JP7407324B1 - 半導体デバイス用処理液、基板の処理方法、及び半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
<1>
含フッ素化合物と、水と、環状エーテル化合物と、前記環状エーテル化合物以外の水溶性有機溶媒と、を含有する半導体デバイス用処理液である。
<2>
前記環状エーテル化合物における環を形成する炭素数は2~4であり、環を形成する酸素原子数は1~2である、<1>に記載の半導体デバイス用処理液である。
<3>
前記環状エーテル化合物に対する前記水溶性有機溶媒の質量比は、100,000~15,000,000である、<1>又は<2>に記載の半導体デバイス用処理液である。
<4>
前記環状エーテル化合物の含有量が、0.000001質量%~10質量%である、
<1>又は<2>に記載の半導体デバイス用処理液である。
<5>
前記半導体デバイスが、Alを含有する金属層を備えた基板を含み、前記処理液が、前記金属層に対する処理に使用される、<1>又は<2>に記載の半導体デバイス用処理液である。
<6>
前記半導体デバイスが、Cuを含有する金属層を備えた基板を含み、前記処理液が、前記金属層に対する処理に使用される、<1>又は<2>に記載の半導体デバイス用処理液である。
<7>
前記半導体デバイスの製造に使用される、金属層を備えた基板について、前記基板に対し、エッチング処理が施された後に発生する残渣物の除去に使用される、<1>又は<2>に記載の半導体デバイス用処理液である。
<8>
Al及び/又はCuを含有する金属層を備えた基板に対し、レジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターンをマスクとして前記基板をドライエッチングする工程と、含フッ素化合物と、水溶性有機溶媒と、水と、環状エーテル化合物と、を含有する半導体デバイス用処理液を用いて、残渣物を前記基板から除去する工程と、を含有する、基板の処理方法である。
<9>
Al及び/又はCuを含有する金属層を備えた基板に対し、レジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターンをマスクとして前記基板をドライエッチングする工程と、含フッ素化合物と、水溶性有機溶媒と、水と、環状エーテル化合物と、を含有する半導体デバイス用処理液を用いて、残渣物を前記基板から除去する工程と、を含有する半導体デバイスの製造方法である。
Al及び/又はCuを含有する金属層を備えた基板に対し、レジストパターンを形成する工程と、
レジストパターンをマスクとして基板をドライエッチングする工程と、
含フッ素化合物と、水溶性有機溶媒と、水と、環状エーテル化合物と、を含有する半導体デバイス用処理液を用いて、残渣物を基板から除去する工程と、
を含有する、基板の処理方法が挙げられる。そして、上記の半導体デバイス用処理液としては、例えば、上述した組成を有する処理液を用いることができる。Al及び/又はCuを含有する金属層としては、上述したCu、Cu合金、Al、Al合金、及びAlCu合金等からなる群より選択される少なくとも1種を含有する金属層が例示されるが、金属層を備えた基板の具体例については、後述する。
(i)Al及び/又はCuを含有する金属層を備えた基板に対し、レジストパターンを形成する工程と、
(ii)レジストパターンをマスクとして基板をドライエッチングする工程と、
(iii)含フッ素化合物と、水溶性有機溶媒と、水と、環状エーテル化合物と、を含有する半導体デバイス用処理液を用いて、残渣物を上記基板から除去する工程と、
を含有する半導体デバイスの製造方法が挙げられる。
・フッ化アンモニウム(AF)
・フッ化水素(HF)
(b)水
・超純水(DIW)
(c)環状エーテル化合物
・エチレンオキサイド(EO:酸化エチレン、3員環、酸素原子1個)
・1,4-ジオキサン(DO:6員環、酸素原子2個)
(d)水溶性有機溶媒
・ジメチルスルホキシド(DMSO)
・N,N-ジメチルホルムアミド(DMF)
・N-メチル-2-ピロリドン(NMP)
◎:小サンプル片を処理液に5分間浸漬した後にSEMで観察した際、18μm2の撮像エリア内で確認された残渣がなく、層の界面が確認できた。
〇:小サンプル片を処理液に5分間浸漬した後にSEMで観察した際、18μm2の撮像エリア内で確認された残渣があるものの、層の界面が確認できた。
×:小サンプル片を処理液に5分間浸漬した後にSEMで観察した際、撮像エリア内で確認された残渣があり、層の界面が確認できなかった。
◎:小サンプル片を処理液に10分間浸漬した後にSEM写真でAlCuの表面を観察した際には、腐食が確認されなかった。
〇:小サンプル片を処理液に5分間浸漬した後には、腐食が観測されず、10分間浸漬した後にSEM写真でAlCuの表面を観察した際には、腐食がわずかに確認された。
△:小サンプル片を処理液に5分間浸漬した後には、腐食が観測されず、10分間浸漬した後にSEM写真でAlCuの表面を観察した際には、腐食が確認された。
×:小サンプル片を処理液に5分間浸漬した後に、腐食が観測された。
Claims (6)
- 含フッ素化合物として、フッ化アンモニウム、又は、フッ化アンモニウム及びフッ化水素と、
水と、
環状エーテル化合物として、エチレンオキサイド、又は1,4-ジオキサンと、
前記環状エーテル化合物以外の水溶性有機溶媒として、ジメチルスルホキシド、N,N-ジメチルホルムアミド、又はN-メチル-2-ピロリドンと、を含有し、
前記環状エーテル化合物に対する前記水溶性有機溶媒の質量比は、650,000~7,000,000であり、
前記環状エーテル化合物の含有量が、0.000001質量%~0.0003質量%である、半導体デバイス用処理液(ただし、グルコース、マンノース、又はガラクトースを含有する半導体デバイス用処理液、及び、無水酢酸又は酢酸を含有する半導体デバイス用処理液を除く)。 - 前記半導体デバイスが、Alを含有する金属層を備えた基板を含み、
前記処理液が、前記金属層に対する処理に使用される、
請求項1に記載の半導体デバイス用処理液。 - 前記半導体デバイスが、Cuを含有する金属層を備えた基板を含み、
前記処理液が、前記金属層に対する処理に使用される、
請求項1又は2に記載の半導体デバイス用処理液。 - 前記半導体デバイスの製造に使用される、金属層を備えた基板について、
前記基板に対し、エッチング処理が施された後に発生する残渣物の除去に使用される、
請求項1又は2に記載の半導体デバイス用処理液。 - Al及び/又はCuを含有する金属層を備えた基板に対し、レジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとして前記基板をドライエッチングする工程と、
含フッ素化合物として、フッ化アンモニウム、又は、フッ化アンモニウム及びフッ化水素と、環状エーテル化合物として、エチレンオキサイド、又は1,4-ジオキサンと、前記環状エーテル化合物以外の水溶性有機溶媒として、ジメチルスルホキシド、N,N-ジメチルホルムアミド、又はN-メチル-2-ピロリドンと、水と、を含有し、前記環状エーテル化合物に対する前記水溶性有機溶媒の質量比は、650,000~7,000,000であり、前記環状エーテル化合物の含有量が、0.000001質量%~0.0003質量%である、半導体デバイス用処理液(ただし、グルコース、マンノース、又はガラクトースを含有する半導体デバイス用処理液、及び、無水酢酸又は酢酸を含有する半導体デバイス用処理液を除く)を用いて、残渣物を前記基板から除去する工程と、
を含有する、基板の処理方法。 - Al及び/又はCuを含有する金属層を備えた基板に対し、レジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとして前記基板をドライエッチングする工程と、
含フッ素化合物として、フッ化アンモニウム、又は、フッ化アンモニウム及びフッ化水素と、環状エーテル化合物として、エチレンオキサイド、又は1,4-ジオキサンと、前記環状エーテル化合物以外の水溶性有機溶媒として、ジメチルスルホキシド、N,N-ジメチルホルムアミド、又はN-メチル-2-ピロリドンと、水と、を含有し、前記環状エーテル化合物に対する前記水溶性有機溶媒の質量比は、650,000~7,000,000であり、前記環状エーテル化合物の含有量が、0.000001質量%~0.0003質量%である、半導体デバイス用処理液(ただし、グルコース、マンノース、又はガラクトースを含有する半導体デバイス用処理液、及び、無水酢酸又は酢酸を含有する半導体デバイス用処理液を除く)を用いて、残渣物を前記基板から除去する工程と、
を含有する半導体デバイスの製造方法。
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