JP7388011B2 - ポリイミドフィルム、ポリイミド材料、積層体、ディスプレイ用部材、タッチパネル部材、液晶表示装置、及び有機エレクトロルミネッセンス表示装置 - Google Patents
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Description
画面が折り畳めるモバイル機器は、持ち運ぶ際には折り畳んだ状態とし、使用する際には折り畳みを開いた状態とする。そのため、モバイル機器に搭載されるフレキシブルディスプレイには、繰り返し屈曲させても表示不良が発生しないことが求められ、フレキシブルディスプレイ用の基材や表面材には、繰り返し屈曲させたときの屈曲耐性(以下、動的屈曲耐性という場合がある)が求められる。更に、画面が折り畳めるモバイル機器は、折り畳んだ状態で持ち運ばれることが多いため、モバイル機器に搭載されるフレキシブルディスプレイには、長時間折り曲げられた状態が続いても、平坦に戻した時に元通りになることが求められ、フレキシブルディスプレイ用の基材や表面材にも、長時間折り曲げられた状態が続いた後の復元性(以下、静的屈曲耐性という場合がある)が求められる。
しかしながら、従来技術の透明性を有するポリイミドフィルムの屈曲耐性は更なる向上が求められていた。
また、本発明は、前記ポリイミドフィルムを製造するためのポリイミド材料、前記ポリイミドを有する積層体、前記ポリイミドフィルム又は前記積層体であるディスプレイ用部材、並びに、前記ポリイミドフィルム又は前記積層体を備えるタッチパネル部材、液晶表示装置、及び有機エレクトロルミネッセンス表示装置を提供することを目的とする。
フィルム内の残留溶剤として、1気圧下での沸点が100℃未満の有機溶剤の含有量が2000ppm以下で、且つ、1気圧下での沸点が100℃以上の有機溶剤の含有量が100ppm以下であり、
JIS K7361-1に準拠して測定する全光線透過率が、85%以上である。
前記一般式(1)で表される構造を有し、残留溶剤として、1気圧下での沸点が100℃未満の有機溶剤の含有量が2000ppm以下で、且つ、1気圧下での沸点が100℃以上の有機溶剤の含有量が100ppm以下である、ポリイミド材料を提供する。
前記ポリイミドフィルム又は前記積層体の一方の面側に配置された、複数の導電部からなる透明電極と、
前記導電部の端部の少なくとも一方側において電気的に接続される複数の取り出し線と、を有するタッチパネル部材を提供する。
前記ポリイミドフィルム又は前記積層体の一方の面側に配置された、対向基板間に液晶層を有してなる液晶表示部と、を有する液晶表示装置を提供する。
前記ポリイミドフィルム又は前記積層体の一方の面側に配置された、対向基板間に有機エレクトロルミネッセンス層を有してなる有機エレクトロルミネッセンス表示部と、を有する有機エレクトロルミネッセンス表示装置を提供する。
また、本発明は、前記ポリイミドフィルムを製造するためのポリイミド材料、前記ポリイミドを有する積層体、前記ポリイミドフィルム又は前記積層体であるディスプレイ用部材、並びに、前記ポリイミドフィルム又は前記積層体を備えるタッチパネル部材、液晶表示装置、及び有機エレクトロルミネッセンス表示装置を提供することができる。
また、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。
また、本明細書において(メタ)アクリルとは、アクリル及びメタアクリルの各々を表す。
また、本明細書において「光」とは、活性光線又は放射線を意味し、例えば、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X線、電子線等が包含されるものである。
また、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある場合がある。
また、本明細書において、ポリイミドフィルム中の有機溶剤の含有量の単位として用いられている「ppm」は、質量ppmを表す。
本発明のポリイミドフィルムは、下記一般式(1)で表される構造を有するポリイミドを含有し、
フィルム内の残留溶剤として、1気圧下での沸点が100℃未満の有機溶剤の含有量が2000ppm以下で、且つ、1気圧下での沸点が100℃以上の有機溶剤の含有量が100ppm以下であり、
JIS K7361-1に準拠して測定する全光線透過率が、85%以上である。
残留溶剤は、ポリイミドフィルムの製造に使用された溶剤のため、基本的にポリイミドフィルムの良溶媒であることが多い。沸点が100℃以上の有機溶剤がフィルム内の残留溶剤量として100ppmを超えると、フィルムを構成するポリイミドの一部がその残留溶剤に溶解してしまい、動的屈曲時にフィルムが損傷を受けやすくなって破断しやすくなるのではないかと推定される。
一方、沸点が100℃未満の有機溶剤は、未だ理由は明らかではないが、沸点が100℃以上の有機溶剤に比べて、フィルムの動的屈曲耐性に影響を与え難く、より多い残留量が許容される。沸点が100℃未満の有機溶剤は、沸点が100℃以上の有機溶剤に比べて、フィルムの静的屈曲耐性に影響を与えやすい。これは、沸点が100℃未満の有機溶剤がフィルム中に多く残留していると、フィルムが長時間折り曲げられた状態で、沸点が100℃未満の有機溶剤の一部が揮発することにより、フィルムの一部が収縮してしまい、平坦に戻した時に復元し難くなるのではないかと推定される。
本発明においては、ポリイミドフィルム内の残留溶剤の含有量について、沸点が100℃未満の有機溶剤と、沸点が100℃以上の有機溶剤とをそれぞれ特定の含有割合以下としたことから、動的屈曲時にフィルムが損傷を受け難く、静的屈曲時に復元しやすいポリイミドフィルムを得ることができると推定される。
また、更に、前記特定の全光線透過率を有するポリイミドフィルムとしたことにより、透明性に優れ、屈曲耐性を向上したポリイミドフィルムを提供することができる。
本発明に係るポリイミドフィルムは、ポリイミドを含有し、前記特定の特性を有するものである。本発明の効果が損なわれない限り、更にその他の成分を含有していても良いし、他の構成を有していてもよい。
1.ポリイミド
ポリイミドは、テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを反応させて得られるものである。テトラカルボン酸成分とジアミン成分の重合によってポリアミド酸を得てイミド化することが好ましい。イミド化は、熱イミド化で行っても、化学イミド化で行ってもよい。また、熱イミド化と化学イミド化とを併用した方法で製造することもできる。
本発明で用いられるポリイミドは、下記一般式(1)で表される構造を有するポリイミドを含有する。
また、ジアミン残基とは、ジアミンから2つのアミノ基を除いた残基をいう。
芳香族環を有するテトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2-ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、1,1-ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2-ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン二無水物、1,3-ビス〔(3,4-ジカルボキシ)ベンゾイル〕ベンゼン二無水物、1,4-ビス〔(3,4-ジカルボキシ)ベンゾイル〕ベンゼン二無水物、2,2-ビス{4-〔4-(1,2-ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}プロパン二無水物、2,2-ビス{4-〔3-(1,2-ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}プロパン二無水物、ビス{4-〔4-(1,2-ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}ケトン二無水物、ビス{4-〔3-(1,2-ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}ケトン二無水物、4,4’-ビス〔4-(1,2-ジカルボキシ)フェノキシ〕ビフェニル二無水物、4,4’-ビス〔3-(1,2-ジカルボキシ)フェノキシ〕ビフェニル二無水物、ビス{4-〔4-(1,2-ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}ケトン二無水物、ビス{4-〔3-(1,2-ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}ケトン二無水物、ビス{4-〔4-(1,2-ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}スルホン二無水物、ビス{4-〔3-(1,2-ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}スルホン二無水物、ビス{4-〔4-(1,2-ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}スルフィド二無水物、ビス{4-〔3-(1,2-ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}スルフィド二無水物、4,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物、3,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物、3,3’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物、4,4’-オキシジフタル酸無水物、3,4’-オキシジフタル酸無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10-ぺリレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-アントラセンテトラカルボン酸二無水物、1,2,7,8-フェナントレンテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。
脂肪族環を有するテトラカルボン酸二無水物としては、例えば、シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、ジシクロヘキサン-3,4,3’,4’-テトラカルボン酸二無水物、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。
これらは単独でも、2種以上を混合して用いることもできる。
主鎖にケイ素原子を有するジアミン残基としては、例えば、下記一般式(A)で表されるジアミンが挙げられる。
炭素数1以上20以下のアルキル基としては、炭素数1以上10以下のアルキル基であることが好ましく、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等が挙げられる。前記環状のアルキル基としては、炭素数3以上10以下のシクロアルキル基であることが好ましく、具体的には、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。前記アリール基としては、炭素数6以上12以下のアリール基であることが好ましく、具体的には、フェニル基、トリル基、ナフチル基等が挙げられる。また、R10で表される1価の炭化水素基としては、アラルキル基であっても良く、例えば、ベンジル基、フェニルエチル基、フェニルプロピル基等が挙げられる。
酸素原子又は窒素原子を含んでいても良い炭化水素基としては、例えば後述する2価の炭化水素基と前記1価の炭化水素基とをエーテル結合、カルボニル結合、エステル結合、アミド結合、及びイミノ結合(-NH-)の少なくとも1つで結合した基が挙げられる。
R10で表される1価の炭化水素基が有していても良い置換基としては、本発明の効果が損なわれない範囲で特に限定されず、例えば、フッ素原子、塩素原子等のハロゲン原子、水酸基等が挙げられる。
炭素数1以上20以下のアルキレン基としては、炭素数1以上10以下のアルキレン基であることが好ましく、例えば、メチレン基、エチレン基、各種プロピレン基、各種ブチレン基、シクロヘキシレン基等の直鎖状又は分岐状アルキレン基と環状アルキレン基との組合せの基などを挙げることができる。
前記アリーレン基としては、炭素数6以上12以下のアリーレン基であることが好ましく、アリーレン基としては、フェニレン基、ビフェニレン基、ナフチレン基等が挙げられ、更に後述する芳香族環に対する置換基を有していてもよい。
酸素原子又は窒素原子を含んでいても良い2価の炭化水素基としては、前記2価の炭化水素基同士をエーテル結合、カルボニル結合、エステル結合、アミド結合、及びイミノ結合(-NH-)の少なくとも1つで結合した基が挙げられる。
R11で表される2価の炭化水素基が有していても良い置換基としては、前記R10で表される1価の炭化水素基が有していても良い置換基と同様であって良い。
更に、主鎖にケイ素原子を1個又は2個有するジアミン残基の分子量は、1000以下であることが好ましく、800以下であることがより好ましく、500以下であることがより更に好ましく、300以下であることが特に好ましい。
ジアミン残基の分子量は、ジアミンの分子量からアミノ基(-NH2)2個の分子量(32)を減じて算出される。
主鎖にケイ素原子を有するジアミン残基は単独でも、2種以上を混合して用いることもできる。
ケイ素原子を有さず芳香族環を有するジアミンとしては、例えば、p-フェニレンジアミン、m-フェニレンジアミン、o-フェニレンジアミン、3,3’-ジアミノジフェニルエーテル、3,4’-ジアミノジフェニルエーテル、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’-ジアミノジフェニルスルフィド、3,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’-ジアミノジフェニルスルホン、3,4’-ジアミノジフェニルスルホン、4,4’-ジアミノジフェニルスルホン、3,3’-ジアミノベンゾフェノン、4,4’-ジアミノベンゾフェノン、3,4’-ジアミノベンゾフェノン、4,4’-ジアミノベンズアニリド、3,3’-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノジフェニルメタン、3,4’-ジアミノジフェニルメタン、2,2-ジ(3-アミノフェニル)プロパン、2,2-ジ(4-アミノフェニル)プロパン、2-(3-アミノフェニル)-2-(4-アミノフェニル)プロパン、2,2-ジ(3-アミノフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、2,2-ジ(4-アミノフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、2-(3-アミノフェニル)-2-(4-アミノフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、1,1-ジ(3-アミノフェニル)-1-フェニルエタン、1,1-ジ(4-アミノフェニル)-1-フェニルエタン、1-(3-アミノフェニル)-1-(4-アミノフェニル)-1-フェニルエタン、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(3-アミノベンゾイル)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノベンゾイル)ベンゼン、1,4-ビス(3-アミノベンゾイル)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノベンゾイル)ベンゼン、1,3-ビス(3-アミノ-α,α-ジメチルベンジル)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノ-α,α-ジメチルベンジル)ベンゼン、1,4-ビス(3-アミノ-α,α-ジメチルベンジル)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノ-α,α-ジメチルベンジル)ベンゼン、1,3-ビス(3-アミノ-α,α-ジトリフルオロメチルベンジル)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノ-α,α-ジトリフルオロメチルベンジル)ベンゼン、1,4-ビス(3-アミノ-α,α-ジトリフルオロメチルベンジル)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノ-α,α-ジトリフルオロメチルベンジル)ベンゼン、2,6-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゾニトリル、2,6-ビス(3-アミノフェノキシ)ピリジン、N,N’-ビス(4-アミノフェニル)テレフタルアミド、9,9-ビス(4-アミノフェニル)フルオレン、2,2’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、2,2’-ジトリフルオロメチル-4,4’-ジアミノビフェニル(2,2-ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン)、3,3’-ジクロロ-4,4’-ジアミノビフェニル、3,3’-ジメトキシ-4,4’-ジアミノビフェニル、3,3’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、4,4’-ビス(3-アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、2,2-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2-ビス[3-(3-アミノフェノキシ)フェニル]-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、1,3-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,3-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,4-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,4-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,3-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、1,4-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、1,4-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、4,4’-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’-ビス[4-(4-アミノ-α,α-ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾフェノン、4,4’-ビス[4-(4-アミノ-α,α-ジメチルベンジル)フェノキシ]ジフェニルスルホン、4,4’-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェノキシ]ジフェニルスルホン、3,3’-ジアミノ-4,4’-ジフェノキシベンゾフェノン、3,3’-ジアミノ-4,4’-ジビフェノキシベンゾフェノン、3,3’-ジアミノ-4-フェノキシベンゾフェノン、3,3’-ジアミノ-4-ビフェノキシベンゾフェノン、6,6’-ビス(3-アミノフェノキシ)-3,3,3’,3’-テトラメチル-1,1’-スピロビインダン、6,6’-ビス(4-アミノフェノキシ)-3,3,3’,3’-テトラメチル-1,1’-スピロビインダン等、及び、前記ジアミンの芳香族環上水素原子の一部若しくは全てをフルオロ基、メチル基、メトキシ基、トリフルオロメチル基、又はトリフルオロメトキシ基から選ばれた置換基で置換したジアミンも使用することができる。
これらは単独でも、2種以上を混合して用いることもできる。
脂肪族環を有するジアミンとしては、例えば、1,4-シクロヘキサンジアミン、trans-1,4-ビスメチレンシクロヘキサンジアミン、2,6-ビス(アミノメチル)ビシクロ[2,2,1]ヘプタン、2,5-ビス(アミノメチル)ビシクロ[2,2,1]ヘプタン等が挙げられる。
これらは単独でも、2種以上を混合して用いることもできる。
前記一般式(1)のR2は、屈曲耐性の点から、主鎖にケイ素原子を有するジアミン残基が、R2の総量の3モル%以上であることが好ましく、更に4モル%以上であることが好ましく、より更に5モル%以上であることが好ましい。また、光学歪みを低減する点からは、主鎖にケイ素原子を有するジアミン残基が、R2の総量の10モル%以上であっても良く、15モル%以上であっても良い。一方、前記一般式(1)のR2は、表面硬度と光透過性を向上する点から、主鎖にケイ素原子を有するジアミン残基が、R2の総量の45モル%以下であることが好ましく、更に40モル%以下であることが好ましく、優れた表面硬度と動的屈曲耐性の両立性の点から、10モル%未満であることも好ましい。
一方で、ケイ素原子を有さず、芳香族環又は脂肪族環を有するジアミン残基は、表面硬度と光透過性を向上する点から、R2の総量の55モル%以上であることが好ましく、更に60モル%以上であることが好ましく、優れた表面硬度の点から、90モル%超過であっても良い。また、ケイ素原子を有さず、芳香族環又は脂肪族環を有するジアミン残基は、屈曲耐性の点から、R2の総量の97モル%以下であることが好ましく、更に96モル%以下であることが好ましく、より更に95モル%以下であることが好ましい。
なお、R2の総量の2.5モル%以上50モル%以下が、主鎖にケイ素原子を有するジアミン残基であり、50モル%以上97.5モル%以下が、ケイ素原子を有さず、芳香族環又は脂肪族環を有するジアミン残基であることを満たせば、前記一般式(1)のR2に、主鎖にケイ素原子を有するジアミン残基及びケイ素原子を有さず芳香族環又は脂肪族環を有するジアミン残基とは異なる他のジアミン残基を含むことを妨げるものではない。当該他のジアミン残基は、R2の総量の10モル%以下であることが好ましく、更に5モル%以下であることが好ましく、より更に3モル%以下であることが好ましく、特に1モル%以下であることが好ましい。当該他のジアミン残基としては、例えば、ケイ素原子を有さず、且つ芳香族環及び脂肪族環を有しないジアミン残基等が挙げられる。
前記一般式(1)のR2は、屈曲耐性を向上する点から、主鎖にケイ素原子を1個又は2個有するジアミン残基が、R2の総量の3モル%以上であることが好ましく、更に4モル%以上であることが好ましく、より更に5モル%以上であることが好ましい。また、光学歪みを低減する点からは、主鎖にケイ素原子を1個又は2個有するジアミン残基が、R2の総量の10モル%以上であっても良く、15モル%以上であっても良い。一方、前記一般式(1)のR2は、表面硬度と光透過性を向上する点から、主鎖にケイ素原子を1個又は2個有するジアミン残基が、R2の総量の45モル%以下であることが好ましく、更に40モル%以下であることが好ましく、優れた表面硬度と動的屈曲耐性の両立性の点から、10モル%未満であることも好ましい。
中でも、R2の総量の2.5モル%以上50モル%以下が、主鎖にケイ素原子を1個又は2個有するジアミン残基であり、R2の総量(100モル%)のうち、前記主鎖にケイ素原子を1個又は2個有するジアミン残基のモル%(xモル%)の残り(100%-x%)である50モル%以上97.5モル%以下が、ケイ素原子を有さず、芳香族環又は脂肪族環を有するジアミン残基であることが好ましい。
また、優れた表面硬度と動的屈曲耐性の両立性の点からは、R2の総量の2.5モル%以上10モル%未満が、主鎖にケイ素原子を1個又は2個有するジアミン残基であり、R2の総量(100モル%)のうち、前記主鎖にケイ素原子を1個又は2個有するジアミン残基のモル%(xモル%)の残り(100%-x%)である90モル%超過97.5モル%以下が、ケイ素原子を有さず、芳香族環又は脂肪族環を有するジアミン残基であることも好ましい。
ここで、ポリイミド中のケイ素原子の含有割合(質量%)は、ポリイミドが2種以上の場合は2種以上の全ポリイミド中のケイ素原子の含有割合(質量%)をいい、以下のように、ポリイミド製造時には仕込みの分子量から求めることができる。また、ポリイミド中のケイ素原子の含有割合(質量%)は、下記と同様に得られたポリイミドの分解物について、高速液体クロマトグラフィー、ガスクロマトグラフ質量分析計、NMR、元素分析、XPS/ESCA及びTOF-SIMSを用いて求めることができる。
(ポリイミドのケイ素原子含有割合(質量%))
例えば、酸二無水物成分として4,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物(6FDA)1モルに対して、ジアミン成分として2,2’-ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン(TFMB)0.9モルと1,3-ビス(3-アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン(AprTMOS)0.1モルを用いた場合、以下のように算出することができる。
ポリイミド繰り返し単位1モル分の分子量は、
6FDA由来:(C)12.01×19+(F)19.00×6+(O)16.00×4+(H)1.01×6=412.25
TFMB由来:{(C)12.01×14+(F)19.00×6+(N)14.01×2+(H)1.01×6}×0.9=284.60
AprTMOS由来:{(C)12.01×10+(O)16.00×1+(N)14.01×2+(Si)28.09×2+(H)1.01×24}×0.1=24.45
から、412.25+284.60+24.45=721.30と算出される。
ポリイミド繰り返し単位1モル中のケイ素原子含有割合(質量%)は、
(28.09×2×0.1)/721.30×100=0.8(質量%)と求められる。
ポリイミドに(i)フッ素原子を含むとポリイミド骨格内の電子状態を電荷移動し難くすることができる点から光透過性が向上する。
ポリイミドに(ii)脂肪族環を含むと、ポリイミド骨格内のπ電子の共役を断ち切ることで骨格内の電荷の移動を阻害することができる点から光透過性が向上する。
ポリイミドに(iii)芳香族環同士をスルホニル基又はフッ素で置換されていても良いアルキレン基で連結した構造を含むと、ポリイミド骨格内のπ電子の共役を断ち切ることで骨格内の電荷の移動を阻害することができる点から光透過性が向上する。
フッ素原子の含有割合は、ポリイミド表面をX線光電子分光法により測定したフッ素原子数(F)と炭素原子数(C)の比率(F/C)が、0.01以上であることが好ましく、更に0.05以上であることが好ましい。一方でフッ素原子の含有割合が高すぎるとポリイミド本来の耐熱性などが低下する恐れがあることから、前記フッ素原子数(F)と炭素原子数(C)の比率(F/C)が1以下であることが好ましく、更に0.8以下であることが好ましい。
ここで、X線光電子分光法(XPS)の測定による上記比率は、X線光電子分光装置(例えば、Thermo Scientific社 Theta Probe)を用いて測定される各原子の原子%の値から求めることができる。
前記一般式(1)で表される構造を有するポリイミドは、表面硬度と光透過性が向上する点から、前記一般式(1)におけるR1及びR2の合計を100モル%としたときに、芳香族環及びフッ素原子を有するテトラカルボン酸残基及び芳香族環及びフッ素原子を有するジアミン残基の合計が50モル%以上であることが好ましく、60モル%以上であることがより好ましく、75モル%以上であることがより更に好ましい。
ポリイミドに含まれる炭素原子に結合する水素原子の50%以上が、芳香族環に直接結合する水素原子であるポリイミドである場合には、大気中における加熱工程を経ても、例えば200℃以上で延伸を行っても、光学特性、特に全光線透過率や黄色度YI値の変化が少ない点から好ましい。ポリイミドに含まれる炭素原子に結合する水素原子の50%以上が、芳香族環に直接結合する水素原子であるポリイミドである場合には、酸素との反応性が低いため、ポリイミドの化学構造が変化し難いことが推定される。ポリイミドフィルムはその高い耐熱性を利用し、加熱を伴う加工工程が必要なデバイスなどに用いられる場合が多いが、ポリイミドに含まれる炭素原子に結合する水素原子の50%以上が、芳香族環に直接結合する水素原子であるポリイミドである場合には、これら後工程を透明性維持のために不活性雰囲気下で実施する必要が生じないので、設備コストや雰囲気制御にかかる費用を抑制できるというメリットがある。
ここで、ポリイミドに含まれる炭素原子に結合する全水素原子(個数)中の、芳香族環に直接結合する水素原子(個数)の割合は、ポリイミドの分解物を高速液体クロマトグラフィー、ガスクロマトグラフ質量分析計及びNMRを用いて求めることができる。例えば、サンプルを、アルカリ水溶液、又は、超臨界メタノールにより分解し、得られたポリイミドの分解物を、高速液体クロマトグラフィーで分離し、当該分離した各ピークの定性分析をガスクロマトグラフ質量分析計及びNMR等を用いて行い、高速液体クロマトグラフィーを用いて定量することでポリイミドに含まれる全水素原子(個数)中の、芳香族環に直接結合する水素原子(個数)の割合を求めることができる。
前記R1において、これらの好適な残基を合計で、50モル%以上含むことが好ましく、更に70モル%以上含むことが好ましく、より更に90モル%以上含むことが好ましい。
特に光透過性と表面硬度のバランスが良い点から、前記一般式(1)中のR1は、4,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物残基、3,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物残基、3,3’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物残基、4,4’-オキシジフタル酸無水物残基、及び、3,4’-オキシジフタル酸無水物残基からなる群から選ばれる少なくとも1種の4価の基であることがより好ましい。
中でも、前記グループBとしては、フッ素原子を含む、4,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物残基、及び3,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物残基の少なくとも一種を用いることが、表面硬度と光透過性の向上の点から好ましい。
ポリイミドにおける繰り返し単位数nは、後述する好ましいガラス転移温度を示すように、構造に応じて適宜選択することが好ましいが、特に限定されない。
平均繰り返し単位数は、通常10~2000であり、更に15~1000であることが好ましい。
なお、各繰り返し単位におけるR1は各々同一であっても異なっていても良く、各繰り返し単位におけるR2は各々同一でも異なっていても良い。
なお、ポリイミドの数平均分子量は、後述するポリイミド前駆体の数平均分子量と同様にして測定することができる。
ポリイミドの重量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)によって測定できる。具体的には、ポリイミドを0.1重量%の濃度のN-メチルピロリドン(NMP)溶液とし、展開溶媒は、含水量500ppm以下の30mmol%LiBr-NMP溶液を用い、東ソー製GPC装置(HLC-8120、使用カラム:SHODEX製GPC LF-804)を用い、サンプル打ち込み量50μL、溶媒流量0.4mL/分、37℃の条件で測定を行う。重量平均分子量は、サンプルと同濃度のポリスチレン標準サンプルを基準に求める。
前記一般式(1)で表される構造とは異なる構造としては、例えば、芳香族環又は脂肪族環を有しないテトラカルボン酸残基等が含まれる場合や、ポリアミド構造が挙げられる。
含んでいても良いポリアミド構造としては、例えば、トリメリット酸無水物のようなトリカルボン酸残基を含むポリアミドイミド構造や、テレフタル酸のようなジカルボン酸残基を含むポリアミド構造が挙げられる。
また、本発明に用いられるポリイミドは、-150℃以上150℃未満の温度領域に、更に、-150℃以上0℃以下の温度領域にtanδ曲線のピークを有しないことが好ましく、これにより、ポリイミドフィルムの室温での表面硬度を向上することができる。
本発明に用いられるポリイミドのtanδ曲線は、後述するポリイミドフィルムのtanδ曲線と同様にして測定することができる。
本発明のポリイミドフィルムは、前記ポリイミドの他に、必要に応じて更に添加剤を含有していてもよい。前記添加剤としては、例えば、無機粒子、巻き取りを円滑にするためのシリカフィラーや、製膜性や脱泡性を向上させる界面活性剤等が挙げられる。
本発明のポリイミドフィルムは、前記特定の残留溶剤量、及び前記特定の全光線透過率を有する。本発明のポリイミドフィルムは、更に後述する特性を有することが好ましい。
本発明のポリイミドフィルムは、フィルム内の残留溶剤として、1気圧下での沸点が100℃未満の有機溶剤の含有量が2000ppm以下で、且つ、1気圧下での沸点が100℃以上の有機溶剤の含有量が100ppm以下である。
沸点が100℃未満の有機溶剤の含有量は、静的屈曲耐性及び動的屈曲耐性を向上する点から、1000ppm以下が好ましく、400ppm以下がより好ましく、100ppm以下がより更に好ましい。中でも、沸点が60℃以下の有機溶剤の含有量は2000ppm以下であってよく、1000ppm以下が好ましく、400ppm以下がより好ましく、100ppm以下がより更に好ましい。沸点が100℃未満の有機溶剤の含有量は、静的屈曲耐性及び動的屈曲耐性を向上する点から、少なければ少ないほど良く、0ppmであってもよい。
一方、沸点が100℃以上の有機溶剤の含有量は、動的屈曲耐性を向上する点から、80ppm以下が好ましく、50ppm以下がより好ましく、30ppm以下がより更に好ましく、20ppm以下がより更に好ましい。沸点が100℃以上の有機溶剤の含有量も、動的屈曲耐性を向上する点から、少なければ少ないほど良く、0ppmであってもよい。
1気圧下での沸点が70℃以下の有機溶剤の含有量が2000ppm以下で、且つ、1気圧下での沸点が70℃超過の有機溶剤の含有量が100ppm以下であってもよく、更に、1気圧下での沸点が60℃以下の有機溶剤の含有量が2000ppm以下で、且つ、1気圧下での沸点が60℃超過の有機溶剤の含有量が100ppm以下であってもよく、より更に、1気圧下での沸点が50℃以下の有機溶剤の含有量が2000ppm以下で、且つ、1気圧下での沸点が50℃超過の有機溶剤の含有量が100ppm以下であってもよい。
残留溶剤として含まれる1気圧下での沸点が100℃以上の有機溶剤としても、ポリイミドフィルムの製造工程で用いられる有機溶剤が挙げられ、例えば、N-メチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルホスホルアミド、1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン、γ-ブチロラクトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ-ノルマル-ブチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、オルト-ジクロロベンゼン、キシレン、オルト-クレゾール、クロロベンゼン、酢酸イソブチル、酢酸イソペンチル、酢酸ノルマル-ブチル、酢酸ノルマル-プロピル、酢酸ノルマル-ペンチル、酢酸ノルマル-ブチル、シクロヘキサノール、シクロヘキサノン、1,4-ジオキサン、テトラクロロエチレン、トルエン、メチルイソブチルケトン、メチルシクロヘキサノール、メチルシクロヘキサノン、メチル-ノルマル-ブチルケトン等が挙げられる。
[残留溶剤の種類の特定]
まず、残留溶剤の種類の特定を、パージ&トラップ装置(加熱脱着装置)が連結したGC-MSを用いて行う。
パージ&トラップ装置(製品名JTD505-III、日本分析工業株式会社)に、ポリイミドフィルム10mgを入れた試料管をセットし、200℃で30分保持して加熱して発生したガスを、-60℃のトラップ管で捕集し、捕集したものを315℃で加熱して飛ばしてGC-MSへ送り込み、発生した有機ガスの成分の定性分析を行なう。
(パージ&トラップ装置条件)
総スプリット比(導入量/排気量)1:10、
キャリアガス ヘリウム1.0ml/min定量
(GC-MS条件)
装置名:GC-MS装置(Agilent社、6890/5973 GC/MS)
カラム:UA-5 内径250μm×長さ30m×膜厚0.25μm(フロンティア・ラボ製)、昇温条件 50℃(5分保持) → 10℃/分(昇温) → 320℃(3分保持)
ポリイミドフィルムの濃度が5質量%濃度となるように、N,N-ジメチルホルムアミド(DMF)にポリイミドフィルムを添加して、ポリイミドフィルム/N,N-ジメチルホルムアミド(DMF)溶液を調製し、この溶液に、内部標準液(0.2質量%濃度アニソール/DMF溶液)を添加してサンプル溶液を調製する。当該サンプル溶液について、GC-MS装置(例えば、Agilent社、6890/5973 GC/MS)を用いて、下記条件で、GC-MS測定を行う。当該GC-MS測定は3回行い、測定結果は3回の平均値とする。
(GC条件)
カラム:InertCapWax 内径250μm×長さ30m×膜厚0.25μm(ジーエルサイエンス製)、
サンプル打ち込み量0.2uL、スプリット比(導入量/排気量)1:50、キャリアガス ヘリウム94.3kPa定圧、注入口温度250℃、昇温条件 40℃(5分保持) → 5℃/分 → 120℃ → 20℃/分 → 240℃(6分保持)、トランスファーライン温度 250℃
(MS条件)
イオン化法 EI、測定モード SIM、イオン源温度 250℃、四重極温度 150℃、イオン化電圧 70eV
例えば、含まれている残留溶剤がN,N-ジメチルアセトアミド(DMAc)の場合、DMAc含有量が例えば0.01質量%、0.05質量%、0.1質量%となるようにそれぞれ調製した各DMAc(測定対象化合物)/DMF溶液に、上記したサンプル溶液と同様に内部標準液を添加して調製した各検量線液について、GC-MS測定を行い、検量線を作成する。なお、GC-MS測定は3回行い、測定結果は3回の平均値とする。
そして、当該検量線を基準として、ポリイミドフィルムに対する質量比としてDMAcの含有量を算出する。なお、検出量によって検量線を適宜作成し直す。
含まれている残留溶剤が2種以上ある場合、各残留溶剤に対して上記DMAcのように検量線液を調製し、当該各検量線液についてのGC-MS測定による測定結果から作成された検量線を基準とする。
なお、N,N-ジメチルホルムアミド(DMF)が残留溶剤として含まれている場合、例えばN-メチル-2-ピロリドンなど、残留溶剤として含まれていないポリイミドの良溶媒を用いてサンプル溶液を調製する。
また、本発明のポリイミドフィルムは、前記JIS K7361-1に準拠して測定する全光線透過率が、85%以上である。このように透過率が高いことから、透明性が良好になり、ガラス代替材料となり得る。本発明のポリイミドフィルムの前記JIS K7361-1に準拠して測定する全光線透過率は、更に88%以上であることが好ましく、より更に89%以上であることが好ましく、特に90%以上であることが好ましい。
具体的には、ランベルトベールの法則によれば、透過率Tは、
Log10(1/T)=kcb
(k=物質固有の定数、c=濃度、b=光路長)で表される。
フィルムの透過率の場合、膜厚が変化しても密度が一定であると仮定するとcも定数となるので、上記式は、定数fを用いて
Log10(1/T)=fb
(f=kc)と表すことができる。ここで、ある膜厚の時の透過率がわかれば、各物質の固有の定数fを求めることができる。従って、T=1/10f・b の式を用いて、fに固有の定数、bに目標の膜厚を代入すれば、所望の膜厚の時の透過率を求めることができる。
また、本発明のポリイミドフィルムは、前記JIS K7373-2006に準拠して算出される黄色度(YI値)が、12以下であることが好ましい。このように黄色度が低いと、黄色味の着色が抑制され、光透過性が向上し、ガラス代替材料となり得る。前記JIS K7373-2006に準拠して算出される黄色度(YI値)は、10以下であることが好ましく、7以下であることが更に好ましく、5以下であることがより更に好ましい。
なお、黄色度(YI値)は、前記JIS K7373-2006に準拠して、紫外可視近赤外分光光度計(例えば、日本分光(株) V-7100)を用い、分光測色方法により、補助イルミナントC、2度視野を用いて、250nm以上800nm以下の範囲を1nm間隔で測定される透過率をもとに、XYZ表色系における三刺激値X,Y,Zを求め、そのX,Y,Zの値から以下の式より算出することができる。
YI=100(1.2769X-1.0592Z)/Y
なお、ある厚みの黄色度の測定値から、異なる厚みの黄色度は、ある特定の膜厚のサンプルの250nm以上800nm以下の間の1nm間隔で測定された各波長における各透過率について、前記全光線透過率と同様にランベルトベールの法則により異なる厚みの各波長における各透過率の換算値を求め、それを元に算出し用いることができる。
なお、本発明において、前記黄色度(YI値)を膜厚(μm)で除した値(YI値/膜厚(μm))は、JIS Z8401:1999の規則Bに従い、小数点以下第2位に丸めた値とする。
本発明のポリイミドフィルムは、15mm×40mmの試験片をJIS K7127に準拠し、引張り速度を10mm/分、チャック間距離を20mmとして測定する25℃における引張弾性率が、1.8GPa以上であることが好ましい。このように、25℃(室温)での引張弾性率が高いと、保護フィルムとして十分な表面硬度を室温でも維持することができ、表面材乃至基材として用いることができる。前記引張弾性率は、2.0GPa以上であることが好ましく、2.1GPa以上であることがより好ましく、2.3GPa以上であることが更に好ましい。一方で、前記引張弾性率は、屈曲耐性を向上させる点から、5.2GPa以下であることが好ましい。屈曲耐性を向上させる点から、前記引張弾性率は4.0GPa以下であっても良く、3.5GPa以下であっても良く、2.9GPa以下であっても良い。
前記引張弾性率は、引張り試験機(例えば島津製作所製:オートグラフAG-X 1N、ロードセル:SBL-1KN)を用い、幅15mm×長さ40mmの試験片をポリイミドフィルムから切り出して、25℃で、引張り速度8mm/分、チャック間距離は20mmとして測定することができる。前記引張弾性率を求める際のポリイミドフィルムは厚みが55μm±5μmであることが好ましい。
本発明のポリイミドフィルムは、損失弾性率を貯蔵弾性率で除した値であるtanδ曲線において、ピークの頂点を150℃以上の温度領域にのみ有するものであることが好ましい。前記tanδ曲線で、ピークの頂点が150℃未満に存在すると、ポリイミドの分子鎖が動きやすく、塑性変形しやすくなって、屈曲耐性が悪くなる恐れがあるのに対し、ピークの頂点が150℃未満に存在しないと、分子鎖の運動性が抑制され、塑性変形し難くなり、屈曲耐性を向上することが出来るからである。
また、前記tanδ曲線で、ピークの頂点を150℃以上の温度領域にのみ有すると、高温環境下、例えば夏の車内などにおいても、熱変形によって屈曲耐性が損なわれることが抑制されるため、高温環境下でも屈曲耐性が向上したものとなる。
また、前記tanδ曲線で、ピークの頂点を150℃以上の温度領域にのみ有すると、引張弾性率が高くなる傾向があり、表面硬度が高くなる傾向がある。
本発明のポリイミドフィルムは、屈曲耐性や表面硬度を向上する点から、前記tanδ曲線で、ピークの頂点を200℃以上の温度領域にのみ有するものであることがより好ましく、220℃以上の温度領域にのみ有するものであることがより更に好ましい。一方、ベーク温度を低減することができる点から、前記tanδ曲線で、ピークの頂点は380℃以下の温度領域に有することが好ましい。
また、本発明のポリイミドフィルムは、中でも、-150℃以上150℃未満の温度領域に、更に、-70℃以上150℃未満の温度領域に、前記tanδ曲線におけるピークの頂点を有しないことが好ましく、更に、100℃以下の温度領域に、前記tanδ曲線におけるピークの頂点を有しないことが好ましく、0℃以下の温度領域に、前記tanδ曲線におけるピークの頂点を有しないことがより好ましい。主鎖に長いシロキサン結合を有するジアミン残基を有する場合や主鎖にケイ素原子を有するジアミン残基を多量に含有する場合にはこのように低い温度領域に前記tanδ曲線におけるピークの頂点を有する場合がある。
前記tanδ曲線は、動的粘弾性測定によって、温度とtanδ(tanδ=損失弾性率(E’’)/貯蔵弾性率(E’))の関係から求められるものであり、ピークの極大値が最大であるピークの頂点の温度をガラス転移温度の指標とすることができるものである。動的粘弾性測定は、例えば、動的粘弾性測定装置 RSA-G2(ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン(株))によって、測定範囲を-150℃以上490℃以下として、周波数1Hz、昇温速度5℃/minにより行うことができる。また、サンプル幅を5mm、チャック間距離を20mmとして測定することができる。ピーク及び変曲点の解析時は、目視評価せず、データを数値化して、数値から解析する。
なお、温度(横軸)とtanδ(tanδ=損失弾性率(E’’)/貯蔵弾性率(E’))(縦軸)の曲線において、ピークとは、tanδの値が0.2以上、好ましくは0.3以上であって極大値を有し、且つ、ピークの谷と谷の間であるピーク幅が3℃以上であるものをいい、ノイズ等測定由来の曲線における細かい上下変動については、前記ピークの頂点のピークとして観測しない。
tanδ曲線を測定するサンプルとしては、23℃±2℃ RH30~50%の環境下に24時間静置したポリイミドフィルムを10cm角以上にサンプリングしたフィルムのさらに中央部を、剃刀またはメスにて5mm幅にスリットの入った切り出し治具を用いて、幅5mm×長さ50mmに(チャック時にサンプル長が20mmとなるように)切り出した物を用いる。幅の測定はノギスを用いて、位置を変えて3回計測した平均値を記録する。この際、幅測定の一部に平均値の3%以上の変動幅のある場合、そのサンプルは使用しない。
本発明のポリイミドフィルムにおいて、鉛筆硬度は2B以上であることが好ましく、B以上であることがより好ましく、HB以上であることがより更に好ましい。
前記ポリイミドフィルムの鉛筆硬度は、測定サンプルを温度25℃、相対湿度60%の条件で2時間調湿した後、JIS-S-6006が規定する試験用鉛筆を用いて、JIS K5600-5-4(1999)に規定する鉛筆硬度試験(0.98N荷重)をフィルム表面に行い、傷がつかない最も高い鉛筆硬度を評価することにより行うことができる。例えば東洋精機(株)製 鉛筆引っかき塗膜硬さ試験機を用いることができる。
また、本発明のポリイミドフィルムにおいては、下記密着性試験方法に従って、密着性試験を行った場合に、塗膜の剥がれが生じないことが、ポリイミドフィルムとハードコート層との密着性の点及びポリイミドフィルムに隣接してハードコート層を積層した積層体の表面硬度の点から好ましい。
[密着性試験方法]
ペンタエリスリトールトリアクリレートの40質量%メチルイソブチルケトン溶液に、ペンタエリスリトールトリアクリレート100質量部に対して10質量部の1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトンを添加して調製した密着性評価用樹脂組成物を、10cm×10cmに切り出したポリイミドフィルムの試験片上に塗布し、紫外線を窒素気流下200mJ/cm2の露光量で照射し硬化させることにより、10μm膜厚の硬化膜を形成する。当該硬化膜について、JIS K 5600-5-6に準拠したクロスカット試験を行い、テープによる剥離操作を繰り返し5回実施した後、塗膜の剥がれの有無を観察する。
本発明のポリイミドフィルムの厚さは、用途により適宜選択されれば良いが、1μm以上であることが好ましく、更に5μm以上であることが好ましく、より更に10μm以上であることが好ましい。一方、200μm以下であることが好ましく、更に150μm以下であることが好ましく、より更に100μm以下であることが好ましく、より更に90μm以下であることが好ましい。
厚みが薄いと強度が低下し、厚みが厚いと屈曲時の内径と外径の差が大きくなり、フィルムへの負荷が大きくなることから屈曲耐性が低下する恐れがある。
本発明のポリイミドフィルムの製造方法としては、前記本発明のポリイミドフィルムを製造できる方法であれば特に制限はない。
<第1の製造方法>
本発明のポリイミドフィルムの製造方法としては、例えば、第1の製造方法として、
ポリイミド前駆体であるポリアミド酸と、有機溶剤とを含むポリイミド前駆体樹脂組成物を調製する工程(以下、ポリイミド前駆体樹脂組成物調製工程という)と、
前記ポリイミド前駆体樹脂組成物を支持体に塗布して、ポリイミド前駆体樹脂塗膜を形成する工程(以下、ポリイミド前駆体樹脂塗膜形成工程という)と、
加熱をすることにより、前記ポリイミド前駆体をイミド化する工程(以下、イミド化工程という)と、
を含むポリイミドフィルムの製造方法が挙げられる。
本発明のポリイミドフィルムの製造方法には、更に、得られたポリイミドフィルムの残留溶剤量を測定し、フィルム内の残留溶剤として、1気圧下での沸点が100℃未満の有機溶剤の含有量が2000ppm以下で、且つ、1気圧下での沸点が100℃以上の有機溶剤の含有量が100ppm以下であるか判定する工程を有することが好ましい。得られたポリイミドフィルムの残留溶剤量が、本発明で特定した値を超えていた場合には、更にポリイミドフィルムを加熱する工程を行うことにより、ポリイミドフィルムの残留溶剤量を、本発明で特定した値以下とすることが好ましい。
以下、各工程について詳細に説明する。
前記第1の製造方法において調製するポリイミド前駆体樹脂組成物は、ポリイミド前駆体と、有機溶剤とを含有し、必要に応じて添加剤等を含有していてもよい。前記ポリイミド前駆体としては、例えば、下記一般式(1’)で表されるポリイミド前駆体が挙げられる。前記一般式(1’)で表されるポリイミド前駆体は、前記一般式(1’)のR1におけるテトラカルボン酸残基となるテトラカルボン酸成分と、前記一般式(1’)のR2におけるジアミン残基となるジアミン成分との重合によって得られるポリアミド酸である。
一方、平均分子量が大きすぎると、高粘度となり、ろ過などの作業性が低下の恐れがある点から、10000000以下であることが好ましく、更に500000以下であることが好ましい。
ポリイミド前駆体の数平均分子量は、NMR(例えば、BRUKER製、AVANCEIII)により求めることができる。例えば、ポリイミド前駆体溶液をガラス板に塗布して100℃で5分乾燥後、固形分10mgをジメチルスルホキシド-d6溶媒7.5mlに溶解し、NMR測定を行い、芳香族環に結合している水素原子のピーク強度比から数平均分子量を算出することができる。
ポリイミド前駆体の重量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)によって測定できる。
ポリイミド前駆体を0.5重量%の濃度のN-メチルピロリドン(NMP)溶液とし、展開溶媒は、含水量500ppm以下の10mmol%LiBr-NMP溶液を用い、東ソー製GPC装置(HLC-8120、使用カラム:SHODEX製GPC LF-804)を用い、サンプル打ち込み量50μL、溶媒流量0.5mL/分、40℃の条件で測定を行う。重量平均分子量は、サンプルと同濃度のポリスチレン標準サンプルを基準に求める。
たとえば、主鎖にケイ素原子を有するジアミンが溶解された反応液に、主鎖にケイ素原子を有するジアミンの0.5等量のモル比の酸二無水物を投入し反応させることで、酸二無水物の両端に主鎖にケイ素原子を有するジアミンが反応したアミド酸を合成し、そこへ、残りのジアミンを全部、又は一部投入し、酸二無水物を加えてポリアミド酸を重合しても良い。この方法で重合すると、主鎖にケイ素原子を有するジアミンが1つの酸二無水物を介して、連結した形でポリアミド酸の中に導入される。
このような方法でポリアミド酸を重合することは、主鎖にケイ素原子を有するアミド酸の位置関係がある程度特定され、表面硬度を維持しつつ屈曲耐性の優れた膜を得易い点から好ましい。
重合反応の手順は、公知の方法を適宜選択して用いることができ、特に限定されない。
また、合成反応により得られたポリイミド前駆体溶液をそのまま用い、そこに必要に応じて他の成分を混合しても良いし、ポリイミド前駆体溶液の溶剤を乾燥させ、別の溶剤に溶解して用いても良い。
ポリイミド前駆体溶液の粘度は、粘度計(例えば、TVE-22HT、東機産業株式会社)を用いて、25℃で測定することができる。
前記ポリイミド前駆体樹脂組成物中の有機溶剤は、均一な塗膜及びポリイミドフィルムを形成する点から、樹脂組成物中に40質量%以上であることが好ましく、更に50質量%以上であることが好ましく、また99質量%以下であることが好ましい。
なお、ポリイミド前駆体樹脂組成物の含有水分量は、カールフィッシャー水分計(例えば、三菱化学株式会社製、微量水分測定装置CA-200型)を用いて求めることができる。
ポリイミド前駆体樹脂組成物の粘度は、粘度計(例えば、TVE-22HT、東機産業株式会社)を用いて、25℃で、サンプル量0.8mlとして測定することができる。
前記ポリイミド前駆体樹脂組成物を支持体に塗布して、ポリイミド前駆体樹脂塗膜を形成する工程において、用いられる支持体としては、表面が平滑で耐熱性および耐溶剤性のある材料であれば特に制限はない。例えばガラス板などの無機材料、表面を鏡面処理した金属板等が挙げられる。また支持体の形状は塗布方式によって選択され、例えば板状であってもよく、またドラム状やベルト状、ロールに巻き取り可能なシート状等であってもよい。
塗布は、枚葉式の塗布装置により行ってもよく、ロールtoロール方式の塗布装置により行ってもよい。
光学特性の高度な管理が必要な場合、溶剤の乾燥時の雰囲気は、不活性ガス雰囲気下であることが好ましい。不活性ガス雰囲気下としては、窒素雰囲気下であることが好ましく、酸素濃度が100ppm以下であることが好ましく、50ppm以下であることがより好ましい。大気下で熱処理を行うと、フィルムが酸化され、着色したり、性能が低下する可能性がある。
前記第1の製造方法においては、加熱をすることにより、前記ポリイミド前駆体をイミド化する。
本発明においては、ポリイミドフィルムの残留溶剤量を本発明で特定した値以下とするために、ポリイミド前駆体樹脂塗膜を、塗布する際に用いた支持体から剥離後、加熱をすることにより、前記ポリイミド前駆体をイミド化する工程を行うことが好ましい。塗布する際に用いた支持体から剥離して、フィルムの両表面が支持体等に接していない状態で加熱することにより、フィルムの両表面から溶剤を揮発させることができ、残留溶剤を本発明で特定した値以下に、十分に低減することができる。
また、支持体から剥離後のポリイミド前駆体樹脂塗膜は、加熱時の収縮を防止する点から、端部を固定後に加熱することが好ましい。
ポリイミド前駆体樹脂塗膜の端部を固定する方法としては、例えば、ポリイミド前駆体樹脂塗膜が枚様の場合、ポリイミド前駆体樹脂塗膜と概略同様の外寸と適切な内寸を有する金属枠を2枚使用して、ポリイミド前駆体樹脂塗膜を挟持し、固定治具で2枚の金属枠とポリイミド前駆体樹脂塗膜とを固定する方法が挙げられる。
また、例えば、ポリイミド前駆体樹脂塗膜がロール状の場合、例えば、連続する樹脂フィルムの左右両端をクリップ等の固定治具で把持して樹脂フィルムを搬送可能な装置を用いて、ポリイミド前駆体樹脂塗膜の端部を固定する方法が挙げられる。
通常、昇温開始温度を30℃以上とすることが好ましく、100℃以上とすることがより好ましい。一方、昇温終了温度は250℃以上とすることが好ましく、270℃以上とすることがより好ましい。一方で、フィルムの外観不良や強度低下を抑制し、光透過性が向上する点から、昇温終了温度は、400℃以下とすることが好ましく、350℃以下とすることがより好ましい。
ポリイミドフィルムの製造効率の点から、5℃/分以上とすることが好ましく、10℃/分以上とすることが更に好ましい。一方、昇温速度の上限は、通常50℃/分とされ、好ましくは40℃/分以下、さらに好ましくは30℃/分以下である。上記昇温速度とすることが、フィルムの外観不良や強度低下の抑制、イミド化反応に伴う白化をコントロールでき、光透過性が向上する点から好ましい。
ただし、ポリイミドに含まれる炭素原子に結合する水素原子の50%以上が、芳香族環に直接結合する水素原子である場合は、光学特性に対する酸素の影響が少なく、不活性ガス雰囲気を用いなくても光透過性の高いポリイミドが得られる。
なお、イミド化率の測定は、赤外測定(IR)によるスペクトルの分析等により行うことができる。
イミド化を90%以上、さらには100%まで反応を進行させるには、昇温終了温度で一定時間保持することが好ましく、当該保持時間は、通常1分~180分、更に、5分~150分とすることが好ましい。
前記第1の製造方法は、前記ポリイミド前駆体樹脂塗膜、及び、前記ポリイミド前駆体樹脂塗膜をイミド化したイミド化後塗膜の少なくとも一方を延伸する延伸工程を有していてもよい。当該延伸工程を有する場合は、中でも、イミド化後塗膜を延伸する工程を含むことが、ポリイミドフィルムの表面硬度が向上する点から好ましい。
延伸時の加熱温度は、ポリイミド乃至ポリイミド前駆体のガラス転移温度±50℃の範囲内であることが好ましく、ガラス転移温度±40℃の範囲内であることが好ましい。延伸温度が低すぎるとフィルムが変形せず充分に配向を誘起できない恐れがある。一方で、延伸温度が高すぎると延伸によって得られた配向が温度で緩和し、充分な配向が得られない恐れがある。
延伸工程は、イミド化工程と同時に行っても良い。イミド化率80%以上、更に90%以上、より更に95%以上、特に実質的に100%イミド化を行った後のイミド化後塗膜を延伸することが、ポリイミドフィルムの表面硬度を向上する点から好ましい。
また、本発明のポリイミドフィルムの製造方法としては、第2の製造方法として、
ポリイミドと、有機溶剤とを含むポリイミド樹脂組成物を調製する工程(以下、ポリイミド樹脂組成物調製工程という)と、
前記ポリイミド樹脂組成物を支持体に塗布して、溶剤を乾燥させてポリイミド樹脂塗膜を形成する工程(以下、ポリイミド樹脂塗膜形成工程という)と、を含むポリイミドフィルムの製造方法が挙げられる。
前記ポリイミドが25℃で有機溶剤に5質量%以上溶解するような溶剤溶解性を有する場合には、当該製造方法を好適に用いることができる。
なお、本発明において、ポリイミドフィルムの製造に用いられるポリイミドをポリイミド材料という場合がある。当該ポリイミド材料は、残留溶剤が所定量以下含まれていても良いポリイミドである。
そして、前記ポリイミド樹脂組成物を調製する工程で用いられるポリイミドは、前記一般式(1)で表される構造を有し、残留溶剤として、1気圧下での沸点が100℃未満の有機溶剤の含有量が2000ppm以下で、且つ、1気圧下での沸点が100℃以上の有機溶剤の含有量が100ppm以下である、ポリイミド材料であることが好ましい。
ポリイミド材料においても、沸点が100℃未満の有機溶剤の含有量は、静的屈曲耐性及び動的屈曲耐性を向上する点から、1000ppm以下が好ましく、400ppm以下がより好ましく、100ppm以下がより更に好ましい。一方、沸点が100℃以上の有機溶剤の含有量は、動的屈曲耐性を向上する点から、80ppm以下が好ましく、50ppm以下がより好ましく、30ppm以下がより更に好ましく、20ppm以下がより更に好ましい。
ポリイミド材料においても、1気圧下での沸点が70℃以下の有機溶剤の含有量が2000ppm以下で、且つ、1気圧下での沸点が70℃超過の有機溶剤の含有量が100ppm以下であってもよく、更に、1気圧下での沸点が60℃以下の有機溶剤の含有量が2000ppm以下で、且つ、1気圧下での沸点が60℃超過の有機溶剤の含有量が100ppm以下であってもよく、より更に、1気圧下での沸点が50℃以下の有機溶剤の含有量が2000ppm以下で、且つ、1気圧下での沸点が50℃超過の有機溶剤の含有量が100ppm以下であってもよい。
また、本発明の第2のポリイミドフィルムの製造方法にも、更に、得られたポリイミドフィルムの残留溶剤量を測定し、フィルム内の残留溶剤として、1気圧下での沸点が100℃未満の有機溶剤の含有量が2000ppm以下で、且つ、1気圧下での沸点が100℃以上の有機溶剤の含有量が100ppm以下であるか判定する工程を有することが好ましい。得られたポリイミドフィルムの残留溶剤量が、本発明で特定した値を超えていた場合には、更にポリイミドフィルムを加熱する工程を行うことにより、ポリイミドフィルムの残留溶剤量を、本発明で特定した値以下とすることが好ましい。
イミド化する方法としては、ポリイミド前駆体の脱水閉環反応について、加熱脱水の代わりに、化学イミド化剤を用いて行う化学イミド化を用いることが好ましい。化学イミド化を行う場合は、脱水触媒としてピリジンやβ-ピコリン酸等のアミン、ジシクロヘキシルカルボジイミドなどのカルボジイミド、無水酢酸等の酸無水物等、公知の化合物を用いても良い。酸無水物としては無水酢酸に限らず、プロピオン酸無水物、n-酪酸無水物、安息香酸無水物、トリフルオロ酢酸無水物等が挙げられるが特に限定されない。また、その際にピリジンやβ―ピコリン酸等の3級アミンを併用してもよい。ただし、これらアミン類は、フィルム中に残存すると光学特性、特に黄色度(YI値)を低下させるため、ポリイミド前駆体からポリイミドへと反応させた反応液をそのままキャストして製膜するのではなく、再沈殿などにより精製し、ポリイミド以外の成分をそれぞれ、ポリイミド全重量の100ppm以下まで除去してから製膜することが好ましい。
ポリイミドを析出させるために前記貧溶媒を滴下するときの、前記反応液(ポリイミド溶液)の固形分濃度は、収率の点及び不純物を効率良く除去する点から、0.1質量%以上30質量%以下であることが好ましく、1質量%以上10質量%以下であることがより好ましい。
ポリイミドの析出に適した、前記ポリイミド溶液の固形分濃度とするために、適宜ポリイミドの良溶媒を用いて希釈してもよい。
なお、ポリイミドの良溶媒は、目安として、ポリイミドの溶解度が25℃で20g/100g以上である溶媒の中から適宜選択して用いることができる。
また、ポリイミドの貧溶媒は、目安として、ポリイミドの溶解度が25℃で20g/100g未満の溶媒の中から適宜選択して用いることができる。
上記のように再沈殿させて得られたポリイミドは、残留溶剤量を測定することが好ましい。ポリイミドの残留溶剤量は、前記ポリイミドフィルムの残留溶剤量の測定法において、ポリイミドフィルムの代わりにポリイミドを用いる以外は同様にして行うことができる。なお、ポリイミド(ポリイミド材料)の残留溶剤量を測定する際には、真空乾燥機を用いて100℃~120℃でポリイミド(ポリイミド材料)の乾燥を行う。乾燥時間は、ポリイミド(ポリイミド材料)の量により適宜調整されれば良い。例えば、固形分100gのポリイミド(ポリイミド材料)の場合、3時間程度乾燥を行い、乾燥が不十分な場合には適宜1時間ずつ乾燥時間を追加していくことが挙げられる。真空乾燥機を用いたポリイミド(ポリイミド材料)の乾燥は、当該乾燥前後でポリイミド(ポリイミド材料)の質量変化が0.1質量%以下となるまで行うことを目安とすることができる。
例えば、再沈殿させて得られたポリイミドを洗浄用有機溶剤が入ったビーカーで洗浄し、その後ろ過する、という洗浄工程を繰り返し、真空乾燥機を用いて100℃~120℃で乾燥し、ポリイミド(ポリイミド材料)を得る。
洗浄用有機溶剤としては、再沈殿させて得られたポリイミドに含まれる残留溶剤と相溶性が高く、ポリイミドの貧溶媒であって、且つ、真空乾燥機を用いて100℃~120℃で乾燥すれば全て揮発することが可能なように沸点が真空乾燥機の乾燥温度未満の有機溶剤から選択する。
例えば、残留溶剤が、ポリイミド前駆体を調製する際に用いられるN,N-ジメチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン等の場合、イソプロピルアルコール、メタノール等が洗浄用有機溶剤として好適に用いられる。洗浄用有機溶剤としては、1種又は2種以上用いることができる。
上記のように洗浄工程後に得られたポリイミドは、残留溶剤量を測定して、本発明で特定した値以下であるか判定し、本発明で特定した値を超えていた場合には、更に洗浄工程を用いて、用いられるポリイミド(ポリイミド材料)の残留溶剤量を本発明で特定した値以下に低減する工程を含むことが好ましい。
このようにして、前記ポリイミド樹脂組成物を調製するために用いられる、沸点が100℃未満の有機溶剤の含有量が2000ppm以下で、且つ、沸点が100℃以上の有機溶剤の含有量が100ppm以下のポリイミド(ポリイミド材料)を得ることができる。
なお、本発明におけるポリイミド材料(ポリイミド粉体)の平均粒径は、ポリイミド材料(ポリイミド粉体)を光学顕微鏡(キーエンス製デジタルマイクロスコープVHX-5000)により倍率100倍で観察し、その観察画像から無作為に、150個のポリイミド材料の粒子を任意に抽出し、抽出した粒子のそれぞれの粒子径を測定し、その平均値を算出する。また、ポリイミド材料の粒子形状が球形でない場合には、その長径を測定する。
後述するポリイミド樹脂塗膜形成工程において、開放系の環境下で塗布を行う場合、ポリイミドを再溶解させる有機溶剤は、残留溶剤量も低減しやすい点から、酢酸ノルマル-ブチル、酢酸エチル、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートからなる群から選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。
後述するポリイミド樹脂塗膜形成工程において、ポリイミドを再溶解させる有機溶剤は、中でも特にフィルム製造時の残留溶剤量を低減しやすい点から、沸点が100℃未満の有機溶剤、中でも沸点が70℃以下の有機溶剤を用いることが好ましい。沸点が100℃未満の有機溶剤、中でも沸点が70℃以下の有機溶剤を用いる場合、密閉系の環境下で塗布を行う場合であっても、残留溶剤量を低減しやすい。
中でも、残留溶剤量を低減しやすく、乾燥工程などの製膜工程に有利な点から、ジクロロメタン、酢酸エチル、クロロホルム、テトラヒドロフラン、酢酸ノルマル-ブチル、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートからなる群から選ばれる少なくとも1種を好ましく用いることができ、中でも、残留溶剤量を低減しやすく、乾燥工程などの製膜工程に有利な点から、ジクロロメタン、クロロホルム、テトラヒドロフラン、及び酢酸エチルからなる群から選ばれる少なくとも1種を好ましく用いることができる。
また、前記第2の製造方法において、前記ポリイミド樹脂組成物の含有水分量1000ppm以下とする方法、前記無機粒子を有機溶剤中に分散させる方法としては、前記第1の製造方法における前記ポリイミド前駆体樹脂組成物調製工程において説明した方法と同様の方法を用いることができる。
すなわち、まず、前記第1の製造方法のポリイミド前駆体樹脂塗膜形成工程の乾燥工程と同様に、支持体上でポリイミド樹脂組成物中の溶剤を乾燥させ、次いで、ポリイミド樹脂塗膜を、支持体から剥離後、更に乾燥する工程を有することが、ポリイミドフィルムの残留溶剤量を本発明で特定した値以下として屈曲耐性を向上する点から、好ましい。
支持体から剥離後にポリイミド樹脂塗膜を更に乾燥する温度としては、第1の製造方法のイミド化の加熱温度ほど高くする必要はなく、塗膜形成時に用いられた有機溶剤や残留溶剤の種類や量で適宜調整すればよい。常圧下では80℃以上250℃以下の範囲とすることが好ましく、更に100℃以上220℃以下の範囲とすることが好ましい。減圧下では10℃以上200℃以下の範囲とすることが好ましく、更に30℃以上160℃以下の範囲とすることが好ましい。乾燥時間も塗膜形成時に用いられた有機溶剤や残留溶剤量で適宜調整すればよいが、通常2分~60分、好ましくは5分~40分とすることが好ましい。上限値を超える場合には、ポリイミドフィルムの作製効率の面から好ましくない。一方、下限値を下回る場合には、残留溶剤を十分に低減できない恐れがあり、更に、急激な溶剤の乾燥によって、得られるポリイミドフィルムの外観等に影響を与える恐れがある。
また、支持体から剥離後、更に乾燥する工程においては、加熱時の収縮を防止する点から、支持体から剥離後にポリイミド樹脂塗膜の端部を固定して乾燥することが好ましい。支持体から剥離後のポリイミド樹脂塗膜の端部を固定する方法としては、前述のポリイミド前駆体樹脂塗膜と同様に行うことができる。
本発明のポリイミドフィルムの用途は特に限定されるものではなく、従来薄い板ガラス等ガラス製品が用いられていた基材や表面材等の部材として用いることができる。本発明のポリイミドフィルムは、屈曲耐性が向上し、保護フィルムとして十分な表面硬度を有し、光学的歪みが低減したものであるため、中でも、曲面に対応できるディスプレイ用部材として好適に用いることができる。
本発明のポリイミドフィルムは、具体的には例えば、薄くて曲げられるフレキシブルタイプの有機ELディスプレイや、スマートフォンや腕時計型端末などの携帯端末、自動車内部の表示装置、腕時計などに使用するフレキシブルパネル等、フレキシブルディスプレイ用の基材や表面材に好適に用いることができる。また、本発明のポリイミドフィルムは、液晶表示装置、有機EL表示装置等の画像表示装置用部材や、タッチパネル用部材、フレキシブルプリント基板、表面保護膜や基板材料等の太陽電池パネル用部材、光導波路用部材、その他半導体関連部材等に適用することもできる。
本発明の積層体は、前述した本発明のポリイミドフィルムと、ラジカル重合性化合物及びカチオン重合性化合物の少なくとも1種の重合物を含有するハードコート層とを有する積層体である。
本発明の積層体は、前述した本発明のポリイミドフィルムを用いたものであるため、透明性に優れ、屈曲耐性が向上したものであり、更にハードコート層を有するため、表面硬度がより向上したフィルム乃至樹脂フィルムである。
また、本発明の積層体において、ポリイミドフィルムが含有するポリイミドが、主鎖にケイ素原子を有するジアミン残基を含有するため、光学的歪みが低減する点から好ましいものである。この場合、本発明の積層体をディスプレイ用表面材乃至基材等のディスプレイ用部材として用いた場合には、ディスプレイの表示品質の低下を抑制することができる。
本発明の積層体に用いられるポリイミドフィルムとしては、前述した本発明のポリイミドフィルムを用いることができるので、ここでの説明を省略する。
本発明の積層体に用いられるハードコート層は、ラジカル重合性化合物及びカチオン重合性化合物の少なくとも1種の重合物を含有する。
ラジカル重合性化合物とは、ラジカル重合性基を有する化合物である。前記ラジカル重合性化合物が有するラジカル重合性基としては、ラジカル重合反応を生じ得る官能基であればよく、特に限定されないが、例えば、炭素-炭素不飽和二重結合を含む基などが挙げられ、具体的には、ビニル基、(メタ)アクリロイル基などが挙げられる。なお、前記ラジカル重合性化合物が2個以上のラジカル重合性基を有する場合、これらのラジカル重合性基はそれぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよい。
前記ラジカル重合性化合物としては、反応性の高さの点から、中でも(メタ)アクリロイル基を有する化合物が好ましく、1分子中に2~6個の(メタ)アクリロイル基を有する多官能アクリレートモノマーと称される化合物やウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレートと称される分子内に数個の(メタ)アクリロイル基を有する分子量が数百から数千のオリゴマーを好ましく使用できる。
なお、本明細書において、(メタ)アクリロイルとは、アクリロイル及びメタクリロイルの各々を表し、(メタ)アクリレートとは、アクリレート及びメタクリレートの各々を表す。
カチオン重合性化合物とは、カチオン重合性基を有する化合物である。前記カチオン重合性化合物が有するカチオン重合性基としては、カチオン重合反応を生じ得る官能基であればよく、特に限定されないが、例えば、エポキシ基、オキセタニル基、ビニルエーテル基などが挙げられる。なお、前記カチオン重合性化合物が2個以上のカチオン重合性基を有する場合、これらのカチオン重合性基はそれぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよい。
また、前記カチオン重合性化合物としては、中でも、カチオン重合性基としてエポキシ基及びオキセタニル基の少なくとも1種を有する化合物が好ましく、密着性の点及び光透過性と表面硬度の点から、エポキシ基及びオキセタニル基の少なくとも1種を1分子中に2つ以上有する化合物がより好ましい。エポキシ基、オキセタニル基等の環状エーテル基は、重合反応に伴う収縮が小さいという点から好ましい。また、環状エーテル基のうちエポキシ基を有する化合物は多様な構造の化合物が入手し易く、得られたハードコート層の耐久性に悪影響を与えず、ラジカル重合性化合物との相溶性もコントロールし易いという利点がある。また、環状エーテル基のうちオキセタニル基は、エポキシ基と比較して重合度が高い、低毒性であり、得られたハードコート層をエポキシ基を有する化合物と組み合わせた際に塗膜中でのカチオン重合性化合物から得られるネットワーク形成速度を早め、ラジカル重合性化合物と混在する領域でも未反応のモノマーを膜中に残さずに独立したネットワークを形成する等の利点がある。
本発明に用いられるハードコート層が含有する前記ラジカル重合性化合物及びカチオン重合性化合物の少なくとも1種の重合物は、例えば、前記ラジカル重合性化合物及び前記カチオン重合性化合物の少なくとも1種に、必要に応じて重合開始剤を添加して、公知の方法で重合反応させることにより得ることができる。
本発明に用いられるハードコート層は、前記重合物の他に、必要に応じて、帯電防止剤、防眩剤、防汚剤、硬度を向上させるための無機又は有機微粒子、レべリング剤、各種増感剤等の添加剤を含有していてもよい。
本発明の積層体は、前記ポリイミドフィルムと、前記ハードコート層とを有するものであれば特に限定はされず、前記ポリイミドフィルムの一方の面側に前記ハードコート層が積層されたものであってもよいし、前記ポリイミドフィルムの両面に前記ハードコート層が積層されたものであってもよい。また、本発明の積層体は、本発明の効果を損なわない範囲で、前記ポリイミドフィルム及び前記ハードコート層の他に、例えば、前記ポリイミドフィルムと前記ハードコート層との密着性を向上させるためのプライマー層等の他の層を有するものであってもよく、前記ポリイミドフィルムと前記ハードコート層とがプライマー層等の他の層を介して積層されたものであっても良い。また、本発明の積層体は、前記ポリイミドフィルムと、前記ハードコート層とが隣接して位置するものであってもよい。また、本発明の積層体はさらに、耐衝撃層、指紋付着防止層、接着乃至粘着層等を有していても良い。
また、本発明の積層体において、各ハードコート層の厚さは、用途により適宜選択されれば良いが、2μm以上80μm以下であることが好ましく、3μm以上50μm以下であることがより好ましい。また、カール防止の観点からポリイミドフィルムの両面にハードコート層を形成しても良い。
本発明の積層体は、ハードコート層側表面の鉛筆硬度がH以上であることが好ましく、2H以上であることがより好ましく、3H以上であることがより更に好ましい。
本発明の積層体の鉛筆硬度は、前記ポリイミドフィルムの鉛筆硬度の測定方法において、荷重を9.8Nとする以外は同様にして測定することができる。
本発明の積層体の前記全光線透過率は、前記ポリイミドフィルムのJIS K7361-1に準拠して測定する全光線透過率と同様にして測定することができる。
また、本発明の積層体は、黄色味の着色が抑制され、光透過性が向上し、ガラス代替材料として好適に用いることができる点から、前記JIS K7373-2006に準拠して算出される黄色度(YI値)を膜厚(μm)で割った値(YI値/膜厚(μm))が0.10以下であることが好ましく、0.04以下であることがより好ましく、0.03以下であることがより更に好ましい。
本発明の積層体の前記黄色度(YI値)は、前記ポリイミドフィルムのJIS K7373-2006に準拠して算出される黄色度(YI値)と同様にして測定することができる。
本発明の積層体の用途は特に限定されるものではなく、例えば、前述した本発明のポリイミドフィルムの用途と同様の用途に用いることができる。
本発明の積層体の製造方法としては、例えば、
前記本発明のポリイミドフィルムの少なくとも一方の面に、ラジカル重合性化合物及びカチオン重合性化合物の少なくとも1種を含有するハードコート層形成用組成物の塗膜を形成する工程と、
前記塗膜を硬化する工程と、を含む製造方法が挙げられる。
ここで、前記ハードコート層形成用組成物が含有するラジカル重合性化合物、カチオン重合性化合物、重合開始剤及び添加剤については、前記ハードコート層において説明したものと同様のものを用いることができ、溶剤は、公知の溶剤から適宜選択して用いることができる。
前記塗布手段は、目的とする膜厚で塗布可能な方法であれば特に制限はなく、例えば、前記ポリイミド前駆体樹脂組成物を支持体に塗布する手段と同様のものが挙げられる。
加熱をする場合は、通常40℃以上120℃以下の温度にて処理する。また、室温(25℃)で24時間以上放置することにより反応を行っても良い。
本発明のディスプレイ用部材は、前述した本発明のポリイミドフィルム、或いは、本発明の積層体を含む。
本発明のディスプレイ用部材としては、例えば、ディスプレイ用表面材やディスプレイ用基材等が挙げられる。
本発明のディスプレイ用部材は、前述した本発明のポリイミドフィルム、或いは、本発明の積層体であってよい。
本発明のタッチパネル部材は、前述した本発明のポリイミドフィルム又は前述した本発明の積層体と、
前記ポリイミドフィルム又は前記積層体の一方の面側に配置された、複数の導電部からなる透明電極と、
前記導電部の端部の少なくとも一方側において電気的に接続される複数の取り出し線と、を有する。
本発明のタッチパネル部材に用いられる本発明の積層体は、ポリイミドフィルムの両面に隣接して、ラジカル重合性化合物及びカチオン重合性化合物の少なくとも1種の重合物を含有するハードコート層を有するものであることが好ましい。
また、本発明のタッチパネル部材は、特に限定はされないが、前記透明電極が、前記積層体の一方の面側に接して積層されてなるものであることが好ましい。
本発明のタッチパネル部材は、例えば、各種ディスプレイの表面に位置するように配置して用いることができる。また、各種ディスプレイの表面に、本発明のタッチパネル部材と、表面材としての本発明のポリイミドフィルム又は積層体とを、この順に配置して用いることもできる。
図2は、本発明のタッチパネル部材の一例の一方の面の概略平面図であり、図3は、図2に示すタッチパネル部材のもう一方の面の概略平面図であり、図4は、図2及び図3に示すタッチパネル部材のA-A’断面図である。図2、図3及び図4に示すタッチパネル部材20は、本発明の積層体10と、積層体10の一方の面に接して配置された第一の透明電極4と、積層体10のもう一方の面に接して配置された第二の透明電極5とを備える。第一の透明電極4においては、x軸方向に伸長するように延在する短冊状の電極片である複数の第一の導電部41が、所定の間隔を空けて配置されている。第一の導電部41には、その長手方向の端部のいずれか一方において、当該第一の導電部41と電気的に接続される第一の取出し線7が接続されている。積層体10の端縁21まで延設された第一の取出し線7の端部には、外部回路と電気的に接続するための第一の端子71を設けることがよい。第一の導電部41と第一の取出し線7とは、一般には、タッチパネルの使用者が視認可能なアクティブエリア22の外側に位置する、非アクティブエリア23内において接続される。
第一の導電部41と第一の取出し線7との接続は、例えば図2に示すように、接続部24を介在させた接続構造を採用することができる。接続部24は、具体的には、第一の導電部41の長手方向端部から、非アクティブエリア23内の所定の位置まで導電性材料の層を延設することにより形成することができる。さらに、当該接続部24上に、第一の取出し線7の少なくとも一部を重ねることにより、第一の導電部41と第一の取出し線7との接続構造を形成することができる。
第一の導電部41と第一の取出し線7との接続は、図2に示すような、接続部24を形成する構造には限定されない。例えば、図示は省略するが、第一の導電部41の長手方向端部を非アクティブエリア23まで伸長させ、非アクティブエリア23内において、当該非アクティブエリア23まで伸長させた第一の導電部41の端部に、第一の取出し線7を乗り上げさせることによって、両者を電気的に接続させてもよい。
なお、図2では、第一の導電部41の長手方向端部のいずれか一方と、第一の取出し線7とを接続する形態を示したが、本発明においては、1つの第一の導電部41の長手方向の両端に、それぞれ、第一の取出し線7を電気的に接続する形態としてもよい。
第二の導電部51には、その長手方向端部の一方において、当該第二の導電部51と電気的に接続される第二の取出し線8が接続されている。
第二の取出し線8は、積層体10の端縁のうち、前述した第一の取出し線7が延設された端縁21における、第一の端子71と重ならない位置まで延設されている。
積層体10の端縁21まで延設された第二の取出し線8の端部には、外部回路と電気的に接続するための第二の端子81を設けることがよい。
第二の導電部51と第二の取出し線8との電気的な接続は、第一の取出し線7と第一の導電部41との電気的な接続と同様の形態を適用することができる。
前記導電部の材料としては、光透過性の材料であることが好ましく、例えば、インジウム錫オキサイド(ITO)、酸化インジウム、インジウム亜鉛オキサイド(IZO)等を主たる構成成分とする酸化インジウム系透明電極材料、酸化錫(SnO2)、酸化亜鉛(ZnO)等を主たる構成成分とする透明導電膜、ポリアニリン、ポリアセチレン等の導電性高分子化合物等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。また、第一の導電部41及び第二の導電部51は、互いに同種の導電性材料を用いて形成してもよいし、異種の材料を用いて形成してもよい。特に同種の導電性材料を用いて第一の導電部41及び第2導電部51を形成すると、タッチパネル部材の反りや歪みの発生をより効果的に抑制できる観点で好ましい。
前記導電部の厚みは、特に限定されないが、例えばフォトリソグラフィ手法により導電部を形成する場合には、一般的には、10nm~500nm程度に形成することができる。
本発明のタッチパネル部材において、取出し線の端部に設けられる端子は、例えば、前記取出し線と同じ材料を用いて形成することができる。
前記取出し線の厚み、及び幅寸法は、特に限定されないが、例えばフォトリソグラフィ手法により取出し線を形成する場合には、一般的には、厚みは10nm~1000nm程度に形成され、幅寸法は5μm~200μm程度に形成される。一方、スクリーン印刷などの印刷により取出し線を形成する場合には、一般的には、厚みは5μm~20μm程度に形成され、幅寸法は20μm~300μm程度に形成される。
図5及び図6は、各々本発明の積層体を備える導電性部材の一例を示す概略平面図である。図5に示す第一の導電性部材201は、本発明の積層体10と、当該積層体10の一方の面に接して配置された第一の透明電極4とを有し、当該第一の透明電極4は、複数の第一の導電部41を有する。図6に示す第二の導電性部材202は、本発明の積層体10’と、当該積層体10’の一方の面に接して配置された第二の透明電極5とを有し、当該第二の透明電極5は、複数の第二の導電部51を有する。
図7は、本発明のタッチパネル部材の別の一例を示す概略断面図であり、図7に示すタッチパネル部材20’は、図5に示す第一の導電性部材201と、図6に示す第二の導電性部材202とを備える。タッチパネル部材20’においては、第一の導電性部材201の第一の透明電極4を有しない面と、第二の導電性部材202の透明電極5を有する面とが、接着層6を介して貼り合わせられている。なお、本発明において、例えば、本発明の積層体と本発明のタッチパネル部材とを接着するための接着層、本発明のタッチパネル部材同士を接着するための接着層、本発明のタッチパネル部材と表示装置等とを接着するための接着層としては、光学部材に用いられている従来公知の接着層を適宜選択して用いることができる。本発明のタッチパネル部材に用いられる導電性部材において、透明電極、取出し線及び端子の構成及び材料は、前述した本発明のタッチパネル部材に用いられる透明電極、取出し線及び端子と各々同様とすることができる。
本発明の液晶表示装置は、前述した本発明のポリイミドフィルム又は前述した本発明の積層体と、前記ポリイミドフィルム又は前記積層体の一方の面側に配置された、対向基板間に液晶層を有してなる液晶表示部とを有する。
本発明の液晶表示装置に用いられる本発明の積層体は、ポリイミドフィルムの両面に隣接して、ラジカル重合性化合物及びカチオン重合性化合物の少なくとも1種の重合物を含有するハードコート層を有するものであることが好ましい。
また、本発明の液晶表示装置は、前述した本発明のタッチパネル部材を備えるものであっても良い。
また、本発明の液晶表示装置が有する対向基板は、本発明のポリイミドフィルム又は積層体を備えるものであっても良い。
図8は、本発明の液晶表示装置の一例を示す概略断面図である。図8に示す液晶表示装置100は、本発明の積層体10と、本発明の積層体10’の一方の面に第一の透明電極4を備え、もう一方の面に第二の透明電極5を備えるタッチパネル部材20と、液晶表示部30とを有する。液晶表示装置100において、積層体10は表面材として用いられており、積層体10とタッチパネル部材20とは、接着層6を介して貼り合わせられている。
本発明の液晶表示装置の駆動方式としては、特に限定はなく一般的に液晶表示装置に用いられている駆動方式を採用することができ、例えば、TN方式、IPS方式、OCB方式、及びMVA方式等を挙げることができる。
本発明の液晶表示装置に用いられる対向基板としては、液晶表示装置の駆動方式等に応じて適宜選択して用いることができ、本発明のポリイミドフィルム又は積層体を備えるものを用いても良い。
液晶層を構成する液晶としては、本発明の液晶表示装置の駆動方式等に応じて、誘電異方性の異なる各種液晶、及びこれらの混合物を用いることができる。
液晶層の形成方法としては、一般に液晶セルの作製方法として用いられる方法を使用することができ、例えば、真空注入方式や液晶滴下方式等が挙げられる。前記方法によって液晶層を形成後、液晶セルを常温まで徐冷することにより、封入された液晶を配向させることができる。
本発明の液晶表示装置において、対向配置された基板の間には、さらに複数色の着色層や、画素を画定する遮光部を有していてもよい。また、液晶表示部は、対向配置された基板の外側において、タッチパネル部材が位置する側とは反対側の位置に、発光素子や蛍光体を有するバックライト部を有していてもよい。また、対向配置された基板の外表面には、それぞれ偏光板を有していてもよい。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、前述した本発明のポリイミドフィルム又は前述した本発明の積層体と、前記ポリイミドフィルム又は前記積層体の一方の面側に配置された、対向基板間に有機エレクトロルミネッセンス層を有してなる有機エレクトロルミネッセンス表示部とを有する。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス表示装置に用いられる本発明の積層体は、ポリイミドフィルムの両面に隣接して、ラジカル重合性化合物及びカチオン重合性化合物の少なくとも1種の重合物を含有するハードコート層を有するものであることが好ましい。
また、本発明の有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、前述した本発明のタッチパネル部材を備えるものであっても良い。
また、本発明の有機エレクトロルミネッセンス表示装置が有する対向基板は、本発明のポリイミドフィルム又は積層体を備えるものであっても良い。
有機EL表示部は、さらに、支持基板と、有機EL層並びに有機EL層を挟持する陽極層及び陰極層を含む有機EL素子と、有機EL素子を封止する封止基材と、を有していてもよい。前記有機EL層としては、少なくとも有機EL発光層を有するものであれば良いが、例えば、上記陽極層側から、正孔注入層、正孔輸送層、有機EL発光層、電子輸送層および電子注入層がこの順で積層した構造を有するものを有するものを用いることができる。
本発明の有機EL表示装置は、例えば、パッシブ駆動方式の有機ELディスプレイにもアクティブ駆動方式の有機ELディスプレイにも適用可能である。本発明の有機EL表示装置に用いられる対向基板としては、有機EL表示装置の駆動方式等に応じて適宜選択して用いることができ、本発明の積層体を備えるものを用いても良い。
以下、特に断りがない場合は、25℃で測定又は評価を行った。
フィルムの試験片は、フィルムの中央部付近から切り出した。切り出したフィルムの四隅と中央の計5点の膜厚を、前記膜厚の測定方法で測定し、5点の平均膜厚と各点の膜厚の差が、平均膜厚の6%以内である試験片を用いた。
ポリイミド前駆体の重量平均分子量は、ポリイミド前駆体を0.5重量%の濃度のN-メチルピロリドン(NMP)溶液とし、その溶液をシリンジフィルター(孔径:0.45μm)に通じて濾過させ、展開溶媒として、含水量500ppm以下の10mmol%LiBr-NMP溶液を用い、GPC装置(東ソー製、HLC-8120、使用カラム:SHODEX製GPC LF-804)を用い、サンプル打ち込み量50μL、溶媒流量0.5mL/分、40℃の条件で測定を行った。ポリイミド前駆体の重量平均分子量は、サンプルと同濃度のポリスチレン標準サンプル(重量平均分子量:364,700、204,000、103,500、44,360、27,500、13,030、6,300、3,070)を基準に測定した標準ポリスチレンに対する換算値とした。溶出時間を検量線と比較し、重量平均分子量を求めた。
<ポリイミド前駆体溶液の粘度>
ポリイミド前駆体溶液の粘度は、粘度計(例えば、TVE-22HT、東機産業株式会社)を用いて、25℃で、サンプル量0.8mlとして測定した。
ポリイミド粉体15mgを、15000mgのN-メチルピロリドン(NMP)に浸漬し、ウォーターバスで60℃に加熱しながら、スターラーを用いて回転速度200rpmで、目視で溶解を確認するまで3~60時間撹拌することにより、0.1重量%の濃度のNMP溶液を得た。その溶液をシリンジフィルター(孔径:0.45μm)に通じて濾過させ、展開溶媒として、含水量500ppm以下の30mmol%LiBr-NMP溶液を用い、GPC装置(東ソー製、HLC-8120、検出器:示差屈折率(RID)検出器、使用カラム:SHODEX製GPC LF-804を2本直列に接続)を用い、サンプル打ち込み量50μL、溶媒流量0.4mL/分、カラム温度37℃、検出器温度37℃の条件で測定を行った。ポリイミドの重量平均分子量は、サンプルと同濃度のポリスチレン標準サンプル(重量平均分子量:364,700、204,000、103,500、44,360,27,500、13,030、6,300、3,070)を基準に測定した標準ポリスチレンに対する換算値とした。溶出時間を検量線と比較し、重量平均分子量を求めた。
<ポリイミド溶液の粘度>
ポリイミド溶液の粘度は、粘度計(例えば、TVE-22HT、東機産業株式会社)を用いて、25℃で、サンプル量0.8mlとして測定した。
ポリイミド材料(ポリイミド粉体)を光学顕微鏡(キーエンス製、デジタルマイクロスコープVHX-5000)により倍率100倍で観察し、その観察画像から無作為に、150個のポリイミド材料の粒子を任意に抽出し、抽出した粒子のそれぞれの粒子径を測定し、その平均値を算出して、ポリイミド材料の平均粒径とした。
なお、ポリイミド材料の粒子形状が球形でない場合には、その長径を測定した。
ポリイミドフィルム中の残留溶剤の種類を特定した後、特定された残留溶剤の含有量を定量した。
[残留溶剤の種類の特定]
残留溶剤の種類の特定を、パージ&トラップ装置(加熱脱着装置)が連結したGC-MSを用いて行った。
パージ&トラップ装置(製品名JTD505-III、日本分析工業株式会社)に、ポリイミドフィルム10mgを入れた試料管をセットし、200℃で30分保持して加熱して発生したガスを、-60℃のトラップ管で捕集し、捕集したものを315℃で加熱して飛ばしてGC-MSへ送り込み、発生した有機ガスの成分の定性分析を行なった。
(パージ&トラップ装置条件)
総スプリット比(導入量/排気量)1:10、
キャリアガス ヘリウム1.0ml/min定量
(GC-MS条件)
装置名:GC-MS装置(Agilent社、6890/5973 GC/MS)
カラム:UA-5 内径250μm×長さ30m×膜厚0.25μm(フロンティア・ラボ製)、昇温条件 50℃(5分保持) → 10℃/分(昇温) → 320℃(3分保持)
[残留溶剤の定量]
ポリイミドフィルムの濃度が5質量%濃度となるように、N,N-ジメチルホルムアミド(DMF)にポリイミドフィルムを添加して、ポリイミドフィルム/N,N-ジメチルホルムアミド(DMF)溶液を調製し、この溶液に、内部標準液(0.2質量%濃度アニソール/DMF溶液)を添加してサンプル溶液を調製した。当該サンプル溶液について、GC-MS装置(例えば、Agilent社、6890/5973 GC/MS)を用いて、下記条件で、GC-MS測定を行った。当該GC-MS測定は3回行い、測定結果は3回の平均値とした。
(GC条件)
カラム:InertCapWax 内径250μm×長さ30m×膜厚0.25μm(ジーエルサイエンス製)、
サンプル打ち込み量0.2uL、スプリット比50:1、キャリアガス ヘリウム94.3kPa定圧、注入口温度250℃、昇温条件 40℃(5分保持) → 5℃/分 → 120℃ → 20℃/分 → 240℃(6分保持)、トランスファーライン温度 250℃
(MS条件)
イオン化法 EI、測定モード SIM、イオン源温度 250℃、四重極温度 150℃、イオン化電圧 70eV
(定量イオン)
DMAc m/z = 72,87
ジクロロメタン m/z = 49,84
酢酸エチル m/z = 43,88
酢酸ブチル m/z = 43,56,73
PGMEA m/z = 45,90
アニソール m/z = 93,108
そして、当該検量線を基準として、ポリイミドフィルムに対する質量比としてDMAcの含有量を算出した。
含まれている残留溶剤が2種以上の場合、各残留溶剤に対して上記DMAcのように検量線液を調製し、当該各検量線液についてのGC-MS測定による測定結果から作成された検量線を基準とした。
ポリイミド材料の残留溶剤量は、前記ポリイミドフィルムの残留溶剤量の測定法において、ポリイミドフィルムの代わりにポリイミド材料を用いた以外は同様にして行った。
JIS K7361-1に準拠して、ヘイズメーター(村上色彩技術研究所製 HM150)により測定した。
以下、静的屈曲試験の方法について、図1を参照して説明する。
15mm×40mmに切り出したポリイミドフィルムの試験片1を長辺の半分の位置で折り曲げ、試験片1の長辺の両端部が厚み2mmの金属片2(100mm×30mm×2mm)を上下面から挟むようにして配置し、試験片1の両端部と金属片2との上下面での重なりしろが各々10mmずつになるようにテープで固定した。試験片1が固定された金属片2を、上下からガラス板(100mm×100mm×0.7mm)3a、3bで挟み、試験片1を内径2mmで屈曲した状態で固定した。その際に、金属片2上で試験片1がない部分にダミーの試験片4a、4bを挟み込み、ガラス板3a、3bが平行になるようにテープで固定した。
このようにして屈曲した状態で固定した試験片を、60±2℃、93±2%相対湿度(RH)の環境下で24時間静置した後、ガラス板と試験片固定用のテープを外し、試験片にかかる力を解放した。その後、試験片の一方の端部を固定し、試験片にかかる力を解放してから30分後に試験片の内角を測定した。
なお、当該静的屈曲試験によってフィルムが影響を受けずに完全に元に戻った場合は、前記内角は180°となる。
(評価基準)
内径2mmで屈曲した状態で固定し、60±2℃、93±2%相対湿度(RH)の環境下で24時間静置、という従来技術よりも厳しい条件下で静的屈曲試験を行ったため、試験片の内角は以下のように評価された。A,Bであれば静的屈曲耐性が良好であるが、Aであるとより優れている。
A:110°以上
B:90°以上110°未満
C:90°未満
幅15.0mm×長さ110mmの大きさに切り出したポリイミドフィルムの試験片を、JIS 8115-2001に準拠して、MIT試験機(東洋精機製作所製、耐折疲労試験機MIT D-2)を用いて、屈曲半径1mm、荷重500gの条件で、試験片が破断するまでの往復折曲げ回数を測定した。前記往復折曲げ試験を3回行い、3回の試験結果の往復折曲げ回数の平均値を求めた。
(評価基準)
AA,A,Bであれば動的屈曲耐性が良好であるが、AA,Aであるとより優れている。
AA:50000回以上
A:45000回以上50000回未満
B:35000回以上45000回未満
C:35000回未満
YI値は、JIS K7373-2006に準拠して、紫外可視近赤外分光光度計(日本分光(株) V-7100)を用い、分光測色方法により、補助イルミナントC、2度視野を用いて、250nm以上800nm以下の範囲を1nm間隔で測定される透過率をもとに、XYZ表色系における三刺激値X,Y,Zを求め、そのX,Y,Zの値から以下の式より算出した。
YI=100(1.2769X-1.0592Z)/Y
10cm×10cmの大きさに切り出したポリイミドフィルムの試験片の四隅と中央の計5点の膜厚を、デジタルリニアゲージ(株式会社尾崎製作所製、型式PDN12 デジタルゲージ)を用いて測定し、測定値の平均をポリイミドフィルムの膜厚とした。
15mm×40mmに切り出したポリイミドフィルムの試験片を、温度25℃、相対湿度60%の条件で2時間調湿した後、JIS K7127に準拠し、引張り速度を10mm/分、チャック間距離を20mmとして、25℃における引張弾性率を測定した。引張り試験機は(島津製作所製:オートグラフAG-X 1N、ロードセル:SBL-1KN)を用いた。
鉛筆硬度は、測定サンプルを温度25℃、相対湿度60%の条件で2時間調湿した後、JIS-S-6006が規定する試験用鉛筆を用い、東洋精機(株)製 鉛筆引っかき塗膜硬さ試験機を用いて、JIS K5600-5-4(1999)に規定する鉛筆硬度試験(0.98N荷重)をフィルム表面に行い、傷がつかない最も高い鉛筆硬度を評価することにより行った。
5Lのセパラブルフラスコに、脱水されたN,N-ジメチルアセトアミド(DMAc)(2903g)、及び、1,3-ビス(3-アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン(AprTMOS)(15.9g)を溶解させた溶液を入れ、液温30℃に制御されたところへ、4,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物(6FDA)(14.6g)を、温度上昇が2℃以下になるように徐々に投入し、メカニカルスターラーで30分撹拌した。そこへ、2,2’-ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン(TFMB)(387g)を添加し、完全に溶解したことを確認後、4,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物(6FDA)(548g)を温度上昇が2℃以下になるように数回に分けて徐々に投入し、ポリイミド前駆体Aが溶解したポリイミド前駆体A溶液(固形分25質量%)を合成した。ポリイミド前駆体Aに用いられたTFMBとAprTMOSとのモル比(TFMB:AprTMOS)は95:5であった。
前記合成例1と同様にして、ポリイミド前駆体A溶液を得た。
窒素雰囲気下で、5Lのセパラブルフラスコに、室温に下げた上記ポリイミド前駆体A溶液(400g)を加えた。そこへ、脱水されたN,N-ジメチルアセトアミド(109g)を加え均一になるまで撹拌した。次に触媒であるピリジン(41.4g)と無水酢酸(53.4g)を加え24時間室温で撹拌し、ポリイミドA溶液を合成した。
得られたポリイミドA溶液に酢酸ブチル(406g)を加え均一になるまで撹拌し、次にt-ブタノール(3000g)を徐々に加え白色スラリーを得た。上記スラリーをろ過し、スラリーをイソプロピルアルコール(130g)が入ったビーカーで洗浄し、その後ろ過するという工程を18回繰り返し、真空乾燥機を用いて110℃で乾燥し、ポリイミドA1(ポリイミド材料、ポリイミド粉体)を得た。
なお、t-ブタノール(3000g)を徐々に加えて得られた白色スラリーをろ過後のポリイミド粉体(0回目)、並びに、イソプロピルアルコール洗浄を5回後、10回後、13回後、及び15回後で得られたポリイミド粉体それぞれについて、残留溶剤量を確認したところ、それぞれ、0回:16754ppm、5回後:2500ppm、10回後:220ppm、13回後:95ppm、15回後、50ppmであった。
GPCによって測定したポリイミドA1の重量平均分子量は175000であった。ポリイミドA1の平均粒径は250μmであった。
ポリイミドA1の残留溶剤量を確認したところ、残留溶剤の種類はDMAcのみであり、残留溶剤量は、DMAcが17ppmであった。
合成例2と同様にして、ポリイミドA溶液を得た。
得られたポリイミドA溶液(346.4g)を5Lのセパラブルフラスコに移し、酢酸ノルマル-ブチル(以下、酢酸ブチルという)(235.3g)を加え均一になるまで撹拌した。次にメタノール(523.5g)を徐々に加え、僅かに濁りが見られる溶液を得た。濁りのみられる溶液にメタノール(1.221kg)を一気に加え白色スラリーを得た。上記スラリーをろ過し、5回メタノールで洗浄し、ポリイミドCA1(65.8g)を得た。
ポリイミドCA1の平均粒径は230μmであった。
ポリイミドCA1の残留溶剤量を確認したところ、残留溶剤の種類はDMAcのみであり、残留溶剤量は、DMAcが2500ppmであった。
合成例2と同様にして、ポリイミドA溶液を得た。
得られたポリイミドA溶液に酢酸ブチル(406g)を加え均一になるまで撹拌し、次にt-ブタノール(3000g)を徐々に加え白色スラリーを得た。上記スラリーをろ過し、スラリーをIPA(130g)が入ったビーカーで洗浄し、その後ろ過するという工程を表3に示す回数だけ繰り返した以外は、合成例1と同様にして、ポリイミドA2及びA3、並びに、ポリイミドCA2及びCA3を得た。
ポリイミドA2は、平均粒径が240μm、残留溶剤量としてDMAcが50ppmであった。
ポリイミドA3は、平均粒径が230μm、残留溶剤量としてDMAcが95ppmであった。
ポリイミドCA2は、平均粒径が250μm、残留溶剤量としてDMAcが220ppmであった。
ポリイミドCA3は、平均粒径が240μm、残留溶剤量としてDMAcが2500ppmであった。
合成例2のポリイミドA1を用い、下記(C1)~(C3)の手順を行うことで、表1に記載の厚みのポリイミドフィルムをそれぞれ作製した。
(C1)ポリイミドA1の固形分濃度が17質量%となるように、ポリイミドA1にジクロロメタンを添加して、固形分17質量%のポリイミドA1ジクロロメタン溶液を作製した。ポリイミドA1ジクロロメタン溶液(固形分17質量%)の25℃における粘度は4600cpsであった。
(C2)シート状の支持体(厚さ100μm、SUS304、日新製鋼(株)製、SUS304 CSP-H-TA)に、ポリイミドA1ジクロロメタン溶液(固形分濃度17質量%)を、後述する循環オーブン中での乾燥後のフィルム膜厚が表1に示した膜厚になるように塗布し、自然乾燥後、ポリイミド樹脂塗膜を剥離した。
(C3)剥離したポリイミド樹脂塗膜を150mm×200mmの大きさに切り出した。金属の枠(外寸150mm×200mm、内寸130mm×180mm)を2枚使用して、切り出したポリイミド樹脂塗膜を挟持し固定治具で金属枠とポリイミド樹脂塗膜とを固定した。固定したポリイミド樹脂塗膜を循環オーブン中で、表1に示す加熱温度(℃)及び時間(分)で乾燥し、ポリイミドフィルムを作製した。
得られたポリイミドフィルムの評価結果を表1に示す。
合成例1のポリイミド前駆体A溶液を用い、下記(H1)~(H2)の手順を行うことで、表1に記載の厚みのポリイミドフィルムをそれぞれ作製した。
(H1)合成例1のポリイミド前駆体A溶液(固形分濃度25質量%)を、シート状の支持体(厚さ100μm、SUS304、日新製鋼(株)製、SUS304 CSP-H-TA)に、後述する窒素気流下での加熱後のフィルム膜厚が表1に示した膜厚になるように塗布し、支持体と塗布されたポリイミド前駆体A溶液を循環オーブンで、40℃で60分間乾燥し、その後、120℃で15分間乾燥し、ポリイミド前駆体樹脂塗膜を形成後、ポリイミド前駆体樹脂塗膜を剥離した。
(H2)剥離したポリイミド前駆体樹脂塗膜を150mm×200mmの大きさに切り出した。金属の枠(外寸150mm×200mm、内寸130mm×180mm)を2枚使用して切り出したポリイミド前駆体樹脂塗膜を挟持し固定治具で金属枠とポリイミド前駆体樹脂塗膜とを固定した。固定したポリイミド前駆体樹脂塗膜を、オーブン中で、窒素気流下(酸素濃度100ppm以下)、昇温速度10℃/分で、表1に示す加熱温度(℃)まで昇温し、その温度で表1に示す時間(分)加熱し、ポリイミドフィルムを形成した。
比較合成例1のポリイミドCA1を酢酸ブチルとPGMEAの混合溶媒(8:2、体積比)に溶かし、固形分25質量%のポリイミドCA1溶液を作製した。ポリイミドCA1溶液(固形分25重量%)の25℃における粘度は40000cpsであった。
上述のように得られたポリイミドCA1溶液を用いて、下記(iv)~(vi)の手順を行うことで、50μmの厚みのポリイミドフィルムを作製した。
(iv)ポリイミドCA1溶液をガラス上に塗布し、120℃の循環オーブンで10分乾燥した。
(v)窒素気流下(酸素濃度100ppm以下)、昇温速度10℃/分で、250℃まで昇温し、250℃で1時間保持後、室温まで冷却した。
(vi)ガラスより剥離し、ポリイミドフィルムを得た。
合成例1のポリイミド前駆体A溶液を用い、下記(i)~(iii)の手順を行うことで、表2に記載の厚みのポリイミドフィルムをそれぞれ作製した。
(i)ポリイミド前駆体A溶液をガラス上に塗布し、120℃の循環オーブンで10分乾燥した。
(ii)窒素気流下(酸素濃度100ppm以下)、昇温速度10℃/分で、300℃まで昇温し、300℃で60分間保持後、室温まで冷却した。
(iii)ガラスより剥離し、各ポリイミドフィルムを得た。
実施例1において、合成例2のポリイミドA1を用いる代わりに、合成例3~4のポリイミドA2、A3、比較合成例2~3のポリイミドCA2、CA3をそれぞれ用いた以外は、実施例1と同様にして、表3に記載の厚みのポリイミドフィルムをそれぞれ作製した。
得られたポリイミドフィルムの評価結果を表3に示す。
合成例2のポリイミドA1を用い、下記(C1’)~(C3’)の手順を行うことで、表4に記載の厚みのポリイミドフィルムをそれぞれ作製した。
(C1’)ポリイミドA1の固形分濃度が17質量%となるように、ポリイミドA1に酢酸エチル(沸点77℃)を添加して、固形分17質量%のポリイミドA1酢酸エチル溶液を作製した。ポリイミドA1酢酸エチル溶液(固形分17質量%)の25℃における粘度は4800cpsであった。
(C2’)シート状の支持体(厚さ100μm、SUS304、日新製鋼(株)製、SUS304 CSP-H-TA)に、ポリイミドA1酢酸エチル溶液(固形分17質量%)を、後述する循環オーブン中での乾燥後のフィルム膜厚が表4に示した膜厚になるように塗布し、自然乾燥後、ポリイミド樹脂塗膜を剥離した。
(C3’)剥離したポリイミド樹脂塗膜を150mm×200mmの大きさに切り出した。金属の枠(外寸150mm×200mm、内寸130mm×180mm)を2枚使用して、切り出したポリイミド樹脂塗膜を挟持し固定治具で金属枠とポリイミド樹脂塗膜とを固定した。固定したポリイミド樹脂塗膜を循環オーブン中で、表4に示す加熱温度(℃)及び時間(分)で乾燥し、ポリイミドフィルムを作製した。
得られたポリイミドフィルムの評価結果を表4に示す。
合成例2のポリイミドA1を用い、下記(C1”)~(C3”)の手順を行うことで、表4に記載の厚みのポリイミドフィルムをそれぞれ作製した。
(C1”)ポリイミドA1の固形分濃度が17質量%となるように、ポリイミドA1に酢酸ブチル(沸点126℃)を添加して、固形分17質量%のポリイミドA1酢酸ブチル溶液を作製した。ポリイミドA1酢酸ブチル溶液(固形分17質量%)の25℃における粘度は5000cpsであった。
(C2”)シート状の支持体(厚さ100μm、SUS304、日新製鋼(株)製、SUS304 CSP-H-TA)に、ポリイミドA1酢酸ブチル溶液(固形分17質量%)を、後述する循環オーブン中での乾燥後のフィルム膜厚が表4に示した膜厚になるように塗布し、自然乾燥後、ポリイミド樹脂塗膜を剥離した。
(C3”)剥離したポリイミド樹脂塗膜を150mm×200mmの大きさに切り出した。金属の枠(外寸150mm×200mm、内寸130mm×180mm)を2枚使用して、切り出したポリイミド樹脂塗膜を挟持し固定治具で金属枠とポリイミド樹脂塗膜とを固定した。固定したポリイミド樹脂塗膜を循環オーブン中で、表4に示す加熱温度(℃)及び時間(分)で乾燥し、ポリイミドフィルムを作製した。
得られたポリイミドフィルムの評価結果を表4に示す。
合成例1のポリイミド前駆体Aの合成に用いられたTFMBとAprTMOSとのモル比(TFMB:AprTMOS)を、95:5から、表5に示すように変更した以外は、合成例1と同様にして、ポリイミド前駆体A4~A9溶液をそれぞれ得た。
合成例2のポリイミドの合成において、ポリイミド前駆体A溶液の代わりに、ポリイミド前駆体A4~A9溶液をそれぞれ用いた以外は、合成例2と同様にして、ポリイミドA4~A9(ポリイミド材料、ポリイミド粉体)をそれぞれ得た。
ポリイミドA4~A9のそれぞれについて、GPCによって測定した重量平均分子量、残留溶剤(DMAc)量を表5に示す。
実施例1においてポリイミドA1を用いる代わりに、合成例5~10で得られたポリイミドA4~A9をそれぞれ用いた以外は、実施例1と同様の手順を行うことで、表6に記載の厚みのポリイミドフィルムをそれぞれ作製した。
得られたポリイミドフィルムの評価結果を表6に示す。
合成例1のポリイミド前駆体Aの合成において、Siを含有しないジアミンとして用いられたTFMBの代わりに、TFMBと等モル量の表7に示すジアミン1を用いるように変更した以外は、合成例1と同様にして、ポリイミド前駆体A10~A16溶液をそれぞれ得た。
合成例2のポリイミドの合成において、ポリイミド前駆体A溶液の代わりに、ポリイミド前駆体A10~A16溶液をそれぞれ用いた以外は、合成例2と同様にして、ポリイミドA10~A16(ポリイミド材料、ポリイミド粉体)をそれぞれ得た。
ポリイミドA10~A16のそれぞれについて、GPCによって測定した重量平均分子量、残留溶剤(DMAc)量を表7に示す。
実施例1においてポリイミドA1を用いる代わりに、合成例11~17で得られたポリイミドA10~A16をそれぞれ用いた以外は、実施例1と同様の手順を行うことで、表8に記載の厚みのポリイミドフィルムをそれぞれ作製した。
得られたポリイミドフィルムの評価結果を表8に示す。
合成例1のポリイミド前駆体Aの合成において、酸二無水物として用いられた6FDAの半分を、6FDAと等モル量のピロメリット酸二無水物を用いるように変更した以外は、合成例1と同様にして、ポリイミド前駆体A17溶液(固形分25質量%)を合成した。
ポリイミド前駆体A17に用いられたTFMBとAprTMOSとのモル比(TFMB:AprTMOS)は95:5であった。
合成例2のポリイミドの合成において、ポリイミド前駆体A溶液の代わりに、ポリイミド前駆体A17溶液を用いた以外は、合成例2と同様にして、ポリイミドA17(ポリイミド材料、ポリイミド粉体)をそれぞれ得た。
GPCによって測定したポリイミドA17の重量平均分子量は176000であった。
ポリイミドA17の残留溶剤量を確認したところ、残留溶剤の種類はDMAcのみであり、残留溶剤量は、DMAcが22ppmであった。
合成例1のポリイミド前駆体Aの合成において、酸二無水物として用いられた6FDAの代わりに、6FDAと等モル量の4,4’-オキシジフタル酸無水物を用いるように変更した以外は、合成例1と同様にして、ポリイミド前駆体A18溶液を得た。ポリイミド前駆体A18に用いられたTFMBとAprTMOSとのモル比(TFMB:AprTMOS)は95:5であった。
合成例2のポリイミドの合成において、ポリイミド前駆体A溶液の代わりに、ポリイミド前駆体A18溶液を用いた以外は、合成例2と同様にして、ポリイミドA18(ポリイミド材料、ポリイミド粉体)をそれぞれ得た。
GPCによって測定したポリイミドA18の重量平均分子量は178000であった。
ポリイミドA18の残留溶剤量を確認したところ、残留溶剤の種類はDMAcのみであり、残留溶剤量は、DMAcが20ppmであった。
実施例1においてポリイミドA1を用いる代わりに、合成例18~19で得られたポリイミドA17~A18をそれぞれ用いた以外は、実施例1と同様の手順を行うことで、表8に記載の厚みのポリイミドフィルムをそれぞれ作製した。
得られたポリイミドフィルムの評価結果を表9に示す。
ペンタエリスリトールトリアクリレートの40質量%メチルイソブチルケトン溶液に、ペンタエリスリトールトリアクリレート100質量部に対して10質量部の1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン(BASF製、イルガキュア184)を添加して、ハードコート層用樹脂組成物を調製した。
実施例1~29の各ポリイミドフィルム上に前記ハードコート層用樹脂組成物を塗布し、紫外線を窒素気流下200mJ/cm2の露光量で照射し硬化させ、10μm膜厚の硬化膜を形成し、積層体を製造した。
ポリイミドフィルム中にケイ素原子を含むため、ハードコート層との密着性も良好であった。
Claims (15)
- 下記一般式(1)で表される構造を有するポリイミドを含有し、
フィルム内の残留溶剤として、1気圧下での沸点が100℃未満の有機溶剤の含有量が2000ppm以下で、且つ、1気圧下での沸点が100℃以上の有機溶剤の含有量が100ppm以下であり、
JIS K7361-1に準拠して測定する全光線透過率が、85%以上である、ポリイミドフィルム。
- 15mm×40mmの試験片をJIS K7127に準拠し、引張り速度を10mm/分、チャック間距離を20mmとして測定する25℃における引張弾性率が1.8GPa以上である、請求項1に記載のポリイミドフィルム。
- JIS K7373-2006に準拠して算出される黄色度を、膜厚(μm)で除した値が、0.10以下である、請求項1又は2に記載のポリイミドフィルム。
- 前記一般式(1)中のR1が、シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物残基、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物残基、ジシクロヘキサン-3,4,3’,4’-テトラカルボン酸二無水物残基、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物残基、ピロメリット酸二無水物残基、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物残基、2,2’,3,3’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物残基、4,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物残基、3,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物残基、3,3’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物残基、4,4’-オキシジフタル酸無水物残基、及び、3,4’-オキシジフタル酸無水物残基からなる群から選ばれる少なくとも1種の4価の基である、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のポリイミドフィルム。
- 前記一般式(1)中のR2における、前記ケイ素原子を有さず、芳香族環又は脂肪族環を有するジアミン残基が、trans-シクロヘキサンジアミン残基、trans-1,4-ビスメチレンシクロヘキサンジアミン残基、4,4’-ジアミノジフェニルスルホン残基、3,4’-ジアミノジフェニルスルホン残基、2,2-ビス(4-アミノフェニル)プロパン残基、3,3’-ビス(トリフルオロメチル)-4,4’-[(1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン-2,2-ジイル)ビス(4,1-フェニレンオキシ)]ジアニリン残基、2,2-ビス[3-(3-アミノフェノキシ)フェニル]-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン残基、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン残基、及び下記一般式(2)で表される2価の基からなる群から選ばれる少なくとも1種の2価の基である、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のポリイミドフィルム。
- 前記一般式(1)中、R2は、ケイ素原子を有しないジアミン残基、及び、主鎖にケイ素原子を1個又は2個有するジアミン残基から選ばれる少なくとも1種である2価の基を表し、R2の総量の2.5モル%以上50モル%以下が、主鎖にケイ素原子を1個又は2個有するジアミン残基であり、50モル%以上97.5モル%以下が、ケイ素原子を有さず、芳香族環又は脂肪族環を有するジアミン残基である、請求項1乃至5のいずれか一項に記載のポリイミドフィルム。
- フィルム内の残留溶剤として、1気圧下での沸点が100℃未満の有機溶剤の含有量が2000ppm以下で、且つ、1気圧下での沸点が100℃以上の有機溶剤の含有量が100ppm以下である(但し、フィルム内の残留溶剤が検出限界値以下である場合を除く)、請求項1乃至6のいずれか一項に記載のポリイミドフィルム。
- フィルム内の残留溶剤として、1気圧下での沸点が100℃未満の有機溶剤の含有量が2000ppm以下で、且つ、1気圧下での沸点が100℃以上の有機溶剤の含有量が14ppm以上100ppm以下である、請求項1乃至7のいずれか一項に記載のポリイミドフィルム。
- 請求項1乃至7のいずれか一項に記載のポリイミドフィルム製造用ポリイミド材料であり、
前記一般式(1)で表される構造を有し、残留溶剤として、1気圧下での沸点が100℃未満の有機溶剤の含有量が2000ppm以下で、且つ、1気圧下での沸点が100℃以上の有機溶剤の含有量が100ppm以下である、ポリイミド材料。 - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載のポリイミドフィルムと、ラジカル重合性化合物及びカチオン重合性化合物の少なくとも1種の重合物を含有するハードコート層とを有する積層体。
- 請求項1乃至8のいずれか一項に記載のポリイミドフィルム、又は、請求項10に記載の積層体である、ディスプレイ用部材。
- フレキシブルディスプレイ用である、請求項11に記載のディスプレイ用部材。
- 請求項1乃至8のいずれか一項に記載のポリイミドフィルム又は請求項10に記載の積層体と、
前記ポリイミドフィルム又は前記積層体の一方の面側に配置された、複数の導電部からなる透明電極と、
前記導電部の端部の少なくとも一方側において電気的に接続される複数の取り出し線と、を有するタッチパネル部材。 - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載のポリイミドフィルム又は請求項10に記載の積層体と、
前記ポリイミドフィルム又は前記積層体の一方の面側に配置された、対向基板間に液晶層を有してなる液晶表示部と、を有する液晶表示装置。 - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載のポリイミドフィルム又は請求項10に記載の積層体と、
前記ポリイミドフィルム又は前記積層体の一方の面側に配置された、対向基板間に有機エレクトロルミネッセンス層を有してなる有機エレクトロルミネッセンス表示部と、を有する有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
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Citations (6)
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---|---|---|---|---|
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