JP7404728B2 - 赤外光カットフィルター、固体撮像素子用フィルター、固体撮像素子、および、固体撮像素子用フィルターの製造方法 - Google Patents
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図1が示すように、固体撮像素子10は、固体撮像素子用フィルター10F、および、複数の光電変換素子11を備える。固体撮像素子用フィルター10Fは、複数の可視光用のフィルター12R,12G,12B、赤外光パスフィルター12P、赤外光カットフィルター13、バリア層14、複数の可視光用のマイクロレンズ15R,15G,15B、および、赤外光用マイクロレンズ15Pを備える。
ー13は、赤色用フィルター12R、緑色用フィルター12G、および、青色用フィルター12Bに共通する。赤外光カットフィルター13は、固体撮像素子用フィルター10Fと光電変換素子11とが重なる方向から見て、各色用フィルター12R,12G,12Bに重なる。
以下、赤外光カットフィルター13についてより詳細に説明する。
赤外光カットフィルター13は、ポリメチン、および、ポリメチンの両末端に1つずつ位置し、窒素を含む2つの複素環を有するカチオンと、トリス(ペンタフルオロエチル)トリフルオロリン酸(FAP)とを含むシアニン色素と、下記式(1)によって表され、側鎖に芳香環を含むアクリル重合体とを含んでいる。シアニン色素は、カチオンと、アニオンとを含む。本実施形態において、シアニン色素における窒素原子を含む化合物がカチオンであり、FAPがアニオンである。
5のいずれかの整数である。
ル基、シクロヘキセニル基、および、オクテニル基などであってよい。
こうしたシアニン色素が含むカチオンは、例えば、下記式(4)および下記式(5)によって表される構造であってよい。
Aλ=-log10(%T/100)
透過率Tは、赤外光にシアニン色素を有する赤外光カットフィルター13を透過させたときの、入射光の強度(IL)に対する透過光の強度(TL)の比(TL/IL)によって表される。赤外光カットフィルター13において、入射光の強度を1としたときの透過光の強度が透過率Tであり、透過率Tに100を乗算した値が透過率パーセント%Tである。
上述したアクリルモノマー以外のモノマーは、例えば、スチレン系モノマー、(メタ)アクリルモノマー、ビニルエステル系モノマー、ビニルエーテル系モノマー、ハロゲン元素含有ビニル系モノマー、および、ジエン系モノマーなどであってよい。スチレン系モノマーは、例えば、スチレン、α‐メチルスチレン、p‐メチルスチレン、m‐メチルスチレン、p‐メトキシスチレン、p‐ヒドロキシスチレン、p‐アセトキシスチレン、ビニルトルエン、エチルスチレン、フェニルスチレン、および、ベンジルスチレンなどであってよい。(メタ)アクリルモノマーは、例えば、メチルアクリレート、エチルアクリレー
ト、ブチルアクリレート、2‐エチルヘキシルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、ブチルメタクリレート、および、2‐エチルヘキシルメタクリレートなどであってよい。ビニルエステル系モノマーは、例えば、酢酸ビニルなどであってよい。ビニルエーテル系モノマーは、例えば、ビニルメチルエーテルなどであってよい。ハロゲン元素含有ビニル系モノマーは、例えば、塩化ビニルなどであってよい。ジエン系モノマーは、例えば、ブタジエン、および、イソブチレンなどであってよい。アクリル重合体は、上述したアクリルモノマー以外のモノマーを1種のみ含んでいてもよいし、2種以上を含んでいてもよい。
重合溶剤は、例えば、エステル系溶剤、アルコールエーテル系溶剤、ケトン系溶剤、芳香族系溶剤、アミド系溶剤、および、アルコール系溶剤などであってよい。エステル系溶剤は、例えば、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸n‐ブチル、酢酸イソブチル、酢酸t‐ブチル、乳酸メチル、および、乳酸エチルなどであってよい。アルコールエーテル系溶剤は、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、3‐メトキシ‐1‐ブタノール、および、3‐メトキシ‐3-メチル‐1‐ブタノールなどであってよい。ケトン系溶剤は、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、および、シクロヘキサノンなどであってよい。芳香族系溶剤は、例えば、ベンゼン、トルエン、および、キシレンなどであってよい。アミド系溶剤は、例えば、ホルムアミド、および、ジメチルホルムアミドなどであってよい。アルコール系溶剤は、例えば、メタノール、エタノール、n‐プロパノール、イソプロパノール、n‐ブタノール、イソブタノール、s‐ブタノール、t‐ブタノール、ジアセトンアルコール、および、2‐メチル‐2‐ブタノールなどであってよい。このうち、ケトン系溶剤、および、エステル系溶剤は、固体撮像素子用フィルターの製造に用いることができるため好ましい。なお、上述した重合溶剤において、1種を単独で用いてもよいし、2種以上を混合して用いてもよい。
アクリル重合体の質量と、アクリル重合体を構成するアクリルモノマーの質量との和(MS)に対するアクリルモノマーの質量(MM)の百分率(MM/MS×100)は、20%以下であることが好ましい。残存モノマーが20%よりも多い場合に比べて、シアニン色素における赤外光の吸光度が低下しにくくなる。
づき定量することが可能である。アクリル重合体の分析方法は、例えば、ガスクロマトグラフィー量分析法(GC‐MS)、核磁気共鳴分光法(NMR)、および、赤外分光法(IR)などであってよい。
赤外光カットフィルター13は、例えば、300nm以上3μm以下の厚さを有することが可能である。
固体撮像素子用フィルター10Fの製造方法は、赤外光カットフィルター13を形成することと、赤外光カットフィルター13をドライエッチングによってパターニングすることとを含む。赤外光カットフィルター13を形成することでは、シアニン色素と、上記式(1)によって表され、側鎖に芳香環を含むアクリル重合体とを含む赤外光カットフィルター13を形成する。シアニン色素は、ポリメチン、および、前記ポリメチンの両末端に1つずつ位置し、窒素を含む2つの複素環を有するカチオンと、トリス(ペンタフルオロエチル)トリフルオロリン酸とを含む。以下、固体撮像素子用フィルター10Fの製造方法をより詳細に説明する。
G,12B,12P上に塗布し、塗膜を乾燥させる。次いで、乾燥した塗膜をポストベークによって熱硬化させる。これにより、赤外光カットフィルター13が形成される。
<製造例1>
60重量部のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMAc)を重合溶剤として準備し、40重量部のメタクリル酸フェニル(C10H10O2)をアクリルモノマーとして準備し、0.60重量部のベンゾイルペルオキシド(BPO)をラジカル重合開始剤として準備した。これらを攪拌装置と還流管とが設置された反応容器に入れ、反応容器に窒素ガスを導入しつつ、80℃に加熱しながら8時間にわたって攪拌および還流した。これにより、メタクリル酸フェニルのホモポリマー溶液を得た。形成された重合体の補外ガラス転移開始温度をJIS K7121に準拠した方法によって測定したところ、補外ガラス転移開始温度が113℃であることが認められた。
80重量部のPGMAcを重合溶剤として準備し、20重量部のメタクリル酸メチル(C5H8O2)をアクリルモノマーとして準備し、0.48重量部のBPOをラジカル重合開始剤として準備した以外は、製造例1と同様の方法によって、メタクリル酸メチルのホモポリマー溶液を得た。形成された重合体の補外ガラス転移開始温度をJIS K7121に準拠した方法によって測定したところ、補外ガラス転移開始温度は105℃であることが認められた。
製造例1において、アクリルモノマー、重合溶剤、および、ラジカル重合開始剤を以下
の表1に記載のように変更し、製造例3‐1から製造例3‐9のアクリル重合体を得た。また、アクリル重合体の補外ガラス転移開始温度を測定した。
製造例1と同様の方法によって、メタクリル酸フェニルのホモポリマー溶液を得た。
<製造例3‐2>
80重量部のPGMAcを重合溶剤として準備し、10重量部のメタクリル酸フェニル、および、10重量部のメタクリル酸メチルをアクリルモノマーとして準備し、0.39重量部のBPOをラジカル重合開始剤として準備した以外は、製造例1と同様の方法によって、メタクリル酸フェニルとメタクリル酸メチルとの共重合体を含むポリマー溶液を得た。形成された共重合体の補外ガラス転移開始温度をJIS K7121に準拠した方法によって算出したところ、補外ガラス転移開始温度が109℃であることが認められた。
80重量部のPGMAcを重合溶剤として準備し、20重量部のメタクリル酸‐4‐ビフェニル(C6H14O2)をアクリルモノマーとして準備し、0.20重量部のBPOをラジカル重合開始剤として準備した以外は、製造例1と同様の方法によって、メタクリル酸‐4‐ビフェニルのホモポリマー溶液を得た。形成された重合体の補外ガラス転移開始温度をJIS K7121に準拠した方法によって算出したところ、補外ガラス転移開始温度が125℃であることが認められた。
80重量部のPGMAcを重合溶剤として準備し、10重量部のメタクリル酸‐2‐[3‐(2H‐ベンゾトリアゾール‐2‐イル)‐4‐ヒドロキシフェニル]エチル(C18H17N3O3)、および、10重量部のメタクリル酸メチルをアクリルモノマーとして準備し、0.32重量部のBPOをラジカル重合開始剤として準備した。それ以外は、製造例1と同様の方法によって、メタクリル酸‐2‐[3‐(2H‐ベンゾトリアゾール‐2‐イル)‐4‐ヒドロキシフェニル]エチルとメタクリル酸メチルとの共重合体を含むポリマー溶液を得た。形成された共重合体の補外ガラス転移開始温度をJIS K7121に準拠した方法によって算出したところ、補外ガラス転移開始温度は85℃であることが認められた。
80重量部のPGMAcを重合溶剤として準備し、10重量部のメタクリル酸ベンジル
(C11H12O2)、および、10重量部のメタクリル酸メチルをアクリルモノマーとして準備し、0.38重量部のBPOをラジカル重合開始剤として準備した。それ以外は、製造例1と同様の方法によって、メタクリル酸ベンジルとメタクリル酸メチルとの共重合体を含むポリマー溶液を得た。形成された共重合体の補外ガラス転移開始温度をJIS
K7121に準拠した方法によって算出したところ、補外ガラス転移開始温度は77℃であることが認められた。
80重量部のPGMAcを重合溶剤として準備し、20重量部のメタクリル酸ベンジルをアクリルモノマーとして準備し、0.28重量部のBPOをラジカル重合開始剤として準備以外は、製造例1と同様の方法によって、メタクリル酸ベンジルのホモポリマー溶液を得た。形成された重合体の補外ガラス転移開始温度をJIS K7121に準拠した方法によって算出したところ、補外ガラス転移開始温度は54℃であることが認められた。
80重量部のPGMAcを重合溶剤として準備し、10重量部のアクリル酸‐4‐フェニルフェノキシエチル(C17H16O3)、および、10重量部のメタクリル酸メチルをアクリルモノマーとして準備し、0.33重量部のBPOをラジカル重合開始剤として準備した。それ以外は、製造例1と同様の方法によって、アクリル酸‐4‐フェニルフェノキシエチルとメタクリル酸メチルとの共重合体を含むポリマー溶液を得た。形成された共重合体の補外ガラス転移開始温度をJIS K7121に準拠した方法によって算出したところ、補外ガラス転移開始温度は49℃であることが認められた。
80重量部のPGMAcを重合溶剤として準備し、10重量部のアクリル酸2‐フェノキシエチル(C11H12O3)、および、10重量部のメタクリル酸メチルをアクリルモノマーとして準備し、0.37重量部のBPOをラジカル重合開始剤として準備した。それ以外は、製造例1と同様の方法によって、アクリル酸2‐フェノキシエチルとメタクリル酸メチルとの共重合体を含むポリマー溶液を得た。形成された共重合体の補外ガラス転移開始温度をJIS K7121に準拠した方法によって算出したところ、補外ガラス転移開始温度は29℃であることが認められた。
80重量部のPGMAcを重合溶剤として準備し、10重量部のアクリル酸‐3‐フェノキシベンジル(C16H14O3)、および、10重量部のメタクリル酸メチルをアクリルモノマーとして準備し、0.34重量部のBPOをラジカル重合開始剤として準備した。それ以外は、製造例1と同様の方法によって、アクリル酸‐3‐フェノキシベンジルとメタクリル酸メチルとの共重合体を含むポリマー溶液を得た。形成された共重合体の補外ガラス転移開始温度をJIS K7121に準拠した方法によって算出したところ、補外ガラス転移開始温度は19℃であることが認められた。
製造例1において、アクリルモノマー、ラジカル重合開始剤、重合溶剤の使用量、および、重合時間を以下の表2に記載のように変更し、製造例4‐1から製造例4‐6のアクリル重合体を得た。また、アクリル重合体を1H-NMR(400MHz)を用いて分析することによって、以下の式で示されるアクリルモノマーの残存量(RM)を算出した。
上記式において、MMは、アクリル重合体のNMRスペクトルにおけるアクリルモノマーのピークの面積比であり、MSは、アクリル重合体のNMRスペクトルにおけるアクリ
ル重合体のピークの面積比とアクリルモノマーのピークの面積比との和である。
製造例1と同様の方法によって、メタクリル酸フェニルのホモポリマー溶液を得た。ホモポリマー溶液におけるモノマー残存量を1H-NMR(400MHz)を用いた分析によって算出したところ、モノマー残存量(RM)は3%であることが認められた。
重合時間を7時間に変更した以外は、製造例4‐1と同様の方法によって、メタクリル酸フェニルのホモポリマー溶液を得た。ホモポリマー溶液におけるモノマー残存量を1H-NMR(400MHz)を用いた分析によって算出したところ、モノマー残存量(RM)は10%であることが認められた。
重合時間を6時間に変更した以外は、製造例4‐1と同様の方法によって、メタクリル酸フェニルのホモポリマー溶液を得た。ホモポリマー溶液におけるモノマー残存量を1H-NMR(400MHz)を用いた分析によって算出したところ、モノマー残存量(RM)は20%であることが認められた。
重合時間を5時間に変更した以外は、製造例4‐1と同様の方法によって、メタクリル酸フェニルのホモポリマー溶液を得た。ホモポリマー溶液におけるモノマー残存量を1H-NMR(400MHz)を用いた分析によって算出したところ、モノマー残存量(RM)は25%であることが認められた。
80重量部のPGMAcを重合溶剤として準備し、20重量部のメタクリル酸フェニルをアクリルモノマーとして準備し、0.30重量部のBPOをラジカル重合開始剤として準備し、重合時間を10時間に変更した以外は、製造例4-1と同様の方法によって、メタクリル酸フェニルのホモポリマー溶液を得た。ホモポリマー溶液におけるモノマー残存量を1H-NMR(400MHz)を用いた分析によって算出したところ、モノマー残存量(RM)は30%であることが認められた。
重合時間を8時間に変更した以外は、製造例4‐5と同様の方法によって、メタクリル酸フェニルのホモポリマー溶液を得た。ホモポリマー溶液におけるモノマー残存量を1H
-NMR(400MHz)を用いた分析によって算出したところ、モノマー残存量(RM)は45%であることが認められた。
製造例1において、アクリルモノマー、重合溶剤、および、ラジカル重合開始剤の使用量を以下の表3に記載のように変更し、製造例5‐1から製造例5‐5のアクリル重合体を得た。また、ゲル浸透クロマトグラフィー法を用いた分析によって、アクリル重合体の重量平均分子量を算出した。
90重量部のPGMAcを重合溶剤として準備し、10重量部のメタクリル酸フェニルをアクリルモノマーとして準備し、0.60重量部のBPOをラジカル重合開始剤として準備した以外は、製造例1と同様の方法によって、メタクリル酸フェニルのホモポリマー溶液を得た。アクリル重合体の重量平均分子量を、ゲル浸透クロマトグラフィー法を用いた分析によって算出したところ、アクリル重合体の重量平均分子量は5000であることが認められた。
1.20重量部のBPOをラジカル重合開始剤として準備した以外は、製造例5‐1と同様の方法によって、メタクリル酸フェニルのホモポリマー溶液を得た。アクリル重合体の重量平均分子量を、ゲル浸透クロマトグラフィー法を用いた分析によって算出したところ、アクリル重合体の重量平均分子量は10000であることが認められた。
20重量部のメタクリル酸フェニルをアクリルモノマーとして準備し、80重量部のPGMAcを重合溶剤として準備した以外は、製造例5-1と同様の方法によって、メタクリル酸フェニルのホモポリマー溶液を得た。アクリル重合体の重量平均分子量を、ゲル浸透クロマトグラフィー法を用いた分析によって算出したところ、アクリル重合体の重量平均分子量は30000であることが認められた。
60重量部のPGMAcを重合溶剤として準備し、40重量部のメタクリル酸フェニルをアクリルモノマーとして準備し、1.20重量部のBPOをラジカル重合開始剤として準備した以外は、製造例5-1と同様の方法によって、メタクリル酸フェニルのホモポリマー溶液を得た。アクリル重合体の重量平均分子量を、ゲル浸透クロマトグラフィー法を用いた分析によって算出したところ、アクリル重合体の重量平均分子量は50000であることが認められた。
0.15重量部のBPOをラジカル重合開始剤として準備した以外は、製造例5-4と同様の方法によって、メタクリル酸フェニルのホモポリマー溶液を得た。アクリル重合体の重量平均分子量を、ゲル浸透クロマトグラフィー法を用いた分析によって算出したところ、アクリル重合体の重量平均分子量は100000であることが認められた。
[アクリル重合体の側鎖]
[試験例1]
0.3gのシアニン色素、12gのメタクリル酸フェニルの25%ホモポリマー溶液、および、10gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを含む塗液を作製した。この際に、シアニン色素として上記式(4)によって表される色素を用い、かつ、ホモポリマー溶液として上記製造例1のホモポリマー溶液を用いた。塗液を透明基板上に塗布し、塗膜を乾燥させた。次いで、230℃でポストベークすることによって塗膜を熱硬化させることによって、1μmの厚さを有する試験例1の赤外光カットフィルターを得た。
試験例1において、メタクリル酸フェニルのホモポリマー溶液に代えて上記製造例2に記載のメタクリル酸メチルのホモポリマー溶液を用いた以外は、試験例1と同様の方法によって、試験例2の赤外光カットフィルターを得た。
分光光度計(U-4100、(株)日立ハイテクノロジーズ製)を用いて、350nmから1150nmの各波長を有した光に対する赤外光カットフィルターの透過率を測定した。透過率の測定結果から、吸光度を算出した。これにより、各赤外光カットフィルターについて、吸光度のスペクトルを得た。なお、上記式(4)によって表されるシアニン色素における吸光度のスペクトルは、950nmにおいてピークを有する。そのため、各赤外光カットフィルターにおける950nmでの吸光度が、0.8以上であるか否かを評価した。なお、950nmでの吸光度が0.8以上である赤外光カットフィルターは、固体撮像素子に適用された場合に適した赤外光の吸収能を有する。
試験例1の赤外光カットフィルターにおける950nmでの吸光度は、0.92であり、0.8を超えることが認められた。これに対して、試験例2の赤外光カットフィルターでの吸光度は、0.5であり、0.8に満たないことが認められた。このように、試験例1の赤外光カットフィルターと試験例2の赤外光カットフィルターとの比較から、赤外光カットフィルターを形成するためのアクリルモノマーが芳香環を有することによって、赤外光カットフィルターにおける吸光度の低下が抑えられることが認められた。試験例1の赤外光カットフィルターでは、アクリル重合体の側鎖に位置する芳香環が、シアニン色素と他のシアニン色素との間に位置することによって、これらのシアニン色素が会合しない程度の距離が、シアニン色素間に形成されたためと考えられる。
[試験例3]
芳香環を有し、かつ、重合体におけるガラス転移温度が互いに異なる製造例3‐1から製造例3‐9のアクリル重合体を準備した。そして、0.3gのシアニン色素、および、12gの25%ポリマー溶液、および、10gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを含む塗液を作製した。この際に、シアニン色素として上記式(4)によっ
て表されるシアニン色素を用いた。試験例1と同様の方法によって赤外光カットフィルターを形成することによって、試験例3‐1から試験例3‐9の赤外光カットフィルターを得た。各試験例の赤外光カットフィルターとして、1μmの厚さを有するフィルターを得た。
試験例1の赤外光カットフィルターおよび試験例2の赤外光カットフィルターと同一の評価方法によって、試験例3‐1から試験例3‐9の赤外光カットフィルターにおける赤外光の吸光度を評価した。
試験例3‐1から試験例3‐9の赤外光カットフィルターにおいて、950nmでの吸光度は、以下の表4に示す通りであることが認められた。
[試験例4]
芳香環を有し、かつ、重合体におけるモノマー残存量が互いに異なる製造例4‐1から製造例4‐6のアクリル重合体を準備した。そして、0.3gのシアニン色素、12gのポリマー25%溶液、および、10gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテ
ートを含む塗液を作製した。この際に、上記式(4)によって表されるシアニン色素を用いた。塗液を透明基板上に塗布し、塗膜を乾燥させた。次いで、230℃でポストベークすることによって塗膜を熱硬化させ、試験例4‐1から試験例4‐6の赤外光カットフィルターを得た。各試験例の赤外光カットフィルターとして、1μmの厚さを有するフィルターを得た。
試験例1の赤外光カットフィルターおよび試験例2の赤外光カットフィルターと同一の評価方法によって、試験例4‐1から試験例4‐6の赤外光カットフィルターにおける赤外光の吸光度を評価した。
試験例4‐1から試験例4‐6の赤外光カットフィルターにおいて、950nmでの吸光度は、以下の表5に示す通りであることが認められた。
[試験例5]
芳香環を有し、かつ、重合体における重量平均分子量が互いに異なる製造例5‐1から製造例5‐5のアクリル重合体を準備した。そして、0.3gのシアニン色素、12gの25%ポリマー溶液、および、10gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを含む塗液を作製した。この際に、シアニン色素として、上記式(4)によって表される色素を用いた。塗液を透明基板上に塗布し、塗膜を乾燥させた。次いで、230℃でポストベークすることによって塗膜を熱硬化させ、試験例5‐1から試験例5‐5の赤外光カットフィルターを得た。各試験例の赤外光カットフィルターとして、1μmの厚さを有するフィルターを得た。
試験例1の赤外光カットフィルターおよび試験例2の赤外光カットフィルターと同一の評価方法によって、試験例5‐1から試験例5‐5の赤外光カットフィルターにおける赤外光の吸光度を評価した。
試験例5‐1から試験例5‐5の赤外光カットフィルターにおいて、950nmでの吸光度は、以下の表6に示す通りであることが認められた。
い場合に比べて、赤外光カットフィルター13における赤外光の吸光度が低下しにくくなる。
なお、上述した実施形態は、以下のように変更して実施することができる。
[アクリル重合体]
・アクリル重合体のガラス転移温度は、75℃よりも低くてもよい。この場合であっても、赤外光カットフィルター13が、シアニン色素、および、側鎖に芳香環を含むアクリル重合体を含んでいれば、上述した(1)に準じた効果を少なからず得ることは可能である。
・バリア層14は、赤外光カットフィルター13と、各マイクロレンズとの間に限らず、各マイクロレンズの外表面に配置することも可能である。この際、バリア層14の外表面は、固体撮像素子10に光を入射させる入射面として機能する。要は、バリア層14の位置は、赤外光カットフィルター13に対して光の入射側であればよい。この構成によれば、バリア層14は、各マイクロレンズの光学面上に位置する。
・固体撮像素子10は、バリア層14とバリア層14の下層との間にアンカー層を備え、バリア層14とバリア層14の下層との密着性をアンカー層が高める構成に変更することも可能である。また、固体撮像素子10は、バリア層14とバリア層14の上層との間にアンカー層を備え、バリア層14とバリア層14の上層との密着性をアンカー層が高める構成に変更することも可能である。
・カラーフィルターは、シアン用フィルター、イエロー用フィルター、マゼンタ用フィルターから構成された三色用フィルターに変更することが可能である。また、カラーフィルターは、シアン用フィルター、イエロー用フィルター、マゼンタ用フィルター、ブラック用フィルターから構成された四色用フィルターに変更することも可能である。また、カラーフィルターは、透明用フィルター、イエロー用フィルター、赤色用フィルター、ブラック用フィルターから構成された四色用フィルターに変更することも可能である。
・赤外光カットフィルターがマイクロレンズであってもよい。この場合には、光電変換素子に向けて光を取り込む機能を有したマイクロレンズが、赤外光のカット機能を兼ね備えるため、固体撮像素子用フィルターが備える層構造の簡素化が可能である。
Claims (7)
- ポリメチン、および、前記ポリメチンの両末端に1つずつ位置し、窒素を含む2つの複素環を有するカチオンと、トリス(ペンタフルオロエチル)トリフルオロリン酸とを含むシアニン色素と、
下記式(1)によって表され、側鎖に芳香環を含むアクリル重合体と、を含み、
前記アクリル重合体のガラス転移温度は、75℃以上であり、
前記アクリル重合体における重量平均分子量は、3万以上15万以下であり、
前記アクリル重合体の質量と前記アクリル重合体を構成するアクリルモノマーである残存モノマーの質量との和(MS)に対する前記アクリルモノマーの質量(MM)の百分率((MM/MS)×100)である前記アクリルモノマーの残存量が20%以下であり、
前記アクリル重合体以外の重合体、および、前記アクリルモノマー以外の重合性モノマーを含まない
赤外光カットフィルター。
- 前記アクリル重合体は、メタクリル酸フェニル、メタクリル酸‐4‐ビフェニル、メタクリル酸‐2‐[3‐(2H‐ベンゾトリアゾール‐2‐イル)‐4‐ヒドロキシフェニル]エチル、メタクリル酸ベンジルの各々に由来する単位構造のいずれか1種を含む
請求項1に記載の赤外光カットフィルター。 - 前記単位構造は、第1単位構造であり、
前記第1単位構造は、メタクリル酸フェニル、メタクリル酸‐2‐[3‐(2H‐ベンゾトリアゾール‐2‐イル)‐4‐ヒドロキシフェニル]エチル、メタクリル酸ベンジルの各々に由来する単位構造のいずれかであり、
前記アクリル重合体は、メタクリル酸メチルに由来する第2単位構造をさらに含む
請求項2に記載の赤外光カットフィルター。 - 前記カチオンは、下記式(4)から式(45)のいずれかによって表される
請求項1から3のいずれか一項に記載の赤外光カットフィルター。
- 請求項1から4のいずれか一項に記載の赤外光カットフィルターと、
前記赤外光カットフィルターを覆い、前記赤外光カットフィルターを酸化する酸化源の透過を抑えるバリア層と、を備える
固体撮像素子用フィルター。 - 光電変換素子と、
請求項5に記載の固体撮像素子用フィルターと、を備える
固体撮像素子。 - ポリメチン、および、前記ポリメチンの両末端に1つずつ位置し、窒素を含む2つの複素環を有するカチオンと、トリス(ペンタフルオロエチル)トリフルオロリン酸とを含むシアニン色素と、下記式(1)によって表され、側鎖に芳香環を含むアクリル重合体と、を含む赤外光カットフィルターを形成することと、
前記赤外光カットフィルターをドライエッチングによってパターニングすることと、を含み、
前記アクリル重合体のガラス転移温度は、75℃以上であり、
前記アクリル重合体における重量平均分子量は、3万以上15万以下であり、
前記アクリル重合体の質量と前記アクリル重合体を構成するアクリルモノマーである残存モノマーの質量との和(MS)に対する前記アクリルモノマーの質量(MM)の百分率((MM/MS)×100)である前記アクリルモノマーの残存量が20%以下であり、
前記アクリル重合体以外の重合体、および、前記アクリルモノマー以外の重合性モノマーを含まない
固体撮像素子用フィルターの製造方法。
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