JP7381836B2 - 配線基板の製造方法及び配線基板 - Google Patents
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Description
本開示に係る実施形態は、接続信頼性に優れた配線基板の製造方法及び配線基板を提供することを課題とする。
実施形態に係る配線基板の構成について、図1を参照して説明する。
配線基板10は、絶縁基材(絶縁樹脂)11の表面及び裏面に形成された表側回路パターン12及び裏側回路パターン13を有すると共に、表面から裏面まで貫通する貫通孔1hが形成されている基板1と、貫通孔1h内に設けた、バインダ樹脂及び繊維23を含有した層間接続部材(導電性ペースト)2と、を備え、繊維23の少なくとも一本において、層間接続部材2の内部に埋没している前記繊維23の一部が前記層間接続部材2の外部に露出する状態である。配線基板10は、絶縁基材11の構成によって、リジッド基板、フレキシブル基板のいずれともすることができる。
基板1は、絶縁樹脂からなる絶縁基材11と、絶縁基材11の表面に形成された表側回路パターン12と、裏面に形成された裏側回路パターン13と、を備え、貫通孔1hが形成されている。
絶縁基材11は、例えば、1枚ないし複数枚のガラスクロスにエポキシ樹脂等の絶縁樹脂を含侵させて硬化させた板状のガラスエポキシで形成される。このようなガラスエポキシで形成された絶縁基材11は、厚さを50~600μmとすることが好ましい。貫通孔1hのアスペクト比の調整が容易であり、導電性ペースト20を充填し易くできるからである。あるいは、絶縁基材11は、フィルム状のポリイミドや液晶ポリマー等で形成することもできる。このような絶縁基材11は、厚さを12~50μmとすることが好ましい。貫通孔1hへの導電性ペースト20の充填が容易であり、フィルムの可撓性を損ない難くするからである。絶縁基材11は、このように、ある程度の厚みのある板から薄板やフィルムまで、また、硬質なものや可撓性を有するものを用いることができる。絶縁基材11は、一般的に、両面にそれぞれ銅箔が張り合わされた両面銅張積層板として製造され、両面の銅箔は、表側回路パターン12及び裏側回路パターン13に加工される。
層間接続部材2は、基板1の貫通孔1h内に埋設された導電部材であり、表側回路パターン12と裏側回路パターン13とを電気的に接続する。層間接続部材2は、図2に示す、導電フィラー21、バインダ樹脂22、及び繊維23を混合した導電性ペースト20が、貫通孔1hに充填された後に、バインダ樹脂22を硬化させて形成される。層間接続部材2は、体積抵抗率がより低いことが好ましく、例えば、体積抵抗率が2×10-5~1.5×10-4Ω・cmとなるような導電性ペースト20を適用することが好ましい。
実施形態に係る配線基板の製造方法について、図3、図4A~4D、及び図2を参照して説明する。
図3に示すように、配線基板の製造方法は、絶縁基材(絶縁樹脂)11の表面に形成された表側回路パターン12及び裏面に形成された裏側回路パターン13を有すると共に、絶縁基材11の表面から裏面まで貫通する貫通孔1hが形成されている基板1を準備する基板準備工程S1と、貫通孔1h内に、繊維23及びバインダ樹脂22を含有した導電性ペースト20を充填する充填工程S2と、導電性ペースト20中のバインダ樹脂22の一部を、繊維23を介して貫通孔1h外に流出させる流出工程S3と、貫通孔1h外に流出させたバインダ樹脂22を除去する除去工程S4と、導電性ペースト20を硬化させて層間接続部材2を形成する硬化工程S5と、を含む。以下、各工程について詳細に説明する。
基板準備工程S1は、図4Aに示す基板1を準備する工程である。一例として、ガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸させ、その両面にそれぞれ銅箔を接合して、エポキシ樹脂を硬化させて、絶縁基材11の両面に銅箔が張り合わされた両面銅張積層板を製造する。次に、両面銅張積層板の各面の銅箔を順次エッチングして、表側回路パターン12及び裏側回路パターン13を形成する。そして、両面銅張積層板の所定の箇所に、NC(Numerical Control)ドリルやレーザ、パンチング等、絶縁基材11の材料や厚さに応じた加工方法で、表側回路パターン12、絶縁基材11、及び裏側回路パターン13を連通する貫通孔1hを形成する。
充填工程S2は、図4Bに示すように、基板1の貫通孔1h内に導電性ペースト20を充填する工程である。プレート6の上に基板1を載置して固定し、基板1の表面に貫通孔1hの位置に合わせて孔が形成されたマスク7を固定する。プレート6は、例えば多数の孔を有する真空チャックの吸着プレートであり、基板1を真空吸着して固定する。吸着力は、基板1の厚み、貫通孔1hの大きさに対して、導電性ペースト20が貫通孔1hの底部まで充填されるように適切な調整が行われる。また、このようなプレート6と基板1の間に、不織布等のシート51を挟むことが好ましい。マスク7の孔は、平面視形状が貫通孔1hと同一以上の大きさに形成され、一回り大きいことが好ましい。マスク7は、例えば、ステンレス板を加工した厚さ20~60μmのメタルマスク、又は、150~400メッシュ、乳剤厚5~20μmのスクリーンマスクである。
除去工程S4は、基板1の貫通孔1h外に流出したバインダ樹脂22を除去すると共に貫通孔1hに充填された導電性ペースト20を熱圧着する工程である。具体的には、図4Cに示すように、基板1の表面及び裏面に吸収シート(吸着紙)52,53を重ね合わせ、両面からローラ9で押圧する。吸収シート52,53は、液体を吸着し易い材質で、例えば紙や不織布等である。ローラ9は、例えば、80~160℃における一定温度、圧力0.1~0.4MPa、搬送速度5~50mm/secで、加熱加圧しながら基板1を板面方向に搬送する。繊維23の貫通孔1h外に露出した部分と、導電性ペースト20の貫通孔1hの表側及び裏側の各開口面に露出した面とから、接触した吸収シート52,53にバインダ樹脂22が吸収されて除去される。さらに、開口面からバインダ樹脂22が除去されることにより、基板1の厚さ方向中心寄りにおける導電性ペースト20から、繊維23を伝ってバインダ樹脂22が貫通孔1h外に流出し易くなり、バインダ樹脂22が開口面から厚さ方向中心に向かって順次除去される。また、基板1の両面からローラ9で加圧されることにより、層間接続部材2にボイドや気泡が生じることを抑制すると共に、導電フィラー21間の接触を促進させる。さらに、バインダ樹脂22の材料によっては、例えば60~130℃における一定温度に加熱してもよい。バインダ樹脂22は、加熱温度を所定の範囲にすることで、バインダ樹脂22がより流動性が高くなって流出し易くなるからである。
硬化工程S5は、基板1の貫通孔1h内の導電性ペースト20中に残存するバインダ樹脂22を硬化させて、図4Dに示すように、層間接続部材2を形成する工程である。硬化条件は導電性ペースト20の材料に応じ、例えば、100~280℃における一定温度で、3~90min加熱する。
1 基板
11 絶縁基材(絶縁樹脂)
12 表側回路パターン
13 裏側回路パターン
1h 貫通孔
20 導電性ペースト
2 層間接続部材(導電性ペースト)
21 導電フィラー
22 バインダ樹脂
23 繊維
51 シート
52,53 吸収シート(吸着紙)
9 ローラ
9A ロールブラシ
S1 基板準備工程
S2 充填工程
S3 流出工程
S4 除去工程
S5 硬化工程
Claims (10)
- 絶縁樹脂の表面に形成された表側回路パターン及び前記絶縁樹脂の裏面に形成された裏側回路パターンを有すると共に、前記表側回路パターン、前記絶縁樹脂、及び前記裏側回路パターンを連通する貫通孔が形成されている基板を準備する工程と、
前記貫通孔内に、エポキシ樹脂、変性エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、変性シリコーン樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、アクリル樹脂、アクリレート樹脂、メタクリル樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリノルボルネン樹脂、及びフッ素樹脂から選択されるバインダ樹脂、並びに繊維を含有した導電性ペーストを充填する工程と、
前記貫通孔内の前記導電性ペースト中のバインダ樹脂の一部を、前記繊維を介して貫通孔外に流出させる工程と、を含む配線基板の製造方法。 - 前記流出させる工程の後に、前記貫通孔外に流出させた前記バインダ樹脂を除去する工程を含む請求項1に記載の配線基板の製造方法。
- 前記バインダ樹脂を除去する工程は、前記基板の表面及び裏面に吸着紙を重ね合わせ、前記吸着紙をローラで押圧する請求項2に記載の配線基板の製造方法。
- 前記繊維は絶縁部材である請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法。
- 前記繊維は、直径が1~30μmで、長さが0.1~1mmである請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法。
- 前記絶縁樹脂は、50~600μmの厚みであるガラスエポキシ、又は、12~50μmの厚みであるポリイミドで形成されている請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法。
- 前記繊維の少なくとも1本は、前記貫通孔内に充填した導電性ペーストの内部に埋没している繊維の一部が前記導電性ペーストの外部に露出する状態である請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法。
- 絶縁樹脂の表面及び裏面に形成された表側回路パターン及び裏側回路パターンを有すると共に、前記表側回路パターン、前記絶縁樹脂、及び前記裏側回路パターンを連通する貫通孔が形成されている基板と、
前記貫通孔内に設けた、エポキシ樹脂、変性エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、変性シリコーン樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、アクリル樹脂、アクリレート樹脂、メタクリル樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリノルボルネン樹脂、及びフッ素樹脂から選択されるバインダ樹脂、並びに絶縁性の繊維を含有した導電性ペーストと、を備え、
前記繊維の少なくとも一本において、前記導電性ペーストの内部に埋没している前記繊維の一部が前記導電性ペーストの外部に露出する状態であり、
前記導電性ペーストは、前記バインダ樹脂の含有量が前記貫通孔内への充填時よりも少ない状態である配線基板。 - 前記繊維が、セルロース、レーヨン、キュプラ、アセテート、又はナイロンからなる請求項8に記載の配線基板。
- 前記絶縁樹脂は、50~600μmの厚みであるガラスエポキシ、又は、12~50μmの厚みであるポリイミドで形成されている請求項8又は請求項9に記載の配線基板。
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