JP7421987B2 - レーザ装置 - Google Patents
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Description
本発明の一実施形態に係るレーザ装置1について、図1を参照して説明する。図1は、レーザ装置1の平面図である。図1においては、蓋を外したレーザ装置1を上面視した様子を示している。以下の説明においては、x軸、y軸、及びz軸を図1に示すように取った座標系を適宜用いる。
以上のように、本実施形態に係るレーザ装置1は、少なくとも1つの半導体レーザ素子LD1と、半導体レーザ素子LD1から出力された波長λ1のレーザ光に作用する波長変換素子Wと、波長変換素子Wから出力された波長λ1のレーザ光及び波長λ2のレーザ光が入射する光ファイバと、を備えている。上記の構成によれば、半導体レーザ素子LDiから出力されるレーザ光の波長λ1(発振波長、又は、ロック波長)よりも短い波長λ2のレーザ光を光ファイバOFから出力して金属加工等に利用することができる。しかも、波長λ2のレーザ光のみならず、波長λ1のレーザ光も光ファイバOFに入射させているので、波長変換素子Wの変換効率が低い場合でも、十分なパワーのレーザ光を光ファイバOFから出力して金属加工等に利用することができる。
本実施形態に係るレーザ装置1においては、半導体レーザ素子群LDから出力された波長λ1のレーザ光を空間合成する構成が採用されている。しかしながら、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、半導体レーサ素子群から出力されたレーザ光を偏波合成する構成を採用することもできる。
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
LD 半導体レーザ素子群
LD1~LD8 半導体レーザ素子
C1 コリメートレンズ群
C11~C18 コリメートレンズ
M1 ミラー群
S 波長安定化素子
L1 集光レンズ
M2 ミラー
F フィルタ素子
M3 ミラー
W 波長変換素子
C2 コリメートレンズ
L2 集光レンズ
H 加工ヘッド
B1 第1筐体
B2 第2筐体
LM1 第1レーザモジュール
LM2 第2レーザモジュール
Claims (11)
- 少なくとも1つの半導体レーザ素子と、
前記半導体レーザ素子から出力された波長λ1のレーザ光に作用する波長変換素子と、
前記波長変換素子から出力された波長λ1のレーザ光及び波長λ2(λ2<λ1)のレーザ光が入射する光ファイバと、
前記少なくとも1つの半導体レーザ素子が収容された第1筐体と、
前記波長変換素子が収容され、前記光ファイバが引き込まれた第2筐体と、
波長λ1のレーザ光を透過し、且つ、波長λ2のレーザ光を遮断するフィルタ素子であって、前記第1筐体と前記第2筐体とを連通させる開口部を塞ぐように配置されたフィルタ素子と、を備えている、
ことを特徴とするレーザ装置。 - 前記第1筐体と前記第2筐体とは、分離可能に構成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ装置。 - 前記波長変換素子の内部に集光点が形成されるように、波長λ1のレーザ光を集光する集光レンズを更に備えている、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のレーザ装置。 - 前記波長変換素子は、非臨界位相整合条件を満たすように配置された複屈折結晶により構成されている、
ことを特徴とする請求項1~3の何れか一項に記載のレーザ装置。 - 前記波長変換素子は、擬似位相整合素子により構成されている、
ことを特徴とする請求項1~3の何れか一項に記載のレーザ装置。 - 波長λ2は、500nm以下である、
ことを特徴とする請求項1~5の何れか一項に記載のレーザ装置。 - 波長λ1は、800nm以上1000nm以下である、
ことを特徴とする請求項1~6の何れか一項に記載のレーザ装置。 - 複数の半導体レーザ素子を備えており、
前記複数の半導体レーザ素子から出力されたレーザ光を空間合成又は偏波合成する、
ことを特徴とする請求項1~7の何れか一項に記載のレーザ装置。 - 前記光ファイバを導波された波長λ1のレーザ光及び波長λ2のレーザ光をワークに照射するための加工ヘッドを更に備えている、
ことを特徴とする請求項1~8の何れか一項に記載のレーザ装置。 - 第1筐体に少なくとも1つの半導体レーザ素子が収容された他のレーザモジュールと併用されるレーザモジュールであって、
前記半導体レーザ素子から出力された波長λ1のレーザ光に作用する波長変換素子と、
前記波長変換素子から出力された波長λ1のレーザ光及び波長λ2(λ2<λ1)のレーザ光が入射する光ファイバと、
前記波長変換素子が収容され、前記光ファイバが引き込まれた第2筐体と、
波長λ1のレーザ光を透過し、且つ、波長λ2のレーザ光を遮断するフィルタ素子であって、前記第1筐体と前記第2筐体とを連通させる開口部を塞ぐように配置されたフィルタ素子と、を備えている、
ことを特徴とするレーザモジュール。 - 請求項10に記載のレーザモジュールと併用されるレーザモジュールであって、
前記第1筐体と、前記半導体レーザ素子と、を備えている、
ことを特徴とするレーザモジュール。
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