JP2020041833A - ガス検出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
サンプルガスの除湿手段と、
ヒータをオフした状態のMEMSガスセンサへ、除湿後のサンプルガスを供給するガス流路と、
MEMSガスセンサがサンプルガスと接触した後に、前記ヒータをオンすることにより前記金属酸化物半導体を動作温度へ加熱し、次いで前記ヒータをオフする、ヒータ制御部と、
加熱時の前記金属酸化物半導体の抵抗値から、サンプルガス中の検出対象ガスを検出するガス検出部、を有する。
ガス検出部より好ましくはは、加熱開始直後でかつ検出対象ガスを含まない空気中での金属酸化物半導体の抵抗値と、加熱開始直後の金属酸化物半導体の抵抗値の比から、検出対象ガスを検出するように構成されている。
また好ましくは金属酸化物半導体は、PdがロードされたSnO2ナノ粒子から成る。ここにナノ粒子は平均2次粒子径が1μm未満、好ましくは100nm以下の粒子を意味する。特に好ましくは、Pdがロードされ平均粒子径が100nm未満の単分散のSnO2粒子を金属酸化物半導体とする。
より好ましくはガス流路は、除湿したサンプルガス中の検出対象ガスを吸着することにより濃縮する濃縮セルと、濃縮セルを加熱し検出対象ガスを脱離させるヒータ、を備えている。
1Mの炭酸水素アンモニウムの水溶液に、1Mの4塩化錫の水溶液を滴下し、遠心分離により塩素イオンを除去した。得られた沈殿に脱イオン水を加え、アンモニアでpHを調整し、透明なスズ酸溶液とした。この溶液を200℃,10MPaで、窒素雰囲気で3時間水熱処理し、単分散のSnO2粒子(平均粒子径は100nm未満)を得、120℃で乾燥した。
MEMSガスセンサの金属酸化物半導体は厚膜が好ましく、膜厚40μmと4μmとでは、40μmの方が遙かにトルエン感度が高かった。好ましい膜厚は10μm以上100μm以下で、特に20μm以上60μm以下が好ましい。金属酸化物半導体膜の表層は、酸素の拡散、及び検出対象ガスの拡散と反応とに関与するが、半導性は必要ではないと考えられる。このため、金属酸化物半導体を、表層の酸化触媒層と、下層の金属酸化物半導体層の2層に分けても良い。なおMEMSガスセンサにヒータ兼用電極を1個のみ設け、他の電極を設けなくても良い。
図12〜図15に実施例のガス検出装置を示す。ボンベBは流路に乾燥クリーンエア(露点:-20℃以下)を供給する。Sは金属酸化物半導体MEMSガスセンサで、ペルティエ素子により加熱と冷却が自在なセンサセルC3に置かれ、マイクロコンピュータ10によりヒータ電力を制御する。V1は6方バルブで、濃縮セルC2からサンプルガスをガスセンサSへ供給する破線の流路と、サンプルガスを除湿セルC1で除湿し、濃縮セルC2に蓄積する実線の流路とを切り替える。V2は3方バルブで、ポートa1を、除湿剤の再生用のポートa2、または常用のポートa3に接続する。V3は3方バルブで、ポートb1をサンプルガスの導入用のポートb2、または除湿剤の再生用のポートb3に接続する。V4は2方バルブで、濃縮セルC2中の吸着剤の再生用のバルブである。MCはマスフローコントローラで、クリーンエアの流量を制御する。またP1〜P5はガスを出し入れするポートである。Fはサンプルガスの流量計である。
B ボンベ
P1〜P5 ポート
C1 除湿セル
C2 濃縮セル
C3 センサセル
V1〜V3 バルブ
MC マスフローコントローラ
F 流量計
10 マイクロコンピュータ
12 ヒータ
14 金属酸化物半導体
16 スイッチ
17 負荷抵抗
20 ADコンバータ
21 ヒータ制御部
22 バルブ制御部
24 セル温度制御部
26 ガス検出部
28 出力部
30 絶縁膜
Claims (6)
- 金属酸化物半導体の厚膜から成る感ガス部とヒータを有するMEMSガスセンサを備えるガス検出装置であって、
サンプルガスの除湿手段と、
ヒータをオフした状態のMEMSガスセンサへ、除湿後のサンプルガスを供給するガス流路と、
MEMSガスセンサがサンプルガスと接触した後に、前記ヒータをオンすることにより前記金属酸化物半導体を動作温度へ加熱し、次いで前記ヒータをオフする、ヒータ制御部と、
加熱時の前記金属酸化物半導体の抵抗値から、サンプルガス中の検出対象ガスを検出するガス検出部、を有するガス検出装置。 - 前記ガス検出部は、加熱開始直後の金属酸化物半導体の抵抗値から、検出対象ガスを検出するように構成されていることを特徴とする、請求項1のガス検出装置。
- 前記ガス検出部は、加熱開始直後でかつ検出対象ガスを含まない空気中での金属酸化物半導体の抵抗値と、加熱開始直後の金属酸化物半導体の抵抗値の比から、検出対象ガスを検出するように構成されていることを特徴とする、請求項2のガス検出装置。
- 前記金属酸化物半導体は、PdがロードされたSnO2ナノ粒子から成ることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかのガス検出装置。
- 前記除湿手段は、モレキュラーシーブMS4Aを有する除湿セルを備え、サンプルガスの除湿とサンプルガス中のエタノールの除去を行うことを特徴とする、請求項1のガス検出装置。
- ガス流路は、除湿したサンプルガス中の検出対象ガスを吸着することにより濃縮する濃縮セルと、濃縮セルを加熱し検出対象ガスを脱離させるヒータ、を備えていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかのガス検出装置。
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