開弁するとともに第２バルブＶ２及び第４バルブＶ４を閉弁した状態でポンプ２４１を駆動することで、図１１及び図１２に示すように、圧力接続部２１１から空気を吸引して圧力調整室２２０を減圧する。

したがって、圧力調整部２１０は、圧力調整装置２００の２つの圧力調整室２２０を同時に加圧したり減圧したりすることが可能な加圧減圧装置として機能する。なお、第１バルブＶ１～第４バルブＶ４は電磁バルブによって構成され、それらの開閉動作は制御部１８０によってそれぞれ制御される。

次に、圧力調整装置２００について詳述する。
ここでは、主に図６と図１６とに基づいて説明するが、図６においては圧力調整装置４７を図１６に示す圧力調整装置２００に置き換えたものとして説明する。

図６及び図１６に示すように、圧力調整装置２００は、液体供給流路２７に設けられてこの液体供給流路２７の一部を構成する圧力調整機構２５０と、圧力調整機構２５０を押圧する押圧機構２５１とを２つずつ備えている。したがって、圧力調整装置２００は、１つで２種類の液体の圧力を調整することが可能になっている。

圧力調整機構形成ユニット２０２が備える圧力調整機構２５０は、液体供給源１３から液体供給流路２７を介して供給される液体が流入する液体流入部２５２と、液体を内部に収容可能な液体流出部２３１とが形成された本体部２２６を備えている。液体供給流路２７と液体流入部２５２とは、壁部２４７により仕切られており、壁部２４７に形成された第５連通孔２４８により連通している。液体供給流路２７における第５連通孔２４８の直ぐ上流側には、フィルター部材２４９が配置されている。したがって、液体供給流路２７の液体は、フィルター部材２４９に濾過されて液体流入部２５２に流入する。

液体流出部２３１は、壁面の一部がダイヤフラム２３２により構成されている。このダイヤフラム２３２は、液体流出部２３１の内面となる第１の面２３２ａで液体流出部２３１内の液体の圧力を受ける一方、液体流出部２３１の外面となる第２の面２３２ｂで大気圧を受ける。

このため、ダイヤフラム２３２は、液体流出部２３１内の圧力に応じて変位する。したがって、液体流出部２３１は、ダイヤフラム２３２が変位することで容積が変化する。なお、液体流入部２５２と液体流出部２３１とは、連通経路２５４によって連通されている。

圧力調整機構２５０は、連通経路２５４において液体流入部２５２と液体流出部２３１とを非連通とする図１６に示す閉弁状態と、液体流入部２５２と液体流出部２３１とを連通させる図１７に示す開弁状態とを切り替え可能な開閉弁２５５を備えている。

開閉弁２５５は、連通経路２５４を遮断可能な弁部２５６と、連通経路２５４に挿通されるロッド部２５７とを備えている。ロッド部２５７は、その先端がダイヤフラム２３２の第１の面２３２ａの中央部に接触するように配置された略円板状の受圧部２５８に接触している。この場合、受圧部２５８は、ロッド部２５７の先端に固定されていてもよいし、ダイヤフラム２３２の第１の面２３２ａの中央部に固定されていてもよい。

開閉弁２５５は、ダイヤフラム２３２により受圧部２５８を介して押圧されることで移動する。すなわち、受圧部２５８は、液体流出部２３１の容積を小さくする方向へ変位するダイヤフラム５６に接触した状態で移動可能な移動部材としても機能している。

液体流入部２５２内には上流側付勢部材２５９が設けられ、液体流出部２３１内には下流側付勢部材２６０が設けられている。上流側付勢部材２５９は開閉弁２５５を閉弁させる方向に付勢し、下流側付勢部材２６０は、受圧部２５８をダイヤフラム２３２に押し付ける方向に付勢する。そして、開閉弁２５５は、第１の面２３２ａにかかる圧力が第２の面２３２ｂにかかる圧力より低く且つ第１の面２３２ａにかかる圧力と第２の面２３２ｂにかかる圧力との差が所定値以上になると、閉弁状態から開弁状態になる。所定値は、例えば、１ｋＰａである。

この所定値は、上流側付勢部材２５９の付勢力、下流側付勢部材２６０の付勢力、ダイヤフラム２３２を変位させるために必要な力、弁部２５６によって連通経路２５４を遮断するために必要な押圧力であるシール荷重、弁部２５６の表面に作用する液体流入部２５２内の圧力、及び液体流出部２３１内の圧力に応じて決まる値である。すなわち、上流側付勢部材２５９と下流側付勢部材２６０の付勢力が大きいほど所定値も大きくなる。

上流側付勢部材２５９と下流側付勢部材２６０の付勢力は、液体流出部２３１内の圧力がノズル１９における気液界面にメニスカスを形成可能な範囲の負圧状態となるように設定される。第２の面２３２ｂにかかる圧力が大気圧の場合、液体流出部２３１内の圧力は、例えば－１ｋＰａになるように設定されている。この場合、気液界面とは液体と気体とが接する境界であり、メニスカスとは液体がノズル１９と接してできる湾曲した液体表面である。そして、ノズル１９には、液体の噴射に適した凹状のメニスカスが形成されることが好ましい。

押圧機構２５１は、ダイヤフラム２３２の第２の面２３２ｂ側を押圧可能な押付部２３７を有する回動可能なレバー２３３と、レバー２３３に回動力を付与する可撓壁２２１を有した圧力調整室２２０と、圧力調整室２２０内の圧力を調整可能な図１１に示す圧力調整部２１０とを備えている。可撓壁２２１は、圧力調整部２１０による圧力調整室２２０内の圧力の調整に伴って膨らんだり凹んだりする。

そして、押圧機構２５１は、圧力調整部２１０が圧力調整室２２０内の圧力を大気圧よりも高い圧力に調整することによって可撓壁２２１を膨らませることで、ダイヤフラム２３２を液体流出部２３１の容積が小さくなる方向にレバー２３３の押付部２３７によって押圧することによって開閉弁２５５を開弁状態とする。

すなわち、可撓壁２２１がレバー２３３の被押圧部２３８に接触した状態で膨らむと、可撓壁２２１によって被押圧部２３８が押圧されてレバー２３３に回動力が付与され、この回動力によりレバー２３３が取付部２１８との接触部分である支点を回動中心として回動する。

このレバー２３３の回動に伴って押付部２３７がダイヤフラム２３２の第２の面２３２ｂ側を液体流出部２３１の容積が小さくなる方向に押圧することで、開閉弁２５５が閉弁状態から開弁状態にされる。このとき、押圧機構２５１の押付部２３７は、ダイヤフラム２３２における受圧部２５８が接触する領域を押圧する。この場合、ダイヤフラム２３２における受圧部２５８が接触する領域の面積は、連通経路２５４の断面積よりも大きくなっている。

また、押圧機構２５１は、圧力調整部２１０が圧力調整室２２０内の圧力をレバー２３３の押付部２３７によるダイヤフラム２３２の押圧時の圧力調整室２２０内の圧力よりも低い圧力に調整することで、レバー２３３の押付部２３７によるダイヤフラム２３２の押圧を解除する。なお、レバー２３３に可撓壁２２１による回動力が付与されない状態では、押付部２３７がダイヤフラム２３２から離れている。

本実施形態の作用について説明する。
さて、液体噴射部１２が液体を噴射すると、液体流出部２３１に収容された液体が液体供給流路２７を介して液体噴射部１２に供給される。液体流出部２３１内の圧力が低下し、ダイヤフラム２３２における第１の面２３２ａにかかる圧力と第２の面２３２ｂにかかる圧力との差が所定値以上になると、ダイヤフラム２３２が液体流出部２３１の容積を小さくする方向へ撓み変形する。このダイヤフラム２３２の変形に伴って受圧部２５８を介して開閉弁２５５が押圧されて移動し、開閉弁２５５が開弁状態となる。

すると、液体流入部２５２内の液体は加圧機構３１により加圧されているため、液体流入部２５２から液体流出部２３１に液体が供給されて液体流出部２３１内の圧力が上昇する。これにより、ダイヤフラム２３２は、液体流出部２３１の容積を増大させるように変形する。そして、ダイヤフラム２３２における第１の面２３２ａにかかる圧力と第２の面２３２ｂにかかる圧力との差が所定値よりも小さくなると、開閉弁２５５が上流側付勢部材２５９の付勢力により移動して開弁状態から閉弁状態になって液体の流動を阻害する。

このようにして、圧力調整機構２５０は、ダイヤフラム２３２を変位させて液体噴射部１２に供給される液体の圧力を調整することで、ノズル１９の背圧となる液体噴射部１２内の圧力を調整する。

次に、第２実施形態において、液体噴射装置１１がクリーニングを行う場合の作用について説明する。なお、第２実施形態におけるクリーニングでは、排出動作と排出停止動作とを繰り返し行わないものとする。

図１５に示すように、制御部１８０は、圧力調整部２１０の第１バルブＶ１及び第３バルブＶ３を閉弁するとともに第２バルブＶ２及び第４バルブＶ４を開弁した状態でポンプ２４１を駆動する。

図１７に示すように、圧力接続部２１１から空気が加圧供給される圧力調整室２２０は、内部の圧力が大気圧よりも高い圧力に調整される。これにより、可撓壁２２１が膨らんでレバー２３３の被押圧部２３８を押圧し、レバー２３３がねじりばね２３５の付勢力に抗して取付部２１８との接触部分である支点を回動中心として回動する。

すると、レバー２３３の押付部２３７がダイヤフラム２３２における受圧部２５８が接触する領域を下流側付勢部材２６０の付勢力に抗して押圧する。すると、開閉弁２５５もダイヤフラム２３２及び受圧部２５８越しに押付部２３７による押圧力を受けて上流側付勢部材２５９の付勢力に抗して移動し、開閉弁２５５が開弁状態になる。

すなわち、押圧機構２５１は、上流側付勢部材２５９及び下流側付勢部材２６０の付勢力に抗して受圧部２５８及び開閉弁２５５を移動させることにより、開閉弁２５５を開弁状態にする。この場合、圧力調整部２１０は、複数の圧力調整装置２００の圧力接続部２１１に接続されているため、全ての圧力調整装置２００の開閉弁２５５を開弁状態にする。

このとき、ダイヤフラム２３２は液体流出部２３１の容積を小さくする方向に変形するため、液体流出部２３１に収容されていた液体は液体噴射部１２側に押し出される。すなわち、ダイヤフラム２３２が液体流出部２３１を押圧した圧力が液体噴射部１２に伝わることにより、メニスカスが壊れてノズル１９から液体が溢れる。

つまり、押圧機構２５１は、液体流出部２３１内の圧力が、少なくとも１つのメニスカスが壊れる圧力よりも高くなるように、ダイヤフラム２３２を押圧する。例えば、メニスカスが壊れる圧力は、気液界面における液体側の圧力が気体側の圧力よりも１ｋＰａ高くなる圧力である。

また、押圧機構２５１は、ダイヤフラム２３２を押圧することによって、液体流入部２５２内の圧力に関わらず開閉弁２５５を開弁状態にする。この場合、押圧機構２５１は、加圧機構３１が液体を加圧する圧力に前述の所定値を加えた圧力がダイヤフラム２３２に加わった場合に発生する押圧力よりも大きな押圧力でダイヤフラム２３２を押圧する。

そして、押圧機構２５１がダイヤフラム２３２を押圧することによる開閉弁２５５の開弁状態において、制御部１８０は、減圧部４３を定期的に駆動することにより、加圧機構３１により加圧された所定量の液体を液体噴射部１２に供給する。すなわち、減圧部４３の駆動に伴って負圧室４２が減圧されると、可撓性部材３７はポンプ室４１の容積を増大させる方向に移動する。

すると、液体供給源１３からポンプ室４１に液体が流入する。そして、減圧部４３による減圧が解除されると、可撓性部材３７は付勢部材４４の付勢力によりポンプ室４１の容積を減少させる方向に付勢される。すなわち、ポンプ室４１内の所定量の液体は、可撓性部材３７を介して付勢部材４４の付勢力により加圧され、第２一方向弁４０を通過して液体供給流路２７の下流に向かって送られて液体噴射部１２に供給される。

押圧機構２５１がダイヤフラム２３２を押圧している間は開閉弁２５５の開弁状態が維持されるため、この状態で加圧機構３１が所定量の液体を加圧すると、その加圧力が液体流入部２５２、連通経路２５４、液体流出部２３１を介して液体噴射部１２に伝わり、ノズル１９から液体が排出される排出動作である加圧クリーニングが行われる。すなわち、加圧機構３１が液体を加圧することにより、加圧状態の所定量の液体を液体噴射部１２に供給してノズル１９から液体受け部１３１に排出させる。

そして、ノズル１９から所定量の液体が排出されると、ノズル１９からの液体の排出が停止される。すなわち、加圧機構３１は、所定量の加圧された液体をノズル１９から排出させると、この液体の排出に伴って供給する液体の加圧のレベルが低下し、やがてノズル１９から液体が排出されない程度の加圧レベルになる。

その後、圧力調整部２１０の第１バルブＶ１及び第３バルブＶ３が開弁されるとともに第２バルブＶ２及び第４バルブＶ４が閉弁されることで、圧力接続部２１１から空気が吸引されて圧力調整室２２０が減圧される。

これにより、膨らんでいた可撓壁２２１が萎んで凹んだ状態になる。すると、レバー２３３がねじりばね２３５の付勢力によって取付部２１８との接触部分である支点を回動中心として回動して元の位置に戻る。すなわち、レバー２３３の押付部２３７がダイヤフラム２３２から離れた状態になる。

すると、受圧部２５８とともにダイヤフラム２３２が下流側付勢部材２６０の付勢力によって元の位置に戻るとともに、開閉弁２５５が上流側付勢部材２５９の付勢力によって移動して閉弁状態になる。こうして、加圧機構３１が設けられる上流と液体噴射部１２が設けられる下流とが開閉弁２５５によって連通しなくなり、加圧された液体が液体噴射部１２に供給できなくなることで、排出停止動作が行われる。

排出停止動作を行った後は、液体噴射部１２のノズル面１８には多量の液体が付着している。そのため、制御部１８０は、第１実施形態と同様に、加速動作及び停止動作が行わせる。その後、制御部１８０が払拭動作を行わせることで、液体噴射部１２のノズル１９において、正常なメニスカスが形成される。

本実施形態の効果について説明する。
（８）液体噴射装置１１において、押圧機構２５１は、圧力調整部２１０が圧力調整室２２０内の圧力を調整して可撓壁２２１によりレバー２３３に回動力を付与することで、レバー２３３を回動させて、押付部２３７によるダイヤフラム２３２の第２の面２３２ｂ側の押圧を行う。このため、レバー比や形状等のレバー２３３の仕様を変更するだけで、加圧力や大きさ等の圧力調整室２２０の仕様を変更することなく押付部２３７による押圧力を変更することができる。すなわち、押付部２３７による必要な押圧力が変化しても、レバー２３３の仕様を変更するだけで、圧力調整室２２０の仕様を変更することなく対応することができるので、汎用性を高めることができる。

（９）液体噴射装置１１において、レバー２３３に可撓壁２２１による回動力が付与されない状態では、押付部２３７がダイヤフラム２３２から離れている。このため、レバー２３３の押付部２３７がダイヤフラム２３２に接触することに起因する圧力調整機構２５０の動作不良の発生を抑制できる。

（１０）液体噴射装置１１において、押圧機構２５１は、ダイヤフラム２３２における受圧部２５８が接触する領域をレバー２３３の押付部２３７によって押圧する。このため、ダイヤフラム２３２における受圧部２５８の周囲の領域である外側領域を液体流出部２３１内に変形させないように、押付部２３７によってダイヤフラム２３２を押圧することができる。そして、押付部２３７によるダイヤフラム２３２の押圧を解除した後には、ダイヤフラム２３２における受圧部２５８の外側領域が液体流出部２３１の容積が大きくなる方向に移動して押圧前の状態に復帰するので、ノズル１９から気泡や液体が引き込まれることを抑制できる。

（１１）液体噴射装置１１において、押圧機構２５１は、圧力調整部２１０が圧力調整室２２０内の圧力を大気圧よりも高い圧力に調整することで、レバー２３３の押付部２３７によってダイヤフラム２３２を押圧する。このため、圧力調整室２２０内の圧力を大気圧よりも高い圧力に調整するだけで、レバー２３３の押付部２３７によってダイヤフラム２３２を押圧することができる。

（１２）液体噴射装置１１において、押圧機構２５１は、圧力調整部２１０が圧力調整室２２０内の圧力を押付部２３７によるダイヤフラム２３２の押圧時の圧力調整室２２０内の圧力よりも低い圧力に調整することで、レバー２３３の押付部２３７によるダイヤフラム２３２の押圧を解除する。このため、レバー２３３の押付部２３７によるダイヤフラム２３２の押圧状態を容易に解除することができる。

（１３）液体噴射装置１１において、回動力付与部は、圧力調整室２２０の一部を形成する可撓壁２２１であり、レバー２３３に接触することによりレバー２３３に回動力を付与する。このため、圧力調整室２２０の一部を形成する可撓壁２２１を、レバー２３３に回動力を付与する回動力付与部として好適に機能させることができる。

（１４）液体噴射装置１１において、加圧機構３１は、押圧機構２５１がダイヤフラム２３２を押圧することによる開閉弁２５５の開弁状態において液体を加圧することで、加圧状態の液体を液体噴射部１２に対して供給する。このため、開閉弁２５５を強制的に開弁した状態で加圧機構３１によって液体を加圧することで加圧状態の液体を液体噴射部１２に供給してノズル１９から排出させる排出動作を行うことができる。

（１５）液体噴射装置１１は、加圧機構３１によって液体が加圧された状態で、押圧機構２５１によるダイヤフラム２３２の押圧を解除して開閉弁２５５を閉弁状態にする。このため、加圧クリーニング後にノズル１９から気泡や液体が引き込まれることを抑制できる。

本実施形態は、以下のように変更して実施することができる。本実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
・図１８に示すように、液体噴射装置１１は、圧力調整機構３５を備えない液体噴射装置１１Ａであってもよい。この液体噴射装置１１Ａは、液体を貯留する液体供給源の一例であるメインタンク３０１と、メインタンク３０１から供給された液体を貯留するサブタンク３０２と、液体を噴射する液体噴射部１２とを備えている。また、液体噴射装置１１Ａは、メインタンク３０１とサブタンク３０２とを接続する第１流路３１１と、サブタンク３０２と液体噴射部１２とを個別に接続する第２流路３１２及び第３流路３１３とを備えている。また、この液体噴射装置１１Ａは、第１流路３１１に配置され、メインタンク３０１からサブタンク３０２に向けて液体を流動させる第１供給ポンプ３２１と、第２流路３１２に配置され、サブタンク３０２から液体噴射部１２に向けて液体を流動させる第２供給ポンプ３２２とを備えている。さらに、この液体噴射装置１１Ａは、サブタンク３０２に接続され、サブタンク３０２の内部と外部の大気との連通状態を切り替える大気開放弁３３１と、第３流路３１３に配置され、液体の流動を許容したり規制したりする切換弁３３２とを備えている。

また、液体噴射装置１１Ａでは、サブタンク３０２と液体噴射部１２との鉛直方向Ｚにおける位置関係は、サブタンク３０２の液面と液体噴射部１２のノズル１９の液面との水頭差によって、液体噴射部１２内の圧力、より詳しくはノズル１９内の圧力が負圧に維持できる位置関係とされている。

そして、この液体噴射装置１１Ａにおいて、印刷動作を行う場合には、アクチュエーター２４の駆動に基づいて、液体噴射部１２のノズル１９から液体が噴射される。また、印刷動作時には、切換弁３３２が開弁状態とされることで、液体噴射部１２から噴射された液体量に相当する量の液体がサブタンク３０２から供給される。印刷動作を継続することで、サブタンク３０２に貯留される液体量が減少すると、第１供給ポンプ３２１が駆動され、メインタンク３０１からサブタンク３０２に液体が供給される。なお、印刷動作時には、大気開放弁３３１が大気開放状態とされ、第２供給ポンプ３２２が停止される。

一方、この液体噴射装置１１Ａにおいて、排出動作を行う場合には、切換弁３３２が閉弁された状態で、第２供給ポンプ３２２が駆動される。このため、第２流路３１２を介して、液体噴射部１２内に加圧された液体が供給されることにより、液体噴射部１２のノズル１９から液体が排出される。

・また、図１９に示すように、液体噴射装置１１は、圧力調整機構３５を備えない液体噴射装置１１Ｂであってもよい。この液体噴射装置１１Ｂは、液体を貯留する液体供給源の一例であるメインタンク４０１と、メインタンク４０１から供給された液体を貯留するサブタンク４０２と、液体を噴射する液体噴射部１２とを備えている。液体噴射装置１１Ｂは、メインタンク４０１とサブタンク４０２とを接続する第１流路４１１と、サブタンク４０２と液体噴射部１２とを接続する第２流路４１２と、サブタンク４０２の液面よりも高い位置に接続される第３流路４１３とを備えている。また、この液体噴射装置１１Ｂは、第１流路４１１に配置され、メインタンク４０１からサブタンク４０２に向けて液体を流動させる供給ポンプ４２１と、第３流路４１３に配置され、サブタンク４０２内の圧力を調整する圧力調整ポンプ４２２と、サブタンク４０２内の圧力を検出する圧力検出部４２３とを備えている。さらに、この液体噴射装置１１Ｂは、メインタンク４０１とサブタンク４０２との連通状態を切り替える第１切換弁４３１と、サブタンク４０２と液体噴射部１２との連通状態を切り替える第２切換弁４３２と、サブタンク４０２と圧力調整ポンプ４２２と大気との接続状態を切り替える三方弁４３３とを備えている。なお、第１切換弁４３１は第１流路４１１に配置され、第２切換弁４３２は第２流路４１２に配置され、三方弁４３３は第３流路４１３に配置されている。

そして、この液体噴射装置１１Ｂにおいて、印刷動作を行う場合には、アクチュエーター２４の駆動に基づいて、液体噴射部１２のノズル１９から液体が噴射される。また、印刷動作時には、サブタンク４０２と圧力調整ポンプ４２２とが連通するように三方弁４３３が切り替えられる。また、第１切換弁４３１が閉弁されることで、メインタンク４０１とサブタンク４０２とが非接続状態とされる。そして、圧力検出部４２３の検出結果に基づいて、サブタンク４０２が所定の圧力となるように圧力調整ポンプ４２２が駆動される。こうして、印刷動作時には、液体噴射部１２のノズル１９内の圧力を所定の負圧に維持しつつ、液体噴射部１２に液体が供給される。印刷動作を継続することで、サブタンク４０２に貯留される液体量が減少すると、供給ポンプ４２１が駆動され、メインタンク４０１からサブタンク４０２に液体が供給される。なお、サブタンク４０２への液体の供給時には、第１切換弁４３１が開弁され、第２切換弁４３２が閉弁され、サブタンク４０２内が大気に連通するように三方弁４３３が切り替えられる。

一方、この液体噴射装置１１Ｂにおいて、排出動作を行う場合には、サブタンク４０２を大気及び圧力調整ポンプ４２２に連通しないように三方弁４３３が切り替えられる。また、第２切換弁４３２が開弁されることで、サブタンク４０２と液体噴射部１２とが接続状態とされる。そして、第１切換弁４３１が開弁された状態で、供給ポンプ４２１を駆動し、サブタンク４０２を介して液体噴射部１２に加圧された液体を供給することで、液体噴射部１２から液体が排出される。

なお、この液体噴射装置１１Ｂでは、次のように排出動作を行うこともできる。すなわち、排出動作を行う場合には、サブタンク４０２と圧力調整ポンプ４２２とが連通するように三方弁４３３が切り替えられる。また、第１切換弁４３１が閉弁されることで、メインタンク４０１とサブタンク４０２とが非接続状態とされる。そして、圧力調整ポンプ４２２を駆動することで、サブタンク４０２の内部に気体を送出し、サブタンク４０２の内部を加圧する。こうして、液体噴射部１２に加圧された液体が供給され、液体噴射部１２から液体が排出される。

・図２０に示すように、払拭機構１３３は、引き出し部１６２と払拭部１６１とが走査方向Ｘｓに並んで配置されてもよい。走査方向Ｘｓにおいて、引き出し部１６２は、液体受け部１３１と払拭部１６１との間に設けられてもよい。流体噴射機構１７４は、走査方向Ｘｓにおいて引き出し部１６２と払拭部１６１との間に設けられてもよい。例えば、制御部１８０は、液体噴射部１２を加圧クリーニング位置ＣＰにおいて停止させた状態で排出動作として加圧クリーニングを行わせる。その後、制御部１８０は、液体噴射部１２を加圧クリーニング位置ＣＰに位置させたまま傾斜動作及び水平動作を行わせてもよい。制御部１８０は、移動動作を行わせながら流体噴射動作及び払拭動作を行わせてもよい。すなわち、制御部１８０は、加圧クリーニング位置ＣＰに位置する液体噴射部１２を走査方向Ｘｓに移動させ、払拭領域ＷＡを通過させてもよい。制御部１８０は、引き出し部１６２の上方を通過する液体噴射部１２のノズル面１８に向かって流体噴射機構１７４から流体を噴射させ、流体噴射動作を行わせてもよい。払拭領域ＷＡは、走査方向Ｘｓに移動する液体噴射部１２のノズル面１８が払拭部１６１に接触する領域である。液体噴射部１２は、払拭領域ＷＡを通過することでノズル面１８が払拭される。この時、払拭部１６１は、複数のノズル列Ｌが並ぶ方向にノズル面１８を払拭する。

・液体噴射部１２を移動させて払拭動作を行わせる場合、払拭機構１３３は、ベース部１４３及びレール１４４を備えない構成としてもよい。すなわち、保持部１４２は、移動不能に配置されてもよい。

・流体噴射機構１７４は、噴射口１７５から空気などの気体と、水などの液体と、を別々に噴射可能としてもよい。流体噴射機構１７４は、噴射口１７５の向きを変更可能に設けてもよい。例えば、流体噴射機構１７４は、ノズル面１８に向かって気体を噴射し、払拭部１６１に向かって液体を噴射してもよい。すなわち、流体噴射機構１７４は、払拭部１６１にワイピング液を供給してもよい。払拭機構１３３は、湿潤した払拭部１６１によりノズル面１８を払拭してもよい。

・図２１に示すように、制御部１８０は、ノズル面１８が引き出し部１６２と対向する位置で傾斜動作を行わせてもよい。傾斜動作に伴ってノズル面１８から滴下した液体は、引き出し部１６２で受容してもよい。液体噴射部移動機構１１５が、払拭部１６１に近い方の端を持ち上げるように液体噴射部１２を傾斜させると、ノズル面１８に付着した液体は、払拭部１６１から遠い方の端に向かって払拭部１６１から離れるように移動する。したがって、引き出し部１６２は、払拭部１６１に近い領域より、離れた領域においてノズル面１８から滴下した液体を受容しやすい。これにより、引き出し部１６２で受容した液体が、帯状部材１４１内を拡散して払拭部１６１まで到達する虞を低減できる。引き出し部１６２は、鉛直方向Ｚに移動可能に設けてもよい。例えば、払拭機構１３３は、保持部１４２を鉛直方向Ｚに移動可能に設けてもよいし、第１水平ローラー１５９及び第２水平ローラー１６０を鉛直方向Ｚに移動可能に設けてもよい。液体噴射部移動機構１１５は、液体噴射部１２を鉛直方向Ｚに移動させてもよい。制御部１８０は、傾斜状態のノズル面１８と引き出し部１６２とを相対移動させて近づけ、ノズル面１８に付着した液体と、引き出し部１６２と、を接触させてもよい。液体に吸収性を有する帯状部材１４１を接触させた場合には、液体を帯状部材１４１に引き込むことができる。帯状部材１４１が吸収性を有しない場合でも、液体の表面張力のバランスを崩して液体を滴下しやすくできる。

・図２２に示すように、液体噴射部移動機構１１５は、ノズル面１８においてガイド軸１２２から離れた方の端を鉛直方向Ｚに下げるように回転させ、液体噴射部１２に図２２に示す傾斜姿勢をとらせてもよい。液体噴射部移動機構１１５は、ノズル面１８が引き出し部１６２と対向する状態で、ノズル面１８において搬送方向Ｙｆの下流の端を引き出し部１６２に近づけ、ノズル面１８を移動して集まった液体を引き出し部１６２に接触させてもよい。払拭機構１３３は、払拭部１６１を引き出し部１６２より搬送方向Ｙｆの上流に設けてもよい。払拭機構１３３は、第１払拭方向Ｗ１に移動してノズル面１８を払拭してもよい。この場合、搬送方向Ｙｆの上流が払拭始め側になり、搬送方向Ｙｆの下流が払拭終わり側になる。

・制御部１８０は、液体噴射部１２を受容位置に位置する引き出し部１６２の上方に位置させた状態で排出動作を行わせてもよい。すなわち、引き出し部１６２を液体受け部として機能させてもよい。この場合、メンテナンスユニット１３０は、液体受け部１３１を備えない構成としてもよい。引き出し部１６２は、フラッシングにより噴射される液体を受容してもよい。

・払拭機構１３３は、引き出し部１６２を有していない構成としてもよい。
・払拭部１６１は、液体を吸収しないゴムなどの弾性部材によって形成してもよい。
・払拭機構１３３は、レール１４４に付着した液体を清掃する清掃部材を備えてもよい。清掃部材は、保持部１４２に設けられ、保持部１４２の移動に伴ってレール１４４を清掃してもよい。

・図８に示すフローチャートにおいて、制御部１８０は、払拭動作を行った後にフラッシングを行わせてもよい。これによれば、液体噴射部１２のノズル１９内に正常なメニスカスを形成しやすくできる。

・図８に示すフローチャートにおいて、制御部１８０は、排出停止動作を行った後であって払拭動作を行う前に、アクチュエーター２４を駆動してもよい。これによれば、液体噴射部１２内の圧力が高く、ノズル１９内の気液界面が不安定な状態において、アクチュエーター２４を駆動して気液界面を壊すことにより、ノズル１９から液体を排出させることで液体噴射部１２内の圧力を低下させることができる。

・図８に示すフローチャートにおいて、制御部１８０は、排出停止動作を行った後であって払拭動作を行う前に、アクチュエーター２４を駆動してフラッシングを行ってもよい。これによれば、液体噴射部１２内の圧力が高い状態において、フラッシングを行うことにより、ノズル１９から液体を排出させることで液体噴射部１２内の圧力を低下させることができる。この場合、払拭動作を行う前に行う払拭前フラッシングは、ノズル１９内の気液界面が不安定な状態において行うことを考慮して、アクチュエーター２４の駆動を払拭動作の後に行う通常のフラッシングと異ならせてもよい。その結果、例えば、払拭前フラッシングにより吐出される液滴の大きさが通常のフラッシングと比較して小さくてもよい。また、例えば、払拭前フラッシングにより吐出される液滴の吐出速度が通常のフラッシングと比較して速くてもよい。なお、払拭前フラッシングにより排出される液体は、移動動作を行う前に行う場合は液体受け部１３１に受容させてもよく、移動動作の後に行う場合は引き出し部１６２に受容させてもよい。

・液体噴射部移動機構１１５は、キャリッジ１２４の姿勢を変更することにより、液体噴射部１２の姿勢を変更してもよいし、キャリッジ１２４に対して液体噴射部１２の姿勢を変更してもよい。

・外力付与機構１７３は、液体噴射部１２もしくはキャリッジ１２４に側方から別部材を接触させて衝撃を加えることにより、ノズル面１８に付着する液体にノズル面１８に沿う方向の外力を非接触で作用させてもよい。例えば、払拭機構１３３をキャリッジ１２４に接触させて衝撃を加えてもよい。

・液体噴射部１２は、傾斜姿勢で液体を噴射して媒体１１３に印刷してもよい。制御部１８０は、水平姿勢で排出動作を行わせた後、媒体１１３に印刷する姿勢である傾斜姿勢をとらせてもよい。その後、制御部１８０は、液体噴射部１２を水平姿勢に戻し、払拭動作及びフラッシングなどのメンテナンス動作を行わせてもよい。

・制御部１８０は、傾斜姿勢の液体噴射部１２に排出動作を行わせてもよい。制御部１８０は、傾斜動作、排出動作、水平動作、及び払拭動作を順に行わせてもよい。
・押圧機構４８は、膨張収縮部６７を備えることなく、空気室７２の圧力を調整することで、ダイヤフラム５６を押圧してもよい。詳しくは、押圧機構４８は、空気室７２の圧力を高くすることでダイヤフラム５６を液体流出部５１の容積が小さくなる方向に変位させる一方、空気室７２の圧力を低くすることでダイヤフラム５６を液体流出部５１の容積が大きくなる方向に変位させてもよい。なお、この構成を採用する場合には、圧力低下動作として、空気室７２の圧力を大気圧未満の負圧とすることで、液体噴射部１２内の圧力を低下させてもよい。

・制御部１８０は、排出動作として、吸引機構１３４に吸引クリーニングを行わせてもよい。この場合、吸引キャップ１６４がノズル１９から排出される液体を受ける液体受け部として機能する。吸引クリーニングは、吸引キャップ１６４が液体噴射部１２との間に形成される空間内を減圧し、ノズル１９から液体を排出させると共に、排出された液体を吸引キャップ１６４により受ける。そのため、吸引キャップ１６４に囲まれる空間内に位置するノズル面１８には、吸引クリーニングに伴って液体が付着することがある。制御部１８０は、液体噴射部１２を吸引機構１３４の鉛直上方の位置に停止させた状態で吸引クリーニングを行わせた後、液体噴射部１２を払拭領域ＷＡに移動させて傾斜動作、流体噴射動作、水平動作、及び払拭動作を行わせてもよい。

・流体噴射機構１７４は、ノズル面１８に対して平行に流体を噴射してもよいし、ノズル面１８に対して斜めに流体を噴射してもよいし、ノズル面１８に対して垂直に流体を噴射してもよい。流体噴射機構１７４から噴射された流体は、ノズル面１８に当たって進行方向が変更され、ノズル面１８に付着した液体をノズル面１８に沿って押す。

・外力付与機構１７３は、液体噴射部移動機構１１５と、流体噴射機構１７４と、のうち、何れか一方を備える構成としてもよい。
・液体噴射部移動機構１１５は、ノズル列Ｌ同士に高低差が発生する方向にノズル面１８を傾斜させてもよい。

・流体噴射機構１７４は、払拭終わり側から払拭始め側に向けて流体を噴射してもよい。
・液体噴射部移動機構１１５は、払拭終わり側が払拭始め側より高くなるように傾斜させてもよい。

・液体噴射部移動機構１１５がノズル面１８を傾斜させる度合は、任意に変更してもよい。例えば、傾斜姿勢のノズル面１８に流体を噴射する場合には、流体を噴射しない場合に比べ、傾斜姿勢における水平面に対する傾斜を小さくしてもよい。

・液体噴射装置１１は、インク以外の他の液体を噴射したり吐出したりする液体噴射装置であってもよい。液体噴射装置から微小量の液滴となって吐出される液体の状態としては、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。ここでいう液体は、液体噴射装置から噴射させることができるような材料であればよい。例えば、液体は、物質が液相であるときの状態のものであればよく、粘性の高い又は低い液状体、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属、金属融液、のような流状体を含むものとする。液体は、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散又は混合されたものなども含むものとする。液体の代表的な例としては上記実施形態で説明したようなインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インク及び油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種液体組成物を包含するものとする。液体噴射装置の具体例としては、例えば、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、面発光ディスプレイ、カラーフィルターの製造等に用いられる電極材や色材等の材料を分散又は溶解のかたちで含む液体を噴射する装置がある。液体噴射装置は、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する装置、捺染装置やマイクロディスペンサー等であってもよい。液体噴射装置は、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ、光学レンズ、などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する装置であってもよい。液体噴射装置は、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する装置であってもよい。

以下に、上述した実施形態及び変更例から把握される技術的思想及びその作用効果を記載する。
（Ａ）液体噴射装置は、ノズル面に配置されるノズルから液体を噴射可能な液体噴射部と、前記ノズルから排出される前記液体を受ける液体受け部と、前記ノズル面を払拭可能な払拭部を有する払拭機構と、前記ノズル面に付着する前記液体に該ノズル面に沿う方向の外力を非接触で作用させるように構成される外力付与機構と、前記外力付与機構を駆動して前記ノズル面に付着する前記液体に前記外力を作用させた後に、前記払拭部で前記ノズル面を払拭する払拭動作を行わせる制御部と、を備える。

この構成によれば、制御部は、払拭部でノズル面を払拭する払拭動作の前に、外力付与機構により液体噴射部に付着する液体に対して外力を付与する。外力が付与された液体は、ノズル面を移動したり、液滴同士が係合したりしてノズル面から滴下しやすくなり、ノズル面に付着する液体を減らすことができる。したがって、ノズル面に付着する液体に外力を作用させた後に払拭動作を行うことで、払拭動作を良好に行うことができる。

（Ｂ）液体噴射装置において、前記外力付与機構は、前記液体噴射部の姿勢を変化可能な液体噴射部移動機構を有し、前記制御部は、前記液体噴射部移動機構を駆動し、水平面に対する前記ノズル面の傾斜を液体噴射時より大きくした後に、前記払拭部に前記払拭動作を行わせてもよい。

この構成によれば、液体噴射部移動機構は、水平面に対するノズル面の傾斜を液体噴射時より大きくする。これにより、ノズル面に沿う方向における重力の成分が大きくなるため、ノズル面に付着した液体は、滴下しやすくなる。したがって、ノズル面に付着する液体を減らした後に行う払拭動作を良好に行うことができる。

（Ｃ）液体噴射装置において、前記液体噴射部移動機構は、前記ノズル面を、前記払拭部の前記払拭動作において払拭始め側が払拭終わり側より高くなるように傾斜させてもよい。

ノズル面を傾斜させると、ノズル面に付着する液体は、重力の作用により下方に集まりやすい。その点、この構成によれば、液体噴射部移動機構は、払拭始め側が払拭終わり側より高くなるようにノズル面を傾斜させる。すなわち、液体は、ノズル面において払拭終わり側に集まりやすいため、払拭部が収集する液体が払拭動作の途中で増加しにくく、払拭動作を良好に行うことができる。

（Ｄ）液体噴射装置において、前記ノズル面には、列方向に並ぶ複数の前記ノズルによって形成されるノズル列が前記列方向とは異なる方向に並ぶように複数設けられており、前記液体噴射部移動機構は、前記ノズル面を、前記ノズル列内で高低差が発生する方向に傾斜させてもよい。

この構成によれば、液体噴射部移動機構は、１つのノズル列を形成するノズル同士で高低差が生じるようにノズル面を傾斜させる。そのため、ノズル面に付着する液体は、ノズル列の列方向に移動しやすい。したがって、例えばノズル列ごとに異なる種類の液体を噴射させる場合でも液体同士が混ざる虞を低減できる。

（Ｅ）液体噴射装置において、前記ノズル面には、複数の前記ノズルによってノズル列が形成されており、前記液体噴射部移動機構は、前記ノズル列を形成する前記ノズル間での高低差によって前記ノズルにかかる圧力が、該ノズルに形成されるメニスカスが壊れるメニスカス耐圧未満となるように前記ノズル面を傾斜させてもよい。

この構成によれば、液体噴射部移動機構は、ノズル列を形成するノズル同士の高低差によってノズルにかかる圧力がメニスカス耐圧未満となるようにノズル面を傾斜させる。したがって、ノズルに形成されるメニスカスは、ノズル面を傾斜させた場合に壊れる虞が低減されノズル内に空気が侵入する虞を低減できる。

（Ｆ）液体噴射装置において、前記外力付与機構は、流体を噴射可能な流体噴射機構を有し、前記制御部は、前記流体噴射機構を駆動して前記ノズル面に沿う方向に前記流体を噴射させた後に、前記払拭部に前記払拭動作を行わせてもよい。

この構成によれば、流体噴射機構は、ノズル面に沿う方向に流体を噴射する。これにより、ノズル面に付着した液体は、滴下しやすくなる。したがって、ノズル面に付着する液体を減らした後に行う払拭動作を良好に行うことができる。

（Ｇ）液体噴射装置において、前記流体噴射機構は、前記流体を、前記払拭部の前記払拭動作における払拭始め側から払拭終わり側に向けて噴射してもよい。
この構成によれば、流体噴射機構は、払拭始め側から払拭終わり側に向けて流体を噴射する。すなわち、液体は、ノズル面において払拭終わり側に集まりやすいため、払拭部が収集する液体が払拭動作の途中で増加しにくく、払拭動作を良好に行うことができる。

（Ｈ）液体噴射装置のメンテナンス方法は、ノズル面に配置されるノズルから液体を噴射可能な液体噴射部と、前記ノズルから排出される前記液体を受ける液体受け部と、前記ノズル面を払拭可能な払拭部を有する払拭機構と、前記ノズル面に付着する前記液体に該ノズル面に沿う方向の外力を非接触で作用させるように構成される外力付与機構と、を備える液体噴射装置のメンテナンス方法であって、前記外力付与機構により前記ノズル面に付着する前記液体に前記外力を作用させた後に、前記払拭部で前記ノズル面を払拭する。この方法によれば、上記液体噴射装置と同様の効果を奏することができる。

（Ｉ）液体噴射装置のメンテナンス方法において、前記外力付与機構は、水平面に対する前記ノズル面の傾斜を液体噴射時より大きくして前記ノズル面に付着する前記液体に前記外力を作用させてもよい。この方法によれば、上記液体噴射装置と同様の効果を奏することができる。

（Ｊ）液体噴射装置のメンテナンス方法において、前記外力付与機構は、前記ノズル面に沿う方向に流体を噴射させて前記ノズル面に付着する前記液体に前記外力を作用させてもよい。この方法によれば、上記液体噴射装置と同様の効果を奏することができる。

１１…液体噴射装置、１１Ａ…液体噴射装置、１１Ｂ…液体噴射装置、１２…液体噴射部、１３…液体供給源、１４…供給機構、１６…噴射部フィルター、１７…共通液室、１８…ノズル面、１９…ノズル、２０…圧力室、２１…振動板、２２…第１連通孔、２３…収容室、２４…アクチュエーター、２６…装着部、２７…液体供給流路、２８…循環経路形成部、２９…循環ポンプ、３１…加圧機構、３２…フィルターユニット、３３…スタティックミキサー、３４…液体貯留部、３５…圧力調整機構、３７…可撓性部材、３８…容積ポンプ、３９…第１一方向弁、４０…第２一方向弁、４１…ポンプ室、４２…負圧室、４３…減圧部、４４…付勢部材、４５…ばね、４７…圧力調整装置、４８…押圧機構、５０…液体流入部、５１…液体流出部、５２…本体部、５３…壁部、５４…第２連通孔、５５…フィルター部材、５６…ダイヤフラム、５６ａ…第１の面、５６ｂ…第２の面、５７…連通経路、５９…開閉弁、６０…弁部、６１…受圧部、６２…上流側付勢部材、６３…下流側付勢部材、６６…圧力調整室、６７…膨張収縮部、６８…押さえ部材、６９…圧力調整部、７０…挿通孔、７１…開口部、７２…空気室、７４…加圧ポンプ、７５…接続経路、７６…検出部、７７…流体圧調整部、１１２…支持台、１１３…媒体、１１４…搬送部、１１５…液体噴射部移動機構、１１６…本体、１１７…カバー、１１８…第１搬送ローラー対、１１９…第２搬送ローラー対、１２０…案内板、１２２…ガイド軸、１２４…キャリッジ、１３０…メンテナンスユニット、１３１…液体受け部、１３３…払拭機構、１３４…吸引機構、１３６…キャッピング機構、１３８…廃液パン、１３９…廃液貯留部、１４１…帯状部材、１４２…保持部、１４３…ベース部、１４４…レール、１４５…払拭用モーター、１４６…巻取用モーター、１４７…動力伝達機構、１４８…開口、１４９…貫通孔、１５１…巻出軸、１５２…巻出部、１５３…巻取軸、１５４…巻取部、１５５…上流ローラー、１５６…テンションローラー、１５７…押圧部、１５８…規制ローラー、１５９…第１水平ローラー、１６０…第２水平ローラー、１６１…払拭部、１６２…引き出し部、１６４…吸引キャップ、１６５…吸引用保持体、１６６…吸引用モーター、１６７…減圧機構、１６９…放置キャップ、１７０…放置用保持体、１７１…放置用モーター、１７３…外力付与機構、１７４…流体噴射機構、１７５…噴射口、１８０…制御部、２００…圧力調整装置、２０１…空気室形成ユニット、２０２…圧力調整機構形成ユニット、２０３…底板部材、２０４…接続部形成ユニット、２０５…レバーユニット、２０６…本体部、２０７…接続フィルム、２０８…第１液体接続部、２０９…第２液体接続部、２１０…圧力調整部、２１１…圧力接続部、２１２…第１液体導出部、２１３…第２液体導出部、２１４…圧力供給部、２１５…本体部、２１６…空気室フィルム、２１７…空気導入部、２１８…取付部、２１９…凹部、２２０…圧力調整室、２２１…可撓壁、２２２…溝、２２３…第３連通孔、２２４…第４連通孔、２２５…空気流路、２２６…本体部、２２７…圧力フィルム、２２８…第１液体導入部、２２９…第２液体導入部、２３０…凹部、２３１…液体流出部、２３２…ダイヤフラム、２３２ａ…第１の面、２３２ｂ…第２の面、２３３…レバー、２３４…係止部、２３５…ねじりばね、２３６…取付孔、２３７…押付部、２３８…被押圧部、２４０…環状管、２４１…ポンプ、２４２…接続管、２４３…第１分岐管、２４４…第２分岐管、２４７…壁部、２４８…第５連通孔、２４９…フィルター部材、２５０…圧力調整機構、２５１…押圧機構、２５２…液体流入部、２５４…連通経路、２５５…開閉弁、２５６…弁部、２５７…ロッド部、２５８…受圧部、２５９…上流側付勢部材、２６０…下流側付勢部材、３０１…メインタンク、３０２…サブタンク、３１１…第１流路、３１２…第２流路、３１３…第３流路、３２１…第１供給ポンプ、３２２…第２供給ポンプ、３３１…大気開放弁、３３２…切換弁、４０１…メインタンク、４０２…サブタンク、４１１…第１流路、４１２…第２流路、４１３…第３流路、４２１…供給ポンプ、４２２…圧力調整ポンプ、４２３…圧力検出部、４３１…第１切換弁、４３２…第２切換弁、４３３…三方弁、Ａ…供給方向、Ｂ…循環方向、Ｃｎｔ…カウンター、ＣｎｔＴｈ…判定回数、ＣＰ…加圧クリーニング位置、ＨＰ…ホームポジション、Ｌ…ノズル列、Ｖ１…第１バルブ、Ｖ２…第２バルブ、Ｖ３…第３バルブ、Ｖ４…第４バルブ、Ｗ１…第１払拭方向、Ｗ２…第２払拭方向、ＷＡ…払拭領域、Ｘｓ…走査方向、Ｙｆ…搬送方向、Ｙｒ…列方向、Ｚ…鉛直方向。

Claims (8)

1. ノズル面に配置されるノズルから液体を噴射可能な液体噴射部と、
   前記ノズルから排出される前記液体を受ける液体受け部と、
   前記ノズル面を払拭可能な払拭部を有する払拭機構と、
   前記ノズル面に付着する前記液体に該ノズル面に沿う方向の外力を非接触で作用させるように構成される外力付与機構と、
   前記外力付与機構を駆動して前記ノズル面に付着する前記液体に前記外力を作用させた後に、前記払拭部で前記ノズル面を払拭する払拭動作を行わせる制御部と、
   を備え、
   前記外力付与機構は、気体を噴射可能な流体噴射機構を有し、
   前記制御部は、前記ノズルから前記液体を排出させる排出動作を実行させた後、前記流体噴射機構を駆動して前記ノズル面に沿う方向に前記気体を噴射させる流体噴射動作を実行させることで前記排出動作によって前記ノズル面に付着した前記液体に前記外力を作用させ、前記流体噴射動作によって前記ノズル面に付着した前記液体を減らした後に前記払拭動作を実行させ、
   前記流体噴射動作において前記流体噴射機構が前記気体を噴射する方向は、前記払拭部の前記払拭動作における払拭始め側から払拭終わり側であって、前記流体噴射機構が噴射した前記気体は、前記ノズル面に付着した前記液体を前記払拭終わり側に向けて移動させることを特徴とする液体噴射装置。
2. 前記外力付与機構は、前記液体噴射部の姿勢を変化可能な液体噴射部移動機構を有し、
   前記制御部は、前記液体噴射部移動機構を駆動し、水平面に対する前記ノズル面の傾斜を液体噴射時より大きくした後に、前記払拭部に前記払拭動作を行わせることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
3. 前記液体噴射部移動機構は、前記ノズル面を、前記払拭部の前記払拭動作において払拭始め側が払拭終わり側より高くなるように傾斜させることを特徴とする請求項２に記載の液体噴射装置。
4. 前記ノズル面には、列方向に並ぶ複数の前記ノズルによって形成されるノズル列が前記列方向とは異なる方向に並ぶように複数設けられており、
   前記液体噴射部移動機構は、前記ノズル面を、前記ノズル列内で高低差が発生する方向に傾斜させることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の液体噴射装置。
5. 前記ノズル面には、複数の前記ノズルによってノズル列が形成されており、
   前記液体噴射部移動機構は、前記ノズル列を形成する前記ノズル間での高低差によって前記ノズルにかかる圧力が、該ノズルに形成されるメニスカスが壊れるメニスカス耐圧未満となるように前記ノズル面を傾斜させることを特徴とする請求項２～請求項４のうち何れか一項に記載の液体噴射装置。
6. 前記払拭機構は、前記液体を吸収可能な帯状部材を備えることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
7. ノズル面に配置されるノズルから液体を噴射可能な液体噴射部と、
   前記ノズルから排出される前記液体を受ける液体受け部と、
   前記ノズル面を払拭可能な払拭部を有する払拭機構と、
   前記ノズル面に付着する前記液体に該ノズル面に沿う方向の外力を非接触で作用させるように構成される外力付与機構と、
   を備え、
   前記外力付与機構は、気体を噴射可能な流体噴射機構を有し、
   前記流体噴射機構が前記気体を噴射する方向は、前記払拭部が前記ノズル面を払拭する払拭始め側から払拭終わり側である液体噴射装置のメンテナンス方法であって、
   前記ノズルから前記液体を排出させることと、
   前記流体噴射機構を駆動して前記ノズル面に沿う方向に前記気体を噴射させることで、前記ノズルから排出されて前記ノズル面に付着する前記液体に前記外力を作用させて前記払拭終わり側に向けて移動させ、前記ノズル面に付着した前記液体を減らすことと、
   前記流体噴射機構に前記気体を噴射させた後に、前記払拭部で前記ノズル面を払拭することと、
   を含むことを特徴とする液体噴射装置のメンテナンス方法。
8. 前記外力付与機構は、水平面に対する前記ノズル面の傾斜を液体噴射時より大きくして前記ノズル面に付着する前記液体に前記外力を作用させることを特徴とする請求項７に記載の液体噴射装置のメンテナンス方法。