JP7408093B2 - ガス検出装置 - Google Patents
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Description
MEMSガスセンサのヒータを制御し、ヒータ温度をプレヒート温度、Low温度、測定温度の順に変化させた後にヒータをオフするように、ヒータを制御するヒータ制御部と、
測定温度への加熱開始時の金属酸化物半導体の抵抗値から、検出対象ガスを検出するガス検出部、とを有し、
プレヒート温度が最高温度で、測定温度が次に高い温度で、Low温度は測定温度よりも低く、かつLow温度でもヒータに電力をヒータ制御部から供給することを特徴とする。
図1はMEMSガスセンサ2を示し、4はSiチップ、6は空洞である。空洞7上を掛け渡すように下部絶縁膜7と上部絶縁膜9とが設けられ、これらの間にPt膜等から成るヒータ膜8が設けてある。上部絶縁膜9上に一対の電極10,10と金属酸化物半導体膜12とを設け、リード13により外部へ接続する。図示を省略するが、他にハウジング、被毒ガスを除去するためのフィルタなどを設ける。
1Mの炭酸水素アンモニウムの水溶液に、1Mの4塩化錫の水溶液を滴下し、遠心分離により塩素イオンを除去した。得られた沈殿を120℃で乾燥後、600℃で焼成しSnO2粉末を得た。酢酸パラディウムをエタノールに溶解し、SnO2粉末を入れ、乾燥及び焼成することにより、Pd担持のSnO2粉末を得た。Pd濃度は、SnO2100mol%に対し、3mol%としたが、任意である。また担持する貴金属の種類も任意である。Pd担持のSnO2ペーストを、MEMSガスセンサ2の上部絶縁膜10上に成膜し、ヒータ膜8により450℃で12時間焼成し、膜厚40μmのPd担持SnO2膜12とした。
図3に、ヒータ膜8への電力パターンを示す。PはPreheatを、Mは測定(Measure)を、LはLowを表し、τは動作周期を、Tsはセンサ温度(ここではヒータ膜の温度)を、RTは室温を表す。またSi(Sensitivity initial)は測定温度初期(例えば測定温度へ移行した直後~1秒以内で、好ましくは0.3秒以内)のガス感度を表し、空気中とガス中の抵抗値の比を意味する。
図4~図14に検出結果を示し、代表的な加熱条件を図4(実施例)、図9(比較例)、図11(従来例)に示す。比較例では、ヒータをオフせず、最低温度はLowの温度である。図11(従来例)ではLowの代わりにヒータをオフした。図4~図12では、検出対象はエタノール20ppm、周囲の温度は25℃、相対湿度は23~24%であった。図13では20ppmのアセトンを検出し,図14では20ppmのトルエンを検出した。周囲の温度は25℃、相対湿度は23%、駆動条件は図4のものであった。
4 Siチップ
6 空洞
7 下部絶縁膜
8 ヒータ膜
9 上部絶縁膜
10 電極
12 金属酸化物半導体膜
13 リード
14 負荷抵抗
15 スイッチ
16 駆動IC
17 ヒータ制御部
18 ADコンバータ
19 ガス検出部
20 入出力
Claims (7)
- 金属酸化物半導体の厚膜から成る感ガス部とヒータを有するMEMSガスセンサを備えるガス検出装置において、
MEMSガスセンサのヒータを制御し、ヒータ温度をプレヒート温度、Low温度、測定温度の順に変化させた後にヒータをオフするように、ヒータを制御するヒータ制御部と、
測定温度への加熱開始時の金属酸化物半導体の抵抗値から、検出対象ガスを検出するガス検出部、とを有し、
プレヒート温度が最高温度で、測定温度が次に高い温度で、Low温度は測定温度よりも低く、かつLow温度でもヒータに電力をヒータ制御部から供給し、
金属酸化物半導体の厚膜は貴金属触媒を担持しているSnO2を含み、
かつ金属酸化物半導体の厚膜は膜厚が1μm超であり、
ヒータの抵抗温度係数から測定した温度で、プレヒート温度は350~650℃、Low温度は50~250℃、測定温度は200~600℃であり、測定温度はプレヒート温度よりも50℃以上低く、Low温度は測定温度よりも50℃以上低くなるように、ヒータ制御部が構成されていることを特徴とする、ガス検出装置。 - 金属酸化物半導体の厚膜は膜厚が10μm以上で60μm以下であることを特徴とする、請求項1のガス検出装置。
- プレヒート温度は350~550℃、Low温度は50~250℃、測定温度は200~400℃であり、測定温度はプレヒート温度よりも100℃以上低く、Low温度は測定温度よりも100℃以上低くなるように、ヒータ制御部が構成されていることを特徴とする、請求項2のガス検出装置。
- プレヒート温度への保持期間は0.2秒以上、Low温度への保持期間は2秒以上、測定温度への保持期間は30m秒以上であることを特徴とする、請求項1~3の何れかのガス検出装置。
- プレヒート温度への保持期間は0.2~10秒、Low温度への保持期間は2~10秒、測定温度への保持期間は30m秒以上であることを特徴とする、請求項4のガス検出装置。
- 検出対象ガスはVOC(揮発性有機化合物)ガスであることを特徴とする、請求項5のガス検出装置。
- 除湿装置を備えないことを特徴とする、請求項1~6のいずれかのガス検出装置。
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