JP7417774B1 - 成形型、樹脂成形装置、及び、樹脂成形品の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】低コスト化を図ることが可能な成形型を提供する。【解決手段】一方の型と、離型フィルムが配置されるキャビティを有する他方の型と、を具備する成形型であって、前記他方の型は、主面部材と側面部材とを具備し、前記側面部材は、前記一方の型に対向する第１対向面に形成され、前記離型フィルムを吸着する第１吸着部と、前記第１対向面において、前記第１吸着部よりも前記キャビティ側に形成され、前記離型フィルムを吸着する第２吸着部と、前記第１吸着部及び前記第２吸着部から空気を吸引するための吸引経路と、を具備し、前記吸引経路は、空気の流通方向一端側が吸引装置に接続されると共に、他端側が前記第１吸着部に接続される第１分岐経路、及び、前記第２吸着部に接続される第２分岐経路に分岐され、前記第２分岐経路における断面の最小断面積は、前記第１分岐経路における断面の最小断面積よりも小さい。【選択図】図６

Description

本発明は、成形型、樹脂成形装置、及び、樹脂成形品の製造方法の技術に関する。

特許文献１には、樹脂成形品を取り出し易くするために離型フィルムが設けられる成形型が開示されている。特許文献１に記載の成形型には、離型フィルムを吸着するための外周吸着溝、主吸着溝及び貫通穴が形成されている。具体的には、特許文献１に記載の成形型には、キャビティの外側に、離型フィルムを吸着保持可能な外周吸着溝及び主吸着溝が形成されている。また特許文献１に記載の成形型には、キャビティの内側（周面部材と底面部材との間）に、離型フィルムを吸着保持可能な貫通穴が形成されている。前記成形型の外周吸着溝、主吸着溝及び貫通穴にはそれぞれ開閉弁を介して真空ポンプが接続され、それぞれ独立して吸引を行うことができるように構成されている。

このように構成された成形型において、まず最も外側に形成された外周吸着溝により離型フィルムが吸着され、離型フィルムが成形型の表面に固定される。次に、外周吸着溝よりも内側に形成された主吸着溝により離型フィルムが吸着され、離型フィルムに張力が加えられる。その後、キャビティの内側に形成された貫通穴により離型フィルムが吸着されることで、離型フィルムがキャビティの形状に沿って吸着される。このように段階的に離型フィルムの吸着を行うことにより、離型フィルムにしわやたるみが発生することを防止することができる。

特開２０１７－３５８３２号公報

ここで、特許文献１に記載のように複数の吸着溝等で離型フィルムを段階的に吸着することが可能な成形型においては、段階的に吸引するために開閉弁などの多くの部品が必要であり、コストがかさむ。

本発明は以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、低コスト化を図ることが可能な成形型、樹脂成形装置、及び、樹脂成形品の製造方法を提供することである。

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、この課題を解決するため、本発明に係る成形型は、一方の型と、前記一方の型に対向して配置され、離型フィルムが配置されるキャビティを有する他方の型と、を具備する成形型であって、前記他方の型は、前記キャビティの主面を形成する主面部材と、前記キャビティの側面を形成する側面部材と、を具備し、前記側面部材は、前記一方の型に対向する第１対向面に形成され、前記離型フィルムを吸着する第１吸着部と、前記第１対向面において、前記第１吸着部よりも前記キャビティ側に形成され、前記離型フィルムを吸着する第２吸着部と、前記第１吸着部及び前記第２吸着部から空気を吸引するための吸引経路と、を具備し、前記吸引経路は、空気の流通方向一端側が吸引装置に接続されると共に、空気の流通方向他端側が前記第１吸着部に接続される第１分岐経路、及び、前記第２吸着部に接続される第２分岐経路に分岐され、前記第２分岐経路における空気の流通方向に対して直交する断面の最小断面積は、前記第１分岐経路における空気の流通方向に対して直交する断面の最小断面積よりも小さいものである。

また、本発明に係る樹脂成形装置は、前記成形型を具備するものである。

また、本発明に係る樹脂成形品の製造方法は、前記樹脂成形装置を用いた樹脂成形品の製造方法であって、前記離型フィルムを前記他方の型に配置するフィルム配置工程と、前記離型フィルムが配置された前記他方の型を用いて樹脂成形を行う樹脂成形工程と、を含むものである。

本発明によれば、低コスト化を図ることができる。

第１実施形態に係る樹脂成形装置の全体的な構成を示した平面模式図。 成形モジュールの構成を示した側面模式図。 下型を示した平面図。 下型を示した正面断面図。 上側面部材を示した底面図。 下型を示した正面断面図の一部を拡大した図。 空気の吸引経路を示した正面断面図。 （ａ）第１吸着部が離型フィルムを吸着する様子を示した断面図。（ｂ）第２吸着部が離型フィルムを吸着する様子を示した断面図。（ｃ）第３吸着部が離型フィルムを吸着する様子を示した断面図。 第２実施形態に係る下型を示した正面断面図。 第３実施形態に係る下型を示した平面図。 （ａ）第４実施形態に係る下型を示した正面断面図。（ｂ）第５実施形態に係る下型を示した正面断面図。

＜樹脂成形装置１の全体構成＞
まず図１を用いて、本発明の第１実施形態に係る樹脂成形装置１について説明する。なお、図１を用いた説明では、図中に示した矢印Ｘ及びＹを用いて方向を定義する。樹脂成形装置１は、封止前基板Ｗ１を樹脂封止し、樹脂成形品（封止済基板Ｗ２）を製造するものである。なお、本実施形態では、樹脂封止される前の基板を封止前基板Ｗ１、樹脂封止された後の基板を封止済基板Ｗ２とそれぞれ称している。また本実施形態では、圧縮成形法によって樹脂成形を行う樹脂成形装置１を例示している。

樹脂成形装置１は、構成要素として、基板供給・収納モジュール１０、成形モジュール２０及び材料供給モジュール３０を具備する。各構成要素は、他の構成要素に対して着脱可能かつ交換可能である。

基板供給・収納モジュール１０は、封止前基板Ｗ１を成形モジュール２０へと供給し、成形モジュール２０から受け取った封止済基板Ｗ２を収納するものである。なお、封止前基板Ｗ１としては、リードフレームをはじめとして、その他種々の基板（ガラスエポキシ製基板、セラミック製基板、樹脂製基板、金属製基板）を用いることが可能である。基板供給・収納モジュール１０は、主として封止前基板供給部１１、封止済基板収納部１２、基板載置部１３及び基板搬送機構１４を具備する。

基板載置部１３は、封止前基板供給部１１、封止済基板収納部１２及び基板搬送機構１４との間で、封止前基板Ｗ１及び封止済基板Ｗ２の受け渡しを適宜行うものである。基板載置部１３は、基板供給・収納モジュール１０内において、Ｙ方向に移動することができる。封止前基板供給部１１は、基板載置部１３へと封止前基板Ｗ１を供給することができる。封止済基板収納部１２は、基板載置部１３から受け取った封止済基板Ｗ２を収納することができる。基板搬送機構１４は、基板供給・収納モジュール１０及び成形モジュール２０内をＸ方向及びＹ方向に移動することができる。基板搬送機構１４は、封止前基板Ｗ１及び封止済基板Ｗ２を、基板供給・収納モジュール１０及び成形モジュール２０に亘って適宜搬送することができる。

成形モジュール２０は、樹脂成形を行うものである。本実施形態では、３つの成形モジュール２０が設けられた樹脂成形装置１を例示しているが、成形モジュール２０の個数は３つに限定するものではない。成形モジュール２０は、主として型締め機構１００及び成形型２００を具備する。

成形型２００は、上型２００Ｕ（図２等参照）と、上型２００Ｕに対して昇降可能な下型２００Ｄと、を具備する。なお、上型２００Ｕ及び下型２００Ｄは、それぞれ、本願の一方の型及び他方の型の実施の一形態である。下型２００Ｄには、樹脂成形品の形状に対応したキャビティＣが形成される。型締め機構１００は、下型２００Ｄを昇降させることで、成形型２００の型締め、及び、型開きを行うことができる。なお、成形モジュール２０のより具体的な構成については、後述する。

材料供給モジュール３０は、離型フィルムＦ及び樹脂材料を成形モジュール２０へと供給するものである。材料供給モジュール３０は、主として材料載置部３１、離型フィルム供給機構３２、樹脂材料収容部３３、樹脂材料投入機構３４及び材料搬送機構３５を具備する。

材料載置部３１は、離型フィルムＦ及び樹脂材料収容部３３を載置可能なものである。材料載置部３１は、材料供給モジュール３０内において、Ｘ方向及びＹ方向に移動することができる。離型フィルム供給機構３２は、材料載置部３１へと離型フィルムＦを供給することができる。

樹脂材料収容部３３は、略枠状の形状であり、材料載置部３１へ供給された離型フィルムＦと一体となって、樹脂材料投入機構３４から供給される樹脂材料を収容することができる。材料搬送機構３５は、材料供給モジュール３０及び成形モジュール２０内をＸ方向及びＹ方向に移動することができる。材料搬送機構３５は、一体となった離型フィルムＦ及び樹脂材料収容部３３を、樹脂材料と共に成形モジュール２０へ搬送することができる。

＜樹脂成形装置１を用いた樹脂成形方法＞
以下では、上述の如く構成された樹脂成形装置１による樹脂成形方法の一例について説明する。

本実施形態に係る樹脂成形品の製造方法は、主として基板搬入工程、フィルム配置工程、型締め工程、樹脂成形工程、型開き工程及び搬出工程を含む。以下、順に説明する。

まず、基板搬入工程において、成形型２００に封止前基板Ｗ１が搬入される。具体的には、基板搬入工程において、封止前基板供給部１１から基板載置部１３へと封止前基板Ｗ１が供給される。基板搬送機構１４は、基板載置部１３に載置された封止前基板Ｗ１を受け取り、成形モジュール２０の成形型２００へと搬送する。

次に、フィルム配置工程において、成形型２００（下型２００Ｄ）に離型フィルムＦ及び樹脂材料が配置される。具体的には、フィルム配置工程において、離型フィルム供給機構３２から材料載置部３１へと離型フィルムＦが供給される。この際、材料載置部３１において、離型フィルムＦを適宜切断して所定の大きさにすることも可能である。材料載置部３１に載置された離型フィルムＦは、その上に載置された樹脂材料収容部３３と一体となって樹脂材料を収容可能な箱状を形成する。一体となった離型フィルムＦ及び樹脂材料収容部３３に、樹脂材料投入機構３４から樹脂材料が投入され、樹脂材料を収容した離型フィルムＦ及び樹脂材料収容部３３が材料載置部３１に載置される。材料搬送機構３５は、樹脂材料を収容した離型フィルムＦ及び樹脂材料収容部３３を受け取り、成形モジュール２０へと移動し、樹脂材料が収容された離型フィルムＦ及び樹脂材料収容部３３を成形型２００（下型２００Ｄ）に配置する。その後、後述のように、離型フィルムＦが下型２００Ｄに保持され、下型２００ＤのキャビティＣに樹脂材料が供給される。樹脂材料がキャビティＣに供給された後で、材料搬送機構３５によって樹脂材料収容部３３が成形型２００から搬出され、材料供給モジュール３０へと戻される。

次に、型締め工程において、成形型２００の型締めが行われる。具体的には、型締め工程において、下型２００Ｄに設けられた加熱機構（不図示）によって、キャビティＣ内に収容された樹脂材料が加熱される。次に、型締め機構１００が駆動されることで、下型２００Ｄが上型２００Ｕに向かって上昇する。下型２００Ｄが所定の位置まで上昇すると、下型２００Ｄの上面と上型２００Ｕの下面とが直接的に、又は、封止前基板Ｗ１を介して間接的に接触し、下型２００Ｄに形成されたキャビティＣが上型２００Ｕ又は封止前基板Ｗ１によって上方から塞がれる。この状態でさらに下型２００Ｄが押し上げられることで、下型２００Ｄに収容された樹脂材料が加圧される。

次に、樹脂成形工程において、樹脂材料が硬化されて樹脂成形が行われる。具体的には、樹脂成形工程において、樹脂材料を加圧した状態で所定時間待機する。これによって樹脂材料を硬化させて、封止前基板Ｗ１に対して樹脂成形を行い、樹脂成形品（封止済基板Ｗ２）を得ることができる。

次に、型開き工程において、成形型２００が開かれる。具体的には、型開き工程において、型締め機構１００が駆動されることで下型２００Ｄが上型２００Ｕから離れるように下降する。これによって成形型２００が開かれ、封止済基板Ｗ２を取り出すことができる状態となる。

次に、搬出工程において、樹脂成形品（封止済基板Ｗ２）が成形型２００から搬出される。具体的には、搬出工程において、基板搬送機構１４は成形型２００の封止済基板Ｗ２を受け取り、受け取った封止済基板Ｗ２を基板供給・収納モジュール１０の基板載置部１３へと受け渡す。封止済基板収納部１２は、基板載置部１３から封止済基板Ｗ２を受け取り、受け取った封止済基板Ｗ２を収納する。

このように樹脂成形装置１においては、成形モジュール２０に封止前基板Ｗ１、離型フィルムＦ及び樹脂材料等を供給し、樹脂成形を行うことができる。また複数の成形モジュール２０で並行して樹脂成形を行うことができ、効率的に樹脂成形品を製造することができる。なお、上述の樹脂成形装置１の各部の動作は、図示せぬ制御装置によって適宜制御することができる。

＜成形モジュール２０の構成＞
以下では、成形モジュール２０の具体的な構成について説明する。図２に示すように、成形モジュール２０は、主として型締め機構１００及び成形型２００等を具備する。

型締め機構１００は、下型２００Ｄを昇降させて型締め及び型開き等を行うものである。型締め機構１００は、主として基台１０１、支柱１０２、下型ベース部材１０３、上型ベース部材１０４及び駆動機構１０５等を具備する。

基台１０１は、成形型２００等を支持するものである。基台１０１には、複数の支柱１０２が固定される。複数の支柱１０２は、基台１０１から上方に延びるように設けられる。支柱１０２の上下中途部には、下型ベース部材１０３が上下に移動可能となるように設けられる。支柱１０２の上端部には、上型ベース部材１０４が固定される。なお、支柱１０２の代わりに、対向して配置される２枚の板状部材が設けられていてもよい。

駆動機構１０５は、下型２００Ｄを昇降させるためのものである。駆動機構１０５としては、ボールねじ機構、油圧シリンダ、トグル機構等を用いることができる。駆動機構１０５は、基台１０１と下型ベース部材１０３との間に配置される。駆動機構１０５は、基台１０１と下型ベース部材１０３との間で上下に伸縮することで、下型ベース部材１０３を上下に昇降させることができる。

成形型２００は、上型２００Ｕ及び下型２００Ｄから構成される。

上型２００Ｕは、適宜の上下方向の厚みを有する。上型２００Ｕの下面は、凹凸のない平面状に形成される。上型２００Ｕは、上型ベース部材１０４の底面に固定される。上型２００Ｕの下面には、基板（封止前基板Ｗ１及び封止済基板Ｗ２）を吸着可能な吸着孔（不図示）が適宜形成される。

図２及び図３に示すように、下型２００Ｄは、下型ベース部材１０３の上面に配置される。下型２００Ｄの上面は、上型２００Ｕの下面と上下方向に対向するように配置される。下型２００Ｄは、主として主面部材２１０及び側面部材２２０等を具備する。

主面部材２１０は、キャビティＣの主面を形成するものである。本実施形態では、主面部材２１０は下型２００Ｄであるため、主面は底面に相当する。主面部材２１０は、平面視矩形状に形成される。主面部材２１０は、適宜の上下方向の厚みを有するように形成される。主面部材２１０は、下型ベース部材１０３の上面に載せられた状態で配置される。

側面部材２２０は、キャビティＣの側面を形成し、主面部材２１０を側方から囲むものである。側面部材２２０は、適宜の上下方向の厚みを有するように形成される。側面部材２２０は、主として中空部２２１を具備する。

中空部２２１は、側面部材２２０の中央を上下に貫通するように形成される。中空部２２１は、平面視矩形状に形成される。中空部２２１は、平面視において、主面部材２１０の外形と概ね一致するような形状に形成される。

このように側面部材２２０は、平面視矩形状の枠状に形成される。側面部材２２０の中空部２２１には主面部材２１０が配置される。側面部材２２０は、弾性部材２２０ａを介して、下型ベース部材１０３の上面に載せられた状態で配置される。弾性部材２２０ａは、例えば上下に伸縮可能な圧縮コイルばね等により形成される。側面部材２２０の上面は、主面部材２１０の上面よりも上方に位置する。このように構成された主面部材２１０及び側面部材２２０に囲まれた部分（主面部材２１０の上方、かつ側面部材２２０の内側）が、樹脂成形を行うためのキャビティＣを形成する。

なお図４に示すように、本実施形態において、側面部材２２０は上下に分割されて形成されている。具体的には、側面部材２２０は、上型２００Ｕの下面と対向する面（上面）が形成された上側面部材２２２と、上側面部材２２２の下方（上側面部材２２２に対して、上側面部材２２２の上面とは反対側）に配置される下側面部材２２３と、に分割されている。上側面部材２２２の上面と下面は、平行となるように形成されている。なお、上側面部材２２２及び下側面部材２２３は、それぞれ、本願の第１側面部材及び第２側面部材の実施の一形態である。また、上側面部材２２２の上面及び下面は、それぞれ、本願の第１対向面及び第２対向面の実施の一形態である。なお、「平行」は、厳密な意味だけではなく、実質的な意味を含む。従って、上面及び下面がなす角度が０度ではない場合であっても、上面及び下面がなす角度が誤差の範囲内の値であるとき、上面及び下面は平行である。

このように構成された下型２００Ｄの上面には離型フィルムＦが配置され、配置された離型フィルムＦの上のキャビティＣに対応する部分には樹脂材料が供給されている。その後、離型フィルムＦが下型２００Ｄに吸着されることによって樹脂材料がキャビティＣ内に供給される。また、上型２００Ｕには封止前基板Ｗ１が吸着されて保持される。この状態で型締め機構１００によって上型２００Ｕと下型２００Ｄを型締めし、封止前基板Ｗ１に対して樹脂を圧縮成形し、封止済基板Ｗ２を得ることができる。

＜下型２００Ｄの構成＞
ここで、下型２００Ｄには、離型フィルムＦを吸着して保持するための吸着孔等が適宜形成される。以下では、離型フィルムＦを吸着するための下型２００Ｄの構造について、具体的に説明する。

図３から図６に示すように、下型２００Ｄには、離型フィルムＦを吸着するための第１吸着部２３２、環状凹部２３４、第２吸着部２３６、貫通孔２３８、連絡部２４０、吸引管部２４２、第３吸着部２４４及び吸引孔部２４６が設けられている。

第１吸着部２３２は、側面部材２２０の上面に離型フィルムＦを吸着するためのものである。第１吸着部２３２は、主として第１吸着孔部２３２ａを具備する。

第１吸着孔部２３２ａは、側面部材２２０（上側面部材２２２）の上面と、環状凹部２３４とを接続するように、上下方向に沿って形成される貫通孔である。第１吸着孔部２３２ａは、平面視円形状に形成される。第１吸着孔部２３２ａは、平面視においてキャビティＣの周囲を囲むように複数並べて形成される。複数の第１吸着孔部２３２ａは、平面視において、キャビティＣの形状に沿った矩形状に並ぶように形成される。第１吸着孔部２３２ａは、概ね等間隔に並べられる。

なお、第１吸着孔部２３２ａの形状は円形状に限るものではなく、任意の形状に形成することが可能である。また本実施形態では、隣接する第１吸着孔部２３２ａ同士の間隔が概ね一定となるように複数の第１吸着孔部２３２ａが形成されているが、複数の第１吸着孔部２３２ａの並べ方は等間隔な並べ方に限定されない。例えば、複数の第１吸着部２３２を不等間隔に形成することも可能である。また、例えば、側面部材２２０（上側面部材２２２）の上面に、複数の第１吸着孔部２３２ａを接続するような凹部（溝部）を形成することも可能である。

図４から図６に示す環状凹部２３４は、第１吸着孔部２３２ａと吸引管部２４２とを接続するものである。環状凹部２３４は、上側面部材２２２において、第１吸着孔部２３２ａの下方に形成される。環状凹部２３４は、上側面部材２２２の上下中途部から、上側面部材２２２の底面まで亘るように形成される。環状凹部２３４の上端部は、第１吸着孔部２３２ａに接続される。環状凹部２３４の下端部は、上側面部材２２２の底面において開放される。このようにして環状凹部２３４は、上側面部材２２２の底面から上方に向かって所定の深さを有する凹状に形成される。底面視において、環状凹部２３４の幅（環状凹部２３４が延びる方向に対して垂直な方向の長さ）は、第１吸着孔部２３２ａの直径よりも大きく形成されている。

環状凹部２３４は、途切れることなく中空部２２１（キャビティＣ）を囲むように形成される。すなわち環状凹部２３４は、底面視において端の無い環状に形成される。環状凹部２３４は、底面視において第１吸着孔部２３２ａに沿って延びるように形成される。これによって環状凹部２３４は、底面視略矩形状に形成される。なお、環状凹部２３４は、本願の環状部の実施の一形態である。

図３、図４及び図６に示す第２吸着部２３６は、側面部材２２０の上面に離型フィルムＦを吸着するためのものである。第２吸着部２３６は、主として凹状部２３６ａを具備する。

凹状部２３６ａは、側面部材２２０の上面、かつ、第１吸着部２３２よりもキャビティＣ側に形成された凹状の部分である。凹状部２３６ａは、キャビティＣの周囲に複数形成される。本実施形態では、凹状部２３６ａは、平面視において矩形状に形成されたキャビティＣの各辺に沿うように、４つ形成される。凹状部２３６ａは、キャビティＣの各辺に平行な直線状に形成される。なお、前述したように、「平行」は、厳密な意味だけではなく、実質的な意味も含む。４つの凹状部２３６ａは、互いに接続されないように、適宜の間隔を空けて形成される。凹状部２３６ａは、長手方向断面視において、中央に向かって下方に傾斜するようなＶ字状に形成される。

なお、凹状部２３６ａの形状は断面視Ｖ字状に限るものではなく、任意の形状に形成することが可能である。また本実施形態では、凹状部２３６ａがキャビティＣの各辺に沿うように４つ形成された例を示したが、凹状部２３６ａは任意の位置に任意の個数形成することが可能である。

図３から図６に示す貫通孔２３８は、凹状部２３６ａと連絡部２４０とを接続するものである。貫通孔２３８は上下方向に沿って形成される。貫通孔２３８は、平面視円形状に形成される。貫通孔２３８は、平面視において凹状部２３６ａの内側に形成される。貫通孔２３８は、各凹状部２３６ａに複数形成される。貫通孔２３８の上端部は、凹状部２３６ａに接続される。貫通孔２３８の下端部は、上側面部材２２２の底面において開放される。なお、貫通孔２３８は、本願の第２経路の実施の一形態である。

図４から図６に示す連絡部２４０は、環状凹部２３４と貫通孔２３８とを接続するものである。連絡部２４０は、上側面部材２２２の底面に凹状に形成される。連絡部２４０は、各貫通孔２３８から外側（キャビティＣとは反対側）に向かって延びるように形成される。これによって、連絡部２４０の一端部は貫通孔２３８の下端部に接続される。また連絡部２４０の他端部は環状凹部２３４の下端部に接続される。言い換えると、連絡部２４０は、環状凹部２３４から内側（主面部材２１０側）に向かって延びるように形成される。連絡部２４０は、長手方向（連絡部２４０が延びる方向）に沿った断面視において、略矩形状に形成される。連絡部２４０は、空気の流通経路を絞るように、空気の流通経路に垂直な面における断面積が比較的小さくなるように形成されている。具体的には、連絡部２４０の断面積は、貫通孔２３８の断面積よりも小さく形成されている。また連絡部２４０の断面積は、第１吸着孔部２３２ａの断面積よりも小さく形成されている。なお、連絡部２４０は、本願の第１経路の実施の一形態である。

吸引管部２４２は、第１吸着部２３２及び第２吸着部２３６から空気を吸引するためのものである。吸引管部２４２は、略円管状に形成される。吸引管部２４２は、長手方向を上下方向に向けた状態で、下側面部材２２３を上下に貫通するように配置される。吸引管部２４２の上端面は、下側面部材２２３の上面と同一位置（面一）となるように配置される。吸引管部２４２は、環状凹部２３４の下方に複数配置される。本実施形態では、図５に示すように、略矩形状に形成された環状凹部２３４の各辺に対応するように、吸引管部２４２を４つ配置した例を示している。このように吸引管部２４２を配置することにより、吸引管部２４２の上端部は、環状凹部２３４の下端部に接続される。

なお、本実施形態では、吸引管部２４２を下側面部材２２３に設けることで、空気の吸引経路を形成しているが、例えば吸引管部２４２に代えて、下側面部材２２３に貫通孔を形成することで空気の吸引経路を形成することも可能である。

図３、図４及び図６に示す第３吸着部２４４は、キャビティＣに離型フィルムＦを吸着するためのものである。第３吸着部２４４は、主面部材２１０の外側面と、側面部材２２０の内側面（中空部２２１）との間の隙間によって形成される。主面部材２１０と側面部材２２０との間には、平面視において主面部材２１０の全周に亘るように隙間が形成される。これによって第３吸着部２４４は、平面視においてキャビティＣを囲むような、端の無い環状に形成される。

図４及び図６に示す吸引孔部２４６は、第３吸着部２４４から空気を吸引するためのものである。吸引孔部２４６は、主面部材２１０に形成される。吸引孔部２４６の一端部は、主面部材２１０の外側面において開放される。吸引孔部２４６の他端部は、主面部材２１０の底面において開放される。吸引孔部２４６は、主面部材２１０に複数形成される。

図６に示すように、吸引管部２４２及び吸引孔部２４６には、適宜形成された空気の流通経路を介して真空ポンプ等の吸引装置２５０が接続される。吸引装置２５０と吸引管部２４２との間には、空気の流通の可否を切り替えることが可能な第１開閉弁２５２が設けられる。また吸引装置２５０と吸引孔部２４６との間には、空気の流通の可否を切り替えることが可能な第２開閉弁２５４が設けられる。吸引装置２５０を作動させて空気を吸引した状態で、第１開閉弁２５２及び第２開閉弁２５４をそれぞれ開閉させることにより、第１吸着部２３２、第２吸着部２３６及び第３吸着部２４４から任意に空気を吸引し、離型フィルムＦを吸着することができる。

＜吸引経路の構成＞
このように本実施形態では、吸引管部２４２を介して空気を吸引することによって、第１吸着部２３２及び第２吸着部２３６から空気を吸引して離型フィルムＦを吸着することができる。以下、吸引管部２４２を介する空気の吸引経路について説明する。

図６及び図７に示すように、第１開閉弁２５２が開放され、吸引管部２４２を介して空気が吸引されると、環状凹部２３４及び第１吸着部２３２（第１吸着孔部２３２ａ）を介して空気が吸引され、側面部材２２０の上面に離型フィルムＦを吸着することができる。また、吸引管部２４２を介して空気が吸引されると、環状凹部２３４の下端部に接続された連絡部２４０及び貫通孔２３８を介して空気が吸引され、第２吸着部２３６（凹状部２３６ａ）の上面に離型フィルムＦを吸着することができる。

以下では説明のため、図７に示すように、環状凹部２３４を介して吸引される空気と、連絡部２４０を介して吸引される空気とが合流する部分（言い換えると、吸引管部２４２からの空気の吸引経路が、環状凹部２３４と連絡部２４０とに分岐する部分）を分岐点Ｐと称する。本実施形態では、環状凹部２３４の下端部に連絡部２４０が接続されているため、環状凹部２３４の下端部（吸引管部２４２の上端部）が分岐点Ｐに相当する。

また、吸引装置２５０から分岐点Ｐまでの空気の吸引経路を、主経路Ｌと称する。また、分岐点Ｐから第１吸着部２３２（第１吸着孔部２３２ａ）の上端部までの空気の吸引経路を、第１分岐経路Ｌ１と称する。また、分岐点Ｐから貫通孔２３８の上端部までの空気の吸引経路を、第２分岐経路Ｌ２と称する。

ここで、第１分岐経路Ｌ１における空気の流通方向に対して直交する断面の断面積のうち、最小となる断面積を、以下では最小断面積Ａ１と称する。本実施形態においては、第１分岐経路Ｌ１は、環状凹部２３４と、環状凹部２３４に接続された複数の第１吸着孔部２３２ａ（図５等参照）により構成されている。すなわち第１分岐経路Ｌ１は、環状凹部２３４からさらに複数の第１吸着孔部２３２ａに分岐されている。このように第１分岐経路Ｌ１が分岐している場合には、分岐された各経路の断面積の総和を、第１分岐経路Ｌ１の断面積とする。本実施形態では、第１分岐経路Ｌ１の断面積のうち、第１吸着孔部２３２ａにおける断面積（複数の第１吸着孔部２３２ａの断面積の総和）が最小断面積Ａ１である。すなわち本実施形態では、「最小断面積Ａ１ ＝ 第１吸着孔部２３２ａの断面積 × 第１吸着孔部２３２ａの数」が成り立つ。なお図７には、説明の便宜上、１つの第１吸着孔部２３２ａを用いて最小断面積Ａ１を示しているが、実際には全ての第１吸着孔部２３２ａの断面積の総和が最小断面積Ａ１である。

なお、本実施形態では、第１分岐経路Ｌ１の断面積のうち、第１吸着孔部２３２ａにおける断面積が最小断面積Ａ１となるものとしたが、本発明の最小断面積Ａ１は、第１吸着孔部２３２ａの断面積に限らない。例えば、第１吸着孔部２３２ａの断面積の総和が環状凹部２３４の断面積よりも大きくなる場合には、環状凹部２３４の断面積が最小断面積Ａ１となる。すなわち、断面積が最小となる部位は第１分岐経路Ｌ１の形状に応じて定まるものであり、特に限定するものではない。

また、第２分岐経路Ｌ２における空気の流通方向に対して直交する断面の断面積のうち、最小となる断面積を、以下では最小断面積Ａ２と称する。本実施形態においては、第２分岐経路Ｌ２は、連絡部２４０と、貫通孔２３８により構成されている。連絡部２４０及び貫通孔２３８は、環状凹部２３４から複数分岐するように形成されているため（図５等参照）、第２分岐経路Ｌ２は複数形成されていることになる。このように第２分岐経路Ｌ２が複数形成されている場合には、複数の第２分岐経路Ｌ２の断面積の総和を、第２分岐経路Ｌ２の断面積とする。本実施形態では、第２分岐経路Ｌ２の断面積のうち、連絡部２４０における断面積（複数の連絡部２４０の断面積の総和）が最小断面積Ａ２である。すなわち本実施形態では、「最小断面積Ａ２ ＝ 連絡部２４０の断面積 × 連絡部２４０の数」が成り立つ。なお図７には、説明の便宜上、１つの連絡部２４０を用いて最小断面積Ａ２を示しているが、実際には全ての連絡部２４０の断面積の総和が最小断面積Ａ２である。

なお、本実施形態では、第２分岐経路Ｌ２の断面積のうち、連絡部２４０における断面積が最小断面積Ａ２となるものとしたが、本発明の最小断面積Ａ２は、第２分岐経路Ｌ２の断面積のうちの連絡部２４０における断面積に限らない。すなわち、第１分岐経路Ｌ１の最小断面積Ａ１と同様に、断面積が最小となる部位は第２分岐経路Ｌ２の形状に応じて定まるものであり、特に限定するものではない。

本実施形態では、第１分岐経路Ｌ１の最小断面積Ａ１よりも、第２分岐経路Ｌ２の最小断面積Ａ２の方が小さくなるように構成されている。すなわち、本実施形態では「最小断面積Ａ２ ＜ 最小断面積Ａ１」を満たすように、最小断面積Ａ１等が設定されている。このように構成することによって、第１分岐経路Ｌ１を流通する空気の流動抵抗より、第２分岐経路Ｌ２を流通する空気の流動抵抗の方が大きくなり、吸引管部２４２を介して空気を吸引した際に、第２分岐経路Ｌ２よりも第１分岐経路Ｌ１から優先的に空気が吸引されることになる。これによって本実施形態では、離型フィルムＦを段階的に側面部材２２０に吸着することができる。

＜離型フィルムＦの吸着＞
以下では図８等を用いて、フィルム配置工程において、上述のように構成された下型２００Ｄに離型フィルムＦが吸着される様子について説明する。なお、本実施形態では、実際は、前述のように離型フィルムＦの上に樹脂材料が載っているが、以下の図、説明では樹脂材料については省略している。

まず図８（ａ）に示すように、離型フィルムＦが下型２００Ｄ上に配置されると、吸引装置２５０（図６参照）が作動されると共に、第２開閉弁２５４は閉じられたまま、第１開閉弁２５２のみが開放される。これによって、吸引管部２４２（主経路Ｌ）を介する空気の吸引が行われる。

吸引管部２４２を介して空気が吸引されると、第１分岐経路Ｌ１及び第２分岐経路Ｌ２のうち、最小断面積が大きい第１分岐経路Ｌ１から優先的に空気が吸引される。特に本実施形態では、吸引管部２４２（主経路Ｌ）を介して吸引される空気の吸引経路の延長線上（吸引管部２４２の鉛直上方）に第１分岐経路Ｌ１が形成されているため、第２分岐経路Ｌ２よりも第１分岐経路Ｌ１から優先的に空気が吸引され易い。これによって、第１吸着孔部２３２ａを介して空気が吸引され、側面部材２２０の上面に離型フィルムＦが吸着される。

この状態でさらに吸引管部２４２（主経路Ｌ）を介する空気の吸引が継続されると、図８（ｂ）に示すように、第１分岐経路Ｌ１及び第２分岐経路Ｌ２のうち、最小断面積が小さい第２分岐経路Ｌ２からも空気が吸引される。特に第１吸着孔部２３２ａによって離型フィルムＦが吸着された後は、第１吸着孔部２３２ａが離型フィルムＦによって閉塞されることで、第２分岐経路Ｌ２に加わる吸引力（負圧）が高くなる。これによって、貫通孔２３８を介して空気が吸引され、凹状部２３６ａに離型フィルムＦが吸着される。このように本実施形態では、第１分岐経路Ｌ１を介する空気の吸引と、第２分岐経路Ｌ２を介する空気の吸引のタイミングをずらすことができる。凹状部２３６ａに離型フィルムＦを引き込むことで、離型フィルムＦを引き伸ばして、離型フィルムＦに張力を付与することができる。

次に図８（ｃ）に示すように、第１吸着部２３２及び第２吸着部２３６による空気の吸引が行われた状態で、第２開閉弁２５４（図６参照）が開放される。これによって、吸引孔部２４６を介する空気の吸引が行われる。吸引孔部２４６を介して空気が吸引されると、第３吸着部２４４から空気が吸引される。これによって、キャビティＣの内面に沿うように離型フィルムＦが吸着される。このように離型フィルムＦを引き込むことで、離型フィルムＦをさらに引き伸ばして、離型フィルムＦに張力を付与することができる。なお、実際は、このとき、離型フィルムＦと共に樹脂材料（不図示）がキャビティＣ内に供給される。

このように本実施形態では、第１吸着部２３２により離型フィルムＦを吸着した後で、第２吸着部２３６及び第３吸着部２４４による吸着を行うことで、離型フィルムＦに張力を付与している。ここで、本実施形態では共通の主経路Ｌを介して空気の吸引を行うことで、第１分岐経路Ｌ１及び第２分岐経路Ｌ２を介する空気の吸引を行うことができる。このように空気の吸引経路を共通化することで、吸引経路の省スペース化を図ることができる。吸引経路の省スペース化を図ることで、例えば第１吸着部２３２及び第２吸着部２３６をキャビティＣ側に寄せて形成し易くなる。これに伴って離型フィルムＦのサイズの小型化を図ることで、離型フィルムＦの使用量を削減することができ、樹脂成形品の製造コストの削減を図ることができる。また離型フィルムＦのサイズの小型化と吸引経路の省スペース化により、平面視からみた成形型２００の外郭（サイズ）を小さくすることが可能となり、材料コストの削減を図ることができる。

また、空気の吸引経路を共通化し、成形型のサイズを小さくすることで、吸引する（真空にする）空間の体積が小さくなるため、予め設定された真空度に到達するまでの時間が短くなり、型締め完了時までの空間からの脱気量が多くなるため、成形品質の向上を図ることができる。

また本実施形態では、第１分岐経路Ｌ１及び第２分岐経路Ｌ２の最小面積に差を設けることで、第１分岐経路Ｌ１と第２分岐経路Ｌ２を介する離型フィルムＦの吸着タイミングを異ならせている。これによって、第１分岐経路Ｌ１及び第２分岐経路Ｌ２のそれぞれに対して、空気の吸引を制御する機構（例えば、吸引管の加工や吸着配管、開閉弁等）を設ける必要がなくなるため、樹脂成形装置１の低コスト化を図ることができる。

以上、本発明の第１実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の技術的思想の範囲内で適宜の変更が可能である。

例えば、本実施形態で説明した樹脂成形装置１の各部の構成（形状、配置、個数等）は特に限定するものではなく、任意に変更することが可能である。

また、本実施形態では、上型２００Ｕに基板（封止前基板Ｗ１等）を吸着して保持するものとしたが、本発明はこれに限るものではない。例えば、下型２００Ｄで基板を保持する構成とすることも可能である。この場合、樹脂材料は、基板に直接供給することができる。

また、離型フィルムＦを吸着するための吸着孔（第１吸着孔部２３２ａ等）や空気の吸引経路の断面形状は特に限定するものではなく、円形状、矩形状、多角形状など、任意の形状に形成することが可能である。例えば、複数の貫通孔２３８を、環状凹部２３４と同様にキャビティＣを囲むような凹部で接続することも可能である。また、複数の貫通孔２３８の代わりに、キャビティＣを囲むような環状凹部（溝部）とすることも可能である。

また、本実施形態では、第１吸着部２３２及び第２吸着部２３６を、平面視においてキャビティＣの形状に沿った矩形状に並ぶように形成した例を示したが、本発明はこれに限るものではなく、任意の形状に並べて形成することが可能である。

また、本実施形態では、第１分岐経路Ｌ１と主経路Ｌとが平面視で上下に重複するように、吸引管部２４２を環状凹部２３４の下方に配置した例を示したが（図７参照）、本発明はこれに限るものではない。すなわち、第２分岐経路Ｌ２の最小断面積Ａ２が、第１分岐経路Ｌ１の最小断面積Ａ１よりも小さくなるように形成されていれば、主経路Ｌ、第１分岐経路Ｌ１及び第２分岐経路Ｌ２の形状や位置関係は特に限定するものではない。

また、本実施形態では、第１分岐経路Ｌ１及び第２分岐経路Ｌ２を上側面部材２２２に形成した例を示したが、本発明はこれに限るものではなく、第１分岐経路Ｌ１及び第２分岐経路Ｌ２の一部を下側面部材２２３に形成することも可能である。

また、本実施形態では、側面部材２２０を上下２つに（上側面部材２２２と下側面部材２２３とに）分割した例を示したが、本発明はこれに限るものではない。例えば、側面部材２２０を３つ以上に分割することや、分割することなく一体の部材として形成することも可能である。

また、本実施形態では、平面視矩形状の成形型２００を例に挙げて説明したが、成形型２００の形状はこれに限るものではなく、例えば平面視円形状など、任意の形状の成形型２００を用いることが可能である。

また、本実施形態で用いた離型フィルムＦの形状は特に限定するものではない。離型フィルムＦとして、例えば矩形状、円形状等の離型フィルムＦを用いることが可能である。また離型フィルムＦの形状は、成形型２００、キャビティＣ等の形状に応じて適宜選択することも可能である。

また、本実施形態で用いた離型フィルムＦの材質は特に限定するものではない。離型フィルムＦとして、例えば樹脂フィルム、金属箔、ゴムシート等、若しくは、これらを複合したものを用いることが可能である。

また、本実施形態では、樹脂材料は離型フィルムＦと共に下型２００Ｄに搬送される例を説明したが、本発明はこれに限るものではなく離型フィルムＦと樹脂材料とは別々に下型２００Ｄに搬送されることが可能である。

また、本実施形態では、離型フィルムＦを下型２００Ｄに吸着して保持させる例を説明したが、本発明はこれに限るものではなく、上型２００Ｕに離型フィルムＦを吸着して保持させることが可能である。

＜第２実施形態＞
以下では、図９を用いて、第２実施形態に係る下型２００Ｄについて説明する。

第２実施形態に係る下型２００Ｄは、第１実施形態に係る下型２００Ｄ（図７参照）とは異なる位置に連絡部２４０が形成されている点で、第１実施形態と異なっている。よって以下では主にこの相違点について説明し、その他の第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。

図９に示すように、第２実施形態に係る連絡部２４０は、上側面部材２２２の底面ではなく、上側面部材２２２の上下中途部に形成されている。例えば上側面部材２２２の外側面から環状凹部２３４を通過して貫通孔２３８に至るように穴を形成することで、このような位置に連絡部２４０を形成することができる。この場合、上側面部材２２２の外側面に形成される開口部を適宜の閉塞部材２４１によって閉塞することで、気密性を確保することができる。また第２実施形態では、貫通孔２３８の下端部は上側面部材２２２の底面まで形成する必要はなく、凹状部２３６ａから上側面部材２２２の上下中途部（連絡部２４０と接続される位置）まで形成されていればよい。

第２実施形態においては、環状凹部２３４の上下中途部（連絡部２４０と同じ高さの部分）が分岐点Ｐとなる。したがって、第２実施形態では、吸引装置２５０から環状凹部２３４の上下中途部（分岐点Ｐ）までの空気の吸引経路が主経路Ｌとなる。また、環状凹部２３４の上下中途部（分岐点Ｐ）から第１吸着部２３２（第１吸着孔部２３２ａ）の上端部までの空気の吸引経路が第１分岐経路Ｌ１となる。また、環状凹部２３４の上下中途部（分岐点Ｐ）から貫通孔２３８の上端部までの空気の吸引経路が第２分岐経路Ｌ２となる。

この場合でも、第１分岐経路Ｌ１の最小断面積Ａ１よりも、第２分岐経路Ｌ２の最小断面積Ａ２の方が小さくなるように構成されている。すなわち、「最小断面積Ａ２ ＜ 最小断面積Ａ１」を満たすように、最小断面積Ａ１等が設定されている。このように構成することによって、第１分岐経路Ｌ１を流通する空気の流動抵抗より、第２分岐経路Ｌ２を流通する空気の流動抵抗の方が大きくなり、吸引管部２４２を介して空気を吸引した際に、第２分岐経路Ｌ２よりも第１分岐経路Ｌ１から優先的に空気が吸引されることになる。これによって本実施形態では、離型フィルムＦを段階的に側面部材２２０に吸着することができる。

＜第３実施形態＞
以下では、図１０を用いて、第３実施形態に係る下型２００Ｄについて説明する。

第３実施形態に係る下型２００Ｄは、第１吸着部２３２の形状が第１実施形態（図３参照）と異なっている。よって以下では主にこの相違点について説明し、その他の第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。

図１０に示すように、第３実施形態に係る第１吸着部２３２は、第１吸着孔部２３２ａに加えて第２吸着孔部２３２ｂを具備している。第２吸着孔部２３２ｂは、第１吸着部２３２と同様に、側面部材２２０の上面と、環状凹部２３４とを接続するように、上下方向に沿って形成される貫通孔である。第２吸着孔部２３２ｂは、平面視において、１つの第１吸着孔部２３２ａから、その第１吸着孔部２３２ａと隣接する他の第１吸着孔部２３２ａまで延びるように形成される。このようにして第２吸着孔部２３２ｂは、隣接する第１吸着孔部２３２ａ同士を接続するように形成される。平面視における第２吸着孔部２３２ｂの幅（第２吸着孔部２３２ｂが隣接する第１吸着孔部２３２ａ同士を接続するために延びる方向に対して垂直な方向の長さである幅）は、概ね一定となるように形成される。第２吸着孔部２３２ｂの幅は、例えば離型フィルムＦの厚さの４倍以下になるように形成される。

第２吸着孔部２３２ｂの幅は、第１吸着孔部２３２ａの幅（第２吸着孔部２３２ｂが隣接する第１吸着孔部２３２ａ同士を接続するために延びる方向に対して垂直な方向における第１吸着孔部２３２ａの最大の長さ。本実施形態では、第１吸着孔部２３２ａの直径）よりも小さく形成されている。これによって、第１吸着孔部２３２ａは、第２吸着孔部２３２ｂに対して、第２吸着孔部２３２ｂの幅方向両側にそれぞれ突出するように形成されている。すなわち、第１吸着孔部２３２ａは、第２吸着孔部２３２ｂに対して、下型２００Ｄの内側（キャビティＣ側）、及び、外側（キャビティＣと反対側）に突出するように形成されている。

第１吸着孔部２３２ａ及び第２吸着孔部２３２ｂは、平面視において交互に連なるように形成される。また第１吸着孔部２３２ａ及び第２吸着孔部２３２ｂは、キャビティＣの周囲を囲むように形成される。本実施形態では、第１吸着孔部２３２ａ及び第２吸着孔部２３２ｂは、途切れることなくキャビティＣを囲むように形成される。すなわち、第１吸着孔部２３２ａ及び第２吸着孔部２３２ｂは、平面視において、端の無い環状に形成され、第１吸着孔部２３２ａ及び第２吸着孔部２３２ｂは、連続的に連なってキャビティＣの周り全体を囲んでいる。このように、側面部材２２０の上面に開口する第１吸着孔部２３２ａ及び第２吸着孔部２３２ｂによって、離型フィルムＦを吸着するための吸着孔が形成されている。

なお、上述のように、第１吸着孔部２３２ａ、第２吸着孔部２３２ｂ及び環状凹部２３４（図５参照）はキャビティＣの周囲を途切れることなく、連続的に連なって囲むように形成されている。このため上側面部材２２２は、第１吸着孔部２３２ａ等を挟んで、平面視において第１吸着孔部２３２ａ等よりも外側の部分（外側部材２２２ａ）と、内側の部分（内側部材２２２ｂ）と、に分離されている。

第３実施形態のように、第１吸着孔部２３２ａを第２吸着孔部２３２ｂで接続することにより、離型フィルムＦを吸着するための吸着孔の面積を広く確保することができる。これによって、第１分岐経路Ｌ１における最小断面積Ａ１（図７参照）を広くすることができる。第１分岐経路Ｌ１における最小断面積Ａ１を広くすることによって、第２分岐経路Ｌ２における最小断面積Ａ２との差を大きくすることができるため、第１分岐経路Ｌ１を介する空気の吸引と、第２分岐経路Ｌ２を介する空気の吸引のタイミングをより明確にずらすことができる。

また第３実施形態のように離型フィルムＦを吸着するための吸着孔の面積を広く確保することで、離型フィルムＦを強固に保持することができる。これによって、第２吸着部２３６や第３吸着部２４４によって離型フィルムＦを吸着した際に、離型フィルムＦの吸着不良（シワや、滑り等）の発生を防止することができ、離型フィルムＦの吸着不良に起因する樹脂成形品の成形不良や離型不良の発生を防止することができる。また第１吸着孔部２３２ａを、比較的幅の狭い第２吸着孔部２３２ｂで連結することで、比較的大きい吸着力で離型フィルムＦを吸着しながらも、離型フィルムＦが第１吸着孔部２３２ａに引き込まれるのを防止することができる。

＜第４、第５実施形態＞
以下では、図１１を用いて、第４実施形態及び第５実施形態に係る下型２００Ｄについて説明する。

第４実施形態及び第５実施形態に係る下型２００Ｄは、主経路Ｌ、第１分岐経路Ｌ１及び第２分岐経路Ｌ２の形状及び位置関係が、第１実施形態（図７参照）と異なっている。よって以下では主にこの相違点について説明し、その他の第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。

図１１（ａ）には、第４実施形態に係る下型２００Ｄを示している。図１１（ａ）に示すように、第４実施形態に係る吸引管部２４２は、環状凹部２３４の下方ではなく、貫通孔２３８の下方に配置されている。すなわち、吸引管部２４２の上端部は、貫通孔２３８の下端部と接続されている。また貫通孔２３８の下端部は、連絡部２４０を介して環状凹部２３４の下端部と接続されている。これによって、第４実施形態では、貫通孔２３８の下端部が分岐点Ｐとなる。

なお第４実施形態では、第１実施形態（図７参照）と比較して連絡部２４０の断面積が大きく形成され、第２分岐経路Ｌ２の最小断面積Ａ２が、第１分岐経路Ｌ１の最小断面積Ａ１よりも小さくなるように形成される。このように構成することで、吸引管部２４２から空気を吸引した際に、離型フィルムＦを第１吸着部２３２及び第２吸着部２３６で段階的に吸着することができる。

図１１（ｂ）には、第５実施形態に係る下型２００Ｄを示している。図１１（ｂ）に示すように、第５実施形態に係る吸引管部２４２は、環状凹部２３４及び貫通孔２３８からずれた位置に配置されている。吸引管部２４２の上端部は、上側面部材２２２の底面に形成された凹部２４８を介して環状凹部２３４の下端部と接続されている。さらに環状凹部２３４の下端部は、第１実施形態と同様に、連絡部２４０を介して貫通孔２３８の下端部と接続されている。これによって、第５実施形態では、環状凹部２３４の下端部が分岐点Ｐとなる。

第５実施形態では、第１実施形態（図７参照）と同様に、第２分岐経路Ｌ２の最小断面積Ａ２が、第１分岐経路Ｌ１の最小断面積Ａ１よりも小さくなるように形成される。このように構成することで、吸引管部２４２から空気を吸引した際に、離型フィルムＦを第１吸着部２３２及び第２吸着部２３６で段階的に吸着することができる。

＜付記＞
本開示の第１側面の成形型２００は、
上型２００Ｕ（一方の型）と、前記上型２００Ｕに対向して配置され、離型フィルムＦが配置されるキャビティＣを有する下型２００Ｄ（他方の型）と、を具備する成形型２００であって、
前記下型２００Ｄは、前記キャビティＣの主面を形成する主面部材２１０と、前記キャビティＣの側面を形成する側面部材２２０と、を具備し、
前記側面部材２２０は、
前記上型２００Ｕに対向する第１対向面に形成され、前記離型フィルムＦを吸着する第１吸着部２３２と、
前記第１対向面において、前記第１吸着部２３２よりも前記キャビティＣ側に形成され、前記離型フィルムＦを吸着する第２吸着部２３６と、
前記第１吸着部２３２及び前記第２吸着部２３６から空気を吸引するための吸引経路（主経路Ｌ、第１分岐経路Ｌ１及び第２分岐経路Ｌ２）と、
を具備し、
前記吸引経路は、
空気の流通方向一端側が吸引装置２５０に接続されると共に、空気の流通方向他端側が前記第１吸着部２３２に接続される第１分岐経路Ｌ１、及び、前記第２吸着部２３６に接続される第２分岐経路Ｌ２に分岐され、
前記第２分岐経路Ｌ２における空気の流通方向に対して直交する断面の最小断面積Ａ２は、前記第１分岐経路Ｌ１における空気の流通方向に対して直交する断面の最小断面積Ａ１よりも小さい。
本開示の第１側面の成形型２００によれば、低コスト化を図ることができる。すなわち、第１吸着部２３２及び第２吸着部２３６から空気を吸引するための吸引経路を共通化することで、吸引経路の省スペース化を図ることができる。吸引経路の省スペース化を図ることで、第１吸着部２３２及び第２吸着部２３６をキャビティＣ側に寄せて配置することができ、これに伴って離型フィルムＦのサイズの小型化を図ることができ、樹脂成形品の製造コストの削減を図ることができる。また、第１分岐経路Ｌ１と第２分岐経路Ｌ２の最小断面積の差によって、第１吸着部２３２と第２吸着部２３６による離型フィルムＦの吸着のタイミングを異ならせることができる。このため、吸着のタイミングを異ならせるための機構（例えば、吸引管の加工や吸着配管、開閉弁等）を設ける必要がなくなるため、樹脂成形装置１の低コスト化を図ることができる。

第１側面に従う第２側面の成形型２００において、
前記第２分岐経路Ｌ２は、
前記第１分岐経路Ｌ１との分岐点Ｐから、前記主面部材２１０側に延びる第１経路（連絡部２４０）と、
前記第１経路から、前記第１対向面へと延びる第２経路（貫通孔２３８）と、
を具備する。
本開示の第２側面の成形型２００によれば、第２分岐経路Ｌ２が屈曲するように形成することができ、第２分岐経路Ｌ２を流通する空気の流動抵抗を大きくすることができる。これによって、第１吸着部２３２と第２吸着部２３６による離型フィルムＦの吸着のタイミングを異ならせ易くすることができる。

第２側面に従う第３側面の成形型２００において、
前記側面部材２２０は、前記第１対向面が形成された上側面部材２２２（第１側面部材）と、前記上側面部材２２２に対して前記第１対向面とは反対側に配置された下側面部材２２３（第２側面部材）と、を含み、
前記第１経路（連絡部２４０）は、前記上側面部材２２２のうち、前記下側面部材２２３に対向する第２対向面に形成されている。
本開示の第３側面の成形型２００によれば、第１経路（連絡部２４０）を容易に形成することができ、成形型２００の低コスト化を図ることができる。

第１から第３側面に従う第４側面の成形型２００において、
前記第１分岐経路Ｌ１は、前記第１対向面に垂直な方向から見て、前記キャビティＣの周囲を連なって囲むように形成される環状凹部２３４（環状部）を具備する。
本開示の第４側面の成形型２００によれば、第１分岐経路Ｌ１を流通する空気の流動抵抗を小さくすることができる。これによって、第１吸着部２３２と第２吸着部２３６による離型フィルムＦの吸着のタイミングを異ならせ易くすることができる。

第４側面に従う第５側面の成形型２００において、
前記第２分岐経路Ｌ２は複数形成され、
複数の前記第２分岐経路Ｌ２は、前記環状凹部２３４にそれぞれ接続されている。
本開示の第５側面の成形型２００によれば、離型フィルムＦをより確実に吸着することができる。すなわち、第１分岐経路Ｌ１の最小断面積Ａ１に比べて第２分岐経路Ｌ２の最小断面積Ａ２が小さいため、第２分岐経路Ｌ２に塵挨等が詰まることが懸念されるが、第２分岐経路Ｌ２を複数形成することによって、いずれかの第２分岐経路Ｌ２に塵挨等が詰まったとしても、他の第２分岐経路Ｌ２によって離型フィルムＦの吸着を行うことができる。

第１から第５側面に従う第６側面の成形型２００において、
前記第１吸着部２３２は、複数の第１吸着孔部２３２ａと、隣接する前記第１吸着孔部２３２ａ同士を連結する第２吸着孔部２３２ｂと、を含み、
前記第１対向面において、前記第２吸着孔部２３２ｂが隣接する前記第１吸着孔部２３２ａ同士を連結するために延びる方向に垂直な方向における長さについて、前記第１吸着孔部２３２ａが、前記第２吸着孔部２３２ｂよりも大きい。
本開示の第６側面の成形型２００によれば、第１吸着部２３２の断面積を広く確保し易くなるため、第１吸着部２３２と第２吸着部２３６による離型フィルムＦの吸着のタイミングを異ならせ易くすることができる。また、第２吸着孔部２３２ｂによって離型フィルムＦが第１吸着孔部２３２ａに引き込まれるのを防止することができる。

第６側面に従う第７側面の成形型２００において、
前記第１吸着部２３２は、前記キャビティＣの周囲を連なって囲むように形成されている。
本開示の第７側面の成形型２００によれば、キャビティＣの全周に亘って離型フィルムＦを強固に保持することができる。これによって、離型フィルムＦの吸着不良を効果的に防止することができる。

本開示の第８側面の樹脂成形装置１は、
第１から第７側面までのいずれかの成形型２００を具備する。
本開示の第８側面の樹脂成形装置１によれば、低コスト化を図ることができる。

本開示の第９側面の樹脂成形品の製造方法は、
第８側面の樹脂成形装置１を用いた樹脂成形品の製造方法であって、
前記離型フィルムＦを前記下型２００Ｄに配置するフィルム配置工程と、
前記離型フィルムＦが配置された前記下型２００Ｄを用いて樹脂成形を行う樹脂成形工程と、
を含む。
本開示の第９側面の樹脂成形品の製造方法によれば、低コスト化を図ることができる。

１ 樹脂成形装置
２００ 成形型
２００Ｄ 下型
２００Ｕ 上型
２１０ 主面部材
２２０ 側面部材
２２２ 上側面部材
２２３ 下側面部材
２３２ 第１吸着部
２３２ａ 第１吸着孔部
２３２ｂ 第２吸着孔部
２３４ 環状凹部
２３６ 第２吸着部
２３８ 貫通孔
２４０ 連絡部
２５０ 吸引装置

Claims (9)

1. 一方の型と、前記一方の型に対向して配置され、離型フィルムが配置されるキャビティを有する他方の型と、を具備する成形型であって、
   前記他方の型は、前記キャビティの主面を形成する主面部材と、前記キャビティの側面を形成する側面部材と、を具備し、
   前記側面部材は、
   前記一方の型に対向する第１対向面に形成され、前記離型フィルムを吸着する第１吸着部と、
   前記第１対向面において、前記第１吸着部よりも前記キャビティ側に形成され、前記離型フィルムを吸着する第２吸着部と、
   前記第１吸着部及び前記第２吸着部から空気を吸引するための吸引経路と、
   を具備し、
   前記吸引経路は、
   空気の流通方向一端側が吸引装置に接続されると共に、空気の流通方向他端側が前記第１吸着部に接続される第１分岐経路、及び、前記第２吸着部に接続される第２分岐経路に分岐され、
   前記第２分岐経路における空気の流通方向に対して直交する断面の最小断面積は、前記第１分岐経路における空気の流通方向に対して直交する断面の最小断面積よりも小さい、
   成形型。
2. 前記第２分岐経路は、
   前記第１分岐経路との分岐点から、前記主面部材側に延びる第１経路と、
   前記第１経路から、前記第１対向面へと延びる第２経路と、
   を具備する、
   請求項１に記載の成形型。
3. 前記側面部材は、前記第１対向面が形成された第１側面部材と、前記第１側面部材に対して前記第１対向面とは反対側に配置された第２側面部材と、を含み、
   前記第１経路は、前記第１側面部材のうち、前記第２側面部材に対向する第２対向面に形成されている、
   請求項２に記載の成形型。
4. 前記第１分岐経路は、前記第１対向面に垂直な方向から見て、前記キャビティの周囲を連なって囲むように形成される環状部を具備する、
   請求項１に記載の成形型。
5. 前記第２分岐経路は複数形成され、
   複数の前記第２分岐経路は、前記環状部にそれぞれ接続されている、
   請求項４に記載の成形型。
6. 前記第１吸着部は、複数の第１吸着孔部と、隣接する前記第１吸着孔部同士を連結する第２吸着孔部と、を含み、
   前記第１対向面において、前記第２吸着孔部が隣接する前記第１吸着孔部同士を連結するために延びる方向に垂直な方向における長さについて、前記第１吸着孔部が、前記第２吸着孔部よりも大きい、
   請求項１に記載の成形型。
7. 前記第１吸着部は、前記キャビティの周囲を連なって囲むように形成されている、
   請求項６に記載の成形型。
8. 請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の成形型を具備する樹脂成形装置。
9. 請求項８に記載の樹脂成形装置を用いた樹脂成形品の製造方法であって、
   前記離型フィルムを前記他方の型に配置するフィルム配置工程と、
   前記離型フィルムが配置された前記他方の型を用いて樹脂成形を行う樹脂成形工程と、
   を含む、樹脂成形品の製造方法。

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