JP7428564B2 - 半導体発光素子 - Google Patents
半導体発光素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7428564B2 JP7428564B2 JP2020054228A JP2020054228A JP7428564B2 JP 7428564 B2 JP7428564 B2 JP 7428564B2 JP 2020054228 A JP2020054228 A JP 2020054228A JP 2020054228 A JP2020054228 A JP 2020054228A JP 7428564 B2 JP7428564 B2 JP 7428564B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- recess
- layer
- sapphire substrate
- crystal growth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 64
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 45
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 45
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 45
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 33
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 109
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 24
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 11
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 3
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 3
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000002248 hydride vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Description
(半導体発光素子の構成)
図1は、本発明の一実施の形態に係る半導体発光素子の構成の一例を概略的に示す断面図である。なお、図1に示す各構成要素の厚さの比は、必ずしも実際の半導体発光素子の寸法比と一致するものではない。この半導体発光素子1(以下、単に「発光素子1」ともいう)には、例えば、レーザダイオードや発光ダイオード(Light Emitting Diode:LED)が含まれる。本実施の形態では、発光素子1として、中心波長が250nm~360nmの深紫外光を発する発光ダイオード(LED)を例に挙げて説明する。
図2は、サファイア基板10の表面の状態を模式的に示す図である。図2に示すように、サファイア基板10の結晶成長面10aは、サファイア基板10の基面10bに対して所定の大きさのオフ角θ1で傾斜するテラス幅Wの複数のテラス面Tが段差Sを介して連続した形状を備えている。オフ角θ1は、好ましくは、0.2°以上1.5°以下であり、より好ましくは、0.6°以上1.5°以下である。一例として、オフ角θ1が1.0°の場合、段差Sは、0.21nmであり、テラス幅Wは、12nmである。以下、表1にオフ角θ1及びテラス幅Wの例をまとめる。
バッファ層11は、AlNやAlGaNにより形成されている。バッファ層11は、凹部2の深さの2倍~150倍程度の厚みを有している。バッファ層11を平坦にするため、バッファ層11の厚みは、1.5μm以上4.5μm以下が好ましい。バッファ層11は、単層でも多層構造でもよい。
n型クラッド層12は、バッファ層11上に形成されている。n型クラッド層12は、n型のAlGaN(以下、単に「n型AlGaN」又は「n-AlGaN」ともいう)により形成された層であり、例えば、n型の不純物としてシリコン(Si)がドープされたAlGaN層である。なお、n型の不純物としては、ゲルマニウム(Ge)、セレン(Se)、テルル(Te)等を用いてもよい。n型クラッド層12は、1μm~4μm程度の厚みを有しており、好ましくは2μm以上3μm以下である。n型クラッド層12は、単層でもよく、多層構造でもよい。
発光層13は、n型クラッド層12上に形成されている。発光層13は、n型クラッド層12側からAlGaNやAlNからなる障壁層130、AlGaNやGaNからなる井戸層131とを交互に積層した層である。発光層13は、波長350nm以下の深紫外光を出力するためにバンドギャップが3.4eV以上となるように構成されている。なお、本実施の形態では、発光層13に障壁層130及び井戸層131を各3層ずつ設けた多重量子井戸構造としたが、障壁層130及び井戸層131は、必ずしも3層に限定されるものではなく、2層でもよく、4層以上でもよい。また、障壁層130及び井戸層131をそれぞれ1層ずつ設けた単一量子井戸構造でもよい。
p型半導体層14は、発光層13上に形成されている。p型半導体層14は、発光層13側からp型のAlGaNからなるp型クラッド層140、p型のAlGaNやGaNからなるp型コンタクト層141を有する。なお、p型クラッド層140は、必須の構成ではない。また、発光層13上にAlNやAlGaNからなる電子ブロック層を積層した後、p型半導体層14を積層してもよい。p型の不純物としてはマグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)、ベリリウム(Be)、カルシウム(Ca)、ストロンチウム(Sr)、バリウム(Ba)等を用いてよく、マグネシウム(Mg)を用いるのが好ましい。p型半導体層14は、10nmから1000nm程度の厚みを有しており、好ましくは30nm以上800nm以下である。
次に、発光素子1の製造方法について説明する。まず、サファイア基板10の結晶成長面10aに凹部2を形成する。以下、サファイア基板10の結晶成長面10aに凹部2を形成する一例を説明する。サファイア基板10の結晶成長面10aに、凹凸パターンに対応する形状を有するマスク(以下、「第1のマスク」ともいう。)を形成する。第1のマスクは、例えば、二酸化ケイ素(SiO2)で形成された膜を用いてよい。
サファイア基板10上の結晶成長面10aに、バッファ層11、n型クラッド層12、発光層13、p型クラッド層140、及びp型コンタクト層141を順に積層して、所定の直径(例えば、50mm程度)を有する略円板状のウエハを形成する。これらバッファ層11、n型クラッド層12、発光層13、p型クラッド層140、及びp型コンタクト層141は、有機金属化学気相成長法(Metal Organic Chemical Vapor Deposition:MOCVD)、分子線エピタキシ法(Molecular Beam Epitaxy:MBE)、ハイドライド気相エピタキシ法(Hydride Vapor Phase Epitaxy:HVPE)等の周知のエピタキシャル成長法を用いて形成してよい。
発明者らは、上述した製造方法を用いて、上述の実施の形態に係る3つの発光素子1(以下、「実施例1~3」ともいう。)を作製し、これら実施例1~3に係る発光素子1の光出力(μW)を測定した。光出力(μW)は、種々の公知の方法で測定することが可能であるが、本測定では、一例として、上述したp側電極15及びn側電極16及びの間に一定の電流(例えば、100mA)を流し、サファイア基板10の底面と対向するように設置した光検出器(不図示)により測定した。また、比較例として、上述した凹部2を有しないサファイア基板を備える発光素子の光出力を測定した。以下、表1に、比較例及び実施例1~3の測定データをまとめる。
次に、以上説明した実施の形態から把握される技術思想について、実施の形態における符号等を援用して記載する。ただし、以下の記載における各符号等は、特許請求の範囲における構成要素を実施の形態に具体的に示した部材等に限定するものではない。
前記サファイア基板(10)は、前記結晶成長面(10a)から厚み方向の内側に向かって開口寸法が徐々に小さくなる錐台状の複数の凹部(2)を前記結晶成長面(10a)に含み、
前記凹部(2)における底面(2b)に対する側面(2a)の傾斜角度(θ2)は、90°よりも大きく、かつ、120°以下で形成された構成を有し、
前記凹部(2)の深さ(H)は、前記n型半導体層(12)の膜厚をdとした場合に、25nm以上3/4×dnm以下である、
半導体発光素子(1)。
[2]前記複数の凹部(2)は、前記サファイア基板(10)の前記結晶成長面(10a)において、千鳥状に配置されている、
前記[1]に記載の半導体発光素子(1)。
[3]前記凹部(2)の開口形状は、円形である、
前記[1]又は[2]に記載の半導体発光素子(1)。
[4]前記サファイア基板(10)の前記結晶成長面(10a)は、オフ角を0.2°以上1.5°以下とした複数のテラス面(T)が段差(S)を介して連続した形状を備える、
前記[1]乃至[3]のいずれか1項に記載の半導体発光素子(1)。
10…サファイア基板
10a…結晶成長面
11…バッファ層
110…エアボイド
12…nクラッド層
13…発光層
14…p型半導体層
15…p側電極
16…n側電極
2…凹部
2a…側面
2b…底面
θ1…オフ角
θ2…テーパ角
Claims (4)
- サファイア基板と、前記サファイア基板上の結晶成長面上に形成されたn型半導体層、深紫外光を出射する発光層及びp型半導体層を含む半導体積層構造体と、を備える半導体発光素子であって、
前記サファイア基板は、前記結晶成長面から厚み方向の内側に向かって開口寸法が徐々に小さくなる錐台状の複数の凹部を前記結晶成長面に含み、
前記凹部における底面に対する側面の傾斜角度は、90°よりも大きく、かつ、120°以下で形成された構成を有し、
前記凹部の深さは、前記n型半導体層の膜厚をdとした場合に、25nm以上3/4×dnm以下であり、
前記凹部の開口形状は、円形であり、
前記凹部の側面における前記厚み方向に平行な断面形状は、直線状であり、
前記半導体積層構造体における前記結晶成長面側の面は、前記結晶成長面の凹凸形状に沿うよう形成されている、
半導体発光素子。 - 前記複数の凹部は、前記サファイア基板の前記結晶成長面において、千鳥状に配置されている、
請求項1に記載の半導体発光素子。 - 前記発光層の発光波長は、250nm~350nmであり、
前記発光層から発される光における前記半導体積層構造体の屈折率は、2.3~2.5である、
請求項1又は2に記載の半導体発光素子。 - 前記サファイア基板の前記結晶成長面は、オフ角を0.2°以上1.5°以下とした複数のテラス面が段差を介して連続した形状を備える、
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体発光素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020054228A JP7428564B2 (ja) | 2020-03-25 | 2020-03-25 | 半導体発光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020054228A JP7428564B2 (ja) | 2020-03-25 | 2020-03-25 | 半導体発光素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021158140A JP2021158140A (ja) | 2021-10-07 |
JP7428564B2 true JP7428564B2 (ja) | 2024-02-06 |
Family
ID=77918782
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020054228A Active JP7428564B2 (ja) | 2020-03-25 | 2020-03-25 | 半導体発光素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7428564B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001060719A (ja) | 1999-08-19 | 2001-03-06 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体発光ダイオード |
JP2003318441A (ja) | 2001-07-24 | 2003-11-07 | Nichia Chem Ind Ltd | 半導体発光素子 |
JP2005101566A (ja) | 2003-08-19 | 2005-04-14 | Nichia Chem Ind Ltd | 半導体素子、発光素子及びその基板の製造方法 |
JP2019040980A (ja) | 2017-08-24 | 2019-03-14 | 日機装株式会社 | 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法 |
JP2020001944A (ja) | 2018-06-26 | 2020-01-09 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化アルミニウム膜の形成方法 |
-
2020
- 2020-03-25 JP JP2020054228A patent/JP7428564B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001060719A (ja) | 1999-08-19 | 2001-03-06 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体発光ダイオード |
JP2003318441A (ja) | 2001-07-24 | 2003-11-07 | Nichia Chem Ind Ltd | 半導体発光素子 |
JP2005101566A (ja) | 2003-08-19 | 2005-04-14 | Nichia Chem Ind Ltd | 半導体素子、発光素子及びその基板の製造方法 |
JP2019040980A (ja) | 2017-08-24 | 2019-03-14 | 日機装株式会社 | 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法 |
JP2020001944A (ja) | 2018-06-26 | 2020-01-09 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化アルミニウム膜の形成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021158140A (ja) | 2021-10-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7015516B2 (en) | Led packages having improved light extraction | |
JP2016105495A (ja) | 発光ダイオード及びそれを製造する方法 | |
US10355168B2 (en) | Light-emitting device with patterned substrate | |
US20130193448A1 (en) | Patterned substrate and stacked light emitting diode | |
US11658264B2 (en) | Light emitting device having a substrate with a pattern of protrusions and manufacturing method thereof | |
CN110416377B (zh) | 发光元件 | |
JP2005268734A (ja) | 発光ダイオードおよびその製造方法 | |
US9306120B2 (en) | High efficiency light emitting diode | |
TWI697076B (zh) | 發光元件及其製造方法 | |
JP7428564B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP7390258B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JPWO2011105557A1 (ja) | 半導体成長用基板および発光素子 | |
TWI446575B (zh) | 光電半導體晶片及其製造方法 | |
WO2023282178A1 (ja) | 半導体発光素子、車両用灯具、および半導体発光素子の製造方法 | |
KR20060134490A (ko) | 플립 칩 질화물반도체 발광 다이오드 및 그의 제조 방법 | |
JP7411853B2 (ja) | 放射放出半導体チップを製造するための方法、および放射放出半導体チップ | |
JP5404808B2 (ja) | 発光素子 | |
WO2023233541A1 (en) | Surface emitting laser, method for fabricating surface emitting laser | |
KR20240024292A (ko) | 방사선 방출 반도체 칩을 제조하기 위한 방법, 및 방사선 방출 반도체 칩 | |
JP2024050867A (ja) | 発光装置 | |
KR20200042316A (ko) | 발광 소자 및 이의 제조 방법 | |
TW202243273A (zh) | 發光元件 | |
TW201415658A (zh) | 半導體元件層及其製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221004 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230627 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230822 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230905 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231031 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231114 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240123 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240125 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7428564 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |