JP7432925B2 - 圧力監視装置、樹脂封止装置、及び圧力監視方法 - Google Patents

Description

本発明は、圧力監視装置、樹脂封止装置、及び圧力監視方法に関する。

樹脂封止装置の樹脂封止金型には、リリースフィルムの吸着や内部空間の脱気のための排気孔が設けられている。

例えば、特許文献１には、内部空間を脱気するための排気孔及びワークを固定するための排気孔が設けられた下型と、リリースフィルムを固定するための排気孔が設けられた上型とを有する樹脂封止金型が開示されている。

特開２０１８－５１８４１号公報

特許文献１に記載された樹脂封止装置の場合、リリースフィルムの脱落や脱気不良といった現象が発生すると成形不良が発生するおそれがある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、成形不良の発生を抑制できる圧力監視装置、樹脂封止装置、及び圧力監視方法を提供することである。

本発明の一態様に係る圧力監視装置は、一方の金型及び他方の金型を有する樹脂封止金型からの排気圧を監視する、樹脂封止金型の圧力監視装置であって、樹脂封止金型の一方の金型に設けられたキャビティにリリースフィルムを吸着させる排気孔の吸着圧を検知する吸着圧力センサと、樹脂封止金型の他方の金型に設けられたキャビティを脱気する排気孔の脱気圧を検知する脱気圧力センサと、吸着圧力センサ及び脱気圧力センサに接続された監視部と、を備え、監視部は、吸着圧及び脱気圧のうち少なくとも一方の単位期間当たりの変化量を監視し、吸着圧及び脱気圧の単位期間当たりの変化量が増大する減圧期の後であって吸着圧及び脱気圧の単位期間当たりの変化量が０に漸近した均衡期において変化量が所定量を超えた場合にエラーと判断する。

この態様によれば、吸着圧又は脱気圧の微小な圧力変化を伴う不具合を検出することができる。例えば、リリースフィルムの一時的な金型からの離間を検出しリリースフィルムとワークとの接触を警告することで、ワークの素子特性が変動した不良品の流出を抑制できる。また、樹脂封止金型の劣化による真空漏れを検出しメンテナンスを促すことで、封止用の樹脂にエアが抱き込まれて発生するボイドを抑制できる。

上記態様において、監視部は、吸着圧及び脱気圧のうち少なくとも一方の単位期間当たりの変化量が２回以上連続して所定量を超えた場合にエラーと判断してもよい。

上記態様において、監視部は、吸着圧及び脱気圧の少なくとも一方の圧力値が所定値を超えた場合にエラーと判断してもよい。

上記態様において、監視部は、吸着圧及び脱気圧の少なくとも一方の圧力値が所定値以下において、吸着圧及び脱気圧の少なくとも一方の単位期間当たりの変化量を監視してもよい。

上記態様において、樹脂封止金型の一方の金型は上型であり、樹脂封止金型の他方の金型は下型であってもよい。

上記態様において、監視部は、キャビティの脱気中において吸着圧の単位期間当たりの変化量を監視してもよい。

上記態様において、監視部は、キャビティの脱気後において脱気圧の単位期間当たりの変化量を監視してもよい。

本発明の一態様に係る樹脂封止装置は、上記態様のいずれかの圧力監視装置と、樹脂封止金型と、樹脂封止金型の一方の金型に接続された吸着ポンプと、樹脂封止金型の他方の金型に接続された脱気ポンプと、吸着ポンプ及び脱気ポンプを制御する制御部と、を備えている。

この態様によれば、吸着圧又は脱気圧の微小な圧力変化を伴う不具合を検出することができる。例えば、リリースフィルムの一時的な金型からの離間を検出しリリースフィルムとワークとの接触を警告することで、ワークの素子特性が変動した不良品の流出を抑制できる。また、樹脂封止金型の劣化による真空漏れを検出しメンテナンスを促すことで、封止用の樹脂にエアが抱き込まれて発生するボイドを抑制できる。

本発明の一態様に係る圧力監視方法は、一方の金型及び他方の金型を有する樹脂封止金型からの排気圧を監視する、樹脂封止金型の圧力監視方法であって、樹脂封止金型の一方の金型に設けられたキャビティにリリースフィルムを吸着させる排気孔の吸着圧を検知することと、樹脂封止金型の他方の金型に設けられたキャビティ内のエアを排気する排気孔の脱気圧を検知することと、吸着圧及び脱気圧のうち少なくとも一方の単位期間当たりの変化量を監視し、吸着圧及び脱気圧の単位期間当たりの変化量が増大する減圧期の後であって吸着圧及び脱気圧の単位期間当たりの変化量が０に漸近した均衡期において変化量が所定量を超えた場合にエラーと判断することと、を含む。

この態様によれば、吸着圧又は脱気圧の微小な圧力変化を伴う不具合を検出することができる。例えば、リリースフィルムの一時的な金型からの離間を検出しリリースフィルムとワークとの接触を警告することで、ワークの素子特性が変動した不良品の流出を抑制できる。また、樹脂封止金型の劣化による真空漏れを検出しメンテナンスを促すことで、封止用の樹脂にエアが抱き込まれて発生するボイドを抑制できる。

上記態様において、エラーと判断することは、吸着圧及び脱気圧のうち少なくとも一方の単位期間当たりの変化量が２回以上連続して所定量を超えた場合にエラーと判断してもよい。

本発明によれば、成形不良の発生を抑制できる圧力監視装置、樹脂封止装置、及び圧力監視方法を提供できる。

実施形態に係る樹脂封止装置の構成を概略的に示す図である。 正常な吸着圧、脱気圧及びクランプ位置の変化を示すグラフである。 リリースフィルムの剥離が生じた場合の吸着圧及び脱気圧の変化を示すグラフである。 樹脂封止金型の真空漏れが生じた場合の吸着圧及び脱気圧の変化を示すグラフである。 実施形態に係る樹脂封止品の製造方法を示すフローチャートである。

以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。各実施形態の図面は例示であり、各部の寸法や形状は模式的なものであり、本願発明の技術的範囲を当該実施形態に限定して解するべきではない。

＜実施形態＞
図１を参照しつつ、本発明の実施形態に係る樹脂封止装置１の構成について説明する。図１は、実施形態に係る樹脂封止装置の構成を概略的に示す図である。

樹脂封止装置１は、ワークＷを樹脂Ｐで樹脂封止（モールド成形）するために用いられる装置である。樹脂封止装置１は、樹脂封止金型２００と、真空ポンプ４１１，４１２，４２１，４２２と、圧力監視装置１００とを備えている。樹脂封止装置１は、樹脂Ｐを押し出す圧力によって加圧するトランスファ方式の成形機であるが、これに限定されるものではない。樹脂封止装置はトランスファ方式の成形機に限定されるものではなく、樹脂を樹脂封止金型で押圧する圧力によって加圧するコンプレッション方式の成形機であってもよい。

ワークＷは、基板と素子を有し、素子は基板上に固定されている。例えば、素子は、基板にワイヤボンディング実装されている。一例として、基板は樹脂基板、素子は半導体チップであるが、基板及び素子はこれに限定されるものではない。例えば、基板は、ガラス基板でもよく、インタポーザ基板、リードフレーム、粘着シート付きキャリアプレート、半導体ウェハなどでもよい。素子は、ＭＥＭＳデバイス、電子デバイスなどでもよい。素子は基板にフリップチップ実装されてもよく、着脱可能に接着されてもよい。

樹脂封止金型２００は、下型２１０と上型２２０とを備えている。上型２２０は一方の金型に相当し、下型２１０は他方の金型に相当する。樹脂封止金型２００は、上型２２０にキャビティ２０１を有する上型キャビティ構造である。型締めされた下型２１０と上型２２０との間には、キャビティ２０１によって内部空間が形成される。樹脂封止金型２００は、樹脂封止金型２００の内部空間をシールするシールリング２０３（例えばＯリング）を備えている。なお、図１には、下型２１０のうちチェイス構造（下型チェイス）が図示されているが、下型２１０は、図示した下型チェイスを収容する、図示しないベース構造（下型ベース）を備えてもよい。同様に、図１には、上型２２０のうちチェイス構造（上型チェイス）が図示されているが、上型２２０は、図示した上型チェイスを収容する、図示しないベース構造（上型ベース）を備えてもよい。樹脂封止金型２００は、チェイス構造を交換可能なチェイスチェンジ構造であってもよい。図示しないが、樹脂封止装置１は、樹脂封止金型２００の内部温度（成形温度）を調節する温度調節部（例えばヒータ）を備えている。ヒータは、例えば、ベース構造に設けられ、チェイス構造全体を加熱してもよい。

下型２１０には、排気孔３１１，３１２が設けられている。排気孔３１１はキャビティ２０１（型締めされた樹脂封止金型２００の内部空間）を脱気するための負圧（脱気圧）が印加され、排気孔３１２はワークＷを下型２１０に固定するための負圧（ワーク固定圧）が印加される。また、下型２１０には、樹脂Ｐを加熱し軟化させるポットと、樹脂Ｐを押し出すプランジャＪとが備えられている。

上型２２０は、チェイスブロック２２１と、キャビティ駒２２３と、キャビティ駒２２３に摺接するクランパ２２５と、クランパ２２５の外側に間隔を空けて設けられたチャンバブロック２２７とを備えている。なお、これらの部材を合わせて上型チェイスという場合もある。キャビティ駒２２３はチェイスブロック２２１に固定されている。クランパ２２５は、キャビティ駒２２３よりも下型２１０に向かって突出し、キャビティ駒２２３とともにキャビティ２０１を構成している。型締めしたとき、クランパ２２５と下型２１０との間に、ワークＷの外縁部が挟まれる。型締めしたとき、チャンバブロック２２７と下型２１０との間に、シールリング２０３が挟まれる。

上型２２０には、排気孔３２１，３２２が設けられている。排気孔３２１は上型２２０にリリースフィルムＲＦを吸着させる負圧（フィルム吸着圧）が印加され、排気孔３２２はキャビティ２０１の壁面に沿ってリリースフィルムＲＦを吸着させる負圧（フィルムキャビティ吸着圧）が印加される。排気孔３２１はクランパ２２５に設けられ、排気孔３２２はキャビティ駒２２３とクランパ２２５との間に設けられている。

樹脂封止装置１には、複数の真空ポンプが設けられて、ワークＷの吸着、キャビティ２０１の減圧、リリースフィルムＲＦの吸着が行われる。真空ポンプ４１１は、下型２１０の排気孔３１１に接続され、脱気圧を印加する脱気ポンプである。真空ポンプ４１２は、下型２１０の排気孔３１２に接続され、ワーク固定圧を印加する固定ポンプである。真空ポンプ４２１は、上型２２０の排気孔３２１に接続され、フィルム吸着圧を印加する吸着ポンプである。真空ポンプ４２２は、上型２２０の排気孔３２２に接続され、フィルムキャビティ吸着圧を印加する吸着ポンプである。以下、真空ポンプ４２１，４２２をまとめて「吸着ポンプ」とし、フィルム吸着圧及びフィルムキャビティ吸着圧をまとめて「吸着圧」とする。

なお、真空ポンプ４１１，４１２，４２１，４２２の構成は上記に限定されるものではない。例えば、排気孔３１１，３１２が共通の真空ポンプに接続されてもよい。すなわち、脱気圧とワーク固定圧とが同等であってもよい。同様に、排気孔３２１，３２２が共通の真空ポンプに接続され、フィルム吸着圧とフィルムキャビティ吸着圧とが同等であってもよい。

圧力監視装置１００は、圧力計１１１，１１２，１２１，１２２と、監視部１１０と、制御部１３０とを備えている。

圧力計１１１は、真空ポンプ４１１に接続され、脱気圧を検知する脱気圧力センサである。圧力計１１２は、真空ポンプ４１２に接続され、ワーク固定圧を検知する吸着圧力センサである。圧力計１２１は、真空ポンプ４２１に接続され、フィルム吸着圧を検知する吸着圧力センサである。圧力計１２２は、真空ポンプ４２２に接続され、フィルムキャビティ吸着圧を検知する吸着圧力センサである。

監視部１１０は、圧力計１１１，１１２，１２１，１２２に接続され、脱気圧、ワーク固定圧、フィルム吸着圧及びフィルムキャビティ吸着圧の圧力値、並びにこれらの圧力の単位期間当たりの変化量を監視する。当該変化量の監視は、真空ポンプ４１１，４１２，４２１，４２２の始動直後の当該変化量が増大する減圧期の後であって、当該変化量が０に漸近した均衡期に行われる。監視部１１０は、当該変化量が所定量を超えた場合にエラーと判断し、エラー処理を行う。監視部１１０は、例えば、不良品の発生を警告する、樹脂封止装置１の運転を停止する、樹脂封止金型２００のメンテナンスを要求する、などのエラー処理を図示しない表示部に表示することができる。

制御部１３０は、真空ポンプ４１１，４１２，４２１，４２２の運転を制御する。また、制御部１３０は、クランプ位置（下型２１０の上型２２０に対する相対的な位置）を制御し、樹脂封止金型２００の型締め状態と型開き状態とを切り替える。制御部１３０は、監視部１１０に接続され、監視部１１０から送られる監視データに基づいて、真空ポンプ４１１，４１２，４２１，４２２の運転を変更する。例えば、制御部１３０は、クランプ位置に連動した真空ポンプ４１１，４１２，４２１，４２２の始動や停止等を含む通常時の動作制御や、エラー処理に基づいた真空ポンプ４１１，４１２，４２１，４２２の出力の調整や停止等を含む非常時の動作制御を行う。なお、通常時の動作制御を行う制御部と、非常時の動作制御を行う制御部とは、別々に設けられてもよい。

次に、図２を参照しつつ、監視部１１０及び制御部１３０の動作の一例について説明する。図２は、正常な吸着圧、脱気圧及びクランプ位置の変化を示すグラフである。グラフの横軸は時間を示し、単位はｓｅｃ（秒）である。グラフの左縦軸は吸着圧及び脱気圧を示し、単位はｋＰａである。グラフの右縦軸はクランプ位置を示し、単位はｍｍである。ここで、フィルム吸着圧とフィルムキャビティ吸着圧は同時に同等の負圧が印加されているので、まとめて吸着圧としている。クランプ位置は、型開きした状態での下型２１０の位置を基準（０ｍｍ）とし、上型２２０に対して下型２１０が接近したとき増加する。例えば、クランプ位置１７０ｍｍのとき、型締めした状態となる。

樹脂封止を行うときには、まず、制御部１３０は真空ポンプ（吸着ポンプ）４２１，４２２を始動する。真空ポンプ４２１，４２２の始動直後の減圧期は、吸着圧の変化量が負に増大し、大気圧と略同等であった吸着圧が急激に低下する。その後の均衡期では、真空ポンプ４２１，４２２の性能限界に到達し、吸着圧が０に漸近する。吸着圧が充分に低下したタイミング、例えば吸着圧が所定値（閾値）を下回った後、制御部１３０は、クランプ位置を上昇させて型締めを開始する。

クランプ位置の上昇が終了し樹脂封止金型２００の型締めが完了した後、制御部１３０は、真空ポンプ（脱気ポンプ）４１１を始動し、脱気を開始する。真空ポンプ４１１の始動直後の減圧期は、脱気圧の変化量が負に増大し、大気圧と略同等であった脱気圧が急激に低下する。その後の均衡期Ｓ１では、真空ポンプ４１１の性能限界に到達し、脱気圧が０に漸近する。脱気圧の下限は、排気圧の下限を下回る。なお、ここでいう真空ポンプの性能限界とは所定の減圧・吸着力を想定して動作させる場合のマージンを持たせた最大の出力を指し、ポンプそのものの性能の限界を指すものではない。

脱気圧の均衡期Ｓ１のうち、樹脂Ｐが樹脂封止金型２００の内部で加熱加圧されて硬化するまでの前期Ｓ２において、制御部１３０は、真空ポンプ（吸着ポンプ）４２１，４２２と真空ポンプ（脱気ポンプ）４１１を稼働させ続ける。脱気圧の均衡期Ｓ１のうち、樹脂Ｐが硬化しワークＷが樹脂封止された後の後期Ｓ３において、制御部１３０は、真空ポンプ４２１，４２２と真空ポンプ４１１とを停止させる。この後期Ｓ３において、制御部１３０はクランプ位置を下降させておらず、吸着圧及び脱気圧は維持される。つまり、不具合が生じていない場合、均衡期Ｓ１における脱気圧の単位期間当たりの変化量は、前期Ｓ２から後期Ｓ３までを通して略０である。

監視部１１０は、均衡期Ｓ１において、吸着圧及び脱気圧の圧力値が閾値を超えた場合にエラーと判断する。監視部１１０は、均衡期Ｓ１において、吸着圧及び脱気圧の圧力値が監視圧力を下回っているときに、吸着圧及び脱気圧の単位期間当たりの変化量を監視し、当該変化量が所定量を超えた場合にエラーと判断する。監視圧力は例えば閾値であるが、監視圧力は閾値よりも低くてもよい。したがって、監視部１１０は、閾値よりも低い圧力範囲での異常であっても、変化量として検出する。

なお、監視部１１０が吸着圧及び脱気圧の変化量の監視を開始する均衡期Ｓ１の始期は、例えば脱気圧が閾値を下回ったタイミングであるが、これに限定されるものではない。例えば、均衡期Ｓ１の始期は、脱気圧が吸着圧を下回ったタイミングでもよい。

次に、図３及び図４を参照しつつ、監視部１１０がエラーと判断する吸着圧及び脱気圧の変化について説明する。図３は、リリースフィルムの剥離が生じた場合の吸着圧及び脱気圧の変化を示すグラフである。図４は、樹脂封止金型の真空漏れが生じた場合の吸着圧及び脱気圧の変化を示すグラフである。

図３に示す前期Ｓ２において、リリースフィルムＲＦには、吸着圧と脱気圧との両方が印加されている。吸着圧に起因する力が脱気圧に起因する力よりも強いため、リリースフィルムＲＦは上型２２０に吸着されている。これに対し、局所的かつ一時的に脱気圧が吸着圧よりも優勢になった場合、リリースフィルムＲＦの一部が上型２２０から一時的に離間する。このとき、吸着圧及び脱気圧の単位期間当たりの変化量は、略同じタイミングで正に増加する。その後、一時的に離間したリリースフィルムＲＦが再び上型２２０に吸着される過程で、吸着圧及び脱気圧の単位期間当たりの変化量は、負に増加した後、０に漸近する。このように、リリースフィルムＲＦの異常が、閾値を超えるほど吸着圧及び脱気圧を変化させないものであったとしても、監視部１１０は、吸着圧及び脱気圧の単位期間当たりの変化量として検出できる。

図４に示す後期Ｓ３において、脱気ポンプを停止させた後、型開きしていないのに脱気圧が時間とともに上昇している。これは、樹脂封止金型２００における構成における経時的な変化が生じたときなど気密性が低下していることを示している。例えばシールリング２０３やその他の金型内に設けた気密保持用のパッキン等の劣化が発生し得る。このような樹脂封止金型２００の変化は徐々に進行するが、監視部１１０は、当該異常を脱気圧の単位期間当たりの変化量として、早期に検出できる。したがって、監視部１１０は、樹脂封止金型２００の劣化部分から侵入したエアが樹脂に抱き込まれてボイドなどを生じさせる前に、樹脂封止金型２００のメンテナンスが必要であることを判断し、警告を発することができる。

次に、図５を参照しつつ、樹脂封止金型２００の圧力監視方法を含む樹脂封止品の製造方法の一例について説明する。図５は、実施形態に係る樹脂封止品の製造方法を示すフローチャートである。

まず、吸着ポンプを始動させ（Ｓ１１）、吸着圧を検知する（Ｓ１２）。次に、脱気ポンプを始動させ（Ｓ１３）、脱気圧を検知する（Ｓ１４）。

次に、樹脂Ｐの硬化時間が経過するまで、すなわち均衡期Ｓ１の前期Ｓ２における吸着圧及び脱気圧の単位期間当たりの変化量を監視する。具体的には、まず、樹脂硬化時間が経過したか否かを判定する（Ｓ２１）。未経過の場合、吸着圧及び脱気圧のうち少なくとも一方の一期間の変化量が所定量を超えたか否かを判断する（Ｓ２２）。所定量を超えない場合は、樹脂Ｐの樹脂硬化時間が経過したか否かを判定する工程Ｓ２１に戻る。一期間の変化量が所定量を超えた場合、吸着圧及び脱気圧のうち少なくとも一方の次期間の変化量が所定量を超えたか否かを判定する（Ｓ２３）。所定量を超えない場合は、樹脂硬化時間が経過したか否かを判定する工程Ｓ２１に戻る。次期間の変化量が所定量を超えた場合、すなわち、吸着圧及び脱気圧のうち少なくとも一方の単位期間当たりの変化量が２回連続して所定量を超えた場合、エラーと判断する（Ｓ２４）。

工程Ｓ２１で樹脂硬化時間が経過したと判定した場合、脱気ポンプを停止させる（Ｓ３１）。次に、型開き時間が経過したか否かを判定する（Ｓ３２）。未経過の場合、吸着圧及び脱気圧のうち少なくとも一方の一期間の変化量が所定量を超えたか否かを判断する（Ｓ３３）。所定量を超えない場合は、型開き時間が経過したか否かを判定する工程Ｓ３２に戻る。一期間の変化量が所定量を超えた場合、吸着圧及び脱気圧のうち少なくとも一方の次期間の変化量が所定量を超えたか否かを判定する（Ｓ３４）。所定量を超えない場合は、型開き時間が経過したか否かを判定する工程Ｓ３２に戻る。次期間の変化量が所定量を超えた場合、すなわち、吸着圧及び脱気圧のうち少なくとも一方の単位期間当たりの変化量が２回連続して所定量を超えた場合、エラーと判断する（Ｓ３５）。

工程Ｓ２４及び工程Ｓ３５でエラーと判断した後のエラー処理は特に限定されるものではない。工程Ｓ２４の後のエラー処理では、例えば、樹脂封止装置１の運転を停止させてもよく、不良品の発生を警告するログを残して樹脂封止を続行してもよい。工程Ｓ３５の後のエラー処理では、例えば、樹脂封止金型２００のメンテナンスを要求してもよく、樹脂封止金型２００の劣化レベルを通知してもよい。

上記実施形態で説明した構成によれば、吸着圧及び脱気圧を監視する監視部１１０が、吸着圧及び脱気圧の単位期間当たりの変化量が０に漸近した均衡期Ｓ１において当該変化量が所定量を超えた場合にエラーと判断する。監視部１１０は、吸着圧及び脱気圧のうち少なくとも一方の単位期間当たりの変化量を監視しており、吸着圧及び脱気圧の両方の単位期間当たりの変化量を監視してもよい。これによれば、吸着圧又は脱気圧の微小な圧力変化を伴う不具合を検出することができる。例えば、リリースフィルムＲＦの一時的な樹脂封止金型２００からの離間を検出しリリースフィルムＲＦとワークＷとの接触を警告することで、ワークＷの素子特性が変動した不良品の流出を抑制できる。また、樹脂封止金型２００の劣化による真空漏れを検出しメンテナンスを促すことで、封止用の樹脂Ｐにエアが抱き込まれて発生するボイドを抑制できる。

監視部１１０は、吸着圧及び脱気圧の単位期間当たりの変化量が２回連続して所定量を超えた場合にエラーと判断する。特に、減圧期の変化量を負とした場合、正の変化量が２回以上連続して所定量を超えた場合にエラーと判断する。これによれば、誤判断を低減し、監視精度が向上する。

監視部１１０は、吸着圧及び脱気圧の少なくとも一方に閾値を設定し、閾値を超えた場合にエラーと判断してもよい。また、監視部１１０による吸着圧及び脱気圧の単位期間当たりの変化量の監視は、吸着圧及び脱気圧が監視圧力以下である場合に実施するものとしてもよく、当該監視圧力は吸着圧又は脱気圧の閾値であってもよい。これによれば、監視部１１０は、閾値以下の微細な圧力変化であっても異常を検出できる。

監視部１１０がキャビティ２０１の脱気中における吸着圧の単位期間当たりの変化量を監視することで、リリースフィルムＲＦの局所的かつ一時的な樹脂封止金型２００からの離間を検出できる。

監視部１１０がキャビティ２０１の脱気後における脱気圧の単位期間当たりの変化量を監視することで、樹脂封止金型２００の気密性の劣化について判断することができる。

以上説明したように、成形不良の発生を抑制できる圧力監視装置、樹脂封止装置、及び圧力監視方法が提供できる。

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。実施形態が備える各要素並びにその配置、材料、条件、形状及びサイズ等は、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、異なる実施形態で示した構成同士を部分的に置換し又は組み合わせることが可能である。

１…樹脂封止装置、１００…圧力監視装置、１１０…監視部、１１１，１１２，１２１，１２２…圧力計、１３０…制御部、２００…樹脂封止金型、２１０…下型、２２０…上型、３１１，３１２，３２１，３２２…排気孔、４１１，４１２，４２１，４２２…真空ポンプ。

Claims (10)

1. 一方の金型及び他方の金型を有する樹脂封止金型からの排気圧を監視する、前記樹脂封止金型の圧力監視装置であって、
   前記樹脂封止金型の一方の金型に設けられたキャビティにリリースフィルムを吸着させる排気孔の吸着圧を検知する吸着圧力センサと、
   前記樹脂封止金型の他方の金型に設けられた前記キャビティを脱気する排気孔の脱気圧を検知する脱気圧力センサと、
   前記吸着圧力センサ及び前記脱気圧力センサに接続された監視部と、
   を備え、
   前記監視部は、前記吸着圧及び前記脱気圧の単位期間当たりの各変化量をそれぞれ監視し、前記各変化量が増大する減圧期の後であって前記各変化量が０に漸近した均衡期において前記吸着圧及び前記脱気圧のうち少なくとも一方の単位期間当たりの変化量が所定量を超えた場合にエラーと判断する、圧力監視装置。
2. 前記監視部は、前記吸着圧及び前記脱気圧のうち少なくとも一方の単位期間当たりの変化量が２回以上連続して所定量を超えた場合にエラーと判断する、
   請求項１に記載の圧力監視装置。
3. 前記監視部は、前記吸着圧及び前記脱気圧の少なくとも一方の圧力値が所定値を超えた場合にエラーと判断する、
   請求項１又は２に記載の圧力監視装置。
4. 前記監視部は、前記吸着圧及び前記脱気圧の少なくとも一方の圧力値が所定値以下において、前記吸着圧及び前記脱気圧の少なくとも一方の単位期間当たりの変化量を監視する、
   請求項３に記載の圧力監視装置。
5. 前記樹脂封止金型の一方の金型は上型であり、前記樹脂封止金型の他方の金型は下型である、
   請求項１から４のいずれか１項に記載の圧力監視装置。
6. 前記監視部は、前記キャビティの脱気中において前記吸着圧の単位期間当たりの変化量を監視する、
   請求項５に記載の圧力監視装置。
7. 前記監視部は、前記キャビティの脱気後において前記脱気圧の単位期間当たりの変化量を監視する、
   請求項５又は６に記載の圧力監視装置。
8. 請求項１から７のいずれか１項に記載の圧力監視装置と、
   前記樹脂封止金型と、
   前記樹脂封止金型の一方の金型に接続された吸着ポンプと、
   前記樹脂封止金型の他方の金型に接続された脱気ポンプと、
   前記吸着ポンプ及び前記脱気ポンプを制御する制御部と、
   を備える、樹脂封止装置。
9. 一方の金型及び他方の金型を有する樹脂封止金型からの排気圧を監視する、樹脂封止金型の圧力監視方法であって、
   前記樹脂封止金型の一方の金型に設けられたキャビティにリリースフィルムを吸着させる排気孔の吸着圧を検知することと、
   前記樹脂封止金型の他方の金型に設けられた前記キャビティ内のエアを排気する排気孔の脱気圧を検知することと、
   前記吸着圧及び前記脱気圧の単位期間当たりの各変化量をそれぞれ監視し、前記各変化量が増大する減圧期の後であって前記各変化量が０に漸近した均衡期において前記吸着圧及び前記脱気圧のうち少なくとも一方の単位期間当たりの変化量が所定量を超えた場合にエラーと判断することと、
   を含む、圧力監視方法。
10. 前記エラーと判断することは、前記吸着圧及び前記脱気圧のうち少なくとも一方の単位期間当たりの変化量が２回以上連続して所定量を超えた場合にエラーと判断する、
    請求項９に記載の圧力監視方法。