JP7417774B1 - Molding mold, resin molding equipment, and method for manufacturing resin molded products - Google Patents

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洋平 大西
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健 森田
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Abstract

【課題】低コスト化を図ることが可能な成形型を提供する。【解決手段】一方の型と、離型フィルムが配置されるキャビティを有する他方の型と、を具備する成形型であって、前記他方の型は、主面部材と側面部材とを具備し、前記側面部材は、前記一方の型に対向する第1対向面に形成され、前記離型フィルムを吸着する第1吸着部と、前記第1対向面において、前記第1吸着部よりも前記キャビティ側に形成され、前記離型フィルムを吸着する第2吸着部と、前記第1吸着部及び前記第2吸着部から空気を吸引するための吸引経路と、を具備し、前記吸引経路は、空気の流通方向一端側が吸引装置に接続されると共に、他端側が前記第1吸着部に接続される第1分岐経路、及び、前記第2吸着部に接続される第2分岐経路に分岐され、前記第2分岐経路における断面の最小断面積は、前記第1分岐経路における断面の最小断面積よりも小さい。【選択図】図6An object of the present invention is to provide a mold that can reduce costs. A molding mold comprising one mold and another mold having a cavity in which a release film is placed, the other mold comprising a main surface member and a side member, The side member is formed on a first opposing surface facing the one mold, and includes a first adsorbing portion that adsorbs the release film, and a first adsorbing portion that is closer to the cavity than the first adsorbing portion on the first opposing surface. a second adsorption section formed to adsorb the release film, and a suction path for sucking air from the first adsorption section and the second adsorption section, and the suction path is configured to absorb air. One end in the flow direction is connected to the suction device, and the other end is connected to the first suction section, and the second branch path is connected to the second suction section. The minimum cross-sectional area of the cross-section in the two-branch route is smaller than the minimum cross-sectional area of the cross-section in the first branch route. [Selection diagram] Figure 6

Description

本発明は、成形型、樹脂成形装置、及び、樹脂成形品の製造方法の技術に関する。 The present invention relates to a mold, a resin molding device, and a method for manufacturing a resin molded product.

特許文献1には、樹脂成形品を取り出し易くするために離型フィルムが設けられる成形型が開示されている。特許文献1に記載の成形型には、離型フィルムを吸着するための外周吸着溝、主吸着溝及び貫通穴が形成されている。具体的には、特許文献1に記載の成形型には、キャビティの外側に、離型フィルムを吸着保持可能な外周吸着溝及び主吸着溝が形成されている。また特許文献1に記載の成形型には、キャビティの内側(周面部材と底面部材との間)に、離型フィルムを吸着保持可能な貫通穴が形成されている。前記成形型の外周吸着溝、主吸着溝及び貫通穴にはそれぞれ開閉弁を介して真空ポンプが接続され、それぞれ独立して吸引を行うことができるように構成されている。 Patent Document 1 discloses a mold that is provided with a release film to make it easier to take out a resin molded product. The mold described in Patent Document 1 has an outer circumferential suction groove, a main suction groove, and a through hole for suctioning a release film. Specifically, in the mold described in Patent Document 1, an outer circumferential suction groove and a main suction groove that can suction and hold a release film are formed on the outside of the cavity. Further, in the mold described in Patent Document 1, a through hole capable of adsorbing and holding a release film is formed inside the cavity (between the peripheral surface member and the bottom surface member). Vacuum pumps are connected to the outer periphery suction groove, main suction groove, and through hole of the mold through on-off valves, respectively, so that suction can be performed independently.

このように構成された成形型において、まず最も外側に形成された外周吸着溝により離型フィルムが吸着され、離型フィルムが成形型の表面に固定される。次に、外周吸着溝よりも内側に形成された主吸着溝により離型フィルムが吸着され、離型フィルムに張力が加えられる。その後、キャビティの内側に形成された貫通穴により離型フィルムが吸着されることで、離型フィルムがキャビティの形状に沿って吸着される。このように段階的に離型フィルムの吸着を行うことにより、離型フィルムにしわやたるみが発生することを防止することができる。 In the mold configured in this manner, the release film is first attracted by the outer circumferential suction groove formed on the outermost side, and the release film is fixed to the surface of the mold. Next, the release film is adsorbed by the main adsorption groove formed inside the outer circumference adsorption groove, and tension is applied to the release film. Thereafter, the release film is attracted by the through hole formed inside the cavity, so that the release film is attracted along the shape of the cavity. By adsorbing the release film in stages in this way, it is possible to prevent wrinkles and sag from occurring in the release film.

特開2017-35832号公報JP 2017-35832 Publication

ここで、特許文献1に記載のように複数の吸着溝等で離型フィルムを段階的に吸着することが可能な成形型においては、段階的に吸引するために開閉弁などの多くの部品が必要であり、コストがかさむ。 Here, in a mold that can suction a release film in stages with multiple suction grooves, etc. as described in Patent Document 1, many parts such as on-off valves are required to suction in stages. necessary and costly.

本発明は以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、低コスト化を図ることが可能な成形型、樹脂成形装置、及び、樹脂成形品の製造方法を提供することである。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a mold, a resin molding device, and a method for manufacturing resin molded products that can reduce costs. It is to be.

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、この課題を解決するため、本発明に係る成形型は、一方の型と、前記一方の型に対向して配置され、離型フィルムが配置されるキャビティを有する他方の型と、を具備する成形型であって、前記他方の型は、前記キャビティの主面を形成する主面部材と、前記キャビティの側面を形成する側面部材と、を具備し、前記側面部材は、前記一方の型に対向する第1対向面に形成され、前記離型フィルムを吸着する第1吸着部と、前記第1対向面において、前記第1吸着部よりも前記キャビティ側に形成され、前記離型フィルムを吸着する第2吸着部と、前記第1吸着部及び前記第2吸着部から空気を吸引するための吸引経路と、を具備し、前記吸引経路は、空気の流通方向一端側が吸引装置に接続されると共に、空気の流通方向他端側が前記第1吸着部に接続される第1分岐経路、及び、前記第2吸着部に接続される第2分岐経路に分岐され、前記第2分岐経路における空気の流通方向に対して直交する断面の最小断面積は、前記第1分岐経路における空気の流通方向に対して直交する断面の最小断面積よりも小さいものである。 The problems to be solved by the present invention are as described above, and in order to solve this problem, a mold according to the present invention includes one mold, a mold that is arranged opposite to the one mold, and a mold release film. Another mold having a cavity arranged therein, the other mold having a main surface member forming a main surface of the cavity, a side member forming a side surface of the cavity, The side member includes a first adsorption portion formed on a first opposing surface facing the one mold and adsorbing the release film, and a first adsorption portion on the first opposing surface that is also formed on the cavity side, and includes a second adsorption section for adsorbing the release film, and a suction path for sucking air from the first adsorption section and the second suction section, and the suction path a first branch path whose one end in the air flow direction is connected to the suction device and whose other end in the air flow direction is connected to the first suction section; and a second branch path connected to the second suction section. The minimum cross-sectional area of a cross section perpendicular to the air flow direction in the second branch path that is branched into a branch path is greater than the minimum cross-sectional area of a cross section perpendicular to the air flow direction in the first branch path. It's small.

また、本発明に係る樹脂成形装置は、前記成形型を具備するものである。 Further, a resin molding apparatus according to the present invention includes the mold.

また、本発明に係る樹脂成形品の製造方法は、前記樹脂成形装置を用いた樹脂成形品の製造方法であって、前記離型フィルムを前記他方の型に配置するフィルム配置工程と、前記離型フィルムが配置された前記他方の型を用いて樹脂成形を行う樹脂成形工程と、を含むものである。 Further, the method for manufacturing a resin molded product according to the present invention is a method for manufacturing a resin molded product using the resin molding apparatus, comprising: a film placement step of placing the release film on the other mold; The method includes a resin molding step of performing resin molding using the other mold in which the mold film is arranged.

本発明によれば、低コスト化を図ることができる。 According to the present invention, cost reduction can be achieved.

第1実施形態に係る樹脂成形装置の全体的な構成を示した平面模式図。FIG. 1 is a schematic plan view showing the overall configuration of the resin molding apparatus according to the first embodiment. 成形モジュールの構成を示した側面模式図。FIG. 2 is a schematic side view showing the configuration of a molding module. 下型を示した平面図。A plan view showing the lower mold. 下型を示した正面断面図。Front sectional view showing the lower mold. 上側面部材を示した底面図。The bottom view which showed the upper side member. 下型を示した正面断面図の一部を拡大した図。A partially enlarged view of a front sectional view showing the lower mold. 空気の吸引経路を示した正面断面図。FIG. 3 is a front sectional view showing an air suction path. (a)第1吸着部が離型フィルムを吸着する様子を示した断面図。(b)第2吸着部が離型フィルムを吸着する様子を示した断面図。(c)第3吸着部が離型フィルムを吸着する様子を示した断面図。(a) A cross-sectional view showing how the first suction part suctions the release film. (b) A cross-sectional view showing how the second suction part suctions the release film. (c) A cross-sectional view showing how the third suction part suctions the release film. 第2実施形態に係る下型を示した正面断面図。FIG. 7 is a front sectional view showing a lower mold according to a second embodiment. 第3実施形態に係る下型を示した平面図。FIG. 7 is a plan view showing a lower mold according to a third embodiment. (a)第4実施形態に係る下型を示した正面断面図。(b)第5実施形態に係る下型を示した正面断面図。(a) A front sectional view showing a lower mold according to a fourth embodiment. (b) A front sectional view showing a lower mold according to a fifth embodiment.

<樹脂成形装置1の全体構成>
まず図1を用いて、本発明の第1実施形態に係る樹脂成形装置1について説明する。なお、図1を用いた説明では、図中に示した矢印X及びYを用いて方向を定義する。樹脂成形装置1は、封止前基板W1を樹脂封止し、樹脂成形品(封止済基板W2)を製造するものである。なお、本実施形態では、樹脂封止される前の基板を封止前基板W1、樹脂封止された後の基板を封止済基板W2とそれぞれ称している。また本実施形態では、圧縮成形法によって樹脂成形を行う樹脂成形装置1を例示している。
<Overall configuration of resin molding device 1>
First, a resin molding apparatus 1 according to a first embodiment of the present invention will be described using FIG. 1. Note that in the explanation using FIG. 1, directions are defined using arrows X and Y shown in the figure. The resin molding apparatus 1 seals a pre-sealed substrate W1 with resin to produce a resin molded product (sealed substrate W2). In this embodiment, the substrate before being sealed with resin is referred to as an unsealed substrate W1, and the substrate after being sealed with resin is referred to as a sealed substrate W2. Further, in this embodiment, a resin molding apparatus 1 that performs resin molding by a compression molding method is illustrated.

樹脂成形装置1は、構成要素として、基板供給・収納モジュール10、成形モジュール20及び材料供給モジュール30を具備する。各構成要素は、他の構成要素に対して着脱可能かつ交換可能である。 The resin molding apparatus 1 includes a substrate supply/storage module 10, a molding module 20, and a material supply module 30 as components. Each component is removable and replaceable with respect to other components.

基板供給・収納モジュール10は、封止前基板W1を成形モジュール20へと供給し、成形モジュール20から受け取った封止済基板W2を収納するものである。なお、封止前基板W1としては、リードフレームをはじめとして、その他種々の基板(ガラスエポキシ製基板、セラミック製基板、樹脂製基板、金属製基板)を用いることが可能である。基板供給・収納モジュール10は、主として封止前基板供給部11、封止済基板収納部12、基板載置部13及び基板搬送機構14を具備する。 The substrate supply/storage module 10 supplies the unsealed substrate W1 to the molding module 20 and stores the sealed substrate W2 received from the molding module 20. Note that as the pre-sealing substrate W1, it is possible to use a lead frame as well as various other substrates (glass epoxy substrate, ceramic substrate, resin substrate, metal substrate). The substrate supply/storage module 10 mainly includes an unsealed substrate supply section 11 , a sealed substrate storage section 12 , a substrate mounting section 13 , and a substrate transport mechanism 14 .

基板載置部13は、封止前基板供給部11、封止済基板収納部12及び基板搬送機構14との間で、封止前基板W1及び封止済基板W2の受け渡しを適宜行うものである。基板載置部13は、基板供給・収納モジュール10内において、Y方向に移動することができる。封止前基板供給部11は、基板載置部13へと封止前基板W1を供給することができる。封止済基板収納部12は、基板載置部13から受け取った封止済基板W2を収納することができる。基板搬送機構14は、基板供給・収納モジュール10及び成形モジュール20内をX方向及びY方向に移動することができる。基板搬送機構14は、封止前基板W1及び封止済基板W2を、基板供給・収納モジュール10及び成形モジュール20に亘って適宜搬送することができる。 The substrate mounting section 13 is configured to appropriately transfer the unsealed substrate W1 and the sealed substrate W2 between the unsealed substrate supply section 11, the sealed substrate storage section 12, and the substrate transport mechanism 14. be. The substrate platform 13 can move in the Y direction within the substrate supply/storage module 10. The unsealed substrate supply section 11 can supply the unsealed substrate W1 to the substrate mounting section 13. The sealed substrate storage section 12 can store the sealed substrate W2 received from the substrate mounting section 13. The substrate transport mechanism 14 can move within the substrate supply/storage module 10 and the molding module 20 in the X direction and the Y direction. The substrate transport mechanism 14 can appropriately transport the unsealed substrate W1 and the sealed substrate W2 to the substrate supply/storage module 10 and the molding module 20.

成形モジュール20は、樹脂成形を行うものである。本実施形態では、3つの成形モジュール20が設けられた樹脂成形装置1を例示しているが、成形モジュール20の個数は3つに限定するものではない。成形モジュール20は、主として型締め機構100及び成形型200を具備する。 The molding module 20 performs resin molding. Although this embodiment illustrates the resin molding apparatus 1 provided with three molding modules 20, the number of molding modules 20 is not limited to three. The molding module 20 mainly includes a mold clamping mechanism 100 and a mold 200.

成形型200は、上型200U(図2等参照)と、上型200Uに対して昇降可能な下型200Dと、を具備する。なお、上型200U及び下型200Dは、それぞれ、本願の一方の型及び他方の型の実施の一形態である。下型200Dには、樹脂成形品の形状に対応したキャビティCが形成される。型締め機構100は、下型200Dを昇降させることで、成形型200の型締め、及び、型開きを行うことができる。なお、成形モジュール20のより具体的な構成については、後述する。 The mold 200 includes an upper mold 200U (see FIG. 2, etc.) and a lower mold 200D that can be moved up and down with respect to the upper mold 200U. Note that the upper mold 200U and the lower mold 200D are embodiments of one mold and the other mold of the present application, respectively. A cavity C corresponding to the shape of the resin molded product is formed in the lower mold 200D. The mold clamping mechanism 100 can clamp and open the mold 200 by raising and lowering the lower mold 200D. Note that a more specific configuration of the molding module 20 will be described later.

材料供給モジュール30は、離型フィルムF及び樹脂材料を成形モジュール20へと供給するものである。材料供給モジュール30は、主として材料載置部31、離型フィルム供給機構32、樹脂材料収容部33、樹脂材料投入機構34及び材料搬送機構35を具備する。 The material supply module 30 supplies the release film F and the resin material to the molding module 20. The material supply module 30 mainly includes a material placement section 31, a release film supply mechanism 32, a resin material storage section 33, a resin material input mechanism 34, and a material transport mechanism 35.

材料載置部31は、離型フィルムF及び樹脂材料収容部33を載置可能なものである。材料載置部31は、材料供給モジュール30内において、X方向及びY方向に移動することができる。離型フィルム供給機構32は、材料載置部31へと離型フィルムFを供給することができる。 The material placement section 31 is capable of placing the release film F and the resin material storage section 33. The material placement section 31 can move in the X direction and the Y direction within the material supply module 30. The release film supply mechanism 32 can supply the release film F to the material placement section 31.

樹脂材料収容部33は、略枠状の形状であり、材料載置部31へ供給された離型フィルムFと一体となって、樹脂材料投入機構34から供給される樹脂材料を収容することができる。材料搬送機構35は、材料供給モジュール30及び成形モジュール20内をX方向及びY方向に移動することができる。材料搬送機構35は、一体となった離型フィルムF及び樹脂材料収容部33を、樹脂材料と共に成形モジュール20へ搬送することができる。 The resin material storage section 33 has a substantially frame-like shape, and can accommodate the resin material supplied from the resin material input mechanism 34 together with the release film F supplied to the material placement section 31. can. The material transport mechanism 35 can move within the material supply module 30 and the molding module 20 in the X direction and the Y direction. The material transport mechanism 35 can transport the mold release film F and the resin material accommodating portion 33 that are integrated together to the molding module 20 together with the resin material.

<樹脂成形装置1を用いた樹脂成形方法>
以下では、上述の如く構成された樹脂成形装置1による樹脂成形方法の一例について説明する。
<Resin molding method using resin molding device 1>
An example of a resin molding method using the resin molding apparatus 1 configured as described above will be described below.

本実施形態に係る樹脂成形品の製造方法は、主として基板搬入工程、フィルム配置工程、型締め工程、樹脂成形工程、型開き工程及び搬出工程を含む。以下、順に説明する。 The method for manufacturing a resin molded product according to this embodiment mainly includes a substrate loading process, a film placement process, a mold clamping process, a resin molding process, a mold opening process, and an unloading process. Below, they will be explained in order.

まず、基板搬入工程において、成形型200に封止前基板W1が搬入される。具体的には、基板搬入工程において、封止前基板供給部11から基板載置部13へと封止前基板W1が供給される。基板搬送機構14は、基板載置部13に載置された封止前基板W1を受け取り、成形モジュール20の成形型200へと搬送する。 First, in the substrate loading step, a pre-sealing substrate W1 is loaded into the mold 200. Specifically, in the substrate loading process, the unsealed substrate W1 is supplied from the unsealed substrate supply section 11 to the substrate mounting section 13. The substrate transport mechanism 14 receives the unsealed substrate W1 placed on the substrate platform 13 and transports it to the mold 200 of the molding module 20.

次に、フィルム配置工程において、成形型200(下型200D)に離型フィルムF及び樹脂材料が配置される。具体的には、フィルム配置工程において、離型フィルム供給機構32から材料載置部31へと離型フィルムFが供給される。この際、材料載置部31において、離型フィルムFを適宜切断して所定の大きさにすることも可能である。材料載置部31に載置された離型フィルムFは、その上に載置された樹脂材料収容部33と一体となって樹脂材料を収容可能な箱状を形成する。一体となった離型フィルムF及び樹脂材料収容部33に、樹脂材料投入機構34から樹脂材料が投入され、樹脂材料を収容した離型フィルムF及び樹脂材料収容部33が材料載置部31に載置される。材料搬送機構35は、樹脂材料を収容した離型フィルムF及び樹脂材料収容部33を受け取り、成形モジュール20へと移動し、樹脂材料が収容された離型フィルムF及び樹脂材料収容部33を成形型200(下型200D)に配置する。その後、後述のように、離型フィルムFが下型200Dに保持され、下型200DのキャビティCに樹脂材料が供給される。樹脂材料がキャビティCに供給された後で、材料搬送機構35によって樹脂材料収容部33が成形型200から搬出され、材料供給モジュール30へと戻される。 Next, in a film placement step, a release film F and a resin material are placed on the mold 200 (lower mold 200D). Specifically, in the film placement process, the release film F is supplied from the release film supply mechanism 32 to the material placement section 31. At this time, it is also possible to appropriately cut the release film F into a predetermined size in the material placement section 31. The release film F placed on the material placement section 31 forms a box shape that can accommodate the resin material together with the resin material storage section 33 placed thereon. The resin material is fed from the resin material input mechanism 34 into the integrated release film F and resin material storage section 33, and the release film F and resin material storage section 33 containing the resin material are placed in the material placement section 31. It will be placed. The material conveyance mechanism 35 receives the release film F containing the resin material and the resin material storage section 33, moves to the molding module 20, and molds the release film F containing the resin material and the resin material storage section 33. It is placed in the mold 200 (lower mold 200D). Thereafter, as will be described later, the release film F is held by the lower mold 200D, and the resin material is supplied to the cavity C of the lower mold 200D. After the resin material is supplied to the cavity C, the resin material storage section 33 is carried out from the mold 200 by the material transport mechanism 35 and returned to the material supply module 30.

次に、型締め工程において、成形型200の型締めが行われる。具体的には、型締め工程において、下型200Dに設けられた加熱機構(不図示)によって、キャビティC内に収容された樹脂材料が加熱される。次に、型締め機構100が駆動されることで、下型200Dが上型200Uに向かって上昇する。下型200Dが所定の位置まで上昇すると、下型200Dの上面と上型200Uの下面とが直接的に、又は、封止前基板W1を介して間接的に接触し、下型200Dに形成されたキャビティCが上型200U又は封止前基板W1によって上方から塞がれる。この状態でさらに下型200Dが押し上げられることで、下型200Dに収容された樹脂材料が加圧される。 Next, in a mold clamping step, the mold 200 is clamped. Specifically, in the mold clamping step, the resin material accommodated in the cavity C is heated by a heating mechanism (not shown) provided in the lower mold 200D. Next, by driving the mold clamping mechanism 100, the lower mold 200D is raised toward the upper mold 200U. When the lower mold 200D rises to a predetermined position, the upper surface of the lower mold 200D and the lower surface of the upper mold 200U come into contact with each other directly or indirectly through the pre-sealing substrate W1, and the mold is formed in the lower mold 200D. The cavity C is closed from above by the upper mold 200U or the pre-sealing substrate W1. In this state, the lower mold 200D is further pushed up, thereby pressurizing the resin material accommodated in the lower mold 200D.

次に、樹脂成形工程において、樹脂材料が硬化されて樹脂成形が行われる。具体的には、樹脂成形工程において、樹脂材料を加圧した状態で所定時間待機する。これによって樹脂材料を硬化させて、封止前基板W1に対して樹脂成形を行い、樹脂成形品(封止済基板W2)を得ることができる。 Next, in a resin molding step, the resin material is cured and resin molding is performed. Specifically, in the resin molding process, the resin material is kept under pressure for a predetermined period of time. Thereby, the resin material is cured, resin molding is performed on the pre-sealing substrate W1, and a resin molded product (sealed substrate W2) can be obtained.

次に、型開き工程において、成形型200が開かれる。具体的には、型開き工程において、型締め機構100が駆動されることで下型200Dが上型200Uから離れるように下降する。これによって成形型200が開かれ、封止済基板W2を取り出すことができる状態となる。 Next, in a mold opening step, the mold 200 is opened. Specifically, in the mold opening process, the mold clamping mechanism 100 is driven to lower the lower mold 200D away from the upper mold 200U. As a result, the mold 200 is opened and the sealed substrate W2 can be taken out.

次に、搬出工程において、樹脂成形品(封止済基板W2)が成形型200から搬出される。具体的には、搬出工程において、基板搬送機構14は成形型200の封止済基板W2を受け取り、受け取った封止済基板W2を基板供給・収納モジュール10の基板載置部13へと受け渡す。封止済基板収納部12は、基板載置部13から封止済基板W2を受け取り、受け取った封止済基板W2を収納する。 Next, in the unloading step, the resin molded product (sealed substrate W2) is unloaded from the mold 200. Specifically, in the unloading process, the substrate transport mechanism 14 receives the sealed substrate W2 of the mold 200, and delivers the received sealed substrate W2 to the substrate mounting section 13 of the substrate supply/storage module 10. . The sealed substrate storage section 12 receives the sealed substrate W2 from the substrate mounting section 13 and stores the received sealed substrate W2.

このように樹脂成形装置1においては、成形モジュール20に封止前基板W1、離型フィルムF及び樹脂材料等を供給し、樹脂成形を行うことができる。また複数の成形モジュール20で並行して樹脂成形を行うことができ、効率的に樹脂成形品を製造することができる。なお、上述の樹脂成形装置1の各部の動作は、図示せぬ制御装置によって適宜制御することができる。 In this way, in the resin molding apparatus 1, the pre-sealing substrate W1, the release film F, the resin material, etc. are supplied to the molding module 20, and resin molding can be performed. Further, resin molding can be performed in parallel using a plurality of molding modules 20, and resin molded products can be efficiently manufactured. Note that the operations of each part of the resin molding apparatus 1 described above can be appropriately controlled by a control device (not shown).

<成形モジュール20の構成>
以下では、成形モジュール20の具体的な構成について説明する。図2に示すように、成形モジュール20は、主として型締め機構100及び成形型200等を具備する。
<Configuration of molding module 20>
The specific configuration of the molding module 20 will be described below. As shown in FIG. 2, the molding module 20 mainly includes a mold clamping mechanism 100, a mold 200, and the like.

型締め機構100は、下型200Dを昇降させて型締め及び型開き等を行うものである。型締め機構100は、主として基台101、支柱102、下型ベース部材103、上型ベース部材104及び駆動機構105等を具備する。 The mold clamping mechanism 100 moves the lower mold 200D up and down to perform mold clamping, mold opening, and the like. The mold clamping mechanism 100 mainly includes a base 101, a support 102, a lower mold base member 103, an upper mold base member 104, a drive mechanism 105, and the like.

基台101は、成形型200等を支持するものである。基台101には、複数の支柱102が固定される。複数の支柱102は、基台101から上方に延びるように設けられる。支柱102の上下中途部には、下型ベース部材103が上下に移動可能となるように設けられる。支柱102の上端部には、上型ベース部材104が固定される。なお、支柱102の代わりに、対向して配置される2枚の板状部材が設けられていてもよい。 The base 101 supports the mold 200 and the like. A plurality of pillars 102 are fixed to the base 101. The plurality of pillars 102 are provided to extend upward from the base 101. A lower die base member 103 is provided at a vertically intermediate portion of the support 102 so as to be movable up and down. An upper die base member 104 is fixed to the upper end of the support column 102. Note that, instead of the support column 102, two plate-like members disposed opposite to each other may be provided.

駆動機構105は、下型200Dを昇降させるためのものである。駆動機構105としては、ボールねじ機構、油圧シリンダ、トグル機構等を用いることができる。駆動機構105は、基台101と下型ベース部材103との間に配置される。駆動機構105は、基台101と下型ベース部材103との間で上下に伸縮することで、下型ベース部材103を上下に昇降させることができる。 The drive mechanism 105 is for raising and lowering the lower die 200D. As the drive mechanism 105, a ball screw mechanism, a hydraulic cylinder, a toggle mechanism, etc. can be used. The drive mechanism 105 is arranged between the base 101 and the lower die base member 103. The drive mechanism 105 can move the lower mold base member 103 up and down by vertically expanding and contracting between the base 101 and the lower mold base member 103.

成形型200は、上型200U及び下型200Dから構成される。 The mold 200 includes an upper mold 200U and a lower mold 200D.

上型200Uは、適宜の上下方向の厚みを有する。上型200Uの下面は、凹凸のない平面状に形成される。上型200Uは、上型ベース部材104の底面に固定される。上型200Uの下面には、基板(封止前基板W1及び封止済基板W2)を吸着可能な吸着孔(不図示)が適宜形成される。 The upper mold 200U has an appropriate thickness in the vertical direction. The lower surface of the upper mold 200U is formed into a planar shape with no irregularities. The upper mold 200U is fixed to the bottom surface of the upper mold base member 104. Suction holes (not shown) capable of sucking substrates (substrate before sealing W1 and sealed substrate W2) are appropriately formed on the lower surface of the upper mold 200U.

図2及び図3に示すように、下型200Dは、下型ベース部材103の上面に配置される。下型200Dの上面は、上型200Uの下面と上下方向に対向するように配置される。下型200Dは、主として主面部材210及び側面部材220等を具備する。 As shown in FIGS. 2 and 3, the lower mold 200D is arranged on the upper surface of the lower mold base member 103. The upper surface of the lower mold 200D is arranged to face the lower surface of the upper mold 200U in the vertical direction. The lower mold 200D mainly includes a main surface member 210, a side member 220, and the like.

主面部材210は、キャビティCの主面を形成するものである。本実施形態では、主面部材210は下型200Dであるため、主面は底面に相当する。主面部材210は、平面視矩形状に形成される。主面部材210は、適宜の上下方向の厚みを有するように形成される。主面部材210は、下型ベース部材103の上面に載せられた状態で配置される。 The main surface member 210 forms the main surface of the cavity C. In this embodiment, since the main surface member 210 is the lower mold 200D, the main surface corresponds to the bottom surface. The main surface member 210 is formed into a rectangular shape in plan view. The main surface member 210 is formed to have an appropriate thickness in the vertical direction. The main surface member 210 is placed on the upper surface of the lower mold base member 103.

側面部材220は、キャビティCの側面を形成し、主面部材210を側方から囲むものである。側面部材220は、適宜の上下方向の厚みを有するように形成される。側面部材220は、主として中空部221を具備する。 The side member 220 forms the side surface of the cavity C and surrounds the main surface member 210 from the side. The side member 220 is formed to have an appropriate thickness in the vertical direction. The side member 220 mainly includes a hollow portion 221 .

中空部221は、側面部材220の中央を上下に貫通するように形成される。中空部221は、平面視矩形状に形成される。中空部221は、平面視において、主面部材210の外形と概ね一致するような形状に形成される。 The hollow portion 221 is formed to vertically penetrate the center of the side member 220. The hollow portion 221 is formed into a rectangular shape in plan view. The hollow portion 221 is formed in a shape that generally matches the outer shape of the main surface member 210 when viewed from above.

このように側面部材220は、平面視矩形状の枠状に形成される。側面部材220の中空部221には主面部材210が配置される。側面部材220は、弾性部材220aを介して、下型ベース部材103の上面に載せられた状態で配置される。弾性部材220aは、例えば上下に伸縮可能な圧縮コイルばね等により形成される。側面部材220の上面は、主面部材210の上面よりも上方に位置する。このように構成された主面部材210及び側面部材220に囲まれた部分(主面部材210の上方、かつ側面部材220の内側)が、樹脂成形を行うためのキャビティCを形成する。 In this way, the side member 220 is formed into a frame shape that is rectangular in plan view. The main surface member 210 is arranged in the hollow part 221 of the side member 220. The side member 220 is placed on the upper surface of the lower mold base member 103 via the elastic member 220a. The elastic member 220a is formed of, for example, a compression coil spring that can be expanded and contracted up and down. The upper surface of side member 220 is located above the upper surface of main surface member 210. A portion surrounded by the main surface member 210 and the side member 220 configured in this way (above the main surface member 210 and inside the side member 220) forms a cavity C for performing resin molding.

なお図4に示すように、本実施形態において、側面部材220は上下に分割されて形成されている。具体的には、側面部材220は、上型200Uの下面と対向する面(上面)が形成された上側面部材222と、上側面部材222の下方(上側面部材222に対して、上側面部材222の上面とは反対側)に配置される下側面部材223と、に分割されている。上側面部材222の上面と下面は、平行となるように形成されている。なお、上側面部材222及び下側面部材223は、それぞれ、本願の第1側面部材及び第2側面部材の実施の一形態である。また、上側面部材222の上面及び下面は、それぞれ、本願の第1対向面及び第2対向面の実施の一形態である。なお、「平行」は、厳密な意味だけではなく、実質的な意味を含む。従って、上面及び下面がなす角度が0度ではない場合であっても、上面及び下面がなす角度が誤差の範囲内の値であるとき、上面及び下面は平行である。 In addition, as shown in FIG. 4, in this embodiment, the side member 220 is formed by being divided into upper and lower parts. Specifically, the side member 220 includes an upper side member 222 in which a surface (upper surface) facing the lower surface of the upper die 200U is formed, and a lower side of the upper side member 222 (with respect to the upper side member 222). 222), and a lower side member 223 disposed on the opposite side from the upper surface of 222. The upper surface and lower surface of the upper side member 222 are formed to be parallel. Note that the upper side member 222 and the lower side member 223 are an embodiment of the first side member and the second side member of the present application, respectively. Further, the upper surface and the lower surface of the upper side member 222 are embodiments of the first opposing surface and the second opposing surface of the present application, respectively. Note that "parallel" includes not only a strict meaning but also a substantive meaning. Therefore, even if the angle between the upper and lower surfaces is not 0 degrees, if the angle between the upper and lower surfaces is within the error range, the upper and lower surfaces are parallel.

このように構成された下型200Dの上面には離型フィルムFが配置され、配置された離型フィルムFの上のキャビティCに対応する部分には樹脂材料が供給されている。その後、離型フィルムFが下型200Dに吸着されることによって樹脂材料がキャビティC内に供給される。また、上型200Uには封止前基板W1が吸着されて保持される。この状態で型締め機構100によって上型200Uと下型200Dを型締めし、封止前基板W1に対して樹脂を圧縮成形し、封止済基板W2を得ることができる。 A release film F is disposed on the upper surface of the lower mold 200D configured in this way, and a resin material is supplied to a portion corresponding to the cavity C above the disposed release film F. Thereafter, the resin material is supplied into the cavity C by adsorbing the mold release film F to the lower mold 200D. Moreover, the substrate before sealing W1 is attracted and held by the upper mold 200U. In this state, the upper mold 200U and lower mold 200D are clamped by the mold clamping mechanism 100, and the resin is compression molded onto the unsealed substrate W1, thereby obtaining a sealed substrate W2.

<下型200Dの構成>
ここで、下型200Dには、離型フィルムFを吸着して保持するための吸着孔等が適宜形成される。以下では、離型フィルムFを吸着するための下型200Dの構造について、具体的に説明する。
<Configuration of lower mold 200D>
Here, suction holes and the like for sucking and holding the release film F are appropriately formed in the lower mold 200D. Below, the structure of the lower die 200D for adsorbing the release film F will be specifically explained.

図3から図6に示すように、下型200Dには、離型フィルムFを吸着するための第1吸着部232、環状凹部234、第2吸着部236、貫通孔238、連絡部240、吸引管部242、第3吸着部244及び吸引孔部246が設けられている。 As shown in FIGS. 3 to 6, the lower mold 200D includes a first suction part 232 for suctioning the release film F, an annular recess 234, a second suction part 236, a through hole 238, a communication part 240, and a suction part 232. A pipe portion 242, a third suction portion 244, and a suction hole portion 246 are provided.

第1吸着部232は、側面部材220の上面に離型フィルムFを吸着するためのものである。第1吸着部232は、主として第1吸着孔部232aを具備する。 The first suction portion 232 is for suctioning the release film F onto the upper surface of the side member 220. The first suction section 232 mainly includes a first suction hole section 232a.

第1吸着孔部232aは、側面部材220(上側面部材222)の上面と、環状凹部234とを接続するように、上下方向に沿って形成される貫通孔である。第1吸着孔部232aは、平面視円形状に形成される。第1吸着孔部232aは、平面視においてキャビティCの周囲を囲むように複数並べて形成される。複数の第1吸着孔部232aは、平面視において、キャビティCの形状に沿った矩形状に並ぶように形成される。第1吸着孔部232aは、概ね等間隔に並べられる。 The first suction hole portion 232a is a through hole formed along the vertical direction so as to connect the upper surface of the side member 220 (upper side member 222) and the annular recess 234. The first suction hole portion 232a is formed in a circular shape in plan view. A plurality of first suction holes 232a are formed in a row so as to surround the cavity C in a plan view. The plurality of first suction holes 232a are formed so as to be lined up in a rectangular shape along the shape of the cavity C when viewed from above. The first suction holes 232a are arranged at approximately equal intervals.

なお、第1吸着孔部232aの形状は円形状に限るものではなく、任意の形状に形成することが可能である。また本実施形態では、隣接する第1吸着孔部232a同士の間隔が概ね一定となるように複数の第1吸着孔部232aが形成されているが、複数の第1吸着孔部232aの並べ方は等間隔な並べ方に限定されない。例えば、複数の第1吸着部232を不等間隔に形成することも可能である。また、例えば、側面部材220(上側面部材222)の上面に、複数の第1吸着孔部232aを接続するような凹部(溝部)を形成することも可能である。 Note that the shape of the first suction hole portion 232a is not limited to a circular shape, and can be formed in any shape. Further, in this embodiment, the plurality of first suction holes 232a are formed such that the intervals between adjacent first suction holes 232a are approximately constant, but the arrangement of the plurality of first suction holes 232a is It is not limited to equally spaced arrangement. For example, it is also possible to form the plurality of first suction parts 232 at irregular intervals. For example, it is also possible to form a recess (groove) on the upper surface of the side member 220 (upper side member 222) to connect the plurality of first suction holes 232a.

図4から図6に示す環状凹部234は、第1吸着孔部232aと吸引管部242とを接続するものである。環状凹部234は、上側面部材222において、第1吸着孔部232aの下方に形成される。環状凹部234は、上側面部材222の上下中途部から、上側面部材222の底面まで亘るように形成される。環状凹部234の上端部は、第1吸着孔部232aに接続される。環状凹部234の下端部は、上側面部材222の底面において開放される。このようにして環状凹部234は、上側面部材222の底面から上方に向かって所定の深さを有する凹状に形成される。底面視において、環状凹部234の幅(環状凹部234が延びる方向に対して垂直な方向の長さ)は、第1吸着孔部232aの直径よりも大きく形成されている。 The annular recess 234 shown in FIGS. 4 to 6 connects the first suction hole 232a and the suction pipe 242. The annular recess 234 is formed in the upper side member 222 below the first suction hole 232a. The annular recess 234 is formed to extend from the vertical midway point of the upper side member 222 to the bottom surface of the upper side member 222. The upper end of the annular recess 234 is connected to the first suction hole 232a. The lower end of the annular recess 234 is open at the bottom surface of the upper side member 222. In this way, the annular recess 234 is formed into a concave shape having a predetermined depth upward from the bottom surface of the upper side member 222. In a bottom view, the width of the annular recess 234 (the length in the direction perpendicular to the direction in which the annular recess 234 extends) is larger than the diameter of the first suction hole 232a.

環状凹部234は、途切れることなく中空部221(キャビティC)を囲むように形成される。すなわち環状凹部234は、底面視において端の無い環状に形成される。環状凹部234は、底面視において第1吸着孔部232aに沿って延びるように形成される。これによって環状凹部234は、底面視略矩形状に形成される。なお、環状凹部234は、本願の環状部の実施の一形態である。 The annular recess 234 is formed so as to surround the hollow portion 221 (cavity C) without interruption. That is, the annular recess 234 is formed in an annular shape with no end when viewed from the bottom. The annular recess 234 is formed to extend along the first suction hole 232a when viewed from the bottom. As a result, the annular recess 234 is formed into a substantially rectangular shape when viewed from the bottom. Note that the annular recess 234 is an embodiment of the annular portion of the present application.

図3、図4及び図6に示す第2吸着部236は、側面部材220の上面に離型フィルムFを吸着するためのものである。第2吸着部236は、主として凹状部236aを具備する。 The second suction section 236 shown in FIGS. 3, 4, and 6 is for suctioning the release film F onto the upper surface of the side member 220. The second suction portion 236 mainly includes a concave portion 236a.

凹状部236aは、側面部材220の上面、かつ、第1吸着部232よりもキャビティC側に形成された凹状の部分である。凹状部236aは、キャビティCの周囲に複数形成される。本実施形態では、凹状部236aは、平面視において矩形状に形成されたキャビティCの各辺に沿うように、4つ形成される。凹状部236aは、キャビティCの各辺に平行な直線状に形成される。なお、前述したように、「平行」は、厳密な意味だけではなく、実質的な意味も含む。4つの凹状部236aは、互いに接続されないように、適宜の間隔を空けて形成される。凹状部236aは、長手方向断面視において、中央に向かって下方に傾斜するようなV字状に形成される。 The concave portion 236a is a concave portion formed on the upper surface of the side member 220 and closer to the cavity C than the first suction portion 232. A plurality of concave portions 236a are formed around the cavity C. In this embodiment, four concave portions 236a are formed along each side of the cavity C, which is formed in a rectangular shape when viewed from above. The recessed portion 236a is formed in a straight line parallel to each side of the cavity C. Note that, as mentioned above, "parallel" includes not only a strict meaning but also a substantive meaning. The four concave portions 236a are formed at appropriate intervals so as not to be connected to each other. The recessed portion 236a is formed in a V-shape that slopes downward toward the center in a longitudinal cross-sectional view.

なお、凹状部236aの形状は断面視V字状に限るものではなく、任意の形状に形成することが可能である。また本実施形態では、凹状部236aがキャビティCの各辺に沿うように4つ形成された例を示したが、凹状部236aは任意の位置に任意の個数形成することが可能である。 Note that the shape of the concave portion 236a is not limited to a V-shape in cross-sectional view, and may be formed in any shape. Further, in this embodiment, an example is shown in which four concave portions 236a are formed along each side of the cavity C, but any number of concave portions 236a can be formed at any position.

図3から図6に示す貫通孔238は、凹状部236aと連絡部240とを接続するものである。貫通孔238は上下方向に沿って形成される。貫通孔238は、平面視円形状に形成される。貫通孔238は、平面視において凹状部236aの内側に形成される。貫通孔238は、各凹状部236aに複数形成される。貫通孔238の上端部は、凹状部236aに接続される。貫通孔238の下端部は、上側面部材222の底面において開放される。なお、貫通孔238は、本願の第2経路の実施の一形態である。 The through hole 238 shown in FIGS. 3 to 6 connects the recessed portion 236a and the communication portion 240. The through hole 238 is formed along the vertical direction. The through hole 238 is formed in a circular shape in plan view. The through hole 238 is formed inside the concave portion 236a in plan view. A plurality of through holes 238 are formed in each concave portion 236a. The upper end of the through hole 238 is connected to the recessed portion 236a. The lower end of the through hole 238 is open at the bottom surface of the upper side member 222. Note that the through hole 238 is an embodiment of the second route of the present application.

図4から図6に示す連絡部240は、環状凹部234と貫通孔238とを接続するものである。連絡部240は、上側面部材222の底面に凹状に形成される。連絡部240は、各貫通孔238から外側(キャビティCとは反対側)に向かって延びるように形成される。これによって、連絡部240の一端部は貫通孔238の下端部に接続される。また連絡部240の他端部は環状凹部234の下端部に接続される。言い換えると、連絡部240は、環状凹部234から内側(主面部材210側)に向かって延びるように形成される。連絡部240は、長手方向(連絡部240が延びる方向)に沿った断面視において、略矩形状に形成される。連絡部240は、空気の流通経路を絞るように、空気の流通経路に垂直な面における断面積が比較的小さくなるように形成されている。具体的には、連絡部240の断面積は、貫通孔238の断面積よりも小さく形成されている。また連絡部240の断面積は、第1吸着孔部232aの断面積よりも小さく形成されている。なお、連絡部240は、本願の第1経路の実施の一形態である。 The communication portion 240 shown in FIGS. 4 to 6 connects the annular recess 234 and the through hole 238. The communication portion 240 is formed in a concave shape on the bottom surface of the upper side member 222 . The communication portion 240 is formed to extend outward from each through hole 238 (to the side opposite to the cavity C). As a result, one end of the communication portion 240 is connected to the lower end of the through hole 238. Further, the other end of the communication portion 240 is connected to the lower end of the annular recess 234 . In other words, the communication portion 240 is formed to extend inward from the annular recess 234 (toward the main surface member 210 side). The communication portion 240 has a substantially rectangular shape when viewed in cross section along the longitudinal direction (the direction in which the communication portion 240 extends). The communication portion 240 is formed so as to have a relatively small cross-sectional area in a plane perpendicular to the air flow path so as to narrow the air flow path. Specifically, the cross-sectional area of the communication portion 240 is smaller than the cross-sectional area of the through hole 238. Further, the cross-sectional area of the communication portion 240 is smaller than the cross-sectional area of the first suction hole portion 232a. Note that the communication unit 240 is an embodiment of the first route of the present application.

吸引管部242は、第1吸着部232及び第2吸着部236から空気を吸引するためのものである。吸引管部242は、略円管状に形成される。吸引管部242は、長手方向を上下方向に向けた状態で、下側面部材223を上下に貫通するように配置される。吸引管部242の上端面は、下側面部材223の上面と同一位置(面一)となるように配置される。吸引管部242は、環状凹部234の下方に複数配置される。本実施形態では、図5に示すように、略矩形状に形成された環状凹部234の各辺に対応するように、吸引管部242を4つ配置した例を示している。このように吸引管部242を配置することにより、吸引管部242の上端部は、環状凹部234の下端部に接続される。 The suction pipe section 242 is for sucking air from the first suction section 232 and the second suction section 236. The suction tube portion 242 is formed into a substantially circular tube shape. The suction tube portion 242 is arranged so as to vertically penetrate the lower surface member 223 with its longitudinal direction facing in the vertical direction. The upper end surface of the suction tube section 242 is arranged at the same position (flush) as the upper surface of the lower side member 223. A plurality of suction tube sections 242 are arranged below the annular recess 234. In this embodiment, as shown in FIG. 5, an example is shown in which four suction tube parts 242 are arranged so as to correspond to each side of an annular recess 234 formed in a substantially rectangular shape. By arranging the suction tube portion 242 in this manner, the upper end portion of the suction tube portion 242 is connected to the lower end portion of the annular recess 234.

なお、本実施形態では、吸引管部242を下側面部材223に設けることで、空気の吸引経路を形成しているが、例えば吸引管部242に代えて、下側面部材223に貫通孔を形成することで空気の吸引経路を形成することも可能である。 Note that in this embodiment, the suction pipe section 242 is provided on the lower surface member 223 to form an air suction path. By doing so, it is also possible to form an air suction path.

図3、図4及び図6に示す第3吸着部244は、キャビティCに離型フィルムFを吸着するためのものである。第3吸着部244は、主面部材210の外側面と、側面部材220の内側面(中空部221)との間の隙間によって形成される。主面部材210と側面部材220との間には、平面視において主面部材210の全周に亘るように隙間が形成される。これによって第3吸着部244は、平面視においてキャビティCを囲むような、端の無い環状に形成される。 The third adsorption section 244 shown in FIGS. 3, 4, and 6 is for adsorbing the release film F to the cavity C. The third suction portion 244 is formed by a gap between the outer surface of the main surface member 210 and the inner surface (hollow portion 221) of the side member 220. A gap is formed between the main surface member 210 and the side member 220 so as to extend around the entire circumference of the main surface member 210 in plan view. As a result, the third suction portion 244 is formed into an annular shape with no end so as to surround the cavity C in a plan view.

図4及び図6に示す吸引孔部246は、第3吸着部244から空気を吸引するためのものである。吸引孔部246は、主面部材210に形成される。吸引孔部246の一端部は、主面部材210の外側面において開放される。吸引孔部246の他端部は、主面部材210の底面において開放される。吸引孔部246は、主面部材210に複数形成される。 The suction hole section 246 shown in FIGS. 4 and 6 is for sucking air from the third suction section 244. The suction hole portion 246 is formed in the main surface member 210. One end of the suction hole portion 246 is open on the outer surface of the main surface member 210. The other end of the suction hole portion 246 is open at the bottom surface of the main surface member 210. A plurality of suction holes 246 are formed in the main surface member 210.

図6に示すように、吸引管部242及び吸引孔部246には、適宜形成された空気の流通経路を介して真空ポンプ等の吸引装置250が接続される。吸引装置250と吸引管部242との間には、空気の流通の可否を切り替えることが可能な第1開閉弁252が設けられる。また吸引装置250と吸引孔部246との間には、空気の流通の可否を切り替えることが可能な第2開閉弁254が設けられる。吸引装置250を作動させて空気を吸引した状態で、第1開閉弁252及び第2開閉弁254をそれぞれ開閉させることにより、第1吸着部232、第2吸着部236及び第3吸着部244から任意に空気を吸引し、離型フィルムFを吸着することができる。 As shown in FIG. 6, a suction device 250 such as a vacuum pump is connected to the suction pipe section 242 and the suction hole section 246 via an appropriately formed air flow path. A first on-off valve 252 is provided between the suction device 250 and the suction pipe section 242, which can switch whether or not air can circulate. Further, a second on-off valve 254 is provided between the suction device 250 and the suction hole portion 246, which can switch whether or not air can circulate. By operating the suction device 250 and sucking air, by opening and closing the first on-off valve 252 and the second on-off valve 254, respectively, air is removed from the first suction section 232, the second suction section 236, and the third suction section 244. The release film F can be adsorbed by sucking air as desired.

<吸引経路の構成>
このように本実施形態では、吸引管部242を介して空気を吸引することによって、第1吸着部232及び第2吸着部236から空気を吸引して離型フィルムFを吸着することができる。以下、吸引管部242を介する空気の吸引経路について説明する。
<Suction route configuration>
As described above, in this embodiment, by suctioning air through the suction pipe section 242, air can be suctioned from the first suction section 232 and the second suction section 236, and the release film F can be suctioned. The air suction route through the suction pipe section 242 will be described below.

図6及び図7に示すように、第1開閉弁252が開放され、吸引管部242を介して空気が吸引されると、環状凹部234及び第1吸着部232(第1吸着孔部232a)を介して空気が吸引され、側面部材220の上面に離型フィルムFを吸着することができる。また、吸引管部242を介して空気が吸引されると、環状凹部234の下端部に接続された連絡部240及び貫通孔238を介して空気が吸引され、第2吸着部236(凹状部236a)の上面に離型フィルムFを吸着することができる。 As shown in FIGS. 6 and 7, when the first on-off valve 252 is opened and air is sucked through the suction pipe section 242, the annular recess 234 and the first suction section 232 (first suction hole section 232a) Air is sucked through the side member 220, and the release film F can be adsorbed onto the upper surface of the side member 220. Furthermore, when air is sucked through the suction pipe section 242, the air is sucked through the communication section 240 and the through hole 238 connected to the lower end of the annular recess 234, and the air is sucked through the second suction section 236 (the concave section 236a). ) The release film F can be adsorbed onto the upper surface of the mold.

以下では説明のため、図7に示すように、環状凹部234を介して吸引される空気と、連絡部240を介して吸引される空気とが合流する部分(言い換えると、吸引管部242からの空気の吸引経路が、環状凹部234と連絡部240とに分岐する部分)を分岐点Pと称する。本実施形態では、環状凹部234の下端部に連絡部240が接続されているため、環状凹部234の下端部(吸引管部242の上端部)が分岐点Pに相当する。 For the sake of explanation, as shown in FIG. 7, below, as shown in FIG. The part where the air suction path branches into the annular recess 234 and the communication part 240 is referred to as a branch point P. In this embodiment, since the communication part 240 is connected to the lower end of the annular recess 234, the lower end of the annular recess 234 (the upper end of the suction tube part 242) corresponds to the branch point P.

また、吸引装置250から分岐点Pまでの空気の吸引経路を、主経路Lと称する。また、分岐点Pから第1吸着部232(第1吸着孔部232a)の上端部までの空気の吸引経路を、第1分岐経路L1と称する。また、分岐点Pから貫通孔238の上端部までの空気の吸引経路を、第2分岐経路L2と称する。 Further, the air suction path from the suction device 250 to the branch point P is referred to as a main path L. Further, the air suction path from the branch point P to the upper end of the first suction portion 232 (first suction hole portion 232a) is referred to as a first branch path L1. Further, the air suction path from the branch point P to the upper end of the through hole 238 is referred to as a second branch path L2.

ここで、第1分岐経路L1における空気の流通方向に対して直交する断面の断面積のうち、最小となる断面積を、以下では最小断面積A1と称する。本実施形態においては、第1分岐経路L1は、環状凹部234と、環状凹部234に接続された複数の第1吸着孔部232a(図5等参照)により構成されている。すなわち第1分岐経路L1は、環状凹部234からさらに複数の第1吸着孔部232aに分岐されている。このように第1分岐経路L1が分岐している場合には、分岐された各経路の断面積の総和を、第1分岐経路L1の断面積とする。本実施形態では、第1分岐経路L1の断面積のうち、第1吸着孔部232aにおける断面積(複数の第1吸着孔部232aの断面積の総和)が最小断面積A1である。すなわち本実施形態では、「最小断面積A1 = 第1吸着孔部232aの断面積 × 第1吸着孔部232aの数」が成り立つ。なお図7には、説明の便宜上、1つの第1吸着孔部232aを用いて最小断面積A1を示しているが、実際には全ての第1吸着孔部232aの断面積の総和が最小断面積A1である。 Here, among the cross-sectional areas of the cross-sections perpendicular to the air flow direction in the first branch path L1, the minimum cross-sectional area is hereinafter referred to as the minimum cross-sectional area A1. In the present embodiment, the first branch path L1 includes an annular recess 234 and a plurality of first suction holes 232a (see FIG. 5, etc.) connected to the annular recess 234. That is, the first branch path L1 further branches from the annular recess 234 into a plurality of first suction holes 232a. When the first branch route L1 is branched in this way, the sum of the cross-sectional areas of each branched route is taken as the cross-sectional area of the first branch route L1. In this embodiment, among the cross-sectional areas of the first branch path L1, the cross-sectional area at the first suction hole portion 232a (the sum of the cross-sectional areas of the plurality of first suction hole portions 232a) is the minimum cross-sectional area A1. That is, in this embodiment, "minimum cross-sectional area A1 = cross-sectional area of first suction hole portion 232a x number of first suction hole portions 232a" holds true. Although FIG. 7 shows the minimum cross-sectional area A1 using one first suction hole portion 232a for convenience of explanation, in reality, the sum of the cross-sectional areas of all the first suction hole portions 232a is the minimum cross-sectional area A1. The area is A1.

なお、本実施形態では、第1分岐経路L1の断面積のうち、第1吸着孔部232aにおける断面積が最小断面積A1となるものとしたが、本発明の最小断面積A1は、第1吸着孔部232aの断面積に限らない。例えば、第1吸着孔部232aの断面積の総和が環状凹部234の断面積よりも大きくなる場合には、環状凹部234の断面積が最小断面積A1となる。すなわち、断面積が最小となる部位は第1分岐経路L1の形状に応じて定まるものであり、特に限定するものではない。 In addition, in this embodiment, among the cross-sectional areas of the first branch path L1, the cross-sectional area at the first suction hole portion 232a is the minimum cross-sectional area A1, but the minimum cross-sectional area A1 of the present invention is the first It is not limited to the cross-sectional area of the suction hole portion 232a. For example, when the sum of the cross-sectional areas of the first suction holes 232a is larger than the cross-sectional area of the annular recess 234, the cross-sectional area of the annular recess 234 becomes the minimum cross-sectional area A1. That is, the portion having the smallest cross-sectional area is determined depending on the shape of the first branch path L1, and is not particularly limited.

また、第2分岐経路L2における空気の流通方向に対して直交する断面の断面積のうち、最小となる断面積を、以下では最小断面積A2と称する。本実施形態においては、第2分岐経路L2は、連絡部240と、貫通孔238により構成されている。連絡部240及び貫通孔238は、環状凹部234から複数分岐するように形成されているため(図5等参照)、第2分岐経路L2は複数形成されていることになる。このように第2分岐経路L2が複数形成されている場合には、複数の第2分岐経路L2の断面積の総和を、第2分岐経路L2の断面積とする。本実施形態では、第2分岐経路L2の断面積のうち、連絡部240における断面積(複数の連絡部240の断面積の総和)が最小断面積A2である。すなわち本実施形態では、「最小断面積A2 = 連絡部240の断面積 × 連絡部240の数」が成り立つ。なお図7には、説明の便宜上、1つの連絡部240を用いて最小断面積A2を示しているが、実際には全ての連絡部240の断面積の総和が最小断面積A2である。 Further, among the cross-sectional areas of the cross-sections perpendicular to the air flow direction in the second branch path L2, the minimum cross-sectional area is hereinafter referred to as the minimum cross-sectional area A2. In the present embodiment, the second branch path L2 includes a communication portion 240 and a through hole 238. Since the communication portion 240 and the through hole 238 are formed so as to branch out from the annular recess 234 in a plurality (see FIG. 5, etc.), a plurality of second branch paths L2 are formed. When a plurality of second branch routes L2 are formed in this manner, the sum of the cross-sectional areas of the plurality of second branch routes L2 is defined as the cross-sectional area of the second branch route L2. In the present embodiment, among the cross-sectional areas of the second branch route L2, the cross-sectional area of the communication portion 240 (the sum of the cross-sectional areas of the plurality of communication portions 240) is the minimum cross-sectional area A2. That is, in the present embodiment, "minimum cross-sectional area A2 = cross-sectional area of connecting portion 240 x number of connecting portions 240" holds true. Although FIG. 7 shows the minimum cross-sectional area A2 using one communication part 240 for convenience of explanation, in reality, the sum of the cross-sectional areas of all the communication parts 240 is the minimum cross-sectional area A2.

なお、本実施形態では、第2分岐経路L2の断面積のうち、連絡部240における断面積が最小断面積A2となるものとしたが、本発明の最小断面積A2は、第2分岐経路L2の断面積のうちの連絡部240における断面積に限らない。すなわち、第1分岐経路L1の最小断面積A1と同様に、断面積が最小となる部位は第2分岐経路L2の形状に応じて定まるものであり、特に限定するものではない。 In addition, in this embodiment, among the cross-sectional areas of the second branch route L2, the cross-sectional area at the connecting portion 240 is assumed to be the minimum cross-sectional area A2, but the minimum cross-sectional area A2 of the present invention is the second branch route L2. It is not limited to the cross-sectional area of the communication portion 240 within the cross-sectional area of . That is, similarly to the minimum cross-sectional area A1 of the first branch route L1, the portion where the cross-sectional area is the minimum is determined according to the shape of the second branch route L2, and is not particularly limited.

本実施形態では、第1分岐経路L1の最小断面積A1よりも、第2分岐経路L2の最小断面積A2の方が小さくなるように構成されている。すなわち、本実施形態では「最小断面積A2 < 最小断面積A1」を満たすように、最小断面積A1等が設定されている。このように構成することによって、第1分岐経路L1を流通する空気の流動抵抗より、第2分岐経路L2を流通する空気の流動抵抗の方が大きくなり、吸引管部242を介して空気を吸引した際に、第2分岐経路L2よりも第1分岐経路L1から優先的に空気が吸引されることになる。これによって本実施形態では、離型フィルムFを段階的に側面部材220に吸着することができる。 In this embodiment, the minimum cross-sectional area A2 of the second branch route L2 is configured to be smaller than the minimum cross-sectional area A1 of the first branch route L1. That is, in this embodiment, the minimum cross-sectional area A1 and the like are set so as to satisfy "minimum cross-sectional area A2 < minimum cross-sectional area A1". With this configuration, the flow resistance of the air flowing through the second branch path L2 is greater than the flow resistance of the air flowing through the first branch path L1, and air is sucked through the suction pipe section 242. At this time, air is preferentially sucked from the first branch path L1 rather than the second branch path L2. Accordingly, in this embodiment, the release film F can be adsorbed to the side member 220 in stages.

<離型フィルムFの吸着>
以下では図8等を用いて、フィルム配置工程において、上述のように構成された下型200Dに離型フィルムFが吸着される様子について説明する。なお、本実施形態では、実際は、前述のように離型フィルムFの上に樹脂材料が載っているが、以下の図、説明では樹脂材料については省略している。
<Adsorption of release film F>
Below, using FIG. 8 and the like, a description will be given of how the release film F is attracted to the lower mold 200D configured as described above in the film placement process. In this embodiment, the resin material is actually placed on the release film F as described above, but the resin material is omitted in the following figures and description.

まず図8(a)に示すように、離型フィルムFが下型200D上に配置されると、吸引装置250(図6参照)が作動されると共に、第2開閉弁254は閉じられたまま、第1開閉弁252のみが開放される。これによって、吸引管部242(主経路L)を介する空気の吸引が行われる。 First, as shown in FIG. 8(a), when the release film F is placed on the lower mold 200D, the suction device 250 (see FIG. 6) is activated, and the second on-off valve 254 remains closed. , only the first on-off valve 252 is opened. As a result, air is suctioned through the suction pipe section 242 (main path L).

吸引管部242を介して空気が吸引されると、第1分岐経路L1及び第2分岐経路L2のうち、最小断面積が大きい第1分岐経路L1から優先的に空気が吸引される。特に本実施形態では、吸引管部242(主経路L)を介して吸引される空気の吸引経路の延長線上(吸引管部242の鉛直上方)に第1分岐経路L1が形成されているため、第2分岐経路L2よりも第1分岐経路L1から優先的に空気が吸引され易い。これによって、第1吸着孔部232aを介して空気が吸引され、側面部材220の上面に離型フィルムFが吸着される。 When air is sucked through the suction pipe section 242, air is sucked preferentially from the first branch path L1, which has a larger minimum cross-sectional area, of the first branch path L1 and the second branch path L2. In particular, in this embodiment, since the first branch path L1 is formed on an extension of the suction path for air sucked through the suction pipe section 242 (main path L) (vertically above the suction pipe section 242), Air is more likely to be preferentially sucked from the first branch route L1 than from the second branch route L2. As a result, air is sucked through the first suction hole portion 232a, and the release film F is suctioned onto the upper surface of the side member 220.

この状態でさらに吸引管部242(主経路L)を介する空気の吸引が継続されると、図8(b)に示すように、第1分岐経路L1及び第2分岐経路L2のうち、最小断面積が小さい第2分岐経路L2からも空気が吸引される。特に第1吸着孔部232aによって離型フィルムFが吸着された後は、第1吸着孔部232aが離型フィルムFによって閉塞されることで、第2分岐経路L2に加わる吸引力(負圧)が高くなる。これによって、貫通孔238を介して空気が吸引され、凹状部236aに離型フィルムFが吸着される。このように本実施形態では、第1分岐経路L1を介する空気の吸引と、第2分岐経路L2を介する空気の吸引のタイミングをずらすことができる。凹状部236aに離型フィルムFを引き込むことで、離型フィルムFを引き伸ばして、離型フィルムFに張力を付与することができる。 In this state, if air suction is continued through the suction pipe section 242 (main path L), as shown in FIG. Air is also sucked through the second branch path L2, which has a small area. In particular, after the release film F is adsorbed by the first suction hole portion 232a, the first suction hole portion 232a is blocked by the release film F, thereby creating a suction force (negative pressure) applied to the second branch path L2. becomes higher. As a result, air is sucked through the through hole 238, and the release film F is attracted to the concave portion 236a. In this manner, in this embodiment, the timing of air suction through the first branch path L1 and air suction through the second branch path L2 can be shifted. By drawing the release film F into the recessed portion 236a, the release film F can be stretched and tension can be applied to the release film F.

次に図8(c)に示すように、第1吸着部232及び第2吸着部236による空気の吸引が行われた状態で、第2開閉弁254(図6参照)が開放される。これによって、吸引孔部246を介する空気の吸引が行われる。吸引孔部246を介して空気が吸引されると、第3吸着部244から空気が吸引される。これによって、キャビティCの内面に沿うように離型フィルムFが吸着される。このように離型フィルムFを引き込むことで、離型フィルムFをさらに引き伸ばして、離型フィルムFに張力を付与することができる。なお、実際は、このとき、離型フィルムFと共に樹脂材料(不図示)がキャビティC内に供給される。 Next, as shown in FIG. 8C, the second on-off valve 254 (see FIG. 6) is opened while the first suction section 232 and the second suction section 236 are sucking air. As a result, air is sucked through the suction hole portion 246. When air is suctioned through the suction hole portion 246, air is suctioned from the third suction portion 244. As a result, the release film F is attracted along the inner surface of the cavity C. By drawing the release film F in this way, the release film F can be further stretched and tension can be applied to the release film F. In fact, at this time, a resin material (not shown) is supplied into the cavity C together with the release film F.

このように本実施形態では、第1吸着部232により離型フィルムFを吸着した後で、第2吸着部236及び第3吸着部244による吸着を行うことで、離型フィルムFに張力を付与している。ここで、本実施形態では共通の主経路Lを介して空気の吸引を行うことで、第1分岐経路L1及び第2分岐経路L2を介する空気の吸引を行うことができる。このように空気の吸引経路を共通化することで、吸引経路の省スペース化を図ることができる。吸引経路の省スペース化を図ることで、例えば第1吸着部232及び第2吸着部236をキャビティC側に寄せて形成し易くなる。これに伴って離型フィルムFのサイズの小型化を図ることで、離型フィルムFの使用量を削減することができ、樹脂成形品の製造コストの削減を図ることができる。また離型フィルムFのサイズの小型化と吸引経路の省スペース化により、平面視からみた成形型200の外郭(サイズ)を小さくすることが可能となり、材料コストの削減を図ることができる。 As described above, in this embodiment, after the release film F is adsorbed by the first adsorption section 232, the second adsorption section 236 and the third adsorption section 244 perform adsorption to apply tension to the release film F. are doing. Here, in this embodiment, by suctioning air through the common main path L, air can be suctioned through the first branch path L1 and the second branch path L2. By sharing the air suction path in this way, the space of the suction path can be saved. By saving space in the suction path, it becomes easier to form the first suction part 232 and the second suction part 236 closer to the cavity C side, for example. Accordingly, by reducing the size of the release film F, the amount of the release film F to be used can be reduced, and the manufacturing cost of the resin molded product can be reduced. Further, by reducing the size of the release film F and saving space of the suction path, it is possible to reduce the outer size (size) of the mold 200 when viewed from above, and material costs can be reduced.

また、空気の吸引経路を共通化し、成形型のサイズを小さくすることで、吸引する(真空にする)空間の体積が小さくなるため、予め設定された真空度に到達するまでの時間が短くなり、型締め完了時までの空間からの脱気量が多くなるため、成形品質の向上を図ることができる。 In addition, by sharing the air suction path and reducing the size of the mold, the volume of the space to be suctioned (vacuumed) becomes smaller, which shortens the time it takes to reach the preset degree of vacuum. Since the amount of air removed from the space until the mold clamping is completed increases, molding quality can be improved.

また本実施形態では、第1分岐経路L1及び第2分岐経路L2の最小面積に差を設けることで、第1分岐経路L1と第2分岐経路L2を介する離型フィルムFの吸着タイミングを異ならせている。これによって、第1分岐経路L1及び第2分岐経路L2のそれぞれに対して、空気の吸引を制御する機構(例えば、吸引管の加工や吸着配管、開閉弁等)を設ける必要がなくなるため、樹脂成形装置1の低コスト化を図ることができる。 Furthermore, in this embodiment, by providing a difference in the minimum area of the first branching route L1 and the second branching route L2, the adsorption timing of the release film F via the first branching route L1 and the second branching route L2 can be made different. ing. This eliminates the need to provide a mechanism for controlling air suction (for example, suction pipe processing, suction piping, opening/closing valve, etc.) for each of the first branch route L1 and the second branch route L2. The cost of the molding device 1 can be reduced.

以上、本発明の第1実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の技術的思想の範囲内で適宜の変更が可能である。 Although the first embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and appropriate changes can be made within the scope of the technical idea of the invention described in the claims. It is.

例えば、本実施形態で説明した樹脂成形装置1の各部の構成(形状、配置、個数等)は特に限定するものではなく、任意に変更することが可能である。 For example, the configuration (shape, arrangement, number, etc.) of each part of the resin molding apparatus 1 described in this embodiment is not particularly limited, and can be arbitrarily changed.

また、本実施形態では、上型200Uに基板(封止前基板W1等)を吸着して保持するものとしたが、本発明はこれに限るものではない。例えば、下型200Dで基板を保持する構成とすることも可能である。この場合、樹脂材料は、基板に直接供給することができる。 Further, in this embodiment, the substrate (substrate before sealing W1, etc.) is held by adsorption to the upper mold 200U, but the present invention is not limited to this. For example, it is also possible to adopt a configuration in which the substrate is held by the lower die 200D. In this case, the resin material can be supplied directly to the substrate.

また、離型フィルムFを吸着するための吸着孔(第1吸着孔部232a等)や空気の吸引経路の断面形状は特に限定するものではなく、円形状、矩形状、多角形状など、任意の形状に形成することが可能である。例えば、複数の貫通孔238を、環状凹部234と同様にキャビティCを囲むような凹部で接続することも可能である。また、複数の貫通孔238の代わりに、キャビティCを囲むような環状凹部(溝部)とすることも可能である。 Further, the cross-sectional shape of the suction holes (first suction hole portion 232a, etc.) for suctioning the release film F and the air suction path is not particularly limited, and may be any shape such as circular, rectangular, polygonal, etc. It is possible to form it into any shape. For example, it is also possible to connect the plurality of through holes 238 with a recess that surrounds the cavity C, similar to the annular recess 234. Further, instead of the plurality of through holes 238, an annular recess (groove) surrounding the cavity C may be used.

また、本実施形態では、第1吸着部232及び第2吸着部236を、平面視においてキャビティCの形状に沿った矩形状に並ぶように形成した例を示したが、本発明はこれに限るものではなく、任意の形状に並べて形成することが可能である。 Further, in this embodiment, an example has been shown in which the first suction portion 232 and the second suction portion 236 are formed to be lined up in a rectangular shape following the shape of the cavity C in plan view, but the present invention is not limited to this. It is possible to arrange and form them in any shape.

また、本実施形態では、第1分岐経路L1と主経路Lとが平面視で上下に重複するように、吸引管部242を環状凹部234の下方に配置した例を示したが(図7参照)、本発明はこれに限るものではない。すなわち、第2分岐経路L2の最小断面積A2が、第1分岐経路L1の最小断面積A1よりも小さくなるように形成されていれば、主経路L、第1分岐経路L1及び第2分岐経路L2の形状や位置関係は特に限定するものではない。 Furthermore, in the present embodiment, an example is shown in which the suction tube portion 242 is arranged below the annular recess 234 so that the first branch path L1 and the main path L overlap vertically in plan view (see FIG. 7). ), but the present invention is not limited thereto. That is, if the minimum cross-sectional area A2 of the second branch route L2 is formed to be smaller than the minimum cross-sectional area A1 of the first branch route L1, the main route L, the first branch route L1, and the second branch route The shape and positional relationship of L2 are not particularly limited.

また、本実施形態では、第1分岐経路L1及び第2分岐経路L2を上側面部材222に形成した例を示したが、本発明はこれに限るものではなく、第1分岐経路L1及び第2分岐経路L2の一部を下側面部材223に形成することも可能である。 Further, in the present embodiment, an example is shown in which the first branch route L1 and the second branch route L2 are formed in the upper side member 222, but the present invention is not limited to this, and the first branch route L1 and the second branch route L2 are formed in the upper side member 222. It is also possible to form a part of the branch path L2 in the lower side member 223.

また、本実施形態では、側面部材220を上下2つに(上側面部材222と下側面部材223とに)分割した例を示したが、本発明はこれに限るものではない。例えば、側面部材220を3つ以上に分割することや、分割することなく一体の部材として形成することも可能である。 Further, in this embodiment, an example is shown in which the side surface member 220 is divided into two parts, upper and lower (into an upper side member 222 and a lower side member 223), but the present invention is not limited to this. For example, it is also possible to divide the side member 220 into three or more parts, or to form it as an integral member without dividing it.

また、本実施形態では、平面視矩形状の成形型200を例に挙げて説明したが、成形型200の形状はこれに限るものではなく、例えば平面視円形状など、任意の形状の成形型200を用いることが可能である。 Further, in the present embodiment, the mold 200 is described as having a rectangular shape in a plan view, but the shape of the mold 200 is not limited to this, and can have any shape, such as a circular shape in a plan view. 200 can be used.

また、本実施形態で用いた離型フィルムFの形状は特に限定するものではない。離型フィルムFとして、例えば矩形状、円形状等の離型フィルムFを用いることが可能である。また離型フィルムFの形状は、成形型200、キャビティC等の形状に応じて適宜選択することも可能である。 Further, the shape of the release film F used in this embodiment is not particularly limited. As the release film F, it is possible to use a release film F having a rectangular shape, a circular shape, etc., for example. Further, the shape of the release film F can be appropriately selected depending on the shapes of the mold 200, the cavity C, and the like.

また、本実施形態で用いた離型フィルムFの材質は特に限定するものではない。離型フィルムFとして、例えば樹脂フィルム、金属箔、ゴムシート等、若しくは、これらを複合したものを用いることが可能である。 Moreover, the material of the release film F used in this embodiment is not particularly limited. As the release film F, it is possible to use, for example, a resin film, metal foil, rubber sheet, etc., or a composite of these.

また、本実施形態では、樹脂材料は離型フィルムFと共に下型200Dに搬送される例を説明したが、本発明はこれに限るものではなく離型フィルムFと樹脂材料とは別々に下型200Dに搬送されることが可能である。 Furthermore, in this embodiment, an example has been described in which the resin material is conveyed to the lower mold 200D together with the release film F, but the present invention is not limited to this, and the release film F and the resin material are separately conveyed to the lower mold 200D. 200D.

また、本実施形態では、離型フィルムFを下型200Dに吸着して保持させる例を説明したが、本発明はこれに限るものではなく、上型200Uに離型フィルムFを吸着して保持させることが可能である。 Further, in this embodiment, an example was explained in which the release film F is adsorbed and held on the lower mold 200D, but the present invention is not limited to this, and the release film F is adsorbed and held on the upper mold 200U. It is possible to do so.

<第2実施形態>
以下では、図9を用いて、第2実施形態に係る下型200Dについて説明する。
<Second embodiment>
Below, a lower mold 200D according to the second embodiment will be described using FIG. 9.

第2実施形態に係る下型200Dは、第1実施形態に係る下型200D(図7参照)とは異なる位置に連絡部240が形成されている点で、第1実施形態と異なっている。よって以下では主にこの相違点について説明し、その他の第1実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。 The lower mold 200D according to the second embodiment differs from the first embodiment in that the connecting portion 240 is formed at a different position from the lower mold 200D according to the first embodiment (see FIG. 7). Therefore, this difference will be mainly explained below, and the same reference numerals will be given to the other configurations that are the same as those of the first embodiment, and the explanation will be omitted.

図9に示すように、第2実施形態に係る連絡部240は、上側面部材222の底面ではなく、上側面部材222の上下中途部に形成されている。例えば上側面部材222の外側面から環状凹部234を通過して貫通孔238に至るように穴を形成することで、このような位置に連絡部240を形成することができる。この場合、上側面部材222の外側面に形成される開口部を適宜の閉塞部材241によって閉塞することで、気密性を確保することができる。また第2実施形態では、貫通孔238の下端部は上側面部材222の底面まで形成する必要はなく、凹状部236aから上側面部材222の上下中途部(連絡部240と接続される位置)まで形成されていればよい。 As shown in FIG. 9, the communication portion 240 according to the second embodiment is formed not on the bottom surface of the upper side member 222 but at a vertical midway portion of the upper side member 222. For example, by forming a hole from the outer surface of the upper side member 222 to pass through the annular recess 234 and reach the through hole 238, the communication portion 240 can be formed at such a position. In this case, airtightness can be ensured by closing the opening formed on the outer surface of the upper side member 222 with a suitable closing member 241. In addition, in the second embodiment, the lower end of the through hole 238 does not need to be formed all the way to the bottom of the upper side member 222, and extends from the concave portion 236a to the upper and lower middle part of the upper side member 222 (the position where it is connected to the communication portion 240). It is sufficient if it is formed.

第2実施形態においては、環状凹部234の上下中途部(連絡部240と同じ高さの部分)が分岐点Pとなる。したがって、第2実施形態では、吸引装置250から環状凹部234の上下中途部(分岐点P)までの空気の吸引経路が主経路Lとなる。また、環状凹部234の上下中途部(分岐点P)から第1吸着部232(第1吸着孔部232a)の上端部までの空気の吸引経路が第1分岐経路L1となる。また、環状凹部234の上下中途部(分岐点P)から貫通孔238の上端部までの空気の吸引経路が第2分岐経路L2となる。 In the second embodiment, the branching point P is the upper and lower middle part of the annular recess 234 (the part at the same height as the communication part 240). Therefore, in the second embodiment, the main path L is the air suction path from the suction device 250 to the vertical midway point (branch point P) of the annular recess 234. Further, the air suction path from the upper and lower midpoints (branch point P) of the annular recess 234 to the upper end of the first suction portion 232 (first suction hole portion 232a) is the first branch path L1. Further, the air suction path from the upper and lower midpoints (branch point P) of the annular recess 234 to the upper end of the through hole 238 becomes the second branch path L2.

この場合でも、第1分岐経路L1の最小断面積A1よりも、第2分岐経路L2の最小断面積A2の方が小さくなるように構成されている。すなわち、「最小断面積A2 < 最小断面積A1」を満たすように、最小断面積A1等が設定されている。このように構成することによって、第1分岐経路L1を流通する空気の流動抵抗より、第2分岐経路L2を流通する空気の流動抵抗の方が大きくなり、吸引管部242を介して空気を吸引した際に、第2分岐経路L2よりも第1分岐経路L1から優先的に空気が吸引されることになる。これによって本実施形態では、離型フィルムFを段階的に側面部材220に吸着することができる。 Even in this case, the configuration is such that the minimum cross-sectional area A2 of the second branch route L2 is smaller than the minimum cross-sectional area A1 of the first branch route L1. That is, the minimum cross-sectional area A1 etc. are set so as to satisfy "minimum cross-sectional area A2 < minimum cross-sectional area A1". With this configuration, the flow resistance of the air flowing through the second branch path L2 is greater than the flow resistance of the air flowing through the first branch path L1, and air is sucked through the suction pipe section 242. At this time, air is preferentially sucked from the first branch path L1 rather than the second branch path L2. Accordingly, in this embodiment, the release film F can be adsorbed to the side member 220 in stages.

<第3実施形態>
以下では、図10を用いて、第3実施形態に係る下型200Dについて説明する。
<Third embodiment>
Below, a lower mold 200D according to the third embodiment will be described using FIG. 10.

第3実施形態に係る下型200Dは、第1吸着部232の形状が第1実施形態(図3参照)と異なっている。よって以下では主にこの相違点について説明し、その他の第1実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。 A lower mold 200D according to the third embodiment is different from the first embodiment (see FIG. 3) in the shape of the first suction portion 232. Therefore, this difference will be mainly explained below, and the same reference numerals will be given to the other configurations that are the same as those of the first embodiment, and the explanation will be omitted.

図10に示すように、第3実施形態に係る第1吸着部232は、第1吸着孔部232aに加えて第2吸着孔部232bを具備している。第2吸着孔部232bは、第1吸着部232と同様に、側面部材220の上面と、環状凹部234とを接続するように、上下方向に沿って形成される貫通孔である。第2吸着孔部232bは、平面視において、1つの第1吸着孔部232aから、その第1吸着孔部232aと隣接する他の第1吸着孔部232aまで延びるように形成される。このようにして第2吸着孔部232bは、隣接する第1吸着孔部232a同士を接続するように形成される。平面視における第2吸着孔部232bの幅(第2吸着孔部232bが隣接する第1吸着孔部232a同士を接続するために延びる方向に対して垂直な方向の長さである幅)は、概ね一定となるように形成される。第2吸着孔部232bの幅は、例えば離型フィルムFの厚さの4倍以下になるように形成される。 As shown in FIG. 10, the first suction section 232 according to the third embodiment includes a second suction hole section 232b in addition to the first suction hole section 232a. The second suction hole portion 232b, like the first suction portion 232, is a through hole formed along the vertical direction so as to connect the upper surface of the side member 220 and the annular recess 234. The second suction hole portion 232b is formed to extend from one first suction hole portion 232a to another first suction hole portion 232a adjacent to the first suction hole portion 232a in plan view. In this way, the second suction hole portions 232b are formed to connect adjacent first suction hole portions 232a. The width of the second suction hole portion 232b in plan view (the width that is the length in the direction perpendicular to the direction in which the second suction hole portion 232b extends to connect adjacent first suction hole portions 232a) is as follows: It is formed to be approximately constant. The width of the second suction hole portion 232b is formed to be, for example, four times or less the thickness of the release film F.

第2吸着孔部232bの幅は、第1吸着孔部232aの幅(第2吸着孔部232bが隣接する第1吸着孔部232a同士を接続するために延びる方向に対して垂直な方向における第1吸着孔部232aの最大の長さ。本実施形態では、第1吸着孔部232aの直径)よりも小さく形成されている。これによって、第1吸着孔部232aは、第2吸着孔部232bに対して、第2吸着孔部232bの幅方向両側にそれぞれ突出するように形成されている。すなわち、第1吸着孔部232aは、第2吸着孔部232bに対して、下型200Dの内側(キャビティC側)、及び、外側(キャビティCと反対側)に突出するように形成されている。 The width of the second suction hole portion 232b is the width of the first suction hole portion 232a (the width of the second suction hole portion 232b in the direction perpendicular to the direction in which the second suction hole portion 232b extends to connect adjacent first suction hole portions 232a). The maximum length of the first suction hole portion 232a (in this embodiment, the diameter of the first suction hole portion 232a) is smaller than the maximum length of the first suction hole portion 232a. As a result, the first suction hole portion 232a is formed to protrude from the second suction hole portion 232b on both sides in the width direction of the second suction hole portion 232b. That is, the first suction hole portion 232a is formed to protrude to the inside (cavity C side) and the outside (opposite side to cavity C) of the lower mold 200D with respect to the second suction hole portion 232b. .

第1吸着孔部232a及び第2吸着孔部232bは、平面視において交互に連なるように形成される。また第1吸着孔部232a及び第2吸着孔部232bは、キャビティCの周囲を囲むように形成される。本実施形態では、第1吸着孔部232a及び第2吸着孔部232bは、途切れることなくキャビティCを囲むように形成される。すなわち、第1吸着孔部232a及び第2吸着孔部232bは、平面視において、端の無い環状に形成され、第1吸着孔部232a及び第2吸着孔部232bは、連続的に連なってキャビティCの周り全体を囲んでいる。このように、側面部材220の上面に開口する第1吸着孔部232a及び第2吸着孔部232bによって、離型フィルムFを吸着するための吸着孔が形成されている。 The first suction hole portions 232a and the second suction hole portions 232b are formed so as to be alternately connected in a plan view. Further, the first suction hole portion 232a and the second suction hole portion 232b are formed to surround the cavity C. In this embodiment, the first suction hole portion 232a and the second suction hole portion 232b are formed so as to surround the cavity C without interruption. That is, the first suction hole portion 232a and the second suction hole portion 232b are formed in an endless ring shape in plan view, and the first suction hole portion 232a and the second suction hole portion 232b are continuously connected to form a cavity. It surrounds the entire area around C. In this way, a suction hole for suctioning the release film F is formed by the first suction hole portion 232a and the second suction hole portion 232b that are open on the upper surface of the side member 220.

なお、上述のように、第1吸着孔部232a、第2吸着孔部232b及び環状凹部234(図5参照)はキャビティCの周囲を途切れることなく、連続的に連なって囲むように形成されている。このため上側面部材222は、第1吸着孔部232a等を挟んで、平面視において第1吸着孔部232a等よりも外側の部分(外側部材222a)と、内側の部分(内側部材222b)と、に分離されている。 Note that, as described above, the first suction hole portion 232a, the second suction hole portion 232b, and the annular recess 234 (see FIG. 5) are formed so as to continuously surround the cavity C without interruption. There is. Therefore, the upper side member 222 has a portion (outer member 222a) outside the first suction hole portion 232a, etc. and a portion (inner member 222b) inside the first suction hole portion 232a, etc. in plan view, with the first suction hole portion 232a etc. in between. , are separated into.

第3実施形態のように、第1吸着孔部232aを第2吸着孔部232bで接続することにより、離型フィルムFを吸着するための吸着孔の面積を広く確保することができる。これによって、第1分岐経路L1における最小断面積A1(図7参照)を広くすることができる。第1分岐経路L1における最小断面積A1を広くすることによって、第2分岐経路L2における最小断面積A2との差を大きくすることができるため、第1分岐経路L1を介する空気の吸引と、第2分岐経路L2を介する空気の吸引のタイミングをより明確にずらすことができる。 By connecting the first suction hole portion 232a with the second suction hole portion 232b as in the third embodiment, a large area of the suction hole for suctioning the release film F can be ensured. Thereby, the minimum cross-sectional area A1 (see FIG. 7) in the first branch route L1 can be increased. By widening the minimum cross-sectional area A1 in the first branch route L1, the difference from the minimum cross-sectional area A2 in the second branch route L2 can be increased. The timing of air suction via the two-branch route L2 can be shifted more clearly.

また第3実施形態のように離型フィルムFを吸着するための吸着孔の面積を広く確保することで、離型フィルムFを強固に保持することができる。これによって、第2吸着部236や第3吸着部244によって離型フィルムFを吸着した際に、離型フィルムFの吸着不良(シワや、滑り等)の発生を防止することができ、離型フィルムFの吸着不良に起因する樹脂成形品の成形不良や離型不良の発生を防止することができる。また第1吸着孔部232aを、比較的幅の狭い第2吸着孔部232bで連結することで、比較的大きい吸着力で離型フィルムFを吸着しながらも、離型フィルムFが第1吸着孔部232aに引き込まれるのを防止することができる。 Further, by ensuring a large area of the suction holes for adsorbing the release film F as in the third embodiment, the release film F can be firmly held. As a result, when the release film F is adsorbed by the second adsorption section 236 or the third adsorption section 244, it is possible to prevent the adsorption failure (wrinkles, slippage, etc.) of the release film F from occurring. It is possible to prevent molding defects and release defects of the resin molded product due to poor suction of the film F. Furthermore, by connecting the first suction hole portion 232a with the second suction hole portion 232b having a relatively narrow width, even though the release film F is suctioned with a relatively large suction force, the release film F is attached to the first suction hole portion 232b. This can prevent it from being drawn into the hole 232a.

<第4、第5実施形態>
以下では、図11を用いて、第4実施形態及び第5実施形態に係る下型200Dについて説明する。
<Fourth and fifth embodiments>
Below, lower mold 200D according to the fourth embodiment and the fifth embodiment will be described using FIG. 11.

第4実施形態及び第5実施形態に係る下型200Dは、主経路L、第1分岐経路L1及び第2分岐経路L2の形状及び位置関係が、第1実施形態(図7参照)と異なっている。よって以下では主にこの相違点について説明し、その他の第1実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。 The lower mold 200D according to the fourth embodiment and the fifth embodiment differs from the first embodiment (see FIG. 7) in the shape and positional relationship of the main path L, the first branch path L1, and the second branch path L2. There is. Therefore, this difference will be mainly explained below, and the same reference numerals will be given to the other configurations that are the same as those of the first embodiment, and the explanation will be omitted.

図11(a)には、第4実施形態に係る下型200Dを示している。図11(a)に示すように、第4実施形態に係る吸引管部242は、環状凹部234の下方ではなく、貫通孔238の下方に配置されている。すなわち、吸引管部242の上端部は、貫通孔238の下端部と接続されている。また貫通孔238の下端部は、連絡部240を介して環状凹部234の下端部と接続されている。これによって、第4実施形態では、貫通孔238の下端部が分岐点Pとなる。 FIG. 11A shows a lower mold 200D according to the fourth embodiment. As shown in FIG. 11(a), the suction tube part 242 according to the fourth embodiment is arranged not below the annular recess 234 but below the through hole 238. That is, the upper end of the suction tube section 242 is connected to the lower end of the through hole 238. Further, the lower end of the through hole 238 is connected to the lower end of the annular recess 234 via a communication portion 240. Accordingly, in the fourth embodiment, the lower end of the through hole 238 becomes the branch point P.

なお第4実施形態では、第1実施形態(図7参照)と比較して連絡部240の断面積が大きく形成され、第2分岐経路L2の最小断面積A2が、第1分岐経路L1の最小断面積A1よりも小さくなるように形成される。このように構成することで、吸引管部242から空気を吸引した際に、離型フィルムFを第1吸着部232及び第2吸着部236で段階的に吸着することができる。 Note that in the fourth embodiment, the cross-sectional area of the communication portion 240 is formed larger than that in the first embodiment (see FIG. 7), and the minimum cross-sectional area A2 of the second branch route L2 is the minimum cross-sectional area A2 of the first branch route L1. It is formed to have a smaller cross-sectional area than A1. With this configuration, when air is sucked from the suction tube section 242, the release film F can be suctioned in stages by the first suction section 232 and the second suction section 236.

図11(b)には、第5実施形態に係る下型200Dを示している。図11(b)に示すように、第5実施形態に係る吸引管部242は、環状凹部234及び貫通孔238からずれた位置に配置されている。吸引管部242の上端部は、上側面部材222の底面に形成された凹部248を介して環状凹部234の下端部と接続されている。さらに環状凹部234の下端部は、第1実施形態と同様に、連絡部240を介して貫通孔238の下端部と接続されている。これによって、第5実施形態では、環状凹部234の下端部が分岐点Pとなる。 FIG. 11(b) shows a lower mold 200D according to the fifth embodiment. As shown in FIG. 11(b), the suction tube portion 242 according to the fifth embodiment is arranged at a position shifted from the annular recess 234 and the through hole 238. The upper end of the suction tube section 242 is connected to the lower end of the annular recess 234 via a recess 248 formed in the bottom surface of the upper side member 222. Further, the lower end of the annular recess 234 is connected to the lower end of the through hole 238 via a communication portion 240, similarly to the first embodiment. Accordingly, in the fifth embodiment, the lower end of the annular recess 234 becomes the branch point P.

第5実施形態では、第1実施形態(図7参照)と同様に、第2分岐経路L2の最小断面積A2が、第1分岐経路L1の最小断面積A1よりも小さくなるように形成される。このように構成することで、吸引管部242から空気を吸引した際に、離型フィルムFを第1吸着部232及び第2吸着部236で段階的に吸着することができる。 In the fifth embodiment, similarly to the first embodiment (see FIG. 7), the second branch route L2 is formed so that the minimum cross-sectional area A2 is smaller than the minimum cross-sectional area A1 of the first branch route L1. . With this configuration, when air is sucked from the suction tube section 242, the release film F can be suctioned in stages by the first suction section 232 and the second suction section 236.

<付記>
本開示の第1側面の成形型200は、
上型200U(一方の型)と、前記上型200Uに対向して配置され、離型フィルムFが配置されるキャビティCを有する下型200D(他方の型)と、を具備する成形型200であって、
前記下型200Dは、前記キャビティCの主面を形成する主面部材210と、前記キャビティCの側面を形成する側面部材220と、を具備し、
前記側面部材220は、
前記上型200Uに対向する第1対向面に形成され、前記離型フィルムFを吸着する第1吸着部232と、
前記第1対向面において、前記第1吸着部232よりも前記キャビティC側に形成され、前記離型フィルムFを吸着する第2吸着部236と、
前記第1吸着部232及び前記第2吸着部236から空気を吸引するための吸引経路(主経路L、第1分岐経路L1及び第2分岐経路L2)と、
を具備し、
前記吸引経路は、
空気の流通方向一端側が吸引装置250に接続されると共に、空気の流通方向他端側が前記第1吸着部232に接続される第1分岐経路L1、及び、前記第2吸着部236に接続される第2分岐経路L2に分岐され、
前記第2分岐経路L2における空気の流通方向に対して直交する断面の最小断面積A2は、前記第1分岐経路L1における空気の流通方向に対して直交する断面の最小断面積A1よりも小さい。
本開示の第1側面の成形型200によれば、低コスト化を図ることができる。すなわち、第1吸着部232及び第2吸着部236から空気を吸引するための吸引経路を共通化することで、吸引経路の省スペース化を図ることができる。吸引経路の省スペース化を図ることで、第1吸着部232及び第2吸着部236をキャビティC側に寄せて配置することができ、これに伴って離型フィルムFのサイズの小型化を図ることができ、樹脂成形品の製造コストの削減を図ることができる。また、第1分岐経路L1と第2分岐経路L2の最小断面積の差によって、第1吸着部232と第2吸着部236による離型フィルムFの吸着のタイミングを異ならせることができる。このため、吸着のタイミングを異ならせるための機構(例えば、吸引管の加工や吸着配管、開閉弁等)を設ける必要がなくなるため、樹脂成形装置1の低コスト化を図ることができる。
<Additional notes>
The mold 200 of the first aspect of the present disclosure includes:
A mold 200 comprising an upper mold 200U (one mold) and a lower mold 200D (the other mold) that is disposed opposite to the upper mold 200U and has a cavity C in which a release film F is disposed. There it is,
The lower mold 200D includes a main surface member 210 that forms the main surface of the cavity C, and a side surface member 220 that forms the side surface of the cavity C,
The side member 220 is
a first adsorption part 232 formed on a first opposing surface facing the upper mold 200U and adsorbing the release film F;
a second adsorption section 236 that is formed closer to the cavity C than the first adsorption section 232 on the first opposing surface and that adsorbs the release film F;
a suction path (main path L, first branch path L1, and second branch path L2) for sucking air from the first suction section 232 and the second suction section 236;
Equipped with
The suction path is
One end side in the air flow direction is connected to the suction device 250, and the other end side in the air flow direction is connected to the first branch path L1 connected to the first suction section 232 and the second suction section 236. branched to a second branch route L2,
The minimum cross-sectional area A2 of the cross section perpendicular to the air flow direction in the second branch path L2 is smaller than the minimum cross-sectional area A1 of the cross section perpendicular to the air flow direction in the first branch path L1.
According to the mold 200 of the first aspect of the present disclosure, cost reduction can be achieved. That is, by sharing the suction path for sucking air from the first suction section 232 and the second suction section 236, it is possible to save space in the suction path. By saving space in the suction path, the first suction section 232 and the second suction section 236 can be placed closer to the cavity C side, and the size of the release film F can be reduced accordingly. Therefore, it is possible to reduce the manufacturing cost of resin molded products. Furthermore, the timing of adsorption of the release film F by the first adsorption section 232 and the second adsorption section 236 can be made different depending on the difference in the minimum cross-sectional area between the first branch path L1 and the second branch path L2. Therefore, there is no need to provide a mechanism (for example, suction tube processing, suction piping, opening/closing valve, etc.) for varying the timing of suction, so that the cost of the resin molding apparatus 1 can be reduced.

第1側面に従う第2側面の成形型200において、
前記第2分岐経路L2は、
前記第1分岐経路L1との分岐点Pから、前記主面部材210側に延びる第1経路(連絡部240)と、
前記第1経路から、前記第1対向面へと延びる第2経路(貫通孔238)と、
を具備する。
本開示の第2側面の成形型200によれば、第2分岐経路L2が屈曲するように形成することができ、第2分岐経路L2を流通する空気の流動抵抗を大きくすることができる。これによって、第1吸着部232と第2吸着部236による離型フィルムFの吸着のタイミングを異ならせ易くすることができる。
In the mold 200 of the second side according to the first side,
The second branch route L2 is
a first path (communication portion 240) extending from a branch point P with the first branch path L1 toward the main surface member 210;
a second path (through hole 238) extending from the first path to the first opposing surface;
Equipped with.
According to the mold 200 of the second aspect of the present disclosure, the second branch path L2 can be formed to be curved, and the flow resistance of the air flowing through the second branch path L2 can be increased. Thereby, the timings at which the first suction section 232 and the second suction section 236 adsorb the release film F can be easily made different.

第2側面に従う第3側面の成形型200において、
前記側面部材220は、前記第1対向面が形成された上側面部材222(第1側面部材)と、前記上側面部材222に対して前記第1対向面とは反対側に配置された下側面部材223(第2側面部材)と、を含み、
前記第1経路(連絡部240)は、前記上側面部材222のうち、前記下側面部材223に対向する第2対向面に形成されている。
本開示の第3側面の成形型200によれば、第1経路(連絡部240)を容易に形成することができ、成形型200の低コスト化を図ることができる。
In the mold 200 of the third side according to the second side,
The side member 220 includes an upper side member 222 (first side member) on which the first opposing surface is formed, and a lower side disposed on the opposite side of the first opposing surface with respect to the upper side member 222. A member 223 (second side member),
The first path (communication portion 240) is formed on a second opposing surface of the upper surface member 222 that faces the lower surface member 223.
According to the mold 200 of the third aspect of the present disclosure, the first path (communication portion 240) can be easily formed, and the cost of the mold 200 can be reduced.

第1から第3側面に従う第4側面の成形型200において、
前記第1分岐経路L1は、前記第1対向面に垂直な方向から見て、前記キャビティCの周囲を連なって囲むように形成される環状凹部234(環状部)を具備する。
本開示の第4側面の成形型200によれば、第1分岐経路L1を流通する空気の流動抵抗を小さくすることができる。これによって、第1吸着部232と第2吸着部236による離型フィルムFの吸着のタイミングを異ならせ易くすることができる。
In the mold 200 of the fourth side according to the first to third sides,
The first branch path L1 includes an annular recess 234 (an annular portion) formed so as to continuously surround the cavity C when viewed from a direction perpendicular to the first opposing surface.
According to the mold 200 of the fourth aspect of the present disclosure, the flow resistance of air flowing through the first branch path L1 can be reduced. Thereby, the timings at which the first suction section 232 and the second suction section 236 adsorb the release film F can be easily made different.

第4側面に従う第5側面の成形型200において、
前記第2分岐経路L2は複数形成され、
複数の前記第2分岐経路L2は、前記環状凹部234にそれぞれ接続されている。
本開示の第5側面の成形型200によれば、離型フィルムFをより確実に吸着することができる。すなわち、第1分岐経路L1の最小断面積A1に比べて第2分岐経路L2の最小断面積A2が小さいため、第2分岐経路L2に塵挨等が詰まることが懸念されるが、第2分岐経路L2を複数形成することによって、いずれかの第2分岐経路L2に塵挨等が詰まったとしても、他の第2分岐経路L2によって離型フィルムFの吸着を行うことができる。
In the mold 200 of the fifth side according to the fourth side,
A plurality of the second branch routes L2 are formed,
The plurality of second branch paths L2 are connected to the annular recess 234, respectively.
According to the mold 200 of the fifth aspect of the present disclosure, the release film F can be more reliably adsorbed. That is, since the minimum cross-sectional area A2 of the second branch route L2 is smaller than the minimum cross-sectional area A1 of the first branch route L1, there is a concern that the second branch route L2 will be clogged with dust. By forming a plurality of paths L2, even if any of the second branch paths L2 is clogged with dust or the like, the release film F can be adsorbed using the other second branch paths L2.

第1から第5側面に従う第6側面の成形型200において、
前記第1吸着部232は、複数の第1吸着孔部232aと、隣接する前記第1吸着孔部232a同士を連結する第2吸着孔部232bと、を含み、
前記第1対向面において、前記第2吸着孔部232bが隣接する前記第1吸着孔部232a同士を連結するために延びる方向に垂直な方向における長さについて、前記第1吸着孔部232aが、前記第2吸着孔部232bよりも大きい。
本開示の第6側面の成形型200によれば、第1吸着部232の断面積を広く確保し易くなるため、第1吸着部232と第2吸着部236による離型フィルムFの吸着のタイミングを異ならせ易くすることができる。また、第2吸着孔部232bによって離型フィルムFが第1吸着孔部232aに引き込まれるのを防止することができる。
In the mold 200 of the sixth side according to the first to fifth sides,
The first suction part 232 includes a plurality of first suction holes 232a and a second suction hole 232b that connects the adjacent first suction holes 232a,
On the first opposing surface, the first suction hole portion 232a has a length in a direction perpendicular to the direction in which the second suction hole portion 232b extends to connect adjacent first suction hole portions 232a. It is larger than the second suction hole portion 232b.
According to the mold 200 of the sixth aspect of the present disclosure, since it is easy to ensure a wide cross-sectional area of the first suction part 232, the timing of suction of the release film F by the first suction part 232 and the second suction part 236 is can be easily made different. Further, the second suction hole portion 232b can prevent the release film F from being drawn into the first suction hole portion 232a.

第6側面に従う第7側面の成形型200において、
前記第1吸着部232は、前記キャビティCの周囲を連なって囲むように形成されている。
本開示の第7側面の成形型200によれば、キャビティCの全周に亘って離型フィルムFを強固に保持することができる。これによって、離型フィルムFの吸着不良を効果的に防止することができる。
In the mold 200 of the seventh side according to the sixth side,
The first suction portion 232 is formed so as to surround the cavity C continuously.
According to the mold 200 of the seventh aspect of the present disclosure, the release film F can be firmly held over the entire circumference of the cavity C. Thereby, poor adsorption of the release film F can be effectively prevented.

本開示の第8側面の樹脂成形装置1は、
第1から第7側面までのいずれかの成形型200を具備する。
本開示の第8側面の樹脂成形装置1によれば、低コスト化を図ることができる。
The resin molding device 1 according to the eighth aspect of the present disclosure includes:
Any one of the molds 200 from the first side to the seventh side is provided.
According to the resin molding apparatus 1 of the eighth aspect of the present disclosure, cost reduction can be achieved.

本開示の第9側面の樹脂成形品の製造方法は、
第8側面の樹脂成形装置1を用いた樹脂成形品の製造方法であって、
前記離型フィルムFを前記下型200Dに配置するフィルム配置工程と、
前記離型フィルムFが配置された前記下型200Dを用いて樹脂成形を行う樹脂成形工程と、
を含む。
本開示の第9側面の樹脂成形品の製造方法によれば、低コスト化を図ることができる。
The method for manufacturing a resin molded product according to the ninth aspect of the present disclosure includes:
A method for manufacturing a resin molded product using the resin molding apparatus 1 of the eighth aspect,
a film placement step of placing the release film F on the lower mold 200D;
a resin molding step of performing resin molding using the lower mold 200D in which the release film F is disposed;
including.
According to the method for manufacturing a resin molded product according to the ninth aspect of the present disclosure, cost reduction can be achieved.

1 樹脂成形装置
200 成形型
200D 下型
200U 上型
210 主面部材
220 側面部材
222 上側面部材
223 下側面部材
232 第1吸着部
232a 第1吸着孔部
232b 第2吸着孔部
234 環状凹部
236 第2吸着部
238 貫通孔
240 連絡部
250 吸引装置
1 Resin molding apparatus 200 Molding mold 200D Lower mold 200U Upper mold 210 Main surface member 220 Side member 222 Upper surface member 223 Lower surface member 232 First suction part 232a First suction hole part 232b Second suction hole part 234 Annular recess 236 2 Adsorption part 238 Through hole 240 Communication part 250 Suction device

Claims (9)

一方の型と、前記一方の型に対向して配置され、離型フィルムが配置されるキャビティを有する他方の型と、を具備する成形型であって、
前記他方の型は、前記キャビティの主面を形成する主面部材と、前記キャビティの側面を形成する側面部材と、を具備し、
前記側面部材は、
前記一方の型に対向する第1対向面に形成され、前記離型フィルムを吸着する第1吸着部と、
前記第1対向面において、前記第1吸着部よりも前記キャビティ側に形成され、前記離型フィルムを吸着する第2吸着部と、
前記第1吸着部及び前記第2吸着部から空気を吸引するための吸引経路と、
を具備し、
前記吸引経路は、
空気の流通方向一端側が吸引装置に接続されると共に、空気の流通方向他端側が前記第1吸着部に接続される第1分岐経路、及び、前記第2吸着部に接続される第2分岐経路に分岐され、
前記第2分岐経路における空気の流通方向に対して直交する断面の最小断面積は、前記第1分岐経路における空気の流通方向に対して直交する断面の最小断面積よりも小さい、
成形型。
A mold comprising one mold and another mold disposed opposite to the one mold and having a cavity in which a release film is disposed,
The other mold includes a main surface member forming a main surface of the cavity, and a side member forming a side surface of the cavity,
The side member is
a first suction part that is formed on a first opposing surface facing the one mold and that suctions the release film;
a second adsorption part that is formed closer to the cavity than the first adsorption part on the first opposing surface and adsorbs the release film;
a suction path for sucking air from the first suction part and the second suction part;
Equipped with
The suction path is
a first branch path in which one end in the air flow direction is connected to the suction device and the other end in the air flow direction to the first adsorption section; and a second branch path connected to the second adsorption section. It is branched into
The minimum cross-sectional area of a cross section perpendicular to the air flow direction in the second branch path is smaller than the minimum cross-sectional area of a cross section perpendicular to the air flow direction in the first branch path.
Molding mold.
前記第2分岐経路は、
前記第1分岐経路との分岐点から、前記主面部材側に延びる第1経路と、
前記第1経路から、前記第1対向面へと延びる第2経路と、
を具備する、
請求項1に記載の成形型。
The second branch route is
a first path extending from a branch point with the first branch path toward the main surface member;
a second path extending from the first path to the first opposing surface;
Equipped with
The mold according to claim 1.
前記側面部材は、前記第1対向面が形成された第1側面部材と、前記第1側面部材に対して前記第1対向面とは反対側に配置された第2側面部材と、を含み、
前記第1経路は、前記第1側面部材のうち、前記第2側面部材に対向する第2対向面に形成されている、
請求項2に記載の成形型。
The side member includes a first side member on which the first opposing surface is formed, and a second side member disposed on the opposite side of the first opposing surface with respect to the first side member,
The first path is formed on a second opposing surface of the first side member that faces the second side member.
The mold according to claim 2.
前記第1分岐経路は、前記第1対向面に垂直な方向から見て、前記キャビティの周囲を連なって囲むように形成される環状部を具備する、
請求項1に記載の成形型。
The first branch path includes an annular portion formed to continuously surround the cavity when viewed from a direction perpendicular to the first opposing surface.
The mold according to claim 1 .
前記第2分岐経路は複数形成され、
複数の前記第2分岐経路は、前記環状部にそれぞれ接続されている、
請求項4に記載の成形型。
A plurality of the second branch paths are formed,
The plurality of second branch paths are each connected to the annular portion,
The mold according to claim 4.
前記第1吸着部は、複数の第1吸着孔部と、隣接する前記第1吸着孔部同士を連結する第2吸着孔部と、を含み、
前記第1対向面において、前記第2吸着孔部が隣接する前記第1吸着孔部同士を連結するために延びる方向に垂直な方向における長さについて、前記第1吸着孔部が、前記第2吸着孔部よりも大きい、
請求項1に記載の成形型。
The first suction part includes a plurality of first suction holes and a second suction hole that connects the adjacent first suction holes,
On the first opposing surface, the first suction hole portion has a length in the direction perpendicular to the direction in which the second suction hole portion extends to connect the adjacent first suction hole portions. larger than the suction hole,
The mold according to claim 1 .
前記第1吸着部は、前記キャビティの周囲を連なって囲むように形成されている、
請求項6に記載の成形型。
The first suction part is formed so as to continuously surround the periphery of the cavity.
The mold according to claim 6.
請求項1から請求項7までのいずれか一項に記載の成形型を具備する樹脂成形装置。 A resin molding apparatus comprising the mold according to any one of claims 1 to 7. 請求項8に記載の樹脂成形装置を用いた樹脂成形品の製造方法であって、
前記離型フィルムを前記他方の型に配置するフィルム配置工程と、
前記離型フィルムが配置された前記他方の型を用いて樹脂成形を行う樹脂成形工程と、
を含む、樹脂成形品の製造方法。
A method for manufacturing a resin molded product using the resin molding apparatus according to claim 8,
a film placement step of placing the release film on the other mold;
a resin molding step of performing resin molding using the other mold in which the release film is disposed;
A method for manufacturing a resin molded product, including:
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