JP7398623B2 - レーザ加工ヘッド及びこれを備えたレーザ加工システム - Google Patents
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Description
[レーザ加工システムの構成]
図1は、本実施形態に係るレーザ加工システム(レーザ加工装置)1を示す。レーザ加工システム1は、互いに波長の異なる2種類のレーザ光を用いたハイブリットレーザ加工システムであり、ワークWの切断、溶接、穴開け等のレーザ加工を行う。
図2は、レーザ加工ヘッド10の内部構造を示す。なお、図2におけるX,Y,Zは直交座標系における各方向を示し、X,Yが前後左右の水平方向、Zが上下方向(鉛直方向)である。また、各レーザ光A,Bの光軸(各レーザ光A,Bにおける光束の代表となる仮想的な光線)の延びる方向を、「光軸方向」という。光軸方向は、直交座標系X,Y,Zにおいて常に一定ではなく、各レーザ光A,Bの進行に応じて変化し得る。
図3Aは、アパーチャーによる第1レーザ光のビーム径の変化を模式的に示し、図3Bは、アパーチャーによる第2レーザ光のビーム径の変化を模式的に示す。
図4は、イメージセンサの画素構造を模式的に示す。図5は、RGB画素の受光効率と波長との関係を示す。図6は、別のイメージセンサの画素構造を模式的に示す。
実際にワークWをレーザ加工する場合、表面W1での第1レーザ光A及び第2レーザ光Bのそれぞれの集光状態をモニターすることはできない。一方、本実施形態によれば、前述したように、イメージセンサ60の受光面61に照射される第1レーザ光A及び第2レーザ光Bのそれぞれの集光状態は、ワークWの表面W1に照射される第1レーザ光A及び第2レーザ光Bのそれぞれの集光状態に対応している。つまり、イメージセンサ60の受光面61に照射された第1レーザ光A及び第2レーザ光Bのスポット画像(例えば、図7A参照)に基づいて、ワークWの表面W1での集光状態をモニターすることができる。
以上説明したように、本実施形態に係るレーザ加工ヘッド10は、筐体11と、筐体11の内部に配置された複数の光学部品とを有している。
図9は、本変形例に係るレーザ加工ヘッドの内部構造の要部を模式的に示す。
W ワーク
W1 表面(像面)
A 第1レーザ光
Sai ワーク側第1スポット
Dai ワーク側第1スポット径
Saj 検出側第1スポット
Daj 検出側第1スポット径
B 第2レーザ光
Sbi ワーク側第2スポット
Dbi ワーク側第2スポット径
Sbj 検出側第2スポット
Dbj 検出側第2スポット径
1 レーザ加工システム
2 第1レーザ発振器
3 第2レーザ発振器
4 第1光ファイバ
5 第2光ファイバ
10 レーザ加工ヘッド
20 第1コリメートレンズ
21 第2コリメートレンズ
30 ベンドミラー
40 ダイクロイックミラー
50 ワーク側集光レンズ
60 イメージセンサ(光検出器)
61 受光面
70 検出側集光レンズ
71 アパーチャー
72 減光フィルター
80 ミラー側アクチュエータ(調整手段)
81 第1レンズ側アクチュエータ(調整手段)
82 第2レンズ側アクチュエータ(調整手段)
Claims (8)
- 筐体と、前記筐体の内部に配置された複数の光学部品とを有するレーザ加工ヘッドであって、
前記筐体には、
第1レーザ光が入射される第1光入射口と、
前記第1レーザ光と波長が異なる第2レーザ光が入射される第2光入射口と、
前記第1レーザ光及び前記第2レーザ光を外部に出射する光照射口と、がそれぞれ設けられ、
前記複数の光学部品は、
前記第2レーザ光の光路中に設けられ、前記第2レーザ光を反射して光路を変更させるベンドミラーと、
前記第1レーザ光の光路中であってかつ前記ベンドミラーで反射された前記第2レーザ光の光路中に設けられたダイクロイックミラーと、
前記ダイクロイックミラーを透過した前記第2レーザ光の光路中であってかつ前記ダイクロイックミラーで反射された前記第1レーザ光の光路中に設けられたアパーチャーと、
前記アパーチャーを通過した前記第1レーザ光及び前記第2レーザ光の光路中に設けられた検出側集光レンズと、を少なくとも含み、
前記筐体の内部であって、前記検出側集光レンズを透過した前記第1レーザ光及び前記第2レーザ光をそれぞれ受光可能な位置に光検出器が配置され、
前記ダイクロイックミラーは、
前記第1レーザ光の大部分を透過して前記光照射口に向かわせるとともに、前記第1レーザ光の残部を反射して前記アパーチャーに向かわせ、かつ
前記第2レーザ光の大部分を反射して前記光照射口に向かわせるとともに、前記第2レーザ光の残部を透過して前記アパーチャーに向かわせ、
前記アパーチャーは、前記検出側集光レンズに入射される前記第1レーザ光及び前記第2レーザ光の直径を縮小可能に構成されていることを特徴とするレーザ加工ヘッド。 - 請求項1に記載のレーザ加工ヘッドにおいて、
前記筐体の内部には、
前記第1光入射口と前記ダイクロイックミラーとの間に第1コリメートレンズが、
前記第2光入射口と前記ベンドミラーとの間に第2コリメートレンズが、
前記ダイクロイックミラーと前記光照射口との間にワーク側集光レンズが、それぞれ設けられており、
前記第1コリメートレンズは、前記第1レーザ光を平行化して前記ダイクロイックミラーに入射させ、
前記第2コリメートレンズは、前記第2レーザ光を平行化して前記ベンドミラーに入射させ、
前記ワーク側集光レンズは、入射された前記第1レーザ光及び前記第2レーザ光をそれぞれ所定の集光位置に集光させることを特徴とするレーザ加工ヘッド。 - 請求項1または2に記載のレーザ加工ヘッドにおいて、
前記光検出器は、
前記第1レーザ光の波長を含む第1波長帯の光を受光する複数の第1受光部と、
前記第2レーザ光の波長を含む第2波長帯の光を受光する複数の第2受光部と、を少なくとも有しており、
前記複数の第1受光部及び前記複数の第2受光部は、前記光検出器の受光面上にそれぞれ周期的に配列されていることを特徴とするレーザ加工ヘッド。 - 請求項3に記載のレーザ加工ヘッドにおいて、
前記光検出器は、近赤外光または赤外光、赤色光、緑色光及び青色光をそれぞれ受光する4つの画素が、受光面上に周期的に配列されたイメージセンサであることを特徴とするレーザ加工ヘッド。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載のレーザ加工ヘッドにおいて、
前記ダイクロイックミラーと前記アパーチャーとの間か、または前記アパーチャーと前記検出側集光レンズの間に配置された減光フィルターをさらに備え、
前記減光フィルターは、少なくとも前記第1レーザ光と同じ波長の光を減光させることを特徴とするレーザ加工ヘッド。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載のレーザ加工ヘッドと、
前記第1レーザ光を出射する第1レーザ発振器と、
前記第2レーザ光を出射する第2レーザ発振器と、
前記第1光入射口に接続され、前記第1レーザ発振器から出射された前記第1レーザ光を前記レーザ加工ヘッドに伝送する第1光ファイバと、
前記第2光入射口に接続され、前記第2レーザ発振器から出射された前記第2レーザ光を前記レーザ加工ヘッドに伝送する第2光ファイバと、を少なくとも備え、
前記レーザ加工ヘッドは、前記第1レーザ光及び前記第2レーザ光の少なくとも一方をワークに向けて照射することを特徴とするレーザ加工システム。 - 請求項6に記載のレーザ加工システムにおいて、
前記レーザ加工ヘッドを移動可能に保持するマニピュレータをさらに備えたことを特徴とするレーザ加工システム。 - 請求項6または7に記載のレーザ加工システムにおいて、
前記光検出器で取得された前記第1レーザ光及び前記第2レーザ光の画像に基づいて、前記ワークの表面での前記第1レーザ光及び前記第2レーザ光の集光位置を調整可能に構成されたことを特徴とするレーザ加工システム。
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