JP7430579B2 - パッケージおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施の形態1における水晶振動子900(電気的部品)の構成を概略的に示す平面図である。図2は、図1の線II-IIに沿う概略的な断面図である。図3は、水晶振動子900(図1)の製造方法における、水晶ブランク890(電気的素子)が実装された直後の構成を概略的に示す平面図である。図4は、図3の線IV-IVに沿う概略的な断面図である。
図22は、本実施の形態2におけるパッケージ702の構成を図10と同様の視野で概略的に示す部分平面図である。パッケージ701の形状を例示した図11においては第1楕円EP1が円として描かれているが、前述した実施の形態1でも述べたように第1楕円EP1は必ずしも円である必要はなく、本実施の形態においては第1楕円EP1は、円ではなく、よって長軸ALおよび短軸ASを有している。図示されているように、短軸ASを含む直線はキャビティCVに重なる一方で、長軸ALを含む直線はキャビティCVから離れていることが好ましい。さらに、短軸ASは、前述した仮想線IM(図11参照)と重なっていることが好ましい。
前述した実施の形態1においては、非金属部分510(図9および図10)がセラミックからなるが、本実施の形態3においては非金属部分510が樹脂からなる。図23は、本実施の形態3におけるパッケージの製造方法を概略的に示すフロー図である。図24を参照して、本実施の形態3においては、ステップST100において、ステップST150(図12)が行わることなくステップST160が行われる。その後、ステップST300の後のステップST400にて、第2穴HL2が樹脂で埋められることによって非金属部分510が形成される。なお、上記以外の構成については、上述した実施の形態1または2の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
図25は、本実施の形態4におけるパッケージ704の構成を水晶ブランク890と共に概略的に示す平面図である。図26は、図25の線XXVI-XXVIに沿う概略的な断面図である。
上述した実施の形態1に基づき、図27の写真に示すパッケージ701を作製した。このパッケージ701において、第1楕円EP1および第2楕円EP2(図11)は、直径60μmの円とした。よって、導体部分520の断面形状は、図11に示すように三日月形状であった。また、材料幅WD(図11)は、85μmとした。
110 :基板部分
120 :枠部分
211,212 :素子電極パッド
220 :中継電極
290 :突起部
301~304 :パッケージ電極パッド
401~403 :配線層
411~414 :ビア電極
500 :枠配線部
510 :非金属部分
520 :導体部分
600 :メタライズ層
701,702,704:パッケージ
890 :水晶ブランク
900 :水晶振動子
960 :ろう材
980 :蓋
991 :水晶振動子
Claims (10)
- キャビティが設けられたパッケージであって、
前記キャビティの底面をなす基板部分と、厚み方向において前記基板部分に積層され、前記基板部分に面する第1面と前記第1面と反対の第2面と前記キャビティを囲む第3面とを有する枠部分と、を含み、セラミックからなる基部と、
前記枠部分の前記第3面上に配置された枠配線部と、
を備え、前記枠配線部は、
前記第2面と同一平面上にある面を有する非金属部分と、
前記第1面と前記第2面とをつなぎ、前記非金属部分によって前記キャビティから隔てられた導体部分と、
を含み、前記導体部分は、前記厚み方向に垂直な面内方向において、仮想的な第1楕円の外周部に欠損部分を有する断面形状を有している、パッケージ。 - 前記非金属部分はセラミックからなる、請求項1に記載のパッケージ。
- 前記導体部分の前記欠損部分は、前記第1楕円に対して、仮想的な第2楕円が重なる部分である、請求項1または2に記載のパッケージ。
- 前記第2楕円は円である、請求項3に記載のパッケージ。
- 平面レイアウトにおいて、前記非金属部分の形状は、前記第2楕円の一部からなる凸部と、前記キャビティの角部をなす凹部と、によって構成される三日月形である、請求項3または4に記載のパッケージ。
- 前記第1楕円は円である、請求項1から5のいずれか1項に記載のパッケージ。
- 前記導体部分に電気的に接続され、前記基板部分中に設けられたビア電極をさらに備え、前記ビア電極は前記面内方向において、楕円の断面形状を有している、請求項1から6のいずれか1項に記載のパッケージ。
- キャビティが設けられたパッケージの製造方法であって、
前記キャビティの底面をなす基板部分と、厚み方向において前記基板部分に積層され、前記基板部分に面する第1面と前記第1面と反対の第2面と前記キャビティを囲む第3面とを有する枠部分と、を含み、セラミックからなる基部と、
前記枠部分の前記第3面上に配置された枠配線部と、
を備え、前記枠配線部は、
非金属部分と、
前記第1面と前記第2面とをつなぎ、前記非金属部分によって前記キャビティから隔てられた導体部分と、
を含み、前記導体部分は、前記厚み方向に垂直な面内方向において、仮想的な第1楕円の外周部に欠損部分を有する断面形状を有しており、前記欠損部分は、前記第1楕円に対して、仮想的な第2楕円が重なる部分であり、
前記製造方法は、
焼成されることによって前記枠部分となる部分を含むグリーンシートを形成する工程と、
前記グリーンシートに、前記第1楕円に対応する形状を有する第1穴を形成する工程と、
前記第1穴を導体ペーストで埋める工程と、
前記グリーンシートと、前記導体ペーストで埋められた前記第1穴と、にまたがり、前記第2楕円に対応する形状を有する第2穴を形成する工程と、
前記第2穴をセラミックペーストで埋める工程と、
を備える、パッケージの製造方法。 - 前記非金属部分は、前記第2面と同一平面上にある面を有している、請求項8に記載のパッケージの製造方法。
- 平面レイアウトにおいて、前記非金属部分の形状は、前記第2楕円の一部からなる凸部と、前記キャビティの角部をなす凹部と、によって構成される三日月形である、請求項8または9に記載のパッケージの製造方法。
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