JP2017009534A - 光センサ素子 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に、本発明の第1の実施形態にかかる光センサ素子の構成を示す。光導波路の光軸をz軸としたとき、図1(a)はx軸方向から見た側面図、図1(b)はz軸方向から見た正面図である。第1の実施形態の光センサ素子は、単層または10原子層未満のグラフェンからなるチャネル層を有する電界効果型トランジスタ(以下、グラフェンFETという)と、このチャネル層の表面またはその近傍に光を照射するための導波路端面を有する光導波路とを備えた。
図5に、本発明の第2の実施形態にかかる光センサ素子の構成を示す。図5(a)はx軸方向から見た側面図、図5(b)はz軸方向から見た正面図である。第2の実施形態の光センサ素子は、単層または10原子層未満のグラフェンからなるチャネル層を有するグラフェンFETと、このチャネル層の表面またはその近傍に光を照射するための導波路端面と、照射された光を透過光として検出するための導波路端面とが対向して形成された光導波路とを備えた。
図6に、本発明の第3の実施形態にかかる光センサ素子の構成を示す。図6(a)はx軸方向から見た側面図、図6(b)はz軸方向から見た正面図である。第3の実施形態の光センサ素子も、第2の実施形態と同様に、単層または10原子層未満のグラフェンからなるチャネル層を有するグラフェンFETと、このチャネル層の表面またはその近傍に光を照射するための導波路端面が形成された光導波路とを備えた。
第4の実施形態の光センサ素子は、第1−3の実施形態において、グラフェンからなるチャネル層の表面に、イオン伝導性を有する膜を有している。例えば、図1に示したグラフェンFETのチャネル層14の表面に、選択的にしかイオンを通さないイオン伝導膜を形成することにより、グラフェン表面に近接するイオンの種類を限定することにより、より高精度、高感度な分析が可能となる。
図7に、第2および第4の実施形態の光センサ素子の製造方法を示す。ゲート電極となる導電性基板31の上に、光導波路の下部クラッドとなるクラッド層33を形成する。次に、後にグラフェンFETを形成するための溝の底面となる部分に犠牲層71を形成しておく(図7(a))。犠牲層71は、ウエットエッチング等で選択的に除去できるような金属膜などを用いる。また、犠牲層71は、プラズマエッチング加工時などにストップ層として機能する。さらに下部クラッドとなるクラッド層33を形成した後(図7(b))、導波路コア32となるコア層72を形成する(図7(c))。コア層72は、火炎堆積法(FHD)、スパッタ法、EB蒸着法、CVD法やプラズマCVD法、スピンコート法によりコア材料を堆積し、必要に応じて熱処理を行うことにより作製する。
12,32,52 導波路コア
13,33,53 クラッド層
14,34,54 チャネル層
15,35,55 ソース電極
16,36,56 ドレイン電極
21,41,61 被測定試料
22,42,62 入射光
43,63 透過光
71 犠牲層
72 コア層
73,74,76,77,78 フォトレジスト
75 グラフェン
79 イオン伝導膜
Claims (7)
- 単層または10原子層未満のグラフェンからなるチャネル層を有する電界効果型トランジスタと、
前記チャネル層の表面またはその近傍に光を照射するための第1の導波路端面を有する光導波路と
を備えたことを特徴とする光センサ素子。 - 前記光導波路は、前記第1の導波路端面と対向して、前記照射された光を透過光として検出するための第2の導波路端面をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の光センサ素子。
- 前記第1の導波路端面と前記第2の導波路端面との間隔は、1μm以上10mm以下であることを特徴とする請求項2に記載の光センサ素子。
- 前記光導波路は、基板上に形成されたクラッド層と、該クラッド層内部に形成された導波路コアとを含み、
前記導波路コアを切断するように形成された溝をさらに備え、
前記電界効果型トランジスタは、前記溝の底面に形成されていることを特徴とする請求項2または3に記載の光センサ素子。 - 前記第1の導波路端面を有する第1の光導波路と、前記第2の導波路端面を有する第2の光導波路とが、前記電界効果型トランジスタを挟んで配置されていることを特徴とする請求項2または3に記載の光センサ素子。
- 前記第1の導波路端面を有する第1の光導波路と、前記第2の導波路端面を有する第2の光導波路および該第2の光導波路と並んでアレイ状に作製された複数の光導波路とが、前記電界効果型トランジスタを挟んで配置されていることを特徴とする請求項2または3に記載の光センサ素子。
- 前記グラフェンからなるチャネル層の表面にイオン伝導性を有する膜が形成されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の光センサ素子。
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