JP7384390B2 - プローブ型センサー - Google Patents
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Description
11 光導波路
12 光ファイバー
13 隔壁
14 被覆膜
15 電極
16 参照電極
17 流路
18、19、38、39 保護膜
20 センサー
21 半導体層
22 絶縁層
23 電極層
31 母材
32 コア
33 クラッド
34 結束膜
35 電極
100 プローブ型センサー
Claims (5)
- ファイバーと、前記ファイバーの一端に接続されたセンサーと、を備え、
前記ファイバーは、複数の光ファイバーを含む光導波路と、前記光導波路の周囲に配置され前記光導波路に沿って延びる被覆膜とを備え、
前記被覆膜は、内部に、前記光導波路に沿って延びる電極及び参照電極を有し、
前記センサーは、半導体層と、前記半導体層の第1面に積層された絶縁体層と、前記第1面と反対の第2面に積層され前記ファイバーと電気的に接続する電極層と、を備え、
前記被覆膜は、内部に前記光導波路に沿って延びる流路をさらに備え、
前記流路は、前記センサーの測定面に溶液を供給する、プローブ型センサー。 - 前記複数の光ファイバーのそれぞれは、異なる周波数で変調された光を前記センサーの異なる複数の場所に照射し、
前記センサーで周波数毎に分解された光電流と、前記複数の光ファイバーのそれぞれに照射した光の周波数とを照合する、請求項1に記載のプローブ型センサー。 - 前記光ファイバーの直径は、10μm以上60μm以下である、請求項1又は2に記載のプローブ型センサー。
- 前記光導波路は、前記複数の光ファイバーと、前記複数の光ファイバーの間を埋める隔壁と、を備え、
前記光ファイバーはポリカーボネートであり、前記隔壁はポリメチルメタクリレートである、請求項1~3のいずれか一項に記載のプローブ型センサー。 - 前記ファイバーの断面において、前記流路は複数あり、
前記流路は、前記光導波路の周囲に点在している、請求項1に記載のプローブ型センサー。
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